CN208570541U - 一种太阳能电池晶体硅切片装置 - Google Patents

一种太阳能电池晶体硅切片装置 Download PDF

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Abstract

本实用公开了一种太阳能电池晶体硅切片装置,箱体的外周设有传送带,箱体上安装有第一安装轴,第一安装轴上设有第一滑槽,滑板通过滑轮在第一滑槽上滑动,滑板上安装有第二安装轴,第二安装轴上设有第一限位机构,第一限位机构上设有第一活塞和第一活塞轴,第一活塞轴上设有第二限位机构,第一安装轴的上端安装有安装横板,安装横板内设有第二滑槽,第二滑槽内设有第三活塞和第三活塞轴,第三活塞轴上安装有第四活塞和第四活塞轴,第四活塞轴上设有第四限位板,第四限位板上通过切割刀安装座安装有第四电机,第四电机上通过驱动轴安装有切割刀。本实用的太阳能电池晶体硅切片装置能够有效提高切片的效率和质量。

Description

一种太阳能电池晶体硅切片装置
技术领域
本实用涉及单晶硅片加工设备的技术领域,尤其涉及一种太阳能电池晶体硅切片装置。
背景技术
在光伏技术和微小型半导体逆变器技术飞速发展的今天,利用硅单晶所生产的太阳能电池可以直接把太阳能转化为光能,实现了迈向绿色能源革命的开始。北京2008年奥运会将把"绿色奥运"做为重要展示面向全世界展现,单晶硅的利用在其中将是非常重要的一环。现在,国外的太阳能光伏电站已经到了理论成熟阶段,正在向实际应用阶段过渡,太阳能硅单晶的利用将是普及到全世界范围,市场需求量不言而喻。单晶硅片是制造半导体硅器件的原料,用于制大功率整流器、大功率晶体管、二极管、开关器件等。在制备单晶硅片的过程中,需要对单晶硅锭进行切片处理而得到单晶硅片,现有技术中单晶硅锭的切片装置,切片效率低,切片质量差,无法满足实际使用时的需求,故此亟需开发一种高效率高质量的太阳能电池晶体硅切片装置来解决现有技术中的问题。
实用内容
为解决背景技术中存在的技术问题,本实用提出一种太阳能电池晶体硅切片装置,能够有效提高单晶硅锭切片的效率和质量。
本实用提出的一种太阳能电池晶体硅切片装置,包括箱体和传送带支架,所述箱体的外周设有传送带,所述传送带安装在传送带支架上,所述传输带支架上安装有传送带,所述箱体上安装有第一安装轴,所述第一安装轴上设有第一滑槽,所述第一滑槽内设有滑轮,所述滑轮上安装有滑板,所述滑板远离滑轮的一端安装有第二安装轴,所述第二安装轴远离滑板的一端设有第一限位机构,所述第一限位机构远离第二安装轴的一端设有第一活塞,所述第一活塞远离第一限位机构的一端设有第一活塞轴,所述第一活塞轴远离第一活塞的一端设有第二限位机构,所述第一安装轴的一侧设有第一电机,所述第一安装轴的上端安装有安装横板,所述安装横板上端安装有第二电机,所述安装横板内设有第二滑槽,所述第二滑槽内设有第三活塞,所述第三活塞远离第二滑槽的一端安装有第三活塞轴,所述第三活塞轴远离第三活塞的一端安装有第四活塞,所述第四活塞远离第三活塞轴的一端安装有第四活塞轴,所述第四活塞轴远离第四活塞的一端设有第四限位板,所述第四限位板远离第四活塞轴的一端通过切割刀安装座安装有第四电机,所述第四电机上通过驱动轴安装有切割刀。
进一步的,所述第四活塞和第四限位板之间且在第四活塞轴的外周套接有第二弹簧。
进一步的,所述第一限位机构和第二限位机构均包括第五电机、第五电机安装座、第五活塞、第三弹簧、第五活塞轴、第五限位板和第二弹性板,所述第五电机安装座安装在第二安装轴上,所述第五电机安装在第五电机安装座的一侧,所述第五活塞安装在第五电机安装座上且远离第五电机的一侧,所述第五活塞轴安装在第五活塞远离第五电机安装座的一侧,所述第五限位板安装在第五活塞轴远离第五活塞的一侧,所述第二弹性板安装在第五限位板的一侧。
进一步的,所述第五活塞和第五限位板之间且在第五活塞轴的外周套接有第三弹簧。
进一步的,所述传送带上端且位于第一限位机构的下方放置有收集箱,所述收集箱内设有储料腔,所述收集箱的一侧设有第三电机,所述收集箱上端面设有多个传输支管,所述传输支管与储料腔连通。
进一步的,所述收集箱的上端设有第一限位板,所述收集箱的上端设有安装座,所述安装座上端设有第二限位板,所述第二限位板的上端设有第二活塞轴,所述第二活塞轴的上端设有第二活塞,所述第二活塞的上端设有第一弹性板。
进一步的,所述第二活塞和第二限位板之间且在第二活塞轴的外周套接有第一弹簧。
与现有技术相比,本实用的技术方案具有以下有益效果:
1、在进行单晶硅锭切割之前,将需要进行切割的单晶硅锭置于第一限位机构和第二限位机构之间,由第一活塞和第一活塞轴配合实现第一限位机构和第二限位机构间距的调节,以满足不同大小尺寸的单晶硅锭的切割,并由第一电机驱动滑轮在第一滑槽内滑动,带动滑板在竖直方向运动,实现将限位固定后的单晶硅锭调节到适宜的竖直高度上,并通过第二电机调节第三活塞在第二滑槽上滑动,以调节切割刀对准单晶硅片进行切割,并由第三活塞轴在第三活塞上伸缩运动,驱动切割刀在竖直方向运动,实现对单晶硅锭的切片,整个切割过程,自动化程度高,切割效率高,得到的单晶硅片质量好。
2、通过在第四活塞和第四限位板之间且在第四活塞轴的外周套接第二弹簧,实现在切割刀接触到单晶硅锭时,第二弹簧能够有效缓冲切割时的冲击力,有效提高了切割的质量。
3、通过第五电机使得第五活塞轴在第五活塞上伸缩移动,驱使第五限位板移动,实现第二弹性板对单晶硅锭进行挤压实现了对单晶硅锭的限位固定,保证了单晶硅锭切割时的稳定性,有效提高了单晶硅锭切割的质量。
4、通过在第五活塞和第五限位板之间且在第五活塞轴的外周套接第三弹簧,实现了在对单晶硅锭限位时,对单晶硅锭表面的挤压力能够被第三弹簧进行吸收缓冲,有效避免了对单晶硅锭的损坏,提高了单晶硅锭的切割质量。
5、在单晶硅锭的切割过程中,必然使用切削液以及冷却液等液体,通过设置收集箱并实现将切割的废液由传输支管进入到储料腔内进行收集,实现了对废料的收集,避免了废液对环境的污染。
6、通过在收集箱上端设置第一限位板,实现了对落入到收集箱上端的切割后的单晶硅片进行收集,由第二活塞和第二活塞轴的配合,实现第一弹性板在接触到切割后的单晶硅片时,能够有效缓冲单晶硅片的冲击力,有效保证了在对单晶硅片进行收集时,能够有效提高对单晶硅片的保护,避免了单晶硅片受到损坏。
7、通过在第二活塞和第二限位板之间且在第二活塞轴的外周套接第一弹簧,实现了在经过切片后的单晶硅片落入到收集箱上端时,能够进一步缓冲单晶硅片对收集箱上端的冲击力,有效避免了切割后的单晶硅片受到损伤,且有效缓冲了撞击力,避免单晶硅片撞击收集箱时掉落到其它位置,方便了对切割后的单晶硅片进行收集。
附图说明
图1为本实用实施例一提出的一种太阳能电池晶体硅切片装置的主视结构示意图;
图2为图1中A处的局部放大示意图;
图3为图1中B处的局部放大示意图;
图4为本实用实施例一提出的一种太阳能电池晶体硅切片装置中第二限位机构的主视结构示意图。
图中所标各部件名称如下:
1-箱体,2-第一安装轴,3-传送带支架,4-传送带,5-第一电机,6-第二电机,7-滑轮,8-第一滑槽,9-滑板,10-第二安装轴,11-第一限位机构,12-第一活塞,13-第一活塞轴,14-第二限位机构,15-安装横板,16-收集箱,17-第三电机,18-第一限位板,19-储料腔,20-传输支管,21-第二限位板,22-第二活塞轴,23-安装座,24-第一弹簧,25-第二活塞,26-第一弹性板,27-第二滑槽,28-第三活塞,29-第三活塞轴,30-第四活塞,31-第二弹簧,32-第四活塞轴,33-第四限位板,34-切割刀安装座,35-驱动轴,36-第四电机,37-切割刀,38-第五电机,39-第五电机安装座,40-第五活塞,41-第三弹簧,42-第五活塞轴,43-第五限位板,44-第二弹性板。
具体实施方式
以下结合附图及具体实施例,对本实用作进一步的详细说明。
实施例一
如图1-4所示,本实用提供一种太阳能电池晶体硅切片装置,包括箱体1和传送带支架3,箱体1的外周设有传送带4,传送带4安装在传送带支架3上,传输带支架3上安装有传送带4,箱体1上安装有第一安装轴2,第一安装轴2上设有第一滑槽8,第一滑槽8内设有滑轮7,滑轮7上安装有滑板9,滑板9远离滑轮7的一端安装有第二安装轴10,第二安装轴10远离滑板9的一端设有第一限位机构11,第一限位机构11远离第二安装轴10的一端设有第一活塞12,第一活塞12远离第一限位机构11的一端设有第一活塞轴13,第一活塞轴13远离第一活塞12的一端设有第二限位机构14,第一安装轴2的一侧设有第一电机5,第一安装轴2的上端安装有安装横板15,安装横板15上端安装有第二电机6,安装横板15内设有第二滑槽27,第二滑槽27内设有第三活塞28,第三活塞28远离第二滑槽27的一端安装有第三活塞轴29,第三活塞轴29远离第三活塞28的一端安装有第四活塞30,第四活塞30远离第三活塞轴29的一端安装有第四活塞轴32,第四活塞轴32远离第四活塞30的一端设有第四限位板33,第四限位板33远离第四活塞轴32的一端通过切割刀安装座34安装有第四电机36,第四电机36上通过驱动轴35安装有切割刀37。在进行单晶硅锭切割之前,将需要进行切割的单晶硅锭置于第一限位机构11和第二限位机构14之间,由第一活塞12和第一活塞轴13配合实现第一限位机构11和第二限位机构14间距的调节,以满足不同大小尺寸的单晶硅锭的切割,并由第一电机5驱动滑轮7在第一滑槽8内滑动,带动滑板9在竖直方向运动,实现将限位固定后的单晶硅锭调节到适宜的竖直高度上,并通过第二电机6调节第三活塞28在第二滑槽27上滑动,以调节切割刀37对准单晶硅片进行切割,并由第三活塞轴29在第三活塞28上伸缩运动,驱动切割刀37在竖直方向运动,实现对单晶硅锭的切片,整个切割过程,自动化程度高,切割效率高,得到的单晶硅片质量好。
在本实施例中,第四活塞30和第四限位板33之间且在第四活塞轴32的外周套接有第二弹簧31。通过在第四活塞30和第四限位板33之间且在第四活塞轴32的外周套接第二弹簧31,实现在切割刀37接触到单晶硅锭时,第二弹簧31能够有效缓冲切割时的冲击力,有效提高了切割的质量。
在本实施例中,第一限位机构11和第二限位机构14均包括第五电机38、第五电机安装座39、第五活塞40、第三弹簧41、第五活塞轴42、第五限位板43和第二弹性板44,第五电机安装座39安装在第二安装轴10上,第五电机38安装在第五电机安装座39的一侧,第五活塞40安装在第五电机安装座39上且远离第五电机38的一侧,第五活塞轴42安装在第五活塞40远离第五电机安装座39的一侧,第五限位板43安装在第五活塞轴42远离第五活塞40的一侧,所述第二弹性板44安装在第五限位板43的一侧。通过第五电机38使得第五活塞轴42在第五活塞40上伸缩移动,驱使第五限位板43移动,实现第二弹性板44对单晶硅锭进行挤压实现了对单晶硅锭的限位固定,保证了单晶硅锭切割时的稳定性,有效提高了单晶硅锭切割的质量。
在本实施例中,第五活塞40和第五限位板43之间且在第五活塞轴42的外周套接有第三弹簧41。通过在第五活塞40和第五限位板43之间且在第五活塞轴42的外周套接第三弹簧41,实现了在对单晶硅锭限位时,对单晶硅锭表面的挤压力能够被第三弹簧41进行吸收缓冲,有效避免了对单晶硅锭的损坏,提高了单晶硅锭的切割质量。
在本实施例中,传送带4上端且位于第一限位机构11的下方放置有收集箱16,收集箱16内设有储料腔19,收集箱16的一侧设有第三电机17,收集箱16上端面设有多个传输支管20,传输支管20与储料腔19连通。在单晶硅锭的切割过程中,必然使用切削液以及冷却液等液体,通过设置收集箱16并实现将切割的废液由传输支管20进入到储料腔19内进行收集,实现了对废料的收集,避免了废液对环境的污染。
在本实施例中,收集箱16的上端设有第一限位板18,收集箱16的上端设有安装座23,安装座23上端设有第二限位板21,第二限位板21的上端设有第二活塞轴22,第二活塞轴22的上端设有第二活塞25,第二活塞25的上端设有第一弹性板26。通过在收集箱16上端设置第一限位板18,实现了对落入到收集箱16上端的切割后的单晶硅片进行收集,由第二活塞25和第二活塞轴22的配合,实现第一弹性板26在接触到切割后的单晶硅片时,能够有效缓冲单晶硅片的冲击力,有效保证了在对单晶硅片进行收集时,能够有效提高对单晶硅片的保护,避免了单晶硅片受到损坏。
在本实施例中,第二活塞25和第二限位板21之间且在第二活塞轴22的外周套接有第一弹簧24。通过在第二活塞25和第二限位板21之间且在第二活塞轴22的外周套接第一弹簧24,实现了在经过切片后的单晶硅片落入到收集箱16上端时,能够进一步缓冲单晶硅片对收集箱16上端的冲击力,有效避免了切割后的单晶硅片受到损伤,且有效缓冲了撞击力,避免单晶硅片撞击收集箱16时掉落到其它位置,方便了对切割后的单晶硅片进行收集。
在本实用中,术语“多个”则指两个或两个以上,除非另有明确的限定。术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语均应做广义理解,例如,“连接”可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;“相连”可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本实用中的具体含义。
在本实用中,术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本实用的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且,描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
以上所述仅为本实用的优选实施例而已,并不用于限制本实用,对于本领域的技术人员来说,本实用可以有各种更改和变化。凡在本实用的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种太阳能电池晶体硅切片装置,包括箱体和传送带支架,其特征在于,所述箱体的外周设有传送带,所述传送带安装在传送带支架上,所述传送带支架上安装有传送带,所述箱体上安装有第一安装轴,所述第一安装轴上设有第一滑槽,所述第一滑槽内设有滑轮,所述滑轮上安装有滑板,所述滑板远离滑轮的一端安装有第二安装轴,所述第二安装轴远离滑板的一端设有第一限位机构,所述第一限位机构远离第二安装轴的一端设有第一活塞,所述第一活塞远离第一限位机构的一端设有第一活塞轴,所述第一活塞轴远离第一活塞的一端设有第二限位机构,所述第一安装轴的一侧设有第一电机,所述第一安装轴的上端安装有安装横板,所述安装横板上端安装有第二电机,所述安装横板内设有第二滑槽,所述第二滑槽内设有第三活塞,所述第三活塞远离第二滑槽的一端安装有第三活塞轴,所述第三活塞轴远离第三活塞的一端安装有第四活塞,所述第四活塞远离第三活塞轴的一端安装有第四活塞轴,所述第四活塞轴远离第四活塞的一端设有第四限位板,所述第四限位板远离第四活塞轴的一端通过切割刀安装座安装有第四电机,所述第四电机上通过驱动轴安装有切割刀。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池晶体硅切片装置,其特征在于,所述第四活塞和第四限位板之间且在第四活塞轴的外周套接有第二弹簧。
3.根据权利要求1所述的太阳能电池晶体硅切片装置,其特征在于,所述第一限位机构和第二限位机构均包括第五电机、第五电机安装座、第五活塞、第三弹簧、第五活塞轴、第五限位板和第二弹性板,所述第五电机安装座安装在第二安装轴上,所述第五电机安装在第五电机安装座的一侧,所述第五活塞安装在第五电机安装座上且远离第五电机的一侧,所述第五活塞轴安装在第五活塞远离第五电机安装座的一侧,所述第五限位板安装在第五活塞轴远离第五活塞的一侧,所述第二弹性板安装在第五限位板的一侧。
4.根据权利要求3所述的太阳能电池晶体硅切片装置,其特征在于,所述第五活塞和第五限位板之间且在第五活塞轴的外周套接有第三弹簧。
5.根据权利要求1所述的太阳能电池晶体硅切片装置,其特征在于,所述传送带上端且位于第一限位机构的下方放置有收集箱,所述收集箱内设有储料腔,所述收集箱的一侧设有第三电机,所述收集箱上端面设有多个传输支管,所述传输支管与储料腔连通。
6.根据权利要求5所述的太阳能电池晶体硅切片装置,其特征在于,所述收集箱的上端设有第一限位板,所述收集箱的上端设有安装座,所述安装座上端设有第二限位板,所述第二限位板的上端设有第二活塞轴,所述第二活塞轴的上端设有第二活塞,所述第二活塞的上端设有第一弹性板。
7.根据权利要求6所述的太阳能电池晶体硅切片装置,其特征在于,所述第二活塞和第二限位板之间且在第二活塞轴的外周套接有第一弹簧。
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CN109065471A (zh) * 2018-07-05 2018-12-21 天长市百盛半导体科技有限公司 一种太阳能电池晶体硅切片装置
CN111015982A (zh) * 2019-11-25 2020-04-17 大同新成新材料股份有限公司 芯片硅生产用组合式的专用切割工具及其使用方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109065471A (zh) * 2018-07-05 2018-12-21 天长市百盛半导体科技有限公司 一种太阳能电池晶体硅切片装置
CN109065471B (zh) * 2018-07-05 2024-01-26 天长市百盛半导体科技有限公司 一种太阳能电池晶体硅切片装置
CN111015982A (zh) * 2019-11-25 2020-04-17 大同新成新材料股份有限公司 芯片硅生产用组合式的专用切割工具及其使用方法
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