CN216450611U - 一种基片定位装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种基片定位装置,包括活塞缸缸体,活塞缸缸体的一端固定连接有驱动连接板,活塞缸缸体的内部设置有活塞杆和活塞弹簧,活塞杆的一端设置有定位销和锥面摆动推块,活塞杆的中部固定连接有阻尼限位块,活塞缸缸体底端一侧的正面和背面均设置有阻尼机构,两个阻尼机构均由一个固定连接板、一个L形阻尼杆、两个阻尼弹簧和一个限位螺栓组成。该种基片定位装置,当基片移动至锥面摆动推块正前方时,外部气缸通过驱动连接板将整个定位装置前推,使得基片与锥面摆动推块自由接触,属于柔性推基片,并且锥面摆动推块套牢归正,完成基片推正,使基片位置不易偏斜,进而防止基片挤碎。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种定位装置,具体为一种基片定位装置。
背景技术
晶圆键合设备在生产过程中,工艺前后需要自动化系统完成基片的装卸载,由于各种原因导致基片传送时位置偏斜,机械手抓取基片前需要在传输带上先完成定位,传统的定位装置是刚性的,仅适用于基片的平行移动定位,当基片位置偏斜时容易挤碎基片。因此我们对此做出改进,提出一种基片定位装置。
实用新型内容
为了解决上述技术问题,本实用新型提供了如下的技术方案:
本实用新型一种基片定位装置,包括活塞缸缸体,所述活塞缸缸体的一端固定连接有驱动连接板,所述活塞缸缸体的内部设置有活塞杆和活塞弹簧,所述活塞杆的一端设置有定位销和锥面摆动推块,所述活塞杆的中部固定连接有阻尼限位块,所述活塞缸缸体底端一侧的正面和背面均设置有阻尼机构,两个所述阻尼机构均由一个固定连接板、一个L形阻尼杆、两个阻尼弹簧和一个限位螺栓组成。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述活塞杆的外部与活塞缸缸体远离驱动连接板的一端穿插连接,所述活塞杆的一端与活塞弹簧的一端固定连接,所述活塞弹簧的另一端与活塞缸缸体内部的一侧固定连接。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述定位销固定安装在活塞杆远离活塞弹簧的一端,所述定位销的中部与锥面摆动推块的一端穿插连接。
作为本实用新型的一种优选技术方案,两个所述固定连接板的中部分别与两个L形阻尼杆底部穿插连接,两个所述限位螺栓的外部分别与两个L 形阻尼杆的底端螺纹连接。
作为本实用新型的一种优选技术方案,两个所述阻尼弹簧分别设置在两个L形阻尼杆的外部,两个所述阻尼弹簧的一端分别与螺杆固定连接板的顶部贴合,两个所述阻尼弹簧的另一端分别与两个L形阻尼杆的中部贴合。
本实用新型的有益效果是:该种基片定位装置,当基片移动至锥面摆动推块正前方时,外部气缸通过驱动连接板将整个定位装置前推,使得基片与锥面摆动推块自由接触,属于柔性推基片,当整个装置移动至阻尼限位块与L 形阻尼杆接触时,L形阻尼杆顶着阻尼弹簧向下移动,活塞杆遇到阻力,移动变慢,此时活塞缸缸体原速移动,与活塞杆产生速度差,活塞杆移动至阻尼限位块与L形阻尼杆限位顶点处时,活塞杆停止移动,随着活塞缸缸体继续移动,将锥面摆动推块套牢归正,完成基片推正,使基片位置不易偏斜,进而防止基片挤碎。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。在附图中:
图1是本实用新型一种基片定位装置的结构示意图;
图2是本实用新型一种基片定位装置的俯视结构示意图。
图中:1、活塞缸缸体;2、活塞杆;3、活塞弹簧;4、阻尼机构;5、定位销;6、锥面摆动推块;101、驱动连接板;201、阻尼限位块;401、固定连接板;402、L形阻尼杆;403、阻尼弹簧;404、限位螺栓。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
实施例:如图1和图2所示,本实用新型一种基片定位装置,包括活塞缸缸体1,活塞缸缸体1的一端固定连接有驱动连接板101,活塞缸缸体1 的内部设置有活塞杆2和活塞弹簧3,活塞杆2的一端设置有定位销5和锥面摆动推块6,活塞杆2的中部固定连接有阻尼限位块201,活塞缸缸体1底端一侧的正面和背面均设置有阻尼机构4,两个阻尼机构4均由一个固定连接板401、一个L形阻尼杆402、两个阻尼弹簧403和一个限位螺栓 404组成。
其中,活塞杆2的外部与活塞缸缸体1远离驱动连接板101的一端穿插连接,活塞杆2的一端与活塞弹簧3的一端固定连接,活塞弹簧3的另一端与活塞缸缸体1内部的一侧固定连接,通过活塞弹簧3的弹力,可以实现活塞缸缸体1和活塞杆2的相对运动,使活塞杆2可以在活塞缸缸体 1的内部移动。
其中,定位销5固定安装在活塞杆2远离活塞弹簧3的一端,定位销 5的中部与锥面摆动推块6的一端穿插连接,通过定位销5,使锥面摆动推块6可以在活塞杆2的一端上摆动。
其中,两个固定连接板401的中部分别与两个L形阻尼杆402底部穿插连接,两个限位螺栓404的外部分别与两个L形阻尼杆402的底端螺纹连接,通过L形阻尼杆402穿过固定连接板401实现其相下移动。
其中,两个阻尼弹簧403分别设置在两个L形阻尼杆402的外部,两个阻尼弹簧403的一端分别与螺杆固定连接板401的顶部贴合,两个阻尼弹簧403的另一端分别与两个L形阻尼杆402的中部贴合,通过阻尼弹簧 403的弹力,使L形阻尼杆402可以复位。
工作时,首先将驱动连接板101与外接的动力气缸的输出轴连接在一起,将固定连接板401与外接的产线机架固定连接,将基片放置在外接的传送带上,传送带将基片移动至锥面摆动推块6正前方,外部气缸通过驱动连接板 101将整个定位装置前推,使得基片与锥面摆动推块6自由接触,当整个装置移动至阻尼限位块201与阻尼杆402接触时,阻尼杆402顶着阻尼弹簧403 向下移动,活塞杆2遇到阻力,移动变慢,此时活塞缸缸体1原速移动,与活塞杆2产生速度差,活塞杆2移动至阻尼限位块201与阻尼杆402限位顶点处时,活塞杆2停止移动,随着活塞缸缸体1继续移动到图中虚线位置,将锥形摆动推块6套牢归正,此时完成基片推正,到此定位动作结束。
最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种基片定位装置,其特征在于,包括活塞缸缸体(1),所述活塞缸缸体(1)的一端固定连接有驱动连接板(101),所述活塞缸缸体(1)的内部设置有活塞杆(2)和活塞弹簧(3),所述活塞杆(2)的一端设置有定位销(5)和锥面摆动推块(6),所述活塞杆(2)的中部固定连接有阻尼限位块(201),所述活塞缸缸体(1)底端一侧的正面和背面均设置有阻尼机构(4),两个所述阻尼机构(4)均由一个固定连接板(401)、一个L形阻尼杆(402)、两个阻尼弹簧(403)和一个限位螺栓(404)组成。
2.根据权利要求1所述的一种基片定位装置,其特征在于,所述活塞杆(2)的外部与活塞缸缸体(1)远离驱动连接板(101)的一端穿插连接,所述活塞杆(2)的一端与活塞弹簧(3)的一端固定连接,所述活塞弹簧(3)的另一端与活塞缸缸体(1)内部的一侧固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种基片定位装置,其特征在于,所述定位销(5)固定安装在活塞杆(2)远离活塞弹簧(3)的一端,所述定位销(5)的中部与锥面摆动推块(6)的一端穿插连接。
4.根据权利要求1所述的一种基片定位装置,其特征在于,两个所述固定连接板(401)的中部分别与两个L形阻尼杆(402)底部穿插连接,两个所述限位螺栓(404)的外部分别与两个L形阻尼杆(402)的底端螺纹连接。
5.根据权利要求1所述的一种基片定位装置,其特征在于,两个所述阻尼弹簧(403)分别设置在两个L形阻尼杆(402)的外部,两个所述阻尼弹簧(403)的一端分别与螺杆固定连接板(401)的顶部贴合,两个所述阻尼弹簧(403)的另一端分别与两个L形阻尼杆(402)的中部贴合。
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