CN216413026U

CN216413026U - 自动供液气液分离药液回流系统

Info

Publication number: CN216413026U
Application number: CN202123218365.6U
Authority: CN
Inventors: 陈文军; 张中; 谢雨龙; 徐海; 马丹
Original assignee: Jiangsu Silicon Integrity Semiconductor Technology Co Ltd
Current assignee: Jiangsu Silicon Integrity Semiconductor Technology Co Ltd
Priority date: 2021-12-20
Filing date: 2021-12-20
Publication date: 2022-04-29
Anticipated expiration: 2031-12-20

Abstract

本实用新型公开了一种自动供液气液分离药液回流系统，包括进液管、出液管、过滤器、清洗部和气液分离部，进液管的前端通过第一管道连接原液桶，进液管的后端连通过滤器，出液管的前端连接过滤器，出液管的后端通过第二管道连接湿法设备，进液管上设有清洗部，出液管上设有气液分离部，气液分离部连通原液回收桶，气液分离部设置在出液管的上方。本实用新型提供了一种实现换液补液操作不影响车间药液连续供应，且可以排出因换液过程的空段管路气体，避免因气体残留导致的供液流量不稳定问题，且供液过程可以实现药液自动回流回收，避免药液浪费的自动供液气液分离药液回流系统。

Description

自动供液气液分离药液回流系统

技术领域

本实用新型涉及半导体封装技术领域，更具体涉及一种自动供液气液分离药液回流系统。

背景技术

半导体湿法设备，属于湿法腐蚀工序中的设备，其主要采用腐蚀槽，喷淋式预冲槽和阶梯式高低冲水槽配套使用，组成一组设备(系统)，用于半导体晶圆片生产过程中湿法腐蚀，去胶，清洗。

在半导体领域，湿法设备的化学品供应方法一直是大规模量产工厂需要评估的问题。传统供液方法为本地供液，即在设备周边摆放化学品供应桶或者化学品柜来给设备补液，设备供液主要为人工搬运化学品桶然后手动供液。

传统供液方法有些不可避免的弊端，车间的化学品药液供应一直是大规模量产工厂需要评估的问题。无论采用何种药液供应方法，供液都要涉及换液补液操作，而在这个过程要想连续供液会遇到两个问题：a.因补液导致的管路气体无法排出，导致供液不连续，或者一段时间供液流量不稳定。b.若排除管路中的残留气体就会导致一定量的药液浪费。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型的目的在于提供一种实现换液补液操作不影响车间药液连续供应，且可以排出因换液过程的空段管路气体，避免因气体残留导致的供液流量不稳定问题，且供液过程可以实现药液自动回流回收，避免药液浪费的自动供液气液分离药液回流系统。

根据本实用新型的一个方面，提供了一种自动供液气液分离药液回流系统，包括进液管、出液管、过滤器、清洗部和气液分离部，进液管的前端通过第一管道连接原液桶，进液管的后端连通过滤器，出液管的前端连接过滤器，出液管的后端通过第二管道连接湿法设备，进液管上设有清洗部，出液管上设有气液分离部，气液分离部连通原液回收桶，气液分离部设置在出液管的上方。

在一些实施方式中，气液分离部包括第三管道、排气组件和回流组件，第三管道连接出液管，第三管道上并列设置排气组件和回流组件。

在一些实施方式中，排气组件包括第四管道、液体感应器和第一阀门，第四管道的前端连通第三管道，第四管道的后端设有第一阀门，液体感应器设置在第四管道内。

在一些实施方式中，回流组件包括第五管道和第二阀门，第五管道的前端连通第三管道，第五管道上设有第二阀门，第五管道的后端连接原液回收桶。

在一些实施方式中，进液管上设有第三阀门。

在一些实施方式中，出液管上设有第四阀门。

在一些实施方式中，过滤器为U型液体过滤器，过滤器的底部设有排废口，排废口上设有第五阀门。

在一些实施方式中，清洗部包括第六管道、第七管道、第六阀门和第七阀门，第六管道的前端连通进液管，第六管道上设有第六阀门，第六管道的后端连通氮气罐，第七管道的前端连通第六管道，第七管道上设有第七阀门，第七管道的后端连通纯水储罐。

本实用新型与现有技术相比，具有以下有益效果：实现换液补液操作不影响车间药液连续供应，且可以排出因换液过程的空段管路气体，避免因气体残留导致的供液流量不稳定问题，且供液过程可以实现药液自动回流回收，避免药液浪费。本实用新型在供液不足中断时，此时可以认为本实用新型内液体被排空，排气组件内液体感应器感应不到液体的存在，第一阀门打开，回流组件的第二阀门关闭，出液管上的第四阀门关闭。当进行补液操作时，进液管补液，药液充满过滤器，装置内的空段气体从排气组件排出，当液体充满整个装置时，排气口感应器感应到药液，此时排气组件上的第一阀门关闭，同时回流组件的第二阀门打开；这时，供液管路内气体被排尽，实现气液分离，且多余的液体通过回流组件收集，实现药液的回收利用；当供液需求终端给出供液信号时回流组件的第二阀门关闭，出液管上的第四阀门打开，实现连续供液。

附图说明

图1是本实用新型自动供液气液分离药液回流系统的结构示意图；

图2是本实用新型自动供液气液分离药液回流系统的气液分离部的结构示意图；

图3是本实用新型自动供液气液分离药液回流系统的清洗部的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图所示的各实施方式对本实用新型进行详细说明，但应当说明的是，这些实施方式并非对本实用新型的限制，本领域普通技术人员根据这些实施方式所作的功能、方法或者结构上的等效变换或替代，均属于本实用新型的保护范围之内。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是机械连接或电连接，也可以是两个元件内部的连通，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解所述术语的具体含义。

如图1所示，本实用新型所述的自动供液气液分离药液回流系统，包括进液管1、出液管2、过滤器3、清洗部4和气液分离部5，进液管1的前端通过第一管道6连接原液桶，进液管1的后端连通过滤器3，出液管2的前端连接过滤器3，出液管2的后端通过第二管道7连接湿法设备，进液管1上设有清洗部4，出液管2上设有气液分离部5，气液分离部5连通原液回收桶，气液分离部5设置在出液管2的上方。本实用新型在供液不足中断时，此时可以认为本实用新型内液体被排空，排气组件52内液体感应器522感应不到液体的存在，第一阀门523打开，回流组件53的第二阀门532关闭，出液管2上的第四阀门9关闭。当进行补液操作时，进液管1补液，药液充满过滤器3，装置内的空段气体从排气组件52排出，当液体充满整个装置时，排气口感应器感应到药液，此时排气组件52上的第一阀门523关闭，同时回流组件53的第二阀门532打开；这时，供液管路内气体被排尽，实现气液分离，且多余的液体通过回流组件53收集，实现药液的回收利用；当供液需求终端给出供液信号时回流组件53的第二阀门532关闭，出液管2上的第四阀门9打开，实现连续供液。

如图2所示，气液分离部5包括第三管道51、排气组件52和回流组件53，第三管道51连接出液管2，第三管道51上并列设置排气组件52和回流组件53。通过第三管道51连通出液管2，在具体安装时气液分离部5必须设置在出液管2的垂直上方，这样才通过排气组件52获知本实用新型内是否断流，如果气液分离部5设置在出液管2的下方，由于重力作用出液管2内的液体必然向下流入排气组件52，因此即便在出液管2断流的情况下排气组件52内的液体感应器522也会监测到存在液体的信息，进而造成误判；将气液分离部5设置在上方由于供液管道内的压力必然时排气组件52内也会充满液体，如果供液间断，排气组件52内的液体会向下流动，液体感应器522才能真实的感应出液管2内供液是否间断。

排气组件52包括第四管道521、液体感应器522和第一阀门523，第四管道521的前端连通第三管道51，第四管道521的后端设有第一阀门523，液体感应器522设置在第四管道521内。通过第四管道521内的液体感应器522才能够准确的获知本实用新型内供液的情况，以便于需求终端给出正确的信号。

回流组件53包括第五管道531和第二阀门532，第五管道531的前端连通第三管道51，第五管道531上设有第二阀门532，第五管道531的后端连接原液回收桶。通过回流组件53便于实现在气液分离时对多余的液体回收，避免药液浪费，节约工厂成本。

进液管1上设有第三阀门8。利用第三阀门8截断或者连通进液管1。

出液管2上设有第四阀门9。利用第四阀门9截断或者连通出液管2。

过滤器3为U型液体过滤器3，过滤器3的底部设有排废口31，排废口31上设有第五阀门32。液体过滤器3是输送介质管道上不可缺少的一种装置，通常安装在减压阀、泄压阀、定水位阀或其它设备的进口端，用来消除介质中的杂质，以保护阀门及设备的正常使用。当流体进入置有一定规格滤网的滤筒后，其杂质被阻挡，而清洁的滤液则由过滤器3出口排出，当需要清洗时，只要将可拆卸的滤筒取出，处理后重新装入即可，用排废口31在清洗部4清洗时排出废液。

如图3所示，清洗部4包括第六管道41、第七管道42、第六阀门43和第七阀门44，第六管道41的前端连通进液管1，第六管道41上设有第六阀门43，第六管道41的后端连通氮气罐，第七管道42的前端连通第六管道41，第七管道42上设有第七阀门44，第七管道42的后端连通纯水储罐。本实用新型经测试过滤器3在使用2－3个月以后就需要拆卸进行清洗，在清洗时停止供液，首先打开第七阀门44和第五阀门32接通纯水储管，利用纯水进行清洗，同时废水从排废口31排出；然后关闭第七阀门44，打开第六阀门43利用氮气吹扫水汽直至吹干纯水；最后关闭第五阀门32和第六阀门43。

本实用新型将液体过滤器3进液管1和出液管2分别接至原液桶和需求设备反向连接，这样进液时可以实现液体过滤，且可以用液体排出装置内气体。

利用排气组件52的液体感应器522可以实现排气组件52的液体感应，它可以实现排气组件52第一阀门523以及回流组件53第二阀门532的开闭信号控制。当排气组件52无液体时，排气组件52第一阀门523打开，回流组件53第二阀门532关闭。反之，当感应器感应到药液时，排气组件52第一关闭，回流组件53第二阀门532打开。

补液时，药液充满过滤器3，装置内的空段气体从排气组件52排出，实现供液装置气液分离，当液体充满整个装置时，装置内气体被排尽，排气组件52内的液体感应器522感应到药液，此时排气组件52第一阀门523关闭，同时回流组件53第二阀门532打开，部分药液通过回流组件53收集，实现药液的回收利用。

回流组件53可以有2个流向，一是流向原液回收桶；另一个是回流至原液桶。

过滤器3上方清洗部4以及液体过滤器3下方排废口31可以提供过滤器3的清洁保养需求。

本实用新型中涉及的所有的阀门为能够远程控制的阀门，包括但不限于电动阀门及气动阀门。

以上所述的仅是本实用新型的一些实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型的创造构思的前提下，还可以做出其它变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。

Claims

1.自动供液气液分离药液回流系统，其特征在于，包括进液管、出液管、过滤器、清洗部和气液分离部，所述进液管的前端通过第一管道连接原液桶，所述进液管的后端连通过滤器，所述出液管的前端连接过滤器，所述出液管的后端通过第二管道连接湿法设备，所述进液管上设有清洗部，所述出液管上设有气液分离部，所述气液分离部连通原液回收桶，所述气液分离部设置在出液管的上方。

2.根据权利要求1所述的自动供液气液分离药液回流系统，其特征在于，所述气液分离部包括第三管道、排气组件和回流组件，所述第三管道连接出液管，所述第三管道上并列设置排气组件和回流组件。

3.根据权利要求2所述的自动供液气液分离药液回流系统，其特征在于，所述排气组件包括第四管道、液体感应器和第一阀门，所述第四管道的前端连通第三管道，所述第四管道的后端设有第一阀门，所述液体感应器设置在第四管道内。

4.根据权利要求2所述的自动供液气液分离药液回流系统，其特征在于，所述回流组件包括第五管道和第二阀门，所述第五管道的前端连通第三管道，所述第五管道上设有第二阀门，所述第五管道的后端连接原液回收桶。

5.根据权利要求1所述的自动供液气液分离药液回流系统，其特征在于，所述进液管上设有第三阀门。

6.根据权利要求1所述的自动供液气液分离药液回流系统，其特征在于，所述出液管上设有第四阀门。

7.根据权利要求1－6任一项所述的自动供液气液分离药液回流系统，其特征在于，所述过滤器为U型液体过滤器，所述过滤器的底部设有排废口，所述排废口上设有第五阀门。

8.根据权利要求1－6任一项所述的自动供液气液分离药液回流系统，其特征在于，所述清洗部包括第六管道、第七管道、第六阀门和第七阀门，所述第六管道的前端连通进液管，所述第六管道上设有第六阀门，所述第六管道的后端连通氮气储罐，所述第七管道的前端连通第六管道，所述第七管道上设有第七阀门，所述第七管道的后端连通纯水储罐。