CN216323830U - 一种闪烁晶体蒸镀机用清洁装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种闪烁晶体蒸镀机用清洁装置，涉及蒸镀机的技术领域，包括支撑架和除尘组件，所述除尘组件安装在所述支撑架上，所述除尘组件的数量为两个，两个所述除尘组件结构相同且呈上下设置，所述支撑架上设置有驱动上所述除尘组件上下运动的调节组件，所述支撑架上设置有贴合下所述除尘组件表面的隔离网，所述支撑架上设置有驱动产品在所述隔离网上运动的驱动组件，所述除尘组件包括吹风机和吸尘器，所述吹风机向产品吹出热风，所述吸尘器吸走产品表面的灰尘。本实用新型具有清理产品表面灰尘且对产品进行干燥的效果，两个除尘组件的间隙可调节设置，以便于取放产品，驱动组件驱动产品在隔离网上运动，保证了对产品表面的除灰效果。

Description

一种闪烁晶体蒸镀机用清洁装置

技术领域

本实用新型涉及蒸镀机的技术领域，尤其涉及一种闪烁晶体蒸镀机用清洁装置。

背景技术

蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和电子束轰击加热和离子辅助轰击基板预清洁以及离子辅助镀膜等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。镀膜前必须要清洁干净，才能够确保镀膜的质量。

基于上述问题，我们设计出了一种闪烁晶体蒸镀机用清洁装置来解决以上问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种闪烁晶体蒸镀机用清洁装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种闪烁晶体蒸镀机用清洁装置，包括支撑架和除尘组件，所述除尘组件安装在所述支撑架上，所述除尘组件的数量为两个，两个所述除尘组件结构相同且呈上下设置，所述支撑架上设置有驱动上所述除尘组件上下运动的调节组件，所述支撑架上设置有贴合下所述除尘组件表面的隔离网，所述支撑架上设置有驱动产品在所述隔离网上运动的驱动组件，所述除尘组件包括吹风机和吸尘器，所述吹风机向产品吹出热风，所述吸尘器吸走产品表面的灰尘。

通过上述技术方案，上下两个除尘组件，除尘组件在吹出热风的同时，进行吸尘作业，即清理产品表面灰尘且对产品进行干燥的效果，两个除尘组件的间隙可调节设置，以便于取放产品，驱动组件驱动产品在隔离网上运动，保证了对产品表面的除灰效果。

进一步的，所述除尘组件还包括台板，所述台板上开设有吹风孔和吸尘孔，所述吹风孔与所述吹风机连通，所述吸尘孔与所述吸尘器连通。

通过上述技术方案，对吹风机和吸尘器进行连接，保证除尘效果。

进一步的，所述吹风孔设为外窄内宽结构。

通过上述技术方案，增加风压，保证对产品的除尘效果。

进一步的，所述调节组件包括丝杠结构和滑移结构，所述丝杠结构安装在所述支撑架上且与上所述除尘组件连接，所述滑移结构与所述支撑架和上所述除尘组件连接。

通过上述技术方案，以保证对上除尘组件的稳定位置调节。

进一步的，所述滑移结构包括滑轨和滑块，所述滑轨安装在所述支撑架上，所述滑块安装在上所述除尘组件上。

通过上述技术方案，以保证上除尘组件在上下运动过程中的稳定性。

进一步的，所述驱动组件包括驱动板和驱动气缸，所述驱动板的数量为两个，所述驱动板与所述驱动气缸的活塞杆连接，所述驱动气缸安装在所述支撑架上，所述驱动气缸可驱动所述驱动板往复运动。

通过上述技术方案，驱动气缸能够稳定带动驱动板做往复运动，推动隔离网上的产品。

进一步的，两个所述驱动板之间的距离可调节设置。

通过上述技术方案，以适应不同尺寸的产品。

进一步的，两个所述驱动板上穿射有锁定螺栓，两个所述驱动板之间设置有套设在锁定螺栓上的弹簧，所述锁定螺栓上设置有锁定螺母，所述锁定螺母、所述锁定螺栓和所述弹簧配合调节两所述驱动板之间的距离

通过上述技术方案，以适应不同尺寸的产品，保证对产品的除尘质量和效率。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型中通过设置上下两个除尘组件，在清理产品表面灰尘的同时，对产品表面进行干燥作业，两个除尘组件的间隙可调节设置，以便于取放产品，驱动组件驱动产品在隔离网上运动，保证了对产品表面的除灰效果。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型中台板的结构示意图；

图3为本实用新型中驱动组件的结构示意图。

图中：1、支撑架；2、除尘组件；21、吹风机；22、吸尘器；3、调节组件；31、丝杠结构；32、滑移结构；321、滑轨；322、滑块；4、隔离网；5、驱动组件；51、驱动板；52、驱动气缸；6、台板； 61、吹风孔；62、吸尘孔；7、锁定螺栓；8、弹簧；9、锁定螺母； 10、吹风腔体；11、吸尘腔体。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

本实用新型公开了一种闪烁晶体蒸镀机用清洁装置。

如图1至图3所示，闪烁晶体蒸镀机用清洁装置，包括支撑架1 和除尘组件2，除尘组件2安装在支撑架1上，除尘组件2的数量为两个，两个除尘组件2结构相同，沿着水平面镜像设置，支撑架1上安装有驱动上方除尘组件2上下运动的调节组件3，支撑架1上安装有贴合下方除尘组件2表面的隔离网4，支撑架1上安装有驱动产品在隔离网4上运动的驱动组件5。

具体的，除尘组件2包括吹风机21和吸尘器22，吹风机21向产品吹出热风，吸尘器22吸走产品表面的灰尘。通过除尘组件2清理产品表面灰尘且对产品进行干燥的效果，两个除尘组件2的间隙可调节设置，以便于取放产品，驱动组件5驱动产品在隔离网4上运动，保证了对产品表面的除灰效果。

在本实施例中，除尘组件2还包括台板6，台板6上开设有吹风孔61和吸尘孔62，在台板6的一侧分别安装有吹风腔体10和吸尘腔体11，吹风腔体10与吹风孔61相连通，吸尘腔体11与吸尘孔62 相连通，吹风腔体10与吹风机21连接，吸尘腔体11与吸尘器22连接，从而保证除尘效果。

另外，吹风孔61开设在台板6的中部，吹风孔61设为外窄内宽结构，增加风压，保证对产品的除尘效果；吸尘孔62在台板6上开设为两组，吹风孔61位于吸尘孔62之间，保证对产品的除尘效果。

在本实施例中，调节组件3包括丝杠结构31和滑移结构32，丝杠结构31安装在支撑架1上且与上方除尘组件2连接，滑移结构32 与支撑架1和上方除尘组件2连接。

具体的，丝杠结构31为现有技术，为本领域技术人员所熟知的技术，在此不进行过多的赘述。滑移结构32包括滑轨321和滑块322，滑轨321通过沉头螺栓固定在支撑架1上，滑块322固定安装在上方除尘组件2上。丝杠结构31能够稳定对上方除尘组件2进行位置调节，滑移结构32保证了上方除尘组件2运行的稳定性。

在本实施例中，驱动组件5包括驱动板51和驱动气缸52，驱动板51的数量为两个，驱动板51与驱动气缸52的活塞杆连接，驱动气缸52固定安装在支撑架1上，驱动气缸52可驱动两个驱动板51 同步做往复运动，带动隔离网4上的产品运动，保证对产品的除尘效果。

另外，两个驱动板51之间的距离可调节设置，以适应不同尺寸的产品。

具体的，两个驱动板51上穿射有锁定螺栓7，两个驱动板51之间安装有套设在锁定螺栓7上的弹簧8，锁定螺栓7上螺纹配合有锁定螺母9，锁定螺母9、锁定螺栓7和弹簧8配合调节两驱动板51之间的距离，以适应不同尺寸的产品，保证对产品的除尘质量和效率。

本实用新型的具体实施原理是：

本实用新型中通过设置上下两个除尘组件2，在清理产品表面灰尘的同时，对产品表面进行干燥作业，两个除尘组件2的间隙可调节设置，以便于取放产品，驱动组件5驱动产品在隔离网4上运动，保证了对产品表面的除灰效果。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种闪烁晶体蒸镀机用清洁装置，其特征在于，包括支撑架(1)和除尘组件(2)，所述除尘组件(2)安装在所述支撑架(1)上，所述除尘组件(2)的数量为两个，两个所述除尘组件(2)结构相同且呈上下设置，所述支撑架(1)上设置有驱动上所述除尘组件(2)上下运动的调节组件(3)，所述支撑架(1)上设置有贴合下所述除尘组件(2)表面的隔离网(4)，所述支撑架(1)上设置有驱动产品在所述隔离网(4)上运动的驱动组件(5)，所述除尘组件(2)包括吹风机(21)和吸尘器(22)，所述吹风机(21)向产品吹出热风，所述吸尘器(22)吸走产品表面的灰尘。

2.根据权利要求1所述的一种闪烁晶体蒸镀机用清洁装置，其特征在于，所述除尘组件(2)还包括台板(6)，所述台板(6)上开设有吹风孔(61)和吸尘孔(62)，所述吹风孔(61)与所述吹风机(21)连通，所述吸尘孔(62)与所述吸尘器(22)连通。

3.根据权利要求2所述的一种闪烁晶体蒸镀机用清洁装置，其特征在于，所述吹风孔(61)设为外窄内宽结构。

4.根据权利要求3所述的一种闪烁晶体蒸镀机用清洁装置，其特征在于，所述调节组件(3)包括丝杠结构(31)和滑移结构(32)，所述丝杠结构(31)安装在所述支撑架(1)上且与上所述除尘组件(2)连接，所述滑移结构(32)与所述支撑架(1)和上所述除尘组件(2)连接。

5.根据权利要求4所述的一种闪烁晶体蒸镀机用清洁装置，其特征在于，所述滑移结构(32)包括滑轨(321)和滑块(322)，所述滑轨(321)安装在所述支撑架(1)上，所述滑块(322)安装在上所述除尘组件(2)上。

6.根据权利要求1-5任一所述的一种闪烁晶体蒸镀机用清洁装置，其特征在于，所述驱动组件(5)包括驱动板(51)和驱动气缸(52)，所述驱动板(51)的数量为两个，所述驱动板(51)与所述驱动气缸(52)的活塞杆连接，所述驱动气缸(52)安装在所述支撑架(1)上，所述驱动气缸(52)可驱动所述驱动板(51)往复运动。

7.根据权利要求6所述的一种闪烁晶体蒸镀机用清洁装置，其特征在于，两个所述驱动板(51)之间的距离可调节设置。

8.根据权利要求7所述的一种闪烁晶体蒸镀机用清洁装置，其特征在于，两个所述驱动板(51)上穿射有锁定螺栓(7)，两个所述驱动板(51)之间设置有套设在锁定螺栓(7)上的弹簧(8)，所述锁定螺栓(7)上设置有锁定螺母(9)，所述锁定螺母(9)、所述锁定螺栓(7)和所述弹簧(8)配合调节两所述驱动板(51)之间的距离。

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