CN216303909U - 便于带钢加工走料的天然气罩式退火炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了便于带钢加工走料的天然气罩式退火炉，包括支架和固定架，固定架固定连接于支架的顶端，支架的内侧设置有驱动机构，固定架的内侧设置有降温机构，降温机构包括集水管、连接管和喷头，集水管固定连接于固定架顶端的内侧，连接管设置有多个且均匀固定连接于集水管的底端。本实用新型通过在支架的内侧均匀设置有驱动辊，能有效带动钢材进行运动，便于快速进行冷却工作，通过在固定架的顶端均匀设置有连接管，连接管的底端均匀固定连接有喷头，能快速对钢材进行降温工作，通过在固定架的两侧均设置有散热箱，能在降温的同时对内部的热量进行排出，提高了降温的效果。

Description

便于带钢加工走料的天然气罩式退火炉

技术领域

本实用新型涉及领域，特别涉及便于带钢加工走料的天然气罩式退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底，退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理，退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的，退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60％。

现有技术中退火工艺使用的退火炉包括有加热炉和冷却炉，冷却炉内通过喷洒水进行降温处理，实际喷洒水进行降温冷却处理的过程中，会有大量的水蒸气产生，大量的水蒸气会弥漫在冷却区域导致待冷却的工件周围温度过高，使得工件的冷却效果差，冷却效率低，且直接喷洒水体后，水流直接流出无法进行循环利用，造成水体的浪费。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供便于带钢加工走料的天然气罩式退火炉，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：便于带钢加工走料的天然气罩式退火炉，包括支架和固定架，所述固定架固定连接于支架的顶端，所述支架的内侧设置有驱动机构，所述固定架的内侧设置有降温机构；

所述降温机构包括集水管、连接管和喷头，所述集水管固定连接于固定架顶端的内侧，所述连接管设置有多个且均匀固定连接于集水管的底端，所述喷头设置有多个且均匀固定连接于连接管的底端，所述喷头设置于支架的顶端。

优选的，所述驱动机构包括驱动辊，所述驱动辊设置有多个且均匀转动连接于支架的内侧。

优选的，所述支架的内侧设置有过滤网和集水箱，所述集水箱设置于过滤网的下方。

优选的，所述过滤网的两侧均卡合连接有卡接头，所述卡接头固定连接于支架的内侧。

优选的，所述固定架的两侧均固定连接有散热箱，所述散热箱的内侧固定连接有电机外壳，所述电机外壳的内侧固定连接有电机。

优选的，所述电机的输出端固定连接有散热扇片，所述散热扇片转动连接于散热箱的内侧，所述散热箱的一侧设置有排风口，所述散热箱的另一侧设置有散热口。

本实用新型的技术效果和优点：

(1)本实用新型通过在支架的内侧均匀设置有驱动辊，能有效带动钢材进行运动，便于快速进行冷却工作，通过在固定架的顶端均匀设置有连接管，连接管的底端均匀固定连接有喷头，能快速对钢材进行降温工作，通过在固定架的两侧均设置有散热箱，能在降温的同时对内部的热量进行排出，提高了降温的效果；

(2)本实用新型通过在支架的内侧设置有过滤网，过滤网的两端均设置于卡接头的内侧，便于进行拆卸和更换，有效对水中的杂质进行隔绝，能有效对水质进行保护，使得水能继续循环使用，避免了水的浪费。

附图说明

图1为本实用新型的主体结构示意图。

图2为本实用新型的内部结构示意图。

图3为本实用新型中散热箱的内部结构示意图。

图中：支架1、固定架2、驱动辊3、散热箱4、集水管5、连接管6、喷头7、过滤网8、卡接头9、集水箱10、电机外壳11、电机12、散热扇片13、排风口14、散热口15。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型提供了如图1-3所示的便于带钢加工走料的天然气罩式退火炉，包括支架1和固定架2，固定架2固定连接于支架1的顶端，支架1的内侧设置有驱动机构，固定架2的内侧设置有降温机构；

降温机构包括集水管5、连接管6和喷头7，集水管5固定连接于固定架2顶端的内侧，连接管6设置有多个且均匀固定连接于集水管5的底端，喷头7设置有多个且均匀固定连接于连接管6的底端，喷头7设置于支架1的顶端，连接管6的外侧通过水管与外界水泵连接，通过在固定架2的顶端均匀设置有连接管6，连接管6的底端均匀固定连接有喷头7，能快速对钢材进行降温工作，通过在固定架2的两侧均设置有散热箱4，能在降温的同时对内部的热量进行排出，提高了降温的效果；

驱动机构包括驱动辊3，驱动辊3设置有多个且均匀转动连接于支架1的内侧，通过在支架1的内侧均匀设置有驱动辊3，能有效带动钢材进行运动，便于快速进行冷却工作；

支架1的内侧设置有过滤网8和集水箱10，集水箱10设置于过滤网8的下方，过滤网8的两侧均卡合连接有卡接头9，卡接头9固定连接于支架1的内侧，通过在支架1的内侧设置有过滤网8，过滤网8的两端均设置于卡接头9的内侧，便于进行拆卸和更换，有效对水中的杂质进行隔绝，能有效对水质进行保护，使得水能继续循环使用，避免了水的浪费；

固定架2的两侧均固定连接有散热箱4，散热箱4的内侧固定连接有电机外壳11，电机外壳11的内侧固定连接有电机12，电机12的输出端固定连接有散热扇片13，散热扇片13转动连接于散热箱4的内侧，散热箱4的一侧设置有排风口14，散热箱4的另一侧设置有散热口15，通过散热扇片13的设置，能有效将固定架2内侧的高温气体进行排出，提高散热效果。

本实用新型工作原理：通过在支架1的内侧均匀设置有驱动辊3，能有效带动钢材进行运动，便于快速进行冷却工作，通过在固定架2的顶端均匀设置有连接管6，连接管6的底端均匀固定连接有喷头7，能快速对钢材进行降温工作，通过在固定架2的两侧均设置有散热箱4，能在降温的同时对内部的热量进行排出，提高了降温的效果，通过在支架1的内侧设置有过滤网8，过滤网8的两端均设置于卡接头9的内侧，便于进行拆卸和更换，有效对水中的杂质进行隔绝，能有效对水质进行保护，使得水能继续循环使用，避免了水的浪费。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

本实用新型使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.便于带钢加工走料的天然气罩式退火炉，包括支架(1)和固定架(2)，其特征在于，所述固定架(2)固定连接于支架(1)的顶端，所述支架(1)的内侧设置有驱动机构，所述固定架(2)的内侧设置有降温机构；

所述降温机构包括集水管(5)、连接管(6)和喷头(7)，所述集水管(5)固定连接于固定架(2)顶端的内侧，所述连接管(6)设置有多个且均匀固定连接于集水管(5)的底端，所述喷头(7)设置有多个且均匀固定连接于连接管(6)的底端，所述喷头(7)设置于支架(1)的顶端。

2.根据权利要求1所述的便于带钢加工走料的天然气罩式退火炉，其特征在于，所述驱动机构包括驱动辊(3)，所述驱动辊(3)设置有多个且均匀转动连接于支架(1)的内侧。

3.根据权利要求1所述的便于带钢加工走料的天然气罩式退火炉，其特征在于，所述支架(1)的内侧设置有过滤网(8)和集水箱(10)，所述集水箱(10)设置于过滤网(8)的下方。

4.根据权利要求3所述的便于带钢加工走料的天然气罩式退火炉，其特征在于，所述过滤网(8)的两侧均卡合连接有卡接头(9)，所述卡接头(9)固定连接于支架(1)的内侧。

5.根据权利要求1所述的便于带钢加工走料的天然气罩式退火炉，其特征在于，所述固定架(2)的两侧均固定连接有散热箱(4)，所述散热箱(4)的内侧固定连接有电机外壳(11)，所述电机外壳(11)的内侧固定连接有电机(12)。

6.根据权利要求5所述的便于带钢加工走料的天然气罩式退火炉，其特征在于，所述电机(12)的输出端固定连接有散热扇片(13)，所述散热扇片(13)转动连接于散热箱(4)的内侧，所述散热箱(4)的一侧设置有排风口(14)，所述散热箱(4)的另一侧设置有散热口(15)。

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