CN216302619U - 一种用于半导体器件的甩臂取放装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于半导体器件的甩臂取放装置,包括底板和取料摆臂,所述底板的顶部安装固定有第一竖板和第二竖板,所述第一竖板和第二竖板的侧壁之间转动连接有转动轴,所述转动轴的外周套接固定有驱动筒,所述第一竖板的侧壁安装固定有伺服电机,所述伺服电机的输出轴与转动轴的端部固定连接,所述第一竖板和第二竖板的侧壁均安装固定有侧板,所述第一竖板侧壁的侧板侧壁通过销轴转动连接有从动筒,所述驱动筒和从动筒之间通过齿轮皮带连接,所述第二竖板侧壁的侧板侧壁转动连接有连接轴,所述连接轴的端部与销轴端部连接,所述连接轴的外周安装固定有取料摆臂。无需人工取放芯片,能够避免芯片受损。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体生产设备技术领域,特别涉及一种用于半导体器件的甩臂取放装置。
背景技术
一般来说,半导体封装及测试是半导体制造流程中极其重要的收尾工作。半导体封装是利用薄膜细微加工等技术将芯片在基板上布局、固定及连接,并用可塑性绝缘介质灌封后形成电子产品的过程,目的是保护芯片免受损伤,保证芯片的散热性能,以及实现电能和电信号的传输,确保系统正常工作;而半导体测试主要是对芯片外观、性能等进行检测,目的是确保产品质量。
在半导体封装中,需要将芯片移动以进行各种工艺,例如固晶。但是由于芯片体积较小且易破碎,人工移动芯片是较困难的。为此,我们提出一种用于半导体器件的甩臂取放装置。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于提供一种用于半导体器件的甩臂取放装置,可以有效解决背景技术中的问题。
为实现上述目的,本实用新型采取的技术方案为:
一种用于半导体器件的甩臂取放装置,包括底板和取料摆臂,所述底板的顶部安装固定有第一竖板和第二竖板,所述第一竖板和第二竖板的侧壁之间转动连接有转动轴,所述转动轴的外周套接固定有驱动筒,所述第一竖板的侧壁安装固定有伺服电机,所述伺服电机的输出轴与转动轴的端部固定连接,所述第一竖板和第二竖板的侧壁均安装固定有侧板,所述第一竖板侧壁的侧板侧壁通过销轴转动连接有从动筒,所述驱动筒和从动筒之间通过齿轮皮带连接,所述第二竖板侧壁的侧板侧壁转动连接有连接轴,所述连接轴的端部与销轴端部连接,所述连接轴的外周安装固定有取料摆臂;
所述取料摆臂的内部安装固定有电动杆,所述电动杆的底部安装固定有安装块,所述安装块的的内部安装固定有伸缩杆,所述伸缩杆的底部安装固定有气动吸盘。
进一步的,所述取料摆臂的侧壁卡接有门板,便于在取料摆臂内安装电动杆。
进一步的,所述连接轴的外周安装固定有限位块,所述取料摆臂构造有与限位块适配的限位槽,避免取料摆臂与连接轴之间产生滑动。
进一步的,所述侧板的长度大于取料摆臂的高度。
进一步的,所述第一竖板和第二竖板呈对称设置。
与现有技术相比,本实用新型具有如下有益效果:通过设置的伺服电机、驱动筒、转动轴、齿轮皮带和从动筒,能够带动取料摆臂转动,并通过可伸缩的电动杆和伸缩杆调节气动吸盘的位置,将芯片吸附在吸盘底部,并随取料摆臂移动,完成芯片的取放,无需人工取放芯片,且能够避免芯片受损。
附图说明
图1为本实用新型一种用于半导体器件的甩臂取放装置的整体结构示意图。
图2为本实用新型一种用于半导体器件的甩臂取放装置的取料摆臂剖视图。
图3为本实用新型一种用于半导体器件的甩臂取放装置的图1中A处结构的放大图。
图中:1、底板;2、第一竖板;3、第二竖板;4、伺服电机;5、转动轴;6、驱动筒;7、从动筒;8、齿轮皮带;9、侧板;10、连接轴;11、限位块;12、取料摆臂;13、门板;14、电动杆;15、安装块;16、伸缩杆;17、气动吸盘。
具体实施方式
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本实用新型。
如图1-3所示,一种用于半导体器件的甩臂取放装置,包括底板1和取料摆臂12,所述底板1的顶部安装固定有第一竖板2和第二竖板3,所述第一竖板2和第二竖板3的侧壁之间转动连接有转动轴5,所述转动轴5的外周套接固定有驱动筒6,所述第一竖板2的侧壁安装固定有伺服电机4,所述伺服电机4的输出轴与转动轴5的端部固定连接,所述第一竖板2和第二竖板3的侧壁均安装固定有侧板9,所述第一竖板2侧壁的侧板9侧壁通过销轴转动连接有从动筒7,所述驱动筒6和从动筒7之间通过齿轮皮带8连接,所述第二竖板3侧壁的侧板9侧壁转动连接有连接轴10,所述连接轴10的端部与销轴端部连接,所述连接轴10的外周安装固定有取料摆臂12;
所述取料摆臂12的内部安装固定有电动杆14,所述电动杆14的底部安装固定有安装块15,所述安装块15的的内部安装固定有伸缩杆16,所述伸缩杆16的底部安装固定有气动吸盘17。
其中,所述取料摆臂12的侧壁卡接有门板13,便于在取料摆臂12内安装电动杆14。
其中,所述连接轴10的外周安装固定有限位块11,所述取料摆臂12构造有与限位块11适配的限位槽,避免取料摆臂12与连接轴10之间产生滑动。
其中,所述侧板9的长度大于取料摆臂12的高度。
其中,所述第一竖板2和第二竖板3呈对称设置。
需要说明的是,本实用新型为一种用于半导体器件的甩臂取放装置,使用时,将底板1安装在合适位置,并根据需要在底板1底部加装滑动轨道,伺服电机4的输出轴带动转动轴5转动,从而带动驱动筒6转动,驱动筒6通过齿轮皮带8带动从动筒7转动,从动筒7的销轴带动连接轴10转动,连接轴10带动取料摆臂12转动,当取料摆臂12转动至竖直状态时,电动杆14和伸缩杆16缓慢伸长,直至气动吸盘17将芯片吸附固定在气动吸盘17的底部,随后伺服电机4继续转动,将取料摆臂12转动至合适角度后,气动吸盘17松开芯片,电动杆14和伸缩杆16复位。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (5)
1.一种用于半导体器件的甩臂取放装置,包括底板(1)和取料摆臂(12),其特征在于,所述底板(1)的顶部安装固定有第一竖板(2)和第二竖板(3),所述第一竖板(2)和第二竖板(3)的侧壁之间转动连接有转动轴(5),所述转动轴(5)的外周套接固定有驱动筒(6),所述第一竖板(2)的侧壁安装固定有伺服电机(4),所述伺服电机(4)的输出轴与转动轴(5)的端部固定连接,所述第一竖板(2)和第二竖板(3)的侧壁均安装固定有侧板(9),所述第一竖板(2)侧壁的侧板(9)侧壁通过销轴转动连接有从动筒(7),所述驱动筒(6)和从动筒(7)之间通过齿轮皮带(8)连接,所述第二竖板(3)侧壁的侧板(9)侧壁转动连接有连接轴(10),所述连接轴(10)的端部与销轴端部连接,所述连接轴(10)的外周安装固定有取料摆臂(12);
所述取料摆臂(12)的内部安装固定有电动杆(14),所述电动杆(14)的底部安装固定有安装块(15),所述安装块(15)的内部安装固定有伸缩杆(16),所述伸缩杆(16)的底部安装固定有气动吸盘(17)。
2.根据权利要求1所述的一种用于半导体器件的甩臂取放装置,其特征在于:所述取料摆臂(12)的侧壁卡接有门板(13)。
3.根据权利要求1所述的一种用于半导体器件的甩臂取放装置,其特征在于:所述连接轴(10)的外周安装固定有限位块(11),所述取料摆臂(12)构造有与限位块(11)适配的限位槽。
4.根据权利要求1所述的一种用于半导体器件的甩臂取放装置,其特征在于:所述侧板(9)的长度大于取料摆臂(12)的高度。
5.根据权利要求1所述的一种用于半导体器件的甩臂取放装置,其特征在于:所述第一竖板(2)和第二竖板(3)呈对称设置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN202122561036.5U CN216302619U (zh) | 2021-10-25 | 2021-10-25 | 一种用于半导体器件的甩臂取放装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202122561036.5U CN216302619U (zh) | 2021-10-25 | 2021-10-25 | 一种用于半导体器件的甩臂取放装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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CN216302619U true CN216302619U (zh) | 2022-04-15 |
Family
ID=81117400
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202122561036.5U Active CN216302619U (zh) | 2021-10-25 | 2021-10-25 | 一种用于半导体器件的甩臂取放装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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CN (1) | CN216302619U (zh) |
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