CN216210481U - 一种应用于阵列曝光真空干燥改善Mura的支撑装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种应用于阵列曝光真空干燥改善Mura的支撑装置,属于LCD面板技术领域,包括操作台、磁性承托板、支撑桩、支撑机构和气缸;本实用新型通过在磁性承托板的上表面开设有若干X轴方向的刻度线和若干沿Y轴方向的刻度线,便于精确调节支撑桩的放置位置;支撑桩通过设置磁性底座与磁性承托板通过磁力相互吸附,便于将支撑桩固定在任意位置,所以能够避免干燥过程中LCD液晶面板上因支撑桩导致光阻固化不均匀而导致Mura的出现,提高LCD液晶产品良率;本实用新型通过设置气缸和联动推杆,能够调节被干燥的LCD液晶面板距离干燥源的距离,实现对干燥速率的精确调控,提高干燥效果,提高LCD液晶面板性能。
Description
技术领域
本实用新型涉及LCD面板技术领域,具体是一种应用于阵列曝光真空干燥改善Mura的支撑装置。
背景技术
在LCD液晶面板制造行业阵列曝光(又称TFTPHOTO)工艺中,包含前清洗、光阻涂布、真空干燥、软烘烤、曝光、显影、硬烘烤等环节,最终定义出TFT图形;
真空干燥制程作为TFTPhoto的主要制程之一,是通过减压降低溶剂沸点的物理原理蒸发光阻溶剂,将LCD液晶面板上的光阻由液态转化为固态的工艺,在此制程过程中用于支撑LCD液晶面板的支撑柱(又称Pin),在与LCD液晶面板接触的位置易发生光阻固化不均匀的现象,从而导致Mura的产生。G8.5面板线经济切割可生产28寸、32寸、49寸、55寸、43寸混切等,根据市场需求,生产不同尺寸的产品。而当前用于支撑LCD液晶面板的支撑柱是固定位置的方式,以32寸的LCD液晶面板作为样板进行分布,将支撑柱布置在32寸Panel的交接处,使面板内无支撑柱接触,不会产生Mura。当生产其它尺寸的产品则,由于支撑柱为固定位置方式,故会有部分Pin与LCD液晶面板的接触位置在LCD液晶面板内,在LCD液晶面板上产生Mura,影响产品特性,尤其是生产4K/8K产品时,影响尤其严重,将直接导致面板由Y等级降低到L或K等级,导致产品只能以次品出售,大大降低了公司的利润率。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种应用于阵列曝光真空干燥改善Mura的支撑装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种应用于阵列曝光真空干燥改善Mura的支撑装置,包括操作台,所述支撑装置包括磁性承托板、支撑桩、支撑机构和气缸;所述磁性承托板的上表面设置有沿X轴方向的刻度线和沿Y轴方向的刻度线;所述磁性承托板的上表面固定连接有若干支撑桩,所述支撑桩包括磁性底座和支撑柱,所述磁性底座与磁性承托板通过磁力吸附连接;
所述磁性承托板的下表面固定连接有一对支撑机构,所述支撑机构包括支撑座一、支撑座二、活动支撑杆一和活动支撑杆二,一对所述支撑座一固定连接于磁性承托板的下表面,一对所述支撑座一排列在磁性承托板下表面的一条中线上并且一对所述支撑座一关于磁性承托板下表面的一条中线对称分布;一对所述支撑座二固定连接于操作台上并且一对所述支撑座二位于同一侧;
所述活动支撑杆一的顶端与支撑座一转动连接,所述活动支撑杆一的底端与支撑座二转动连接,所述支撑座二通过安装板固定连接于操作台上,所述活动支撑杆二的顶端与支撑座一转动连接,所述活动支撑杆二的底端与操作台滑动连接;一对所述活动支撑杆二通过联动推杆连接;
所述操作台上还固定安装有气缸,所述气缸固定的端部通过L型连接板固定安装于操作台上,所述气缸的活动的端部固定连接于联动推杆上。
作为一种优选方案,上述磁性底座上开设有凹槽。
作为一种优选方案,上述活动支撑杆二的底端固定连接有滚轮,所述滚轮与操作台滚动连接。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
1、本实用新型通过在磁性承托板的上表面开设有若干X轴方向的刻度线和若干沿Y轴方向的刻度线,便于根据需要干燥的LCD液晶面板的尺寸精确调节支撑桩的放置位置;支撑桩通过设置磁性底座与磁性承托板通过磁力相互吸附,便于将支撑桩固定在任意位置,所以能够避免干燥过程中LCD液晶面板上因支撑桩导致光阻固化不均匀而导致Mura的出现,提高LCD液晶产品良率,提高收益;通过在磁性底座上开设有凹槽,能够通过螺丝刀插入凹槽中,翘起磁性底座,便于将磁性底座与磁性承托板分离。
2、本实用新型通过设置气缸和联动推杆,能够同时推动一对活动支撑杆二,使其同步转动,进而带动一对活动支撑杆一同步转动,实现磁性承托板的高度调节。通过调节磁性承托板的高度能够调节被干燥的LCD液晶面板距离干燥源的距离,实现对干燥速率的精确调控,提高干燥效果,提高LCD液晶面板性能;通过设置滚轮,能够降低转动活动支撑杆二时的阻力,确保转动操作更流畅。
附图说明
图1为一种应用于阵列曝光真空干燥改善Mura的支撑装置第一视角结构示意图;
图2为图1中A处结构放大示意图;
图3为图1中B处结构放大示意图;
图4为一种应用于阵列曝光真空干燥改善Mura的支撑装置第一视角结构示意图;
图5为一种应用于阵列曝光真空干燥改善Mura的支撑装置第三视角结构示意图。
图中:1、操作台;2、磁性承托板;3、支撑桩;301、磁性底座;302、支撑柱;4、支撑机构;401、支撑座一;402、支撑座二;403、活动支撑杆一;404、活动支撑杆二;5、气缸;6、刻度线;7、安装板;8、联动推杆;9、L型连接板;10、凹槽;11、滚轮。
具体实施方式
为了使本领域的技术人员更好地理解本申请方案,下面将结合本申请实施例中的附图对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述,显然,所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例,而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动成果前提下所获得的所有其他实施例,都应当属于本申请保护的范围。
需要说明的是,在不冲突的情况下,本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合,下面将参考附图1-5,并结合实施例来详细说明本申请。
请参阅图1~5,一种应用于阵列曝光真空干燥改善Mura的支撑装置,包括操作台1,磁性承托板2的上表面设置有沿X轴方向的刻度线6和沿Y轴方向的刻度线6,沿X轴方向的刻度线6供有若干,沿Y轴方向的刻度线6也有若干,若干沿X轴方向的刻度线6和若干沿Y轴方向的刻度线6在磁性承托板2的上表面相交形成一个个方格,该方格便于根据需要干燥的LCD液晶面板的尺寸精确调节支撑桩3的放置位置;磁性承托板2的上表面固定连接有若干支撑桩3,支撑桩3包括磁性底座301和支撑柱302,磁性底座301与磁性承托板2通过磁力吸附连接;磁性承托板2和磁性底座301之间相互吸引;磁性底座301与磁性承托板2通过磁吸引力固定连接,能够将支撑桩3固定在任意位置;磁性底座301上开设有凹槽10,采用螺丝刀插入凹槽10中,翘起磁性底座301,将磁性底座301与磁性承托板2分离,便于移动固定桩操作;
磁性承托板2的下表面固定连接有一对支撑机构4,支撑机构4包括支撑座一401、支撑座二402、活动支撑杆一403和活动支撑杆二404,一对支撑座一401固定连接于磁性承托板2的下表面,一对支撑座一401排列在磁性承托板2下表面的一条中线上并且一对支撑座一401关于磁性承托板2下表面的一条中线对称分布;一对支撑座二402固定连接于操作台1上并且一对支撑座二402位于同一侧;一对支撑座一401沿着磁性承托板2下端面的一条中线排列并且一对支撑座一401关于磁性承托板2下端面的另一条中线对称分布,能够对整个磁性LCD液晶面板起到平衡支撑功能;
活动支撑杆一403的顶端与支撑座一401转动连接,活动支撑杆一403的底端与支撑座二402转动连接,支撑座二402通过安装板7固定连接于操作台1上,活动支撑杆二404的顶端与支撑座一401转动连接,活动支撑杆二404的底端固定连接有滚轮11,滚轮11与操作台1滚动连接。滚轮11与操作台1滚动连接,活动支撑杆一403与支撑座二402共同作用支撑支撑座一401,所以滚轮11和活动支撑杆二404共同作用对支撑座一401起到支撑作用;滚轮11与操作台1滚动连接,还能够推动活动支撑杆二404的阻力;一对活动支撑杆二404通过联动推杆8连接;气缸5固定的端部通过L型连接板9固定安装于操作台1上,气缸5的活动的端部固定连接于联动推杆8上;气缸5伸长,推动联动推杆8,联动推杆8带动一对活动支撑杆二404围绕支撑座一401转动,一对活动支撑杆二404与地面的夹角越来越大,与此同时,一对活动支撑杆一403与地面的夹角也越来越大,所以磁性承托板2的高度提高;反之,气缸5缩短,一对活动支撑杆二404与地面的夹角越来越小,与此同时,一对活动支撑杆一403与地面的夹角也越来越小,所以磁性承托板2的高度下降。
本实施例通过在磁性承托板2的上表面开设有若干X轴方向的刻度线6和若干沿Y轴方向的刻度线6,便于根据需要干燥的LCD液晶面板的尺寸精确调节支撑桩3的放置位置;支撑桩3通过设置磁性底座301与磁性承托板2通过磁力相互吸附,便于将支撑桩3固定在任意位置;通过在磁性底座301上开设有凹槽10,能够通过螺丝刀插入凹槽10中,翘起磁性底座301,便于将磁性底座301与磁性承托板2分离;通过设置气缸5和联动推杆8,能够同时推动一对活动支撑杆二404,使其同步转动,进而带动一对活动支撑杆一403同步转动,实现磁性承托板2的高度调节;通过设置滚轮11,能够降低转动活动支撑杆二404时的阻力,确保转动操作更流畅。
本实施例的工作原理:沿X轴方向的刻度线6供有若干,沿Y轴方向的刻度线6也有若干,若干沿X轴方向的刻度线6和若干沿Y轴方向的刻度线6在磁性承托板2的上表面相交形成一个个方格,该方格便于支撑桩3根据需要干燥的LCD液晶面板的尺寸定位;磁性承托板2和磁性底座301之间相互吸引;磁性底座301与磁性承托板2通过磁吸引力固定连接,能够将支撑桩3固定在任意位置;磁性底座301上开设有凹槽10,采用螺丝刀插入凹槽10中,翘起磁性底座301,将磁性底座301与磁性承托板2分离,便于移动固定桩操作;一对支撑座一401沿着磁性承托板2下端面的一条中线排列并且一对支撑座一401关于磁性承托板2下端面的另一条中线对称分布,能够对整个磁性LCD液晶面板起到平衡支撑功能;滚轮11与操作台1滚动连接,活动支撑杆一403与支撑座二402共同作用支撑支撑座一401,所以滚轮11和活动支撑杆二404共同作用对支撑座一401起到支撑作用;滚轮11与操作台1滚动连接,还能够推动活动支撑杆二404的阻力;气缸5伸长,推动联动推杆8,联动推杆8带动一对活动支撑杆二404围绕支撑座一401转动,一对活动支撑杆二404与地面的夹角越来越大,与此同时,一对活动支撑杆一403与地面的夹角也越来越大,所以磁性承托板2的高度提高;反之,气缸5缩短,一对活动支撑杆二404与地面的夹角越来越小,与此同时,一对活动支撑杆一403与地面的夹角也越来越小,所以磁性承托板2的高度下降。
以上的,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种应用于阵列曝光真空干燥改善Mura的支撑装置,包括操作台(1),其特征在于,所述支撑装置包括磁性承托板(2)、支撑桩(3)、支撑机构(4)和气缸(5);所述磁性承托板(2)的上表面设置有沿X轴方向的刻度线(6)和沿Y轴方向的刻度线(6);所述磁性承托板(2)的上表面固定连接有若干支撑桩(3),所述支撑桩(3)包括磁性底座(301)和支撑柱(302),所述磁性底座(301)与磁性承托板(2)通过磁力吸附连接;
所述磁性承托板(2)的下表面固定连接有一对支撑机构(4),所述支撑机构(4)包括支撑座一(401)、支撑座二(402)、活动支撑杆一(403)和活动支撑杆二(404),一对所述支撑座一(401)固定连接于磁性承托板(2)的下表面,一对所述支撑座一(401)排列在磁性承托板(2)下表面的一条中线上并且一对所述支撑座一(401)关于磁性承托板(2)下表面的一条中线对称分布;一对所述支撑座二(402)固定连接于操作台(1)上并且一对所述支撑座二(402)位于同一侧;
所述活动支撑杆一(403)的顶端与支撑座一(401)转动连接,所述活动支撑杆一(403)的底端与支撑座二(402)转动连接,所述支撑座二(402)通过安装板(7)固定连接于操作台(1)上,所述活动支撑杆二(404)的顶端与支撑座一(401)转动连接,所述活动支撑杆二(404)的底端与操作台(1)滑动连接;一对所述活动支撑杆二(404)通过联动推杆(8)连接;
所述操作台(1)上还固定安装有气缸(5),所述气缸(5)固定的端部通过L型连接板(9)固定安装于操作台(1)上,所述气缸(5)的活动的端部固定连接于联动推杆(8)上。
2.根据权利要求1所述的一种应用于阵列曝光真空干燥改善Mura的支撑装置,其特征在于,所述磁性底座(301)上开设有凹槽(10)。
3.根据权利要求1所述的一种应用于阵列曝光真空干燥改善Mura的支撑装置,其特征在于,所述活动支撑杆二(404)的底端固定连接有滚轮(11),所述滚轮(11)与操作台(1)滚动连接。
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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Family
ID=80917868
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country | Link |
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