CN203918338U - 靶材翻转机 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种靶材翻转机，包括：基座、翻转机构，以及夹持组件。翻转机构包括通过第一转轴活动连接在基座上的翻转支架，翻转支架可沿第一轴线翻转；夹持组件通过第二转转轴活动安装在翻转支架上，且可绕第二转轴旋转。夹持组件夹持住表面涂覆有焊料的靶材基材后，由翻转支架绕第一转轴旋转，使靶材基材绕第一转轴翻转特定角度，离开原先位置；在将夹持组件绕第二转轴旋转，使靶材基材翻转一定角度后，如翻转180°，调整靶材基材绕第一转轴的旋转角度，将翻转后的靶材基材涂覆有焊料的表面贴合在背板上，并进行焊接等工艺。靶材翻转机可提高靶材基材翻转效率，以及靶材基材翻转的安全性和稳定性，进而提高后续进行的靶材焊接的质量。

Description

靶材翻转机

技术领域

本实用新型涉及溅射靶材制造领域，尤其是涉及一种靶材翻转机。

背景技术

液晶显示器(LCD)以其无辐射、省电、所占空间小等优点逐渐取代传统CRT显示器，其已经广泛应用到生产、生活的各个领域，比如电脑显示器、笔记本电脑、平板电脑、手机、电视、监控设备、工业控制仪表等。而且据统计显示，液晶显示器仍以每年10％以上增长以顺应市场需求。

为了满足发展的需要，LCD的生产技术也进行着日新月异的更新，在短短的数年时间内，LCD已经历了数代发展。而每一世代LCD的更替，都代表在用于制备LCD的玻璃基板面积的又一次跃进。而基于LCD的玻璃基板面积越来越大，为得到良好的镀膜品质，对于LCD制备起重要作用的靶材面积也随之增大。

靶材通常由符合溅射性能的靶材基材和与所述靶材基材结合、具有一定强度的背板构成。在制造过程中，液晶显示器用靶材基材在焊接、喷砂、包装过程中需要反复翻转作业。

参考图1所示，如在焊接过程中，需要先在靶材基材13和背板10放置在加热平台上，并在靶材基材13的待焊接面14，以及背板10的待焊接面上分别涂覆焊料12和15；在待焊料12和15熔化后，翻转靶材基材13，结合参考图2所示，使所述靶材基材13的待焊接面14和背板10的待焊接面11相对，将靶材基材13覆盖在所述背板10上，实现靶材基材13和背板10焊接，以形成靶材。

然而，随着靶材基材13面积、重量增加，靶材基材13加热后的翻转难度随之增加。现有的通过人工翻转的方式，极易导致靶材基材变形、划伤，以及靶材基材和背板对准度差等缺陷，靶材基材的翻转作业安全性和稳定性差；此外，人工翻转方式所需时间较长，在加热后的靶材基材的翻转过程中，极易出现焊料氧化等缺陷，从而造成靶材焊接强度弱，结合率差等质量问题。

因而如何在提高靶材基材翻转效率、以及翻转作业的安全性和稳定性，以提高焊接后的靶材质量是本领域技术人员亟需解决的问题。

实用新型内容

本实用新型解决的问题是提供一种靶材翻转机，以提高靶材制造过程中，靶材翻转的安全性和稳定性，以及靶材的翻转效率，进而提高后续焊接后的靶材质量。

为解决上述问题，本实用新型提供的靶材翻转机包括：

基座；

翻转机构，包括翻转支架，所述翻转支架通过第一转轴活动连接在所述基座上，所述翻转支架能够绕所述第一转轴翻转；

夹持组件，用于夹持靶材基材或背板，所述夹持组件通过第二转轴安装在所述翻转支架上，且所述夹持组件能够绕所述第二转轴在所述翻转支架上旋转。

可选地，所述夹持组件包括两组夹板，所两组夹板能够沿第一方向相向或相背移动。

可选地，所述夹持组件还包括沿第一方向延伸的轨道，所述两组夹板安装所述轨道上。

可选地，一组所述夹板包括至少两条夹持臂。

可选地，所述夹持组件和翻转支架之间还设有旋转角度调节装置，用于调节所述夹持组件绕所述第二转轴轴向的旋转角度。

可选地，所述旋转角度调节装置包括：

固定在所述翻转支架上的限位盘，所述第二转轴一端安装在所述限位盘上；

固定在所述夹持组件上的转盘，所述转盘贴合在所述限位盘表面，所述第二转轴另一端安装在所述转盘上，且所述转盘能够绕所述第二转轴的轴向旋转；

在所述转盘和所述限位盘的贴合面上设有多个绕所述第二转轴轴向设置的定位点。

可选地，在所述转盘和所述限位盘的贴合面上至少包括两个以第二转轴为中心呈中心对称的定位点。

可选地，所述翻转机构还包括翻转角度调节装置，用于控制所述翻转支架绕所述第一转轴翻转的角度。

可选地，所述翻转角度调节装置包括伸缩气杆，所述伸缩气杆的一端安装在所述基座，另一端安装在所述翻转支架。

可选地，所述第一转轴和第二转轴垂直。

可选地，所述第一方向垂直于所述第二转轴。

可选地，所述第一转轴水平向设置。

可选地，在所述基座底部设有滚轮。

与现有技术相比，本实用新型的技术方案具有以下优点：

靶材翻转机包括通过第一转轴活动连接在基座上的翻转支架，所述翻转支架可绕第一轴线翻转；以及通过第二转转轴活动安装在所述翻转支架上的夹持组件，所述夹持组件可绕第二转轴旋转。使用过程中，所述夹持组件夹持住表面涂覆有焊料的靶材基材(或背板)后，由所述翻转支架绕第一转轴旋转，使靶材基材(或背板)绕第一转轴翻转特定角度，远离原先位置，在将所述夹持组件绕第二转轴旋转，使所述靶材基材(或背板)翻转一定角度后，如翻转180°，再通过调整所述靶材基材(或背板)绕第一转轴的旋转角度，将翻转后的靶材基材(或背板)的涂覆有焊料的表面贴合在所述背板(或靶材基材)上，并进行焊接等工艺。通过上述技术方案在提高所述靶材基材(或背板)翻转效率的同时，还可有效提高所述靶材基材(或背板)翻转的安全性和稳定性，进而提高后续进行的靶材焊接的质量。

进一步地，所述第一转轴水平向设置，在使用过程中，翻转机的夹持组件夹住表面涂覆有焊料的靶材基材(或背板)后，所述翻转支架可绕所述水平方向旋转，从而将靶材基材(或背板)抬起；并在通过第二转轴将所述靶材基材(或背板)翻转一定角度后，如翻转180°，再通过调整所述靶材基材(或背板)绕水平向旋转，将翻转后的靶材基材(或背板)的涂覆有焊料的表面贴合在所述背板(或靶材基材)上，通过上述技术方案从而进一步提高靶材基材(或背板)翻转的稳定性。

进一步地，所述夹持组件包括两组夹板，通过所述两组夹板用于夹持表面涂覆有焊料的靶材基材(或背板)；而且所述两组夹板能够沿第一方向相向或相背移动，从而可调整夹持组件所固定的靶材基材(或背板)沿第一方向移动，以调整靶材基材(或背板)沿第一方向的位置，从而提高靶材基材(或背板)移动灵活性，进而提高靶材基材(或背板)移动安全性和稳定性。

附图说明

图1和图2为现有的靶材制造过程中，靶材基材和背板的焊接工艺示意图；

图3为本实用新型靶材翻转机一实施例的立体结构示意图；

图4为图3中靶材翻转机一侧面的结构示意图；

图5为图3中靶材翻转机的翻转支架的结构示意图；

图6为图3中靶材翻转机的夹持组件的结构示意图。

具体实施方式

如背景技术所述，诸如LCD液晶制备领域等大面积镀膜工艺需要，靶材的尺寸不断增大，而基于靶材尺寸增加后，靶材体积、重量的增加使得制备的焊接工艺中，靶材基材(或背板)的翻转难度随之增加，现有的靶材基材(或背板)的翻转工艺容易出现靶材基材变形、划伤，靶材基材和背板对准度差等缺陷，而且靶材基材翻转效率低下，致使靶材基材和背板上的焊料出现氧化等缺陷，从而造成后续焊接工艺后，形成的靶材的焊接强度弱，结合率差等质量问题。

为此，本实用新型提供了一种靶材翻转机。所述靶材翻转机包括基座、翻转机构，以及夹持组件。所述翻转机构包括通过第一转轴活动连接在基座上的翻转支架，所述翻转支架可绕第一轴线翻转；所述夹持组件通过第二转转轴活动安装在所述翻转支架上，所述夹持组件用于夹持靶材基材(或背板)，所述夹持组件可绕第二转轴旋转。使用时，所述夹持组件夹持住表面涂覆有焊料的靶材基材(或背板)后，由所述翻转支架绕第一转轴旋转，使靶材基材(或背板)绕第一转轴翻转特定角度，远离原先位置；在将所述夹持组件绕第二转轴旋转，使所述靶材基材(或背板)翻转一定角度，如翻转180°，使靶材基材(或背板)翻身后，之后再通过调整所述靶材基材(或背板)绕第一转轴的旋转角度，将翻转后的靶材基材(或背板)的涂覆有焊料的表面贴合在所述背板(或靶材基材)上，并进行焊接等工艺。

通过上述技术方案在提高所述靶材基材(或背板)翻转效率同时，还可有效提高所述靶材基材(或背板)翻转的对准精度，并且可有效减少靶材基材(或背板)出现变形、划伤等缺陷，提高靶材翻转的安全性和稳定性，进而提高后续进行的焊接工艺后，获得的靶材的质量。

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。

图3～图6是本实用新型靶材翻转机一实施例的结构示意图。

结合参考图3和图4所示，本实施例提供的靶材翻转机包括：

基座100和安装在所述基座100上的翻转机构，所述翻转机构包括翻转支架20，在所述翻转支架20上装有用于夹持靶材基材(或背板)的夹持组件30。

其中，所述基座100和翻转支架20通过第一转轴23活动连接，使得所述翻转支架20可以绕所述第一转轴23转动，从而带动所述夹持组件30，以及夹持组件30所夹持的靶材基材(或背板)沿A-A向移动。

再结合参考图5所示，图5为本实施例中，所述翻转支架20的结构示意图。

本实施例中，所述翻转支架20包括呈长条形的主板21，以及位于所述主板21两端的两块侧板22，两块侧板22呈折状固定在所述主板21的两端，且在所述侧板22上开设通孔221，以用于安装第一转轴23。

本实施例中，所述翻转支架20通过主板21两端的两个第一转轴23活动安装在基座100上，从而提高翻转支架20翻转稳定性。

本实施例中，所述两个第一转轴23呈水平向设置，且两个第一转轴23的轴线位于同一直线上，使得所述翻转支架20绕水平向翻转。

本实施例中，所述翻转机构还包括安装所述基座100上的翻转角度调节装置，用于控制所述翻转支架20绕所述第一转轴23翻转的角度。

结合参考图3所示，所述翻转角度调节装置包括伸缩气杆103，所述伸缩气杆103一端通过转轴活动连接在所述基座100上，另一端通过另一转轴活动连接在所述翻转支架20。使用过程中，通过调整所述伸缩气杆103长度，以推动所述翻转支架20转动。

值得注意的是，所述翻转角度调节装置还包括诸如气缸，以及设置在所述基座100上以用于控制所述伸缩气杆103伸缩的控制手杆101等部件。上述部件为本领域成熟技术，再次不再赘述。

本实施例中，在所述基座100的底部安装有滚轮102，便于所述靶材翻转机移动。

再参考图4所示，所述夹持组件30通过第二转轴50与所述翻转支架20活动连接，且所述夹持组件30可绕所述第二转轴50的轴向旋转。

使用过程中，在靶材基材(或背板)的上表面涂覆有焊料后，以所述夹持组件30夹持住靶材基材(或背板)后，控制所述翻转支架20逆时针旋转，可选地翻转角度小于或等于90°，抬起靶材基材(或背板)；之后使所述夹持组件30绕第二转轴50旋转，如旋转180°，完成靶材基材(或背板)翻转；之后在通过所述基座100下方的滚轮102将靶材基材(或背板)移动至背板(或靶材基材)放置位置处后，调整所述翻转支架20顺指针旋转，使得所述靶材涂覆有焊料的表面贴合在背板(或靶材基材)上。

通过上述运作，可提高靶材基材(或背板)翻转效率同时，可提高靶材基材(或背板)对准精度，且将靶材基材(或背板)抬起，翻转等一系列动作可降低靶材出现磕碰、损伤概率，提高靶材翻转的安全性和稳定性；此外，提高靶材基材(或背板)翻转效率，可在靶材基材(或背板)表面涂覆焊料后，迅速完成靶材基材(或背板)的结合，避免焊料过长时间地暴露在空气中而出现氧化等缺陷，从而提高靶材基材和背板的焊接质量。

结合参考图5所示，本实施例中，所述第二转轴50垂直于所述第一转轴23。具体地，在所述翻转支架20的主板21上开设开孔211，所述第二转轴50可安装在所述开孔211内，且所述第二转轴50垂直所述主板21。

本实施例中，所述夹持组件30和翻转支架20之间还设有旋转角度调节装置，用于调节所述夹持组件30绕所述第二转轴50轴向的旋转角度，进而提高调整所述夹持组件30夹持的靶材基材(或背板)的翻转角度。

本实施例中，所述旋转角度调节装置包括：

固定在所述翻转支架20上的限位盘42以及固定在所述夹持组件30上的转盘41，所述转盘41表面贴合在所述限位盘42的表面。所述第二转轴50一端穿过所述限位盘42内固定在所述主板21的开孔211内，而所述第二转轴50另一端安装在所述转盘42上。具体地，可在所述转盘42内设安装孔，所述第二转轴50的另一端插入所述安装孔内，从而可使得所述转盘42能够绕所述第二转轴50旋转，进而使得所述夹持组件30绕所述第二转轴50的轴向旋转。

在除本实施例外的其他实施例中，所述第二转轴50的一端可固定在所述转盘41上，而另一端穿过所述限位盘42后，插入所述翻转支架20的主板21的开孔211内，并绕所述开孔211中心(也即所述第二转轴50的轴向)旋转。

此外，所述旋转角度调节装置还可包括电机等部件，以用于控制所述第二转轴50的旋转角角度。如在所述翻转支架20上安装电机，所述电机的蜗杆与所述第二转轴50安装在所述翻转支架20上的一端的端部固定连接，所述第二转轴50的另一端固定在所述转盘41上，从而由电机控制所述第二转轴50旋转，进而控制夹持组件30旋转，这些简单的改变均在本实用新型的保护范围内。

本实施例中，所述转盘41和限位盘42表面贴合的结构，可在所述翻转支架20翻转过程中，所述转盘41和限位盘42分担部分所述第二转轴50垂直于轴向所承受的力，避免所述第二转轴50发生弯曲等缺陷，从而影响夹持组件30绕第二转轴50轴向旋转。

当然，在所述转盘41和限位盘42之间可设置诸如滚珠，或是轴承等结构，从而降低转盘41和限位盘42之间的摩擦力，提高夹持组件30绕第二转轴50轴向旋转的顺畅度。这些技术为本领域的成熟技术，具体结构在此不再赘述。

本实施例中，所述转盘41和所述限位盘42的贴合面上设有多个绕所述第二转轴50轴向设置的角度定位点，所述角度定位点包括诸如卡锁等结构，从而提高所述夹持组件30绕所述第二转轴50轴向旋转的精度，以及夹持组件30旋转定位后的稳定性，进而调整夹持组件30所夹持的靶材基材(或背板)的翻转精度和稳定性。

在本实施例中，在所述转盘41和所述限位盘42的贴合面上至少包括两个以所述第二转轴50为中心呈中心对称的定位点，以实现靶材基材(或背板)翻转。

结合参考图3、图4和图6所示，图6为图3和图4中的夹持组件20的结构示意图。

本实施例中，所述夹持组件30包括两组夹板31和32。所两组夹板31和32能够沿第一方向相向或相背移动。使用时，靶材基材(或背板)固定在两组夹板31和32之间，通过夹板31和32移动，可进一步调整靶材基材(或背板)在第一方向上的位置移动。

可选地，一组所述夹板31(或32)包括至少两条夹持臂，如参考图6所示，所述夹板31包括两条平行设置的夹持臂311，夹板32包括两条平行设置的夹持臂321。如在使用时，两条所述夹持臂311(和321)可分别夹持靶材基材(或背板)的相对两端，从而提高夹持组件30夹持靶材基材(或背板)的稳定性。

可选地，所述夹持组件还包括沿第一方向延伸的轨道，所述两组夹板安装所述轨道上，并可沿所述轨道延伸方向移动。

本实施例中，所述第一方向垂直于所述第二转轴50的轴向。

本实施例中，所述夹持组件30包括固定在所述转盘41上的两条平行设置的轨道33，所述两组夹板31和32安装所述轨道33上，从而稳定移动。

值得注意的是，所述靶材翻转机上还可包括用于控制所述两组夹板31和32移动的控制机构，所述控制机构为本领域的成熟技术，在此不再赘述。

在使用过程中，通过所述夹持组件30的两组夹板31和32的移动，以实现靶材基材(或背板)的夹持和松开，此外，在所述两组夹板31和32夹持住靶材基材(或背板)后，先在所述轨道33上沿第一方向移动，以微调靶材基材(或背板)的位置，之后再通过所述翻转支架20进一步调整靶材基材(或背板)的高度，并通过第二转轴50实现靶材基材(或背板)翻转。上述夹持组件30沿第一方向移动的技术方案可进一步提高所述靶材基材(或背板)移动灵活性，降低靶材基材(或背板)出现磕碰损伤的几率，进而提高靶材基材(或背板)移动安全性和稳定性。

虽然本实用新型披露如上，但本实用新型并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本实用新型的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (13)

1.一种靶材翻转机，其特征在于，包括：

基座；

翻转机构，包括翻转支架，所述翻转支架通过第一转轴活动连接在所述基座上，所述翻转支架能够绕所述第一转轴翻转；

夹持组件，用于夹持靶材基材或背板，所述夹持组件通过第二转轴安装在所述翻转支架上，且所述夹持组件能够绕所述第二转轴在所述翻转支架上旋转。

2.如权利要求1所述的靶材翻转机，其特征在于，所述夹持组件包括两组夹板，所两组夹板能够沿第一方向相向或相背移动。

3.如权利要求2所述的靶材翻转机，其特征在于，所述夹持组件还包括沿第一方向延伸的轨道，所述两组夹板安装所述轨道上。

4.如权利要求2所述的靶材翻转机，其特征在于，一组所述夹板包括至少两条夹持臂。

5.如权利要求1所述的靶材翻转机，其特征在于，所述夹持组件和翻转支架之间还设有旋转角度调节装置，用于调节所述夹持组件绕所述第二转轴轴向的旋转角度。

6.如权利要求5所述的靶材翻转机，其特征在于，所述旋转角度调节装置包括：

固定在所述翻转支架上的限位盘，所述第二转轴一端安装在所述限位盘上；固定在所述夹持组件上的转盘，所述转盘贴合在所述限位盘表面，所述第二转轴另一端安装在所述转盘上，且所述转盘能够绕所述第二转轴的轴向旋转；

在所述转盘和所述限位盘的贴合面上设有多个绕所述第二转轴轴向设置的定位点。

7.如权利要求6所述的靶材翻转机，其特征在于，在所述转盘和所述限位盘的贴合面上至少包括两个以第二转轴为中心呈中心对称的定位点。

8.如权利要求1所述的靶材翻转机，其特征在于，所述翻转机构还包括翻转角度调节装置，用于控制所述翻转支架绕所述第一转轴翻转的角度。

9.如权利要求8所述的靶材翻转机，其特征在于，所述翻转角度调节装置包括伸缩气杆，所述伸缩气杆的一端安装在所述基座，另一端安装在所述翻转支架。

10.如权利要求1所述的靶材翻转机，其特征在于，所述第一转轴和第二转轴垂直。

11.如权利要求2所述的靶材翻转机，其特征在于，所述第一方向垂直于所述第二转轴。

12.如权利要求1所述的靶材翻转机，其特征在于，所述第一转轴水平向设置。

13.如权利要求1所述的靶材翻转机，其特征在于，在所述基座底部设有滚轮。