CN216198977U - 干式无油双级螺杆真空泵 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种干式无油双级螺杆真空泵，其包括电机、一级干式螺杆真空泵本体和二级干式螺杆真空泵本体，所述一级干式螺杆真空泵本体的排气端与所述二级干式螺杆真空泵本体的进气端相连通，所述电机的输出齿轮均与所述一级干式螺杆真空泵本体的第一齿轮、所述二级干式螺杆真空泵本体的第二齿轮相啮合。本实用新型的干式无油双级螺杆真空泵，一级干式螺杆真空泵本体和二级干式螺杆真空泵本体都通过电机驱动，实现抽气速度快，真空度高；且无其他介质进入，无须增加更大的后处理设置，避免了因其他媒介的进入的二次污染；同时，结构紧凑，占地空间小。

Description

干式无油双级螺杆真空泵

技术领域

本实用新型涉及一种真空技术领域，特别涉及一种干式无油双级螺杆真空泵。

背景技术

目前真空技术在半导体工业、电子工业、薄膜制备等工艺过程的应用，迫切需求无油气污染的清洁真空。此外在一些制造工艺中，被抽气体往往有腐蚀性蒸气或固体颗粒，严重影响油封泵的使用寿命。因此，干式真空泵被广泛应用在10⁵Pa～0.1Pa区域，以满足对无油气制程的需求。

随着基础工业的不断发展与进步，普通的干式螺杆真空泵和普通湿式真空泵已不能完全满足客户日益增长的洁净高真空、高抽速、高能效及场地规模的需求。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服现有存在的上述不足，本实用新型提供一种干式无油双级螺杆真空泵。

本实用新型是通过以下技术方案实现的：

一种干式无油双级螺杆真空泵，其包括至少一个电机、一级干式螺杆真空泵本体和二级干式螺杆真空泵本体，所述一级干式螺杆真空泵本体的排气端与所述二级干式螺杆真空泵本体的进气端相连通，所述电机的输出齿轮与所述一级干式螺杆真空泵本体的第一齿轮、所述二级干式螺杆真空泵本体的第二齿轮相啮合。

进一步地，所述一级干式螺杆真空泵本体的第一齿轮的齿数大于所述二级干式螺杆真空泵本体的第二齿轮的齿数。

进一步地，所述一级干式螺杆真空泵本体的进气端具有进气管路，所述进气管路上设置有进气消音器；

和/或，所述进气管路上设置有进气过滤器；

和/或，所述进气管路上设置有真空进气阀。

进一步地，所述干式无油双级螺杆真空泵还包括第一冷却装置，所述第一冷却装置的进口连接于所述一级干式螺杆真空泵本体的排气端并与所述一级干式螺杆真空泵本体相连通；

优选地，所述干式无油双级螺杆真空泵还包括气水分离器，所述第一冷却装置的出口连接于所述气水分离器，所述气水分离器的排气口连接于所述二级干式螺杆真空泵本体的进气端。

进一步地，所述二级干式螺杆真空泵本体的排气端具有排气管路，所述排气管路上设置有排气消音器。

进一步地，所述干式无油双级螺杆真空泵还包括第二冷却装置，所述第二冷却装置连接于所述一级干式螺杆真空泵本体和所述二级干式螺杆真空泵本体并用于对所述一级干式螺杆真空泵本体和所述二级干式螺杆真空泵本体进行冷却降温；

和/或，所述第二冷却装置连接于所述排气消音器的外表面并用于对所述排气消音器进行冷却降温。

进一步地，所述干式无油双级螺杆真空泵还包括供油箱、管路和疏油器，所述管路的两端分别连接于所述供油箱和所述疏油器并与所述供油箱和所述疏油器相连通，所述疏油器分流并连接于所述电机的输出齿轮、所述一级干式螺杆真空泵本体的第一齿轮和所述二级干式螺杆真空泵本体的第二齿轮。

进一步地，所述管路上具有齿轮泵；

和/或，所述管路上具有温控机油过滤器；

和/或，所述管路上具有第三冷却装置。

进一步地，所述干式无油双级螺杆真空泵还包括溢流阀，所述溢流阀的两端分别连接于所述管路和所述供油箱，以使所述管路内达到一定的压力时，所述管路内的油返回至所述供油箱内；

和/或，所述供油箱具有油箱呼吸阀。

进一步地，所述电机的数量为一个，一个所述电机的输出齿轮均与所述一级干式螺杆真空泵本体的第一齿轮、所述二级干式螺杆真空泵本体的第二齿轮相啮合；

或者，所述电机的数量为两个，两个所述电机分别与所述一级干式螺杆真空泵本体、所述二级干式螺杆真空泵本体传动连接。

本实用新型的有益效果在于：

本实用新型的干式无油双级螺杆真空泵，一级干式螺杆真空泵本体和二级干式螺杆真空泵本体都通过电机驱动，实现抽气速度快，真空度高；且无其他介质进入，无须增加更大的后处理设置，避免了因其他媒介的进入的二次污染；同时，结构紧凑，占地空间小。

附图说明

图1为本实用新型实施例的干式无油双级螺杆真空泵的立体结构示意图。

图2为本实用新型实施例的干式无油双级螺杆真空泵的结构示意图。

附图标记说明：

电机1

一级干式螺杆真空泵本体2

进气消音器21

进气过滤器22

真空进气阀23

二级干式螺杆真空泵本体3

排气消音器31

第一冷却装置4

气水分离器5

供油箱6

油箱呼吸阀61

管路7

齿轮泵71

温控机油过滤器72

第三冷却装置73

疏油器8

溢流阀9

具体实施方式

以下各实施例的说明是参考附图，用以示例本实用新型可以用以实施的特定实施例。

如图1和图2所示，本实施例公开了一种干式无油双级螺杆真空泵，该干式无油双级螺杆真空泵包括至少一个电机1、一级干式螺杆真空泵本体2和二级干式螺杆真空泵本体3，一级干式螺杆真空泵本体2的排气端与二级干式螺杆真空泵本体3的进气端相连通，电机1的输出齿轮与一级干式螺杆真空泵本体2的第一齿轮、二级干式螺杆真空泵本体3的第二齿轮相啮合。

在本实施例的干式无油双级螺杆真空泵中，电机1驱动齿轮箱内的输出齿轮旋转，齿轮箱内中间一输出齿轮，两边各有一级干式螺杆真空泵本体2的第一齿轮和二级干式螺杆真空泵本体3的第二齿轮，第一齿轮和第二齿轮与泵体同轴。电机1的输出齿轮旋转，将会驱动左、右两边的第一齿轮和第二齿轮高速旋转，第一齿轮和第二齿轮各自旋转，各自带动一级干式螺杆真空泵本体2的排气端与二级干式螺杆真空泵本体3旋转，进行真空抽取。一级干式螺杆真空泵本体2和二级干式螺杆真空泵本体3都通过电机1驱动，实现抽气速度快，真空度高；且无其他介质进入，无须增加更大的后处理设置，避免了因其他媒介的进入的二次污染；同时，结构紧凑，占地空间小。

在本实施例中，电机1的数量为一个，一个电机1的输出齿轮均与一级干式螺杆真空泵本体2的第一齿轮、二级干式螺杆真空泵本体3的第二齿轮相啮合。当然，在其他实施例中，电机1的数量为两个，两个电机1分别与一级干式螺杆真空泵本体2、二级干式螺杆真空泵本体3传动连接。

一级干式螺杆真空泵本体2的第一齿轮的齿数大于二级干式螺杆真空泵本体3的第二齿轮的齿数。通过第一齿轮的齿数大于第二齿轮的齿数，使得二级干式螺杆真空泵本体3的转速大于等于一级干式螺杆真空泵本体2的转速，因二级干式螺杆真空泵本体3的转速高，抽速更快，所以不会产生真空泵体之间的“串气”现象，大大提高了干式无油双级螺杆真空泵的安全稳定性。

其中，一级干式螺杆真空泵本体2的排气端与二级干式螺杆真空泵本体3的进气端之间设置有排气单向阀。作用只允许一级干式螺杆真空泵本体2的排气流向二级干式螺杆真空泵本体3的进气，大大提高了干式无油双级螺杆真空泵的安全稳定性。电机1可选择同步变频电机，这样可以根据实际工况，进行变频PID驱动调节，节能效果更好。

一级干式螺杆真空泵本体2的进气端具有进气管路，进气管路上设置有进气消音器21。通过进气消音器21具有消音作用，降低噪音。

进气管路上设置有进气过滤器22。通过进气过滤器22对进入一级干式螺杆真空泵本体2内的气体进行过滤，大大提高了干式无油双级螺杆真空泵的安全稳定性。

进气管路上设置有真空进气阀23。进气消音器21、进气过滤器22和真空进气阀23依次设置在进气管路上。干式无油双级螺杆真空泵在停止时，真空进气阀23关闭。干式无油双级螺杆真空泵在运转时，真空进气阀23打开，外界被抽取的气体介质进入进气消音器21，再通过进气过滤器22进行过滤，然后通过真空进气阀23进入一级干式螺杆真空泵本体2。

干式无油双级螺杆真空泵还包括第一冷却装置4，第一冷却装置4的进口连接于一级干式螺杆真空泵本体2的排气端并与一级干式螺杆真空泵本体2相连通。

一级干式螺杆真空泵本体2在高速运转时会产生高温且存在部分水蒸气，之后进入第一冷却装置4进行冷却，通过第一冷却装置4能够实现冷却降温，大大提高了干式无油双级螺杆真空泵的安全稳定性。

干式无油双级螺杆真空泵还包括气水分离器5，第一冷却装置4的出口连接于气水分离器5，气水分离器5的排气口连接于二级干式螺杆真空泵本体3的进气端。一级干式螺杆真空泵本体2在高速运转时会产生高温且存在部分水蒸气，通过气水分离器5能够对一级干式螺杆真空泵本体2排出的气体和水蒸气实现分离。其中，第一冷却装置4包括气冷却器和冷却风机。一级干式螺杆真空泵本体2产生高温且部分水蒸气进入气冷却器进行冷却，

气体通过冷却风机进行换热后排出，气体再次进入二级干式螺杆真空泵本体3进行加速抽取；水蒸气冷凝析出，通过气水分离器5进行分离并排出。

二级干式螺杆真空泵本体3的排气端具有排气管路，排气管路上设置有排气消音器31。气体进入二级干式螺杆真空泵本体3进行加速抽取，完成后进入排气消音器31排出。通过排气消音器31具有消音作用，降低噪音。

干式无油双级螺杆真空泵还包括第二冷却装置，第二冷却装置连接于一级干式螺杆真空泵本体2和二级干式螺杆真空泵本体3并用于对一级干式螺杆真空泵本体2和二级干式螺杆真空泵本体3进行冷却降温。

干式无油双级螺杆真空泵在高速运转时会产生热量，通过第二冷却装置能够及时对一级干式螺杆真空泵本体2和二级干式螺杆真空泵本体3进行冷却，大大提高了干式无油双级螺杆真空泵的安全稳定性。其中，一级干式螺杆真空泵本体2和二级干式螺杆真空泵本体3外壳上安装有水套，第二冷却装置通过换热方式实现对一级干式螺杆真空泵本体2和二级干式螺杆真空泵本体3的降温冷却。

第二冷却装置连接于排气消音器31的外表面并用于对排气消音器31进行冷却降温。排气消音器31在对二级干式螺杆真空泵本体3的排气消声处理时，也对排出气体的热量进行处理，进一步提高了干式无油双级螺杆真空泵的安全稳定性。其中，第二冷却装置包括疏水器。冷却处理方式是水通过从疏水器进水端进入后分别进入流向一级干式螺杆真空泵本体2、二级干式螺杆真空泵本体3和排气消音器31的水套进行换热，换热后热水再次流向疏水器的出水端。疏水器的进、出水端都安装水压表，作用侦测进、出水压。

干式无油双级螺杆真空泵还包括供油箱6、管路7和疏油器8，管路7的两端分别连接于供油箱6和疏油器8并与供油箱6和疏油器8相连通，疏油器8分流并连接于电机1的输出齿轮、一级干式螺杆真空泵本体2的第一齿轮和二级干式螺杆真空泵本体3的第二齿轮。供油箱6额内用于贮存润滑油，通过管路7用于输送润滑油至疏油器8，通过疏油器8进行分流对供电机1的输出齿轮、一级干式螺杆真空泵本体2的第一齿轮、二级干式螺杆真空泵本体3的第二齿轮进行润滑、冷却。

管路7上具有齿轮泵71。齿轮泵71外置于供油箱6外并用于抽取供油箱6内的油。

干式无油双级螺杆真空泵还包括溢流阀9，溢流阀9的两端分别连接于管路7和供油箱6，以使管路7内达到一定的压力时，管路7内的油返回至供油箱6内。当管路7中的油达到一定的压力，超出管路7的内压，部分润滑油会从溢流阀9返回供油箱6内，从而有效减小了管路7内的压力，大大提高了干式无油双级螺杆真空泵的安全稳定性。

管路7上具有第三冷却装置73。管路7内的油在经过第三冷却装置73时将会进行冷却。管路7上具有温控机油过滤器72。热油在经过第三冷却装置73时，将会呈冷却后的润滑油，冷却后的润滑油通过温控机油过滤器72并与热油进行混合达到预定的润滑油温度，大大提高了干式无油双级螺杆真空泵的安全稳定性。其中，第三冷却装置73包括冷却器和冷却风机。热油通过冷却器进行冷却，冷却器通过冷却风机进行热交换。

供油箱6具有油箱呼吸阀61。供油箱6内部的润滑油会产生气泡，需要通过油箱呼吸阀61正压时，油箱呼吸阀61的压力阀被顶开，气体从油箱呼吸阀61的出口逸出。当供油箱6正常工作时，油箱呼吸阀61不工作，保持供油箱6的密闭性。

以上所揭露的仅为本实用新型较佳实施例而已，当然不能以此来限定本实用新型之权利范围，因此依本实用新型权利要求所作的等同变化，仍属本实用新型所涵盖的范围。

Claims (11)

1.一种干式无油双级螺杆真空泵，其特征在于，其包括至少一个电机、一级干式螺杆真空泵本体和二级干式螺杆真空泵本体，所述一级干式螺杆真空泵本体的排气端与所述二级干式螺杆真空泵本体的进气端相连通，所述电机的输出齿轮与所述一级干式螺杆真空泵本体的第一齿轮、所述二级干式螺杆真空泵本体的第二齿轮相啮合。

2.如权利要求1所述的干式无油双级螺杆真空泵，其特征在于，所述一级干式螺杆真空泵本体的第一齿轮的齿数大于所述二级干式螺杆真空泵本体的第二齿轮的齿数。

3.如权利要求1所述的干式无油双级螺杆真空泵，其特征在于，所述一级干式螺杆真空泵本体的进气端具有进气管路，所述进气管路上设置有进气消音器；

和/或，所述进气管路上设置有进气过滤器；

和/或，所述进气管路上设置有真空进气阀。

4.如权利要求1所述的干式无油双级螺杆真空泵，其特征在于，所述干式无油双级螺杆真空泵还包括第一冷却装置，所述第一冷却装置的进口连接于所述一级干式螺杆真空泵本体的排气端并与所述一级干式螺杆真空泵本体相连通。

5.如权利要求4所述的干式无油双级螺杆真空泵，其特征在于，所述干式无油双级螺杆真空泵还包括气水分离器，所述第一冷却装置的出口连接于所述气水分离器，所述气水分离器的排气口连接于所述二级干式螺杆真空泵本体的进气端。

6.如权利要求1所述的干式无油双级螺杆真空泵，其特征在于，所述二级干式螺杆真空泵本体的排气端具有排气管路，所述排气管路上设置有排气消音器。

7.如权利要求6所述的干式无油双级螺杆真空泵，其特征在于，所述干式无油双级螺杆真空泵还包括第二冷却装置，所述第二冷却装置连接于所述一级干式螺杆真空泵本体和所述二级干式螺杆真空泵本体并用于对所述一级干式螺杆真空泵本体和所述二级干式螺杆真空泵本体进行冷却降温；

和/或，所述第二冷却装置连接于所述排气消音器的外表面并用于对所述排气消音器进行冷却降温。

8.如权利要求1所述的干式无油双级螺杆真空泵，其特征在于，所述干式无油双级螺杆真空泵还包括供油箱、管路和疏油器，所述管路的两端分别连接于所述供油箱和所述疏油器并与所述供油箱和所述疏油器相连通，所述疏油器分流并连接于所述电机的输出齿轮、所述一级干式螺杆真空泵本体的第一齿轮和所述二级干式螺杆真空泵本体的第二齿轮。

9.如权利要求8所述的干式无油双级螺杆真空泵，其特征在于，所述管路上具有齿轮泵；

和/或，所述管路上具有温控机油过滤器；

和/或，所述管路上具有第三冷却装置。

10.如权利要求9所述的干式无油双级螺杆真空泵，其特征在于，所述干式无油双级螺杆真空泵还包括溢流阀，所述溢流阀的两端分别连接于所述管路和所述供油箱，以使所述管路内的油返回至所述供油箱内；

和/或，所述供油箱具有油箱呼吸阀。

11.如权利要求1所述的干式无油双级螺杆真空泵，其特征在于，所述电机的数量为一个，一个所述电机的输出齿轮均与所述一级干式螺杆真空泵本体的第一齿轮、所述二级干式螺杆真空泵本体的第二齿轮相啮合；

或者，所述电机的数量为两个，两个所述电机分别与所述一级干式螺杆真空泵本体、所述二级干式螺杆真空泵本体传动连接。

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