CN216120233U - 一种晶圆盒 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶片技术领域，尤其是涉及一种晶圆盒，包括：盒体，所述盒体内具有一容置空间；支撑部，所述支撑部设置在所述容置空间内，所述支撑部包括：齿，所述齿设置在所述容置空间的内壁上，且所述齿远离所述容置空间侧壁一侧到与所述齿连接的所述容置空间侧壁的距离为7mm，所示齿至少有两对，相对设置在所述容置空间的两侧，每对齿中的两个齿之间设置有一预设距离。本实用新型实施例时，将晶圆片放置在两对齿之间的预设距离内，实现对晶圆片的夹持，由于目前的晶圆片采用的是切口方式，采用7mm高度的齿即可以实现对晶圆片的固定，晶圆片不会发生跳动，同时由于齿高度的降低，晶圆片与齿的接触面积减小，减小了划伤概率。

Description

一种晶圆盒

技术领域

本实用新型涉及晶片技术领域，尤其是涉及一种晶圆盒。

背景技术

8英寸硅晶片在40年前，通常是有定向平面的，如图1所示的老晶圆片101不是像现在这样的切口方式的对位，如图2所示的新晶圆片201，具有深V状定位开口。当时的晶片载体设计标准与该定向平面规格的晶片相匹配。而且到目前为止，市场上一直是在没有研究其设计规格的情况下，直接使用复制的产品。

发明人在长期实践过程中，发现在相关技术中存在以下问题：

晶片在晶圆盒中进行取放时，经常被划伤。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中的晶片在晶圆盒中取放时被划伤的技术问题，提供一种晶圆盒。

为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型是通过以下技术方案实现：

一种晶圆盒，包括：

盒体，所述盒体内具有一容置空间；

支撑部，所述支撑部设置在所述容置空间内，所述支撑部包括：

齿，所述齿设置在所述容置空间的内壁上，且所述齿远离所述容置空间侧壁一侧到与所述齿连接的所述容置空间侧壁的距离为7mm，所示齿至少有两对，相对设置在所述容置空间的两侧，每对齿中的两个齿之间设置有一预设距离。

本实施例提供的晶圆盒，其中，包括：

盒盖，所述盒盖与所述盒体相配合。

本实施例提供的晶圆盒，其中，包括：

弧形件，设置在所述盒盖内侧，且所述弧形件弧形一侧朝向所述盒体。

本实施例提供的晶圆盒，其中，包括：

凹槽，设置在弧形件弧形一侧上，用于对目标晶圆进行夹持。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型实施例时，将晶圆片放置在两对齿之间的预设距离内，实现对晶圆片的夹持，由于目前的晶圆片采用的是切口方式，采用7mm高度的齿即可以实现对晶圆片的固定，晶圆片不会发生跳动，同时由于齿高度的降低，晶圆片与齿的接触面积减小，减小了划伤概率。

附图说明

图1为本实用新型实施例一种晶片视图；

图2为本实用新型实施例又一种晶片视图；

图3为本实用新型实施例提供一种实施方式视图；

图4为本实用新型实施例提供的弧形件俯视图；

图5为本实用新型提供的弧形件右视图；

图6为本实用新型提供的图5的放大视图；

图7为本实用新型提供的齿的放大视图；

图8为本实用新型提供的晶片夹持视图；

图中：101、老圆晶片；201、新晶圆片；310、盒体；311、容置空间；320、支撑部；321、齿；330、弧形件；340、凹槽；350、圆晶片；370、盒盖；

具体实施方式

请参阅图1-8所示，本领域技术人员应理解的是，在本实用新型的揭露中，术语“上”、“下”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系是基于附图所示的方位或位置关系，其仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此上述术语不能理解为对本实用新型的限制。

8英寸硅晶片在40年前，通常是有定向平面的，如图1所示的老晶圆片101不是像现在这样的切口方式的对位，如图2所示的新晶圆片201。当时的晶片载体设计标准与该定向平面规格的晶片相匹配。而且到目前为止，市场上一直是在没有研究其设计规格的情况下，直接使用复制的产品。

晶片在晶圆盒中进行取放时，经常被划伤。

如图3所示，本实施提供一种晶圆盒，包括：

盒体310，盒体310内具有一容置空间311；

支撑部320，支撑部320设置在所述容置空间内，支撑部320包括：

齿321，齿321设置在容置空间311的内壁上，且齿321远离容置空间311侧壁一侧到与齿321连接的容置空间311侧壁的距离为7mm，齿321至少有两对，相对设置在容置空间311的两侧，每对齿321中的两个齿321之间设置有一预设距离。

如图3所示，本实施例实施时，将晶圆片放置在两对齿之间的预设距离内，实现对晶圆片的夹持，由于目前的晶圆片采用的是切口方式，采用7mm高度的齿即可以实现对晶圆片的固定，晶圆片不会发生跳动，同时由于齿高度的降低，晶圆片与齿的接触面积减小，减小了划伤概率；

需要说明的是，预设距离由晶圆片的厚度决定，一般略大于晶圆片，实现对晶圆片的夹持，具体可根据晶圆片厚度设定。

进一步需要说明的是，现有的齿高度采用的是11mm，由于以前的晶圆片为切面设计，如图1所示，切面与齿平行时，晶圆片可能会跳出，进而导致晶圆片损坏，所以齿的高度必须设计11mm，而高度11mm的设计又会给下游企业生产带来高成本、低利用率的困扰，本实施例齿的高度设置为7mm，可以对晶圆片固定的同时，减少原料的使用，进而减少模具注塑空间，提高产品良品率，提升晶圆使用厂家对晶圆的利用率。

本实施例提供一种晶圆盒，包括：

盒盖370，盒盖370与盒体310相配合。

盒盖用于对晶圆放置到盒体后进行保护。

本实施例提供一种晶圆盒，包括：

弧形件330，设置在盒盖370内侧，且弧形件330弧形一侧朝向盒体310；

凹槽340，设置在弧形件330弧形一侧上，用于对晶圆片350进行夹持。

本实施例实施时，如图3所示，将晶圆片350放置到晶圆盒中，通过齿进行夹持侧壁，通过凹槽340及弧形件330进行顶部夹持，实现对晶圆片350的稳定夹持。

以上所述的实施方式仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的范围进行限定，在不脱离本实用新型设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案做出的各种变形和改进，均应落入本实用新型权利要求书确定的保护范围内。

Claims (4)

1.一种晶圆盒，其特征在于，包括：

盒体，所述盒体内具有一容置空间；

支撑部，所述支撑部设置在所述容置空间内，所述支撑部包括：

齿，所述齿设置在所述容置空间的内壁上，且所述齿远离所述容置空间侧壁一侧到与所述齿连接的所述容置空间侧壁的距离为7mm，所示齿至少有两对，相对设置在所述容置空间的两侧，每对齿中的两个齿之间设置有一预设距离。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆盒，其特征在于，包括：

盒盖，所述盒盖与所述盒体相配合。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆盒，其特征在于，包括：

弧形件，设置在所述盒盖内侧，且所述弧形件弧形一侧朝向所述盒体。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆盒，其特征在于，包括：

凹槽，设置在弧形件弧形一侧上，用于对目标晶圆进行夹持。

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