CN216118389U - 气浴装置及温度测量系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于光刻机技术领域，公开了一种气浴装置及温度测量系统。其中，气浴装置包括：盒体，所述盒体的内部设有气浴腔；以及喷嘴，所述喷嘴沿X轴方向延伸，多个所述喷嘴沿Y轴方向依次排列，相邻两个所述喷嘴之间形成沿X轴方向延伸的流道，所述喷嘴的上端连通所述气浴腔、下端沿X轴方向设有若干个出风孔，所述喷嘴沿Y轴方向的宽度从其上端向其下端逐渐减小。气体从气浴腔流经各喷嘴后吹扫物料，喷嘴缩短了气浴腔和物料之间的间距，同时经过逐渐收窄的喷嘴能够提高吹扫速率并降低均匀温差，之后扩散至流道中排出，避免对物料二次热污染。

Description

气浴装置及温度测量系统

技术领域

本实用新型涉及光刻机技术领域，尤其涉及一种气浴装置及温度测量系统。

背景技术

随着平板显示行业对分辨率要求越来越高，要求光刻机套刻和TP精度越来越高。温度是影响光刻机overlay和TP一个重要因素，其中涉及温度测量技术和温度控制技术。平板显示行业的物料主要是玻璃，下文中以玻璃代替物料。玻璃在进入光刻机之前需要经过track前段清洗、涂胶、烘烤等工艺，所以玻璃在进入光刻机之前需要温度控制，实现玻璃的温度和光刻机的温度chuck的温度相一致，这样才能保证曝光出来的产品满足性能要求。

目前产品上使用技术为离线标定技术，即通过多次曝光测量验证，前段控制的温度和时间，形成固有模式，相同产品就按照相同的温度及温控时间去控制。更换产品需要重新曝光和测量，且没有实现系统闭环。

图8是现有技术中对玻璃进行温度控制的示意图，玻璃1020进入光刻机前经过气浴装置1010吹扫实现强制温控，产线上一般设置固定时长，例如30秒至50秒不等，强制温控后进入曝光机1040，并与chuck1030进行交接后实现对准曝光等工序。现有技术中，气浴装置1010的出风部分设置为一块网孔板，通过网孔板提高出风口的风速以及保证出风均匀温差。

一般track线前段到曝光机1040之前玻璃1020的温度控制在23±1℃，而随着overlay和TP需求增高，要求进入曝光机1040的玻璃要控制在23±0.1℃甚至更高精度。经过测试，玻璃1020由23±1℃控制到23±0.1℃需要25s时间，最低温度为23.005℃，最高温度为23.065℃，均匀温差达到0.06℃。然而，目前25秒的降温过程仍较长，且均匀温差较大，需要进一步降低降温时长以及均匀温差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种气浴装置及温度测量系统，以进一步降低降温时长以及均匀温差。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一方面，一种气浴装置，包括：盒体，所述盒体的内部设有气浴腔；以及

喷嘴，所述喷嘴沿X轴方向延伸，多个所述喷嘴沿Y轴方向依次排列，相邻两个所述喷嘴之间形成沿X轴方向延伸的流道，所述喷嘴的上端连通所述气浴腔、下端沿X轴方向设有若干个出风孔，所述喷嘴沿Y轴方向的宽度从其上端向其下端逐渐减小。

气体从气浴腔流经各喷嘴后吹扫物料，喷嘴缩短了气浴腔和物料之间的间距，同时经过逐渐收窄的喷嘴能够提高吹扫速率并降低均匀温差，之后扩散至流道中排出，避免对物料二次热污染。

作为上述气浴装置的优选方案，所述喷嘴的Y轴方向的两个侧壁呈轴对称的弧形。

呈弧形结构的喷嘴具有弧面的侧壁，有利于吹扫后的气体向上聚拢并及时排除，且喷嘴的Y轴方向的两个侧壁呈轴对称的弧形，使得流道呈对称结构，相邻两个喷嘴的气体受到对应侧的侧壁的导向作用相同，进一步减小对物料二次热污染。

作为上述气浴装置的优选方案，各相邻两个所述喷嘴沿Y轴方向的间距均相同。

各相邻两个喷嘴沿Y轴方向的间距均相同，使得每条流道的宽度相同，降低均匀温差。

作为上述气浴装置的优选方案，相邻两个所述喷嘴中的一个的各所述出风孔与另一个的各所述出风孔沿Y轴方向一一对置。

相邻两个喷嘴的出风孔沿Y轴方向一一对置，部分气体经过喷嘴的出风口吹扫物料后与相邻的喷嘴的出风孔的部分气体对撞向上运动，减小气流沿X轴方向的串扰。

作为上述气浴装置的优选方案，气浴装置还包括用于将各所述流道的气体抽出至所述盒体以外的抽排管路。

设置抽排管路实现气流单路闭环，防止气流相互串扰，减小对物料热污染。

作为上述气浴装置的优选方案，所述抽排管路包括：

管路主体，从所述气浴腔外延伸至所述气浴腔中；以及

抽排管口，其一端连接所述管路主体，另一端延伸至每个所述流道中。

抽排管口将每个流道中的气体吸收至管路主体并排出至气浴腔外，且管路主体设置在气浴腔中，气体流经管路主体与气体从气浴腔输出互不影响。

作为上述气浴装置的优选方案，每条所述流道中设有多个所述抽排管口。

流道中设置多个抽排管口能够及时将气体排出，减小对物料热污染。

第二方面，一种温度测量系统，包括：

上述的气浴装置；以及

承载台，设置在所述气浴装置的下方，所述承载台包括承载台本体，所述承载台本体的上表面嵌设有温度传感器。

采用上述气浴装置，气体从气浴腔流经各喷嘴后吹扫物料，喷嘴缩短了气浴腔和物料之间的间距，同时经过逐渐收窄的喷嘴能够提高吹扫速率并降低均匀温差，之后扩散至流道中排出，避免对物料二次热污染，承载台的上表面嵌设温度传感器能够更精确地检测物料的温度。

作为上述温度测量系统的优选方案，所述温度传感器包括：

传感器外壳，所述传感器外壳设有收纳槽，所述收纳槽的顶部设有开口；

盖板，密封设置在所述收纳槽的开口，所述盖板与所述承载台本体的上表面平齐；以及

传感器感温包，设置在所述盖板的内表面，所述传感器感温包与所述收纳槽之间设有填充物。

盖板密封设置在传感器外壳的开口并与承载台平齐，使承载台的表面形成一整块平面结构，传感器感温包被盖板密封在传感器外壳的收纳槽中并被填充物包覆，避免承载台的上表面以下部分干扰传感器感温包，提高测温准确度。

本实用新型的有益效果：

对于气浴装置，气体从气浴腔流经各喷嘴后吹扫物料，喷嘴缩短了气浴腔和物料之间的间距，同时经过逐渐收窄的喷嘴能够提高吹扫速率并降低均匀温差，之后扩散至流道中排出，避免对物料二次热污染。

对于温度测量系统，采用上述气浴装置，气体从气浴腔流经各喷嘴后吹扫物料，喷嘴缩短了气浴腔和物料之间的间距，同时经过逐渐收窄的喷嘴能够提高吹扫速率并降低均匀温差，之后扩散至流道中排出，避免对物料二次热污染，承载台的上表面嵌设温度传感器能够更精确地检测物料的温度。

附图说明

图1是本申请实施例一提供的气浴装置的结构示意图；

图2是本申请实施例一提供的气浴装置中喷嘴的结构示意图；

图3是本申请实施例二提供的温度测量系统的结构示意图；

图4是本申请实施例二和实施例四的温度测量系统的温度传感器的结构示意图；

图5是本申请实施例三提供的气浴装置的结构示意图；

图6是本申请实施例三提供的气浴装置中喷嘴的结构示意图；

图7是本申请实施例四提供的温度测量系统的结构示意图；

图8是现有技术中对玻璃进行温度控制的示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

实施例一：

本实施例提供一种气浴装置，如图1和图2所示，该气浴装置包括盒体100以及喷嘴200。

盒体100的内部设有气浴腔101，可以理解为气浴腔101的一端连接有输送气体装置，输送气体装置向气浴腔101输气。

喷嘴200沿X轴方向延伸，二十五个喷嘴200沿Y轴方向依次排列，相邻两个喷嘴200之间形成沿X轴方向延伸的流道201。

喷嘴200的上端连通气浴腔101、喷嘴200的下端沿X轴方向(自身长度方向)设有若干个出风孔202，在本申请实施例中，单个出风孔202的孔径范围在0.01mm-0.05mm之间，出风孔202的个数可以根据喷嘴200沿X轴方向的长度设置，气体从气浴腔101输入至各个喷嘴200中，再从喷嘴200的各出风孔202喷出以吹扫物料(在本申请实施例中，物料设置为玻璃板)，从出风孔202吹出的气流流速介于0.5m/s-5m/s之间，尤其以0.8m/s-1.2m/s为佳，例如是0.9m/s、1.0m/s或1.1m/s等，并且，喷嘴200沿Y轴方向的宽度从其上端向其下端逐渐减小。

在本申请实施例中，喷嘴200与盒体100一体成型，均为铝合金结构，符合要求并且节约了成本。

气体从气浴腔101流经各喷嘴200后吹扫物料，喷嘴200缩短了气浴腔101和玻璃板之间的间距，同时经过逐渐收窄的喷嘴200能够提高吹扫速率并降低均匀温差，之后扩散至流道中排出，避免对玻璃板二次热污染。

进一步，喷嘴200的Y轴方向的两个侧壁呈轴对称的弧形。可以理解为，喷嘴200既可以设置为向内侧凸出也可以向外侧凸出，在本申请实施例中，如图1所示，喷嘴200设置为向内凸出。

呈弧形结构的喷嘴200具有弧面的侧壁，有利于吹扫后的气体向上聚拢并及时排除，且喷嘴200沿Y轴方向的两个侧壁呈轴对称的弧形，使得流道201呈对称结构，相邻两个喷嘴200的气体受到对应侧的侧壁的导向作用相同，进一步减小对玻璃板二次热污染。

需要说明的是，喷嘴200的Y轴方向的两个侧壁不限于对称，也可以设置为非对称。

并且，任意相邻两个喷嘴200沿Y轴方向的间距相同，使得每条流道201的宽度相同，降低均匀温差。相邻两个喷嘴200的下端宽度设置在0.08mm-0.15mm之间，在本申请实施例中，两个喷嘴200的下端宽度设置为0.1mm。

需要说明的是，任意相邻两个喷嘴200沿Y轴方向的间距可以不同。

进一步，每个喷嘴200的相邻两个出风孔202均等间距布置，使得每条流道201的宽度相同，降低均匀温差。在本申请实施例中，相邻两个出风孔202的间距为0.05mm。

需要说明的是，喷嘴200上相邻两个出风孔202的间距可以不同，从而使得至少部分流道201的宽度彼此互不相同。

进一步，相邻两个喷嘴200中的一个的各出风孔202与另一个的各出风孔202沿Y轴方向一一对置，部分气体经过喷嘴200的出风口202吹扫玻璃板后与相邻的喷嘴200的出风孔202的部分气体对撞向上运动，减小气流沿X轴方向的串扰。

经过试验，实施例一提供的气浴装置的均匀温差为0.035℃，约为现有技术中气浴装置的均匀温差的一半。

实施例二：

本申请实施例提供一种温度测量系统，如图3所示，该系统包括气浴装置以及承载台400。

参见图2和图3，该气浴装置包括盒体100以及喷嘴200。盒体100的内部设有气浴腔101，可以理解为气浴腔101的一端连接有输送气体装置，输送气体装置向气浴腔101输气。喷嘴200沿X轴方向延伸，二十五个喷嘴200沿Y轴方向依次排列，相邻两个喷嘴200之间形成沿X轴方向延伸的流道201。喷嘴200的上端连通气浴腔101、喷嘴200的下端沿X轴方向(自身长度方向)设有若干个出风孔202，在本申请实施例中，单个出风孔202的孔径范围在0.01mm-0.05mm之间，出风孔202的个数可以根据喷嘴200沿X轴方向的长度设置，气体从气浴腔101输入至各个喷嘴200中，再从喷嘴200的各出风孔202喷出以吹扫物料(在本申请实施例中，物料设置为玻璃板)，从出风孔202吹出的气流流速介于0.5m/s-5m/s之间，尤其以0.8m/s-1.2m/s为佳，例如是0.9m/s、1.0m/s、或1.1m/s等，并且，喷嘴200沿Y轴方向的宽度从其上端向其下端逐渐减小。

进一步，喷嘴200与盒体100一体成型，均为铝合金结构，符合要求并且节约了成本。

气体从气浴腔101流经各喷嘴200后吹扫物料，喷嘴200缩短了气浴腔101和玻璃板之间的间距，同时经过逐渐收窄的喷嘴200能够提高吹扫速率并降低均匀温差，之后扩散至流道201后排出，避免对玻璃板二次热污染。

进一步，喷嘴200的Y轴方向的两个侧壁呈轴对称的弧形。可以理解为，喷嘴200既可以设置为向内侧凸出也可以向外侧凸出，在本申请实施例中，如图1所示，喷嘴200设置为向内凸出。

呈弧形结构的喷嘴200具有弧面的侧壁，有利于吹扫后的气体向上聚拢并及时排除，且喷嘴200沿Y轴方向的两个侧壁呈轴对称的弧形，使得流道201呈对称结构，相邻两个喷嘴200的气体受到对应侧的侧壁的导向作用相同，进一步减小对玻璃板二次热污染。

需要说明的是，喷嘴200的Y轴方向的两个侧壁不限于对称，也可以设置为非对称。

并且，任意相邻两个喷嘴200沿Y轴方向的间距相同，使得每条流道201的宽度相同，降低均匀温差。相邻两个喷嘴200的下端宽度设置在0.08mm-0.15mm之间，在本申请实施例中，两个喷嘴200的下端宽度设置为0.09mm。

需要说明的是，任意相邻两个喷嘴200沿Y轴方向的间距可以不同。

进一步，每个喷嘴200的相邻两个出风孔202均等间距布置，使得每条流道201的宽度相同，降低均匀温差。在本申请实施例中，相邻两个出风孔202的间距为0.04mm。

需要说明的是，喷嘴200上相邻两个出风孔202的间距可以不同，从而使得至少部分流道201的宽度彼此互不相同。

进一步，相邻两个喷嘴200中的一个的各出风孔202与另一个的各出风孔202沿Y轴方向一一对置，部分气体经过喷嘴200的出风口202吹扫玻璃板后与相邻的喷嘴200的出风孔202的部分气体对撞向上运动，减小气流沿X轴方向的串扰。

承载台400设置在气浴装置的喷嘴200的下方，承载台400包括承载台本体，承载台本体的上表面嵌设有温度传感器500。

需要说明的是，承载台本体的上表面设有多个温度传感器500，以获取玻璃板上不同位置的温度。

该温度测量系统中，气体从气浴腔101流经各喷嘴200后吹扫玻璃板，喷嘴200缩短了气浴腔101和玻璃板之间的间距，同时经过逐渐收窄的喷嘴200能够提高吹扫速率并降低均匀温差，之后扩散至流道201中排出，避免对玻璃板二次热污染，承载台400的上表面嵌设温度传感器500能够更精确地检测玻璃板的温度。

进一步，如图4所示，温度传感器500包括传感器外壳501、盖板502以及传感器感温包503。

在本申请实施例中，传感器外壳501呈长方体结构，传感器外壳501设有收纳槽，收纳槽的顶部设有开口，可以理解为开口设置在长方体结构的顶面。

盖板502密封设置在收纳槽的开口，可以理解为，盖板502与长方体结构的顶面的面积相同，且盖板502与承载台本体的上表面平齐。

传感器感温包503设置在盖板502的内表面，传感器感温包503与收纳槽之间设有填充物。传感器感温包503连接有导线，导线穿设填充物和传感器外壳501向外传输数据。

盖板502密封设置在传感器外壳501的开口并与承载台400平齐，使承载台400的表面形成一整块平面结构，传感器感温包503被盖板502密封在传感器外壳501的收纳槽中并被填充物包覆，避免承载台400的上表面以下部分干扰传感器感温包503测温，提高测温准确度。

实施例三：

本申请实施例提供一种气浴装置，参见图5和图6，该气浴装置包括盒体100、喷嘴200以及抽排管路300。

盒体100的内部设有气浴腔101，可以理解为气浴腔101的一端连接有输送气体装置，输送气体装置向气浴腔101输气。

喷嘴200沿X轴方向延伸，二十五个喷嘴200沿Y轴方向依次排列，相邻两个喷嘴200之间形成沿X轴方向延伸的流道201。

喷嘴200的上端连通气浴腔101、喷嘴200的下端沿X轴方向(自身长度方向)设有若干个出风孔202，在本申请实施例中，单个出风孔202的孔径范围在0.01mm-0.05mm之间，出风孔202的个数可以根据喷嘴200沿X轴方向的长度设置，气体从气浴腔101输入至各个喷嘴200中，再从喷嘴200的各出风孔202喷出以吹扫物料(在本申请实施例中，物料设置为玻璃板)，从出风孔202吹出的气流流速介于0.5m/s-5m/s之间，尤其以0.8m/s-1.2m/s为佳，例如是0.9m/s、1.0m/s、或1.1m/s等，并且，喷嘴200沿Y轴方向的宽度从其上端向其下端逐渐减小。

在本申请实施例中，喷嘴200与盒体100一体成型，均为铝合金结构，符合要求并且节约了成本。

抽排管路300用于将各流道201的气体抽出至盒体100以外。

气体从气浴腔101流经各喷嘴200后吹扫物料，喷嘴200缩短了气浴腔101和玻璃板之间的间距，同时经过逐渐收窄的喷嘴200能够提高吹扫速率并降低均匀温差，之后扩散至流道中排出，避免对玻璃板二次热污染。抽排管路300流单路闭环，防止气流相互串扰，减小对物料热污染。

进一步，喷嘴200的Y轴方向的两个侧壁呈轴对称的弧形。可以理解为，喷嘴200既可以设置为向内侧凸出也可以向外侧凸出，在本申请实施例中，如图5和图6所示的喷嘴200设置为向外凸出。

呈弧形结构的喷嘴200具有弧面的侧壁，有利于吹扫后的气体向上聚拢并及时排除，且喷嘴200沿Y轴方向的两个侧壁呈轴对称的弧形，使得流道201呈对称结构，相邻两个喷嘴200的气体受到对应侧的侧壁的导向作用相同，进一步减小对玻璃板二次热污染。

需要说明的是，喷嘴200的Y轴方向的两个侧壁不限于对称，也可以设置为非对称。

并且，任意相邻两个喷嘴200沿Y轴方向的间距相同，使得每条流道201的宽度相同，降低均匀温差。相邻两个喷嘴200的下端宽度设置在0.08mm-0.15mm之间，在本申请实施例中，两个喷嘴200的下端宽度设置为0.1mm。

需要说明的是，任意相邻两个喷嘴200沿Y轴方向的间距可以不同。

进一步，每个喷嘴200的相邻两个出风孔202均等间距布置，使得每条流道201的宽度相同，降低均匀温差。在本申请实施例中，相邻两个出风孔202的间距为0.05mm。

需要说明的是，喷嘴200上相邻两个出风孔202的间距可以不同，从而使得至少部分流道201的宽度彼此互不相同。

进一步，相邻两个喷嘴200中的一个的各出风孔202与另一个的各出风孔202沿Y轴方向一一对置，部分气体经过喷嘴200的出风口202吹扫玻璃板后与相邻的喷嘴200的出风孔202的部分气体对撞向上运动，减小气流沿X轴方向的串扰。

抽排管路300包括管路主体和抽排管口，管路主体从气浴腔101外延伸至气浴腔101中，抽排管口的上端连接管路主体，抽排管口的下端延伸至每个流道201中。

优选地，每条流道201中设有多个抽排管口。可以理解为，每条流道201中设有多个抽吸气流的抽排管口。相应地，管路主体设计为网状结构。

经过试验，实施例三提供的气浴装置的均匀温差为0.021℃，约为现有技术中气浴装置的均匀温差的三分之一。

实施例四：

本申请实施例提供一种温度测量系统，参见图6-图7，气浴装置以及承载台400。

该气浴装置包括盒体100、喷嘴200以及抽排管路300。

盒体100的内部设有气浴腔101，可以理解为气浴腔101的一端连接有输送气体装置，输送气体装置向气浴腔101输气。

喷嘴200沿X轴方向延伸，二十五个喷嘴200沿Y轴方向依次排列，相邻两个喷嘴200之间形成沿X轴方向延伸的流道201。

喷嘴200的上端连通气浴腔101、喷嘴200的下端沿X轴方向(自身长度方向)设有若干个出风孔202，在本申请实施例中，单个出风孔202的孔径范围在0.01mm-0.05mm之间，出风孔202的个数可以根据喷嘴200沿X轴方向的长度设置，气体从气浴腔101输入至各个喷嘴200中，再从喷嘴200的各出风孔202喷出以吹扫物料(在本申请实施例中，物料设置为玻璃板)，从出风孔202吹出的气流流速介于0.5m/s-5m/s之间，尤其以0.8m/s-1.2m/s为佳，例如是0.9m/s、1.0m/s、或1.1m/s等，并且，喷嘴200沿Y轴方向的宽度从其上端向其下端逐渐减小。

在本申请实施例中，喷嘴200与盒体100一体成型，均为铝合金结构，符合要求并且节约了成本。

抽排管路300用于将各流道201的气体抽出至盒体100以外。

气体从气浴腔101流经各喷嘴200后吹扫物料，喷嘴200缩短了气浴腔101和玻璃板之间的间距，同时经过逐渐收窄的喷嘴200能够提高吹扫速率并降低均匀温差，之后扩散至流道201中排出，避免对玻璃板二次热污染。抽排管路300流单路闭环，防止气流相互串扰，减小对物料热污染。

进一步，喷嘴200的Y轴方向的两个侧壁呈轴对称的弧形。可以理解为，喷嘴200既可以设置为向内侧凸出也可以向外侧凸出，在本申请实施例中，如图4和图5所示喷嘴200设置为向外凸出。

呈弧形结构的喷嘴200具有弧面的侧壁，有利于吹扫后的气体向上聚拢并及时排除，且喷嘴200沿Y轴方向的两个侧壁呈轴对称的弧形，使得流道201呈对称结构，相邻两个喷嘴200的气体受到对应侧的侧壁的导向作用相同，进一步减小对玻璃板二次热污染。

需要说明的是，喷嘴200的Y轴方向的两个侧壁不限于对称，也可以设置为非对称。

并且，任意相邻两个喷嘴200沿Y轴方向的间距相同，使得每条流道201的宽度相同，降低均匀温差。相邻两个喷嘴200的下端宽度设置在0.08mm-0.15mm之间，在本申请实施例中，两个喷嘴200的下端宽度设置为0.1mm。

需要说明的是，任意相邻两个喷嘴200沿Y轴方向的间距可以不同。

进一步，每个喷嘴200的相邻两个出风孔202均等间距布置，使得每条流道201的宽度相同，降低均匀温差。在本申请实施例中，相邻两个出风孔202的间距为0.05mm。

需要说明的是，喷嘴200上相邻两个出风孔202的间距可以不同，从而使得至少部分流道201的宽度彼此互不相同。

进一步，相邻两个喷嘴200中的一个的各出风孔202与另一个的各出风孔202沿Y轴方向一一对置，部分气体经过喷嘴200的出风口202吹扫玻璃板后与相邻的喷嘴200的出风孔202的部分气体对撞向上运动，减小气流沿X轴方向的串扰。

抽排管路300包括管路主体和抽排管口，管路主体从气浴腔101外延伸至气浴腔101中，抽排管口的上端连接管路主体，抽排管口的下端延伸至每个流道201中。

优选地，每条流道201中设有多个抽排管口。可以理解为，每条流道201中设有多个抽吸气流的抽排管口。相应地，管路主体设计为网状结构。

承载台400设置在气浴装置的喷嘴200的下方，承载台400包括承载台本体，承载台本体的上表面嵌设有温度传感器500。

需要说明的是，承载台本体的上表面设有多个温度传感器500，以获取玻璃板上不同位置的温度。

该温度测量系统中，气体从气浴腔101流经各喷嘴200后吹扫玻璃板，喷嘴200缩短了气浴腔101和玻璃板之间的间距，同时经过逐渐收窄的喷嘴200能够提高吹扫速率并降低均匀温差，之后扩散至流道201中排出，避免对玻璃板二次热污染，承载台400的上表面嵌设温度传感器500能够更精确地检测玻璃板的温度。

进一步，继续参见图4，温度传感器500包括传感器外壳501、盖板502以及传感器感温包503。

在本申请实施例中，传感器外壳501呈圆柱体结构，传感器外壳501设有收纳槽，收纳槽的顶部设有开口，可以理解为开口设置在圆柱体结构的顶面。

盖板502密封设置在收纳槽的开口，可以理解为，盖板502与圆柱体结构的顶面的面积相同，且盖板502与承载台本体的上表面平齐。

传感器感温包503设置在盖板502的内表面，传感器感温包503与收纳槽之间设有填充物。传感器感温包503连接有导线，导线穿设填充物和传感器外壳501向外传输数据。

盖板502密封设置在传感器外壳501的开口并与承载台400平齐，使承载台400的表面形成一整块平面结构，传感器感温包503被盖板502密封在传感器外壳501的收纳槽中并被填充物包覆，避免承载台400的上表面以下部分干扰传感器感温包503测温，提高测温准确度。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种气浴装置，其特征在于，包括：

盒体(100)，所述盒体(100)的内部设有气浴腔(101)；以及

喷嘴(200)，所述喷嘴(200)沿X轴方向延伸，多个所述喷嘴(200)沿Y轴方向依次排列，相邻两个所述喷嘴(200)之间形成沿X轴方向延伸的流道(201)，所述喷嘴(200)的上端连通所述气浴腔(101)、下端沿X轴方向设有若干个出风孔(202)，所述喷嘴(200)沿Y轴方向的宽度从其上端向其下端逐渐减小。

2.根据权利要求1所述的气浴装置，其特征在于，所述喷嘴(200)的Y轴方向的两个侧壁呈轴对称的弧形。

3.根据权利要求2所述的气浴装置，其特征在于，各相邻两个所述喷嘴(200)沿Y轴方向的间距均相同。

4.根据权利要求3所述的气浴装置，其特征在于，各所述喷嘴(200)上的所述出风孔(202)均等间距布置。

5.根据权利要求4所述的气浴装置，其特征在于，相邻两个所述喷嘴(200)中的一个的各所述出风孔(202)与另一个的各所述出风孔(202)沿Y轴方向一一对置。

6.根据权利要求5所述的气浴装置，其特征在于，还包括用于将各所述流道(201)的气体抽出至所述盒体(100)以外的抽排管路(300)。

7.根据权利要求6所述的气浴装置，其特征在于，所述抽排管路(300)包括：

管路主体，从所述气浴腔(101)外延伸至所述气浴腔(101)中；以及

抽排管口，其一端连接所述管路主体，另一端延伸至每个所述流道(201)中。

8.根据权利要求7所述的气浴装置，其特征在于，每条所述流道(201)中设有多个所述抽排管口。

9.一种温度测量系统，其特征在于，包括：

权利要求1-8任一项所述的气浴装置；以及

承载台(400)，设置在所述气浴装置的下方，所述承载台(400)包括承载台本体，所述承载台本体的上表面嵌设有温度传感器(500)。

10.根据权利要求9所述的温度测量系统，其特征在于，所述温度传感器(500)包括：

传感器外壳(501)，所述传感器外壳(501)设有收纳槽，所述收纳槽的顶部设有开口；

盖板(502)，密封设置在所述收纳槽的开口，所述盖板(502)与所述承载台本体的上表面平齐；以及

传感器感温包(503)，设置在所述盖板(502)的内表面，所述传感器感温包(503)与所述收纳槽之间设有填充物。

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