CN216052603U - 一种光刻机硅片传送装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于转移机构技术领域，尤其为一种光刻机硅片传送装置，包括活动箱，所述活动箱表面固定连接有第一固定架，所述第一固定架共有两个，且对称固定连接在活动箱表面，所述第一固定架下表面开设有凹槽，所述凹槽共有两个，且对称开设在第一固定架下表面，所述凹槽内部固定连接有液压杆，所述液压杆下表面固定连接有第二固定架。在对硅片进行传送放置时，人们通过控制开关控制电机运转，进而带动螺纹杆转动，同时带动螺纹帽和连接板上下移动，连接板上下移动带动销轴在限位槽内滑动，从而带动连接杆和吸盘等距分开，在电机、螺纹杆、滑杆和限位槽的作用下，更便于人们对硅片进行等距摆放。

Description

一种光刻机硅片传送装置

技术领域

本实用新型属于转移机构技术领域，具体为一种光刻机硅片传送装置。

背景技术

随着人们对硅片的需求越来越大，硅片的大量使用使得人们对硅片的转移速度要求也越来越高，而人力在运输硅片时速度很慢并且难免会损伤硅片，而光刻机硅片转移机构的出现使得硅片在生产过程中的运输速度加快，节约了很多的时间，同时，也让硅片的光刻速度加快，光刻是硅片集成电路加工过程中最为重要的步骤，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序，而光刻机硅片转移机构可以将光刻工艺要经历的时间缩短，现有的光刻机硅片转移机构在使用时存在一定的弊端，首先，不能在硅片转移过程中很好地保护硅片不受损伤，且不具有等距摆放的作用。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种光刻机硅片传送装置，解决了易损伤和不便于等距摆放的使用需求的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光刻机硅片传送装置，包括活动箱，所述活动箱表面固定连接有第一固定架，所述第一固定架共有两个，且对称固定连接在活动箱表面，所述第一固定架下表面开设有凹槽，所述凹槽共有两个，且对称开设在第一固定架下表面，所述凹槽内部固定连接有液压杆；

所述液压杆下表面固定连接有第二固定架，所述第二固定架下表面固定连接有导轨，所述活动箱内部固定连接有滑杆，所述滑杆共有两个，且对称固定连接在活动箱内部，所述滑杆表面套接有连接杆，所述连接杆共有多个，均套接在滑杆表面，所述连接杆下表面固定连接有吸盘，所述吸盘表面固定连接有第一伸缩软管。

通过采用上述方案，通过设置液压杆和导轨，在对该装置进行使用时，人们将该装置通过导轨安装指定的平移装置表面，人们通过控制开关控制液压杆伸缩，进而带动吸盘上下移动对硅片进行吸取和放置，然后人们通过控制开关控制平移装置运转带动导轨和吸盘移动对硅片进行移动，在液压杆和导轨的作用下，更便于人们对硅片进行输送

优选的，所述连接杆表面固定连接有销轴，所述活动箱上表面固定连接有机箱，所述机箱共有两个，且对称固定连接在活动箱上表面，所述活动箱内部固定连接有电机，所述机箱表面穿设有第一轴承，所述第一轴承穿设在活动箱表面。

优选的，所述电机输出轴穿设在第一轴承内，所述电机输出轴表面固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆下表面固定连接有转轴，所述活动箱内壁固定连接有第二轴承，所述转轴穿设在第二轴承内，所述螺纹杆表面螺纹连接有螺纹帽。

通过采用上述方案，通过设置电机、螺纹杆、滑杆和限位槽，在对硅片进行传送放置时，人们通过控制开关控制电机运转，进而带动螺纹杆转动，同时带动螺纹帽和连接板上下移动，连接板上下移动带动销轴在限位槽内滑动，从而带动连接杆和吸盘等距分开，在电机、螺纹杆、滑杆和限位槽的作用下，更便于人们对硅片进行等距摆放。

优选的，所述螺纹帽表面固定连接有连接板，所述连接板表面开设有限位槽，所述限位槽共有多个，且两两对称开设在连接板表面，所述销轴穿设在限位槽内。

优选的，所述第一固定架表面固定连接有气泵，所述气泵进气端固定连接有第二伸缩软管，所述第二伸缩软管固定连接在第一伸缩软管表面。

通过采用上述方案，通过设置吸盘和气泵，在对硅片进行移动时，人们通过控制开关控制气泵运转，进而使吸盘产生吸力对硅片进行吸附，更便于移动，在吸盘和气泵的作用下，更便于人们对硅片进行吸附，同时避免硅片受到损伤。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种光刻机硅片传送装置，具备以下有益效果：该光刻机硅片传送装置，通过设置吸盘和气泵，在对硅片进行移动时，人们通过控制开关控制气泵运转，进而使吸盘产生吸力对硅片进行吸附，更便于移动，在吸盘和气泵的作用下，更便于人们对硅片进行吸附，同时避免硅片受到损伤；通过设置电机、螺纹杆、滑杆和限位槽，在对硅片进行传送放置时，人们通过控制开关控制电机运转，进而带动螺纹杆转动，同时带动螺纹帽和连接板上下移动，连接板上下移动带动销轴在限位槽内滑动，从而带动连接杆和吸盘等距分开，在电机、螺纹杆、滑杆和限位槽的作用下，更便于人们对硅片进行等距摆放；通过设置液压杆和导轨，在对该装置进行使用时，人们将该装置通过导轨安装指定的平移装置表面，人们通过控制开关控制液压杆伸缩，进而带动吸盘上下移动对硅片进行吸取和放置，然后人们通过控制开关控制平移装置运转带动导轨和吸盘移动对硅片进行移动，在液压杆和导轨的作用下，更便于人们对硅片进行输送。

附图说明

图1为本实用新型正视的结构示意图；

图2为本实用新型正视剖视的结构示意图；

图中：

1、活动箱；2、第一固定架；3、凹槽；4、液压杆；5、第二固定架；6、导轨；7、滑杆；8、连接杆；9、吸盘；10、第一伸缩软管；11、销轴；12、机箱；13、电机；14、第一轴承；15、螺纹杆；16、螺纹帽；17、连接板；18、限位槽；19、转轴；20、第二轴承；21、气泵；22、第二伸缩软管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例一

一种光刻机硅片传送装置，包括活动箱1，所述活动箱1表面固定连接有第一固定架2，所述第一固定架2共有两个，且对称固定连接在活动箱1表面，所述第一固定架2下表面开设有凹槽3，所述凹槽3共有两个，且对称开设在第一固定架2下表面，所述凹槽3内部固定连接有液压杆4；

所述液压杆4下表面固定连接有第二固定架5，所述第二固定架5下表面固定连接有导轨6，所述活动箱1内部固定连接有滑杆7，所述滑杆7共有两个，且对称固定连接在活动箱1内部，所述滑杆7表面套接有连接杆8，所述连接杆8共有多个，均套接在滑杆7表面，所述连接杆8下表面固定连接有吸盘9，所述吸盘9表面固定连接有第一伸缩软管10。

所述连接杆8表面固定连接有销轴11，所述活动箱1上表面固定连接有机箱12，所述机箱12共有两个，且对称固定连接在活动箱1上表面，所述活动箱1内部固定连接有电机13，所述机箱12表面穿设有第一轴承14，所述第一轴承14穿设在活动箱1表面。

所述电机13输出轴穿设在第一轴承14内，所述电机13输出轴表面固定连接有螺纹杆15，所述螺纹杆15下表面固定连接有转轴19，所述活动箱1内壁固定连接有第二轴承20，所述转轴19穿设在第二轴承20内，所述螺纹杆15表面螺纹连接有螺纹帽16。

所述螺纹帽16表面固定连接有连接板17，所述连接板17表面开设有限位槽18，所述限位槽18共有多个，且两两对称开设在连接板17表面，所述销轴11穿设在限位槽18内。

所述第一固定架2表面固定连接有气泵21，所述气泵21进气端固定连接有第二伸缩软管22，所述第二伸缩软管22固定连接在第一伸缩软管10表面。

参阅图1-2，首先人们将该装置通过导轨6安装指定的平移装置表面，人们通过控制开关控制液压杆4伸缩，液压杆4伸缩带动吸盘9向下移动至指定的位置，移动过程中第一伸缩软管10收缩，然后人们通过控制开关控制气泵21运转使吸盘9产生吸力对硅片进行吸附，待对硅片进行吸附后，人们通过控制开关控制液压杆4伸长归位，然后通过控制开关控制电机13运转，电机13运转带动螺纹杆15转动，螺纹杆15转动带动螺纹帽16和连接板17上下移动，使销轴11在限位槽18内滑动，从而带动连接杆8和吸盘9等距分开，更便于人们对硅片进行等距摆放，人们可通过控制平移装置运转带动导轨6和吸盘9移动，从而将硅片移动至指定的位置，更加便捷高效。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种光刻机硅片传送装置，包括活动箱(1)，其特征在于：所述活动箱(1)表面固定连接有第一固定架(2)，所述第一固定架(2)共有两个，且对称固定连接在活动箱(1)表面，所述第一固定架(2)下表面开设有凹槽(3)，所述凹槽(3)共有两个，且对称开设在第一固定架(2)下表面，所述凹槽(3)内部固定连接有液压杆(4)；

所述液压杆(4)下表面固定连接有第二固定架(5)，所述第二固定架(5)下表面固定连接有导轨(6)，所述活动箱(1)内部固定连接有滑杆(7)，所述滑杆(7)共有两个，且对称固定连接在活动箱(1)内部，所述滑杆(7)表面套接有连接杆(8)，所述连接杆(8)共有多个，均套接在滑杆(7)表面，所述连接杆(8)下表面固定连接有吸盘(9)，所述吸盘(9)表面固定连接有第一伸缩软管(10)。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机硅片传送装置，其特征在于：所述连接杆(8)表面固定连接有销轴(11)，所述活动箱(1)上表面固定连接有机箱(12)，所述机箱(12)共有两个，且对称固定连接在活动箱(1)上表面，所述活动箱(1)内部固定连接有电机(13)，所述机箱(12)表面穿设有第一轴承(14)，所述第一轴承(14)穿设在活动箱(1)表面。

3.根据权利要求2所述的一种光刻机硅片传送装置，其特征在于：所述电机(13)输出轴穿设在第一轴承(14)内，所述电机(13)输出轴表面固定连接有螺纹杆(15)，所述螺纹杆(15)下表面固定连接有转轴(19)，所述活动箱(1)内壁固定连接有第二轴承(20)，所述转轴(19)穿设在第二轴承(20)内，所述螺纹杆(15)表面螺纹连接有螺纹帽(16)。

4.根据权利要求3所述的一种光刻机硅片传送装置，其特征在于：所述螺纹帽(16)表面固定连接有连接板(17)，所述连接板(17)表面开设有限位槽(18)，所述限位槽(18)共有多个，且两两对称开设在连接板(17)表面，所述销轴(11)穿设在限位槽(18)内。

5.根据权利要求1所述的一种光刻机硅片传送装置，其特征在于：所述第一固定架(2)表面固定连接有气泵(21)，所述气泵(21)进气端固定连接有第二伸缩软管(22)，所述第二伸缩软管(22)固定连接在第一伸缩软管(10)表面。

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