CN215952483U

CN215952483U - 单晶晶棒测径仪校准装置

Info

Publication number: CN215952483U
Application number: CN202122341472.1U
Authority: CN
Inventors: 祝中良; 王煜臻; 陈传卫; 张军; 马自成
Original assignee: Sichuan Yongxiang Photovoltaic Technology Co ltd
Current assignee: Sichuan Yongxiang Photovoltaic Technology Co ltd
Priority date: 2021-09-27
Filing date: 2021-09-27
Publication date: 2022-03-04
Anticipated expiration: 2031-09-27

Abstract

本实用新型提供了一种单晶晶棒测径仪校准装置，包括：校准平台，用于放置线纹尺；导向轴，垂直安装于所述校准平台上；调节支座，安装于所述导向轴上，能沿所述导向轴移动，调节与所述校准平台的距离；限位块，经连接件安装于所述调节支座上，用于安装测径仪。测径仪包括：标尺，安装于所述限位块上；游标，与所述标尺适配，滑动安装于所述标尺上；目镜，与所述游标连接，和所述游标同步移动。该校准装置结构简单，操作便捷，可快速、准确的判定测径仪的测量准确性，并判定测量的误差大小，以修订补偿测量结果，进而使得生产过程中测量准确，响应及时，提高生产效率，保证产品质量。

Description

单晶晶棒测径仪校准装置

技术领域

本实用新型涉及尺寸测量校准设备技术领域，具体涉及一种单晶晶棒测径仪校准装置。

背景技术

光伏发电是绿色能源以及可持续发展的能源，在国家“碳中和”的目标之下，受到全世界的瞩目，并在近年来得到大力发展，随着光伏发电成本的持续下降，单晶拉棒具有更加广阔的市场空间。

影响单晶拉棒质量的主要因素除了人、机、料、法、环外，测量也是很重要的一个方面。单晶炉拉晶生长过程中，晶棒直径使用像素值测量，具体采用测径仪来进行像素测量值的标定和过程监控。但目前无法对测径仪的准确性进行判断，需晶棒生产完成后使用其他工具测量晶棒直径与前期生产过程中测量值做比对，两次数据若有差异再进行修改补偿。因此，存在测量数据判定的滞后性，使单晶拉晶过程中晶棒的直径尺寸存在超差的风险，严重影响生产加工效率和产品质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶晶棒测径仪校准装置，以判定单晶晶棒测径仪的测量准确性，以及判定测量的误差大小。

为实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

单晶晶棒测径仪校准装置，包括：

校准平台，用于放置线纹尺；

导向轴，垂直安装于所述校准平台上；

调节支座，安装于所述导向轴上，能沿所述导向轴移动，调节与所述校准平台的距离；

限位块，经连接件安装于所述调节支座上，用于安装测径仪。

在本申请的一种实施例中，所述测径仪包括：

标尺，安装于所述限位块上；

游标，与所述标尺适配，滑动安装于所述标尺上；

目镜，与所述游标连接，和所述游标同步移动。

在本申请的一种实施例中，所述连接件包括一支撑板和与所述支撑板边缘垂直连接的两块连接板，两块所述连接板与所述调节支座经螺栓连接，所述支撑板供所述限位块安装。

在本申请的一种实施例中，两块所述连接板上设有相适配的定位螺孔和弧形孔，所述定位螺孔位于所述弧形孔的圆心处。

在本申请的一种实施例中，所述限位块为椭圆环状凸块，其一侧下部与所述支撑板经螺栓连接。

在本申请的一种实施例中，所述标尺安装于所述限位块上远离所述支撑板的一侧，所述标尺与所述校准平台平行。

在本申请的一种实施例中，所述调节支座设有调节安装孔，并经所述调节安装孔适配套接于所述导向轴上，所述调节安装孔具有一轴向开口，所述轴向开口两侧经调节螺栓连接。

在本申请的一种实施例中，所述线纹尺为标准玻璃线纹尺。

在本申请的一种实施例中，所述目镜上安装有放大目镜。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型的单晶晶棒测径仪校准装置，结构简单，操作便捷，可快速、准确的判定测径仪的测量准确性，并判定测量的误差大小，以修订补偿测量结果。使得单晶晶棒生产过程中直径测量准确可靠，响应及时，减少晶棒直径尺寸超差问题的出现，可有效提高生产效率，保证产品质量。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的前视结构示意图。

图2为本实用新型的左视结构示意图。

图3为本实用新型的俯视结构示意图。

图4为本实用新型中测径仪安装于限位块上的结构示意图。

图5为本实用新型中连接件的左视结构示意图。

图6为本实用新型中连接件的俯视结构示意图。

图7为本实用新型中调节支座的俯视结构示意图。

附图标记：

1、校准平台；

2、导向轴；

3、调节支座；31、调节安装孔；32、调节螺栓；

4、限位块；

5、连接件；51、连接板；511、定位螺孔；512、弧形孔；52、支撑板；

6、测径仪；61、标尺；62、游标；63、目镜。

具体实施方式

在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。

下面结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明。

如图1至图3所示，本实用新型的实施例提供了一种单晶晶棒测径仪校准装置，该装置包括校准平台1、导向轴2、调节支座3、限位块4和连接件5等。

校准平台1即底座，其上表面为光滑平面，用放置线纹尺。

导向轴2，竖向垂直安装于校准平台1上，起导向和支承作用。

调节支座3，安装于导向轴2上，能沿导向轴2上下移动或固定，调节该调节支座3在导向轴2上的位置，即可实现调节该调节支座3与校准平台1之间的竖直距离。

限位块4，经连接件5安装于上述调节支座3上，限位块4用于安装固定测径仪6。沿导向轴2移动上述调节支座3，可实现调节限位块4及测径仪6与校准平台1之间的距离。

如图4所示，在一种实施例中，测径仪6包括标尺61、游标62和目镜63。

其中，标尺61安装固定于限位块4上；

游标62与标尺61相适配，滑动安装于标尺61上；

目镜63与游标62连接，和游标62同步移动，即目镜63的位移量与游标62在标尺61上的位移量相等。

如图2和图7所示，调节支座3设有调节安装孔31，并经该调节安装孔31适配套接于导向轴2上。调节安装孔31朝向背侧具有一轴向开口，该轴向开口的两侧经调节螺栓32连接。

安装时，调节支座3经调节安装孔31套接于导向轴2上，可沿导向轴2上下滑动；调节螺栓32连接轴向开口的两侧，拧紧调节螺栓32使调节支座3固定于导向轴2上；拧松调节螺栓32，可实现调节支座3在导向轴2上的调节。

如图1至图3、图5至图6所示，连接件5包括一支撑板52和两块连接板51，两块连接板52与支撑板52的边缘垂直连接，且两块连接板52相互平行。两块连接板52由两侧经螺栓安装于调节支座3上。支撑板52向前延伸水平设置，用于供限位块4安装固定。

如图5所示，两块连接板51上设有相适配对应的定位螺孔511和弧形孔512。定位螺孔511和弧形孔512可上下设置，定位螺孔511位于弧形孔512弧形的圆心处，同心设置。

安装时，螺栓分别穿过定位螺孔511和弧形孔512将连接件5安装于调节支座3上，使得连接件5能以定位螺孔511为圆心，在弧形孔512限定的范围内转动，调整支撑板52的角度，进而调节限位块4及测径仪6的位置。一定程度提高校准装置的适应能力，更好的进行测径仪6的校准。

限位块4可为椭圆环状凸块，其长边的一侧下部放置于支撑板52上，与支撑板52经螺栓连接固定，为测径仪6提供稳定的安装位置。限位块4设置为椭圆环状凸块，用来模拟单晶炉上的目视孔；目镜63由椭圆环状凸块之间的通孔观测下方的线纹尺。当然，限位块4还可以是其他能实现相应功能的形状结构。如U型凸块、长方形环状凸块等。

标尺61安装于限位块4上远离支撑板52的一侧，即安装于椭圆形环状凸块的另一侧长边上；标尺61位置应水平，与校准平台1相平行，确保校准结构准确无误。

为保证校准结果的准确性，线纹尺可选标准玻璃线纹尺，标的准确，放置稳定，不易发生移位。

为使观察更方便、准确，可在目镜63上安装放大目镜，可更好的观察线纹尺上的尺寸。

校准过程：

首先，安放好校准装置，将测径仪6的标尺61与校准装置的限位块4安装固定；将标准玻璃线纹尺放置在校准平台1上，校准平台1保持干净整洁，可以在标准玻璃线纹尺下放置A4纸，方便观测；

然后，使用测径仪6的目镜63观测校准平台1上放置的线纹尺，手动调节调节支座3与校准平台1的距离、及目镜63的焦距，直至可以清洗观测到线纹尺上的刻度；调节好后，将测径仪6游标62移动至左、右起始位置，并设置零点，左右移动游标62及目镜63，观察线纹尺刻度，停止移动后保持静止，观察记录测径仪6的读数（即游标62在标尺61上相对零点的距离）与线纹尺刻度移动值是否一致。

最后，进行误差修正，示值误差Δ=测径仪读数L读-线纹尺刻度移动读值L线，即Δ=L读-L线。当Δ=0时，表示测径仪6测量准确；当Δ＜0时，表示测径仪6读数值较实际值偏小；当Δ＞0时，表示测径仪6读数值较实际值偏大。将测径仪6的读数值减去Δ，即得修正后的测量值。

上文尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下，可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同限定。

Claims

1.单晶晶棒测径仪校准装置，其特征在于，包括：

校准平台（1），用于放置线纹尺；

导向轴（2），垂直安装于所述校准平台（1）上；

调节支座（3），安装于所述导向轴（2）上，能沿所述导向轴（2）移动，调节与所述校准平台（1）的距离；

限位块（4），经连接件（5）安装于所述调节支座（3）上，用于安装测径仪（6）。

2.根据权利要求1所述的单晶晶棒测径仪校准装置，其特征在于，所述测径仪（6）包括：

标尺（61），安装于所述限位块（4）上；

游标（62），与所述标尺（61）适配，滑动安装于所述标尺（61）上；

目镜（63），与所述游标（62）连接，和所述游标（62）同步移动。

3.根据权利要求2所述的单晶晶棒测径仪校准装置，其特征在于，所述连接件（5）包括一支撑板（52）和与所述支撑板（52）边缘垂直连接的两块连接板（51），两块所述连接板（51）与所述调节支座（3）经螺栓连接，所述支撑板（52）供所述限位块（4）安装。

4.根据权利要求3所述的单晶晶棒测径仪校准装置，其特征在于，两块所述连接板（51）上设有相适配的定位螺孔（511）和弧形孔（512），所述定位螺孔（511）位于所述弧形孔（512）的圆心处。

5.根据权利要求3或4所述的单晶晶棒测径仪校准装置，其特征在于，所述限位块（4）为椭圆环状凸块，其一侧下部与所述支撑板（52）经螺栓连接。

6.根据权利要求5所述的单晶晶棒测径仪校准装置，其特征在于，所述标尺（61）安装于所述限位块（4）上远离所述支撑板（52）的一侧，所述标尺（61）与所述校准平台（1）平行。

7.根据权利要求1所述的单晶晶棒测径仪校准装置，其特征在于，所述调节支座（3）设有调节安装孔（31），并经所述调节安装孔（31）适配套接于所述导向轴（2）上，所述调节安装孔（31）具有一轴向开口，所述轴向开口两侧经调节螺栓（32）连接。

8.根据权利要求1所述的单晶晶棒测径仪校准装置，其特征在于，所述线纹尺为标准玻璃线纹尺。

9.根据权利要求2所述的单晶晶棒测径仪校准装置，其特征在于，所述目镜（63）上安装有放大目镜。