CN116428998B - 一种晶棒直径测量装置及测量方法 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种晶棒直径测量装置及测量方法，涉及单晶硅制备的技术领域，晶棒直径测量装置包括安装板、固定机构和测量机构，固定机构和测量机构均设置在安装板上；安装板上开设有若干个用于放置晶棒的安装槽，若干组固定机构沿安装槽长度方向间隔排布在安装槽两侧，测量机构设置在安装槽两侧且与固定机构交替间隔排布。本申请中的晶棒直径测量方法包括：S1：将两个限位环向远离安装槽的方向转动并将安装板调整为竖直状态；S2：提拉晶棒至安装槽内，通过第一托板、第二托板和固定机构对晶棒进行固定；S3：将安装板调整为水平状态；S7：利用测距传感器对晶棒直径进行测量。本申请能够对从冷却炉中提拉出来的晶棒直径进行检测。

Description

一种晶棒直径测量装置及测量方法

技术领域

本申请涉及单晶硅制备的技术领域，尤其是涉及一种晶棒直径测量装置及测量方法。

背景技术

直拉法硅单晶生长过程属于一个多晶硅熔液转变为单晶硅固体的固液相变过程。首先，将多晶硅原料装于石英坩埚内，坩埚上方有一可旋转和升降的籽晶杆，杆的下端有一夹头，其上捆上一根籽晶。原料被加热器熔化后，将籽晶插入到高温硅熔体表面，使得籽晶与硅熔液熔接，在合适的热场环境下，通过转动并缓慢向上提拉籽晶，并经过引晶、缩颈、放肩、转肩、等径生长和收尾等过程，从而完成单晶硅的生长。

传统的Cz单晶炉在完成一炉原料拉晶生产后，需要为晶棒的取出做很多繁杂的工作，包括冷却、牵引室移动、人工保护晶棒下降、晶棒放入存放装置中、晶颈剪断、运晶小车移动、天车吊取晶棒转运、晶棒成品车储放、单晶硅棒测量等工序。

目前，单晶棒在拉制结束后，需要对其直径进行测量，通过测得的直径来控制后续拉制过程中的长晶参数，以便更好地控制晶棒的品质。由于单晶硅棒在进入到下一工序之前必须要进行测量并备案，虽然在硅棒生长时对单晶棒的直径进行了初步测量，但是在冷却后，由于温度变化会造成晶棒的尺寸发生微变，因此需要对单晶棒的直径再次进行检测。

发明内容

为了对从冷却炉中提拉出来的晶棒直径进行检测，本申请提供一种晶棒直径测量装置及测量方法。

本申请提供一种晶棒直径测量装置，采用如下的技术方案：

一种晶棒直径测量装置，包括安装板、固定机构和测量机构，所述固定机构和所述测量机构均设置在所述安装板上；

所述安装板上开设有若干个用于放置晶棒的安装槽，所述固定机构的数量为若干组，若干组所述固定机构沿所述安装槽长度方向间隔排布在所述安装槽两侧，所述测量机构设置在所述安装槽两侧且与所述固定机构交替间隔排布；

每组所述测量机构包括测量驱动件和测距传感器，所述测距传感器与对应的所述测量驱动件输出轴连接，所述安装槽两侧的所述测距传感器能够在对应的所述测量驱动件的驱动下朝向对侧的所述测距传感器移动。

通过采用上述技术方案，安装槽用于放置晶棒，当晶棒冷却后被提拉至安装槽内时，通过固定机构将晶棒进行固定限位。然后测量驱动件带动测距传感器相向靠拢，并与晶棒的两侧接触，当测距传感器发射的红外线信号照射到物体表面时,部分信号会被反射回传感器。因此两个测距传感器同时工作，能够测得晶棒侧壁上最接近相应测距传感器的两点之间的距离，从而实现晶棒直径的测量。

可选的，所述固定机构包括第一固定组件、第二固定组件和限位组件，所述第一固定组件和所述第二固定组件分别设置在所述安装槽的两侧，所述限位组件包括两个相对设置的限位环，每个所述限位环的一端与所述第一固定组件或所述第二固定组件连接，另一端相向靠拢并朝向所述安装槽内延伸。

通过采用上述技术方案，两个限位环共同围成一个半圆形，在将晶棒放置在安装槽后，能够对晶棒进行限位。

可选的，所述第一固定组件包括驱动轴、第一压紧块和第一锁紧件，所述驱动轴轴向与所述安装板平面方向垂直，所述第一压紧块与对应的所述限位环连接，所述第一压紧块转动套设在所述驱动轴外侧，所述第一锁紧件套设在所述驱动轴外侧并与所述驱动轴螺纹连接，所述第一锁紧件位于所述第一压紧块远离所述安装板的一侧并能够与所述第一压紧块抵接。

通过采用上述技术方案，当转动第一锁紧件，第一锁紧件能够沿驱动轴轴向运动，从而带动第一压紧块也沿驱动轴轴向进行运动。当第一锁紧件向靠近安装板的方向运动时，第一压紧块也被带动向安装板的方向运动，从而使得两个限位环向安装槽的方向运动，实现对晶棒的压紧过程；反之则松开。

另外，当晶棒安装至安装槽之前，可转动第一压紧块，使得两个限位环朝向一侧转动，形成供晶棒穿过的让位空间，从而使得晶棒可以沿安装槽径向安装，无需由安装槽顶端逐一穿过所有的限位环。提高了晶棒安装的便利性。

可选的，所述固定机构还包括传动杠杆，所述传动杠杆转动设置在所述安装板内并能沿所述安装板厚度方向摆动，所述第一固定组件和所述第二固定组件设置在所述传动杠杆的两端；

所述第二固定组件包括第二压紧块和从动轴，所述从动轴轴向与所述安装板平面方向垂直，所述第二压紧块与对应的所述限位环连接；

所述驱动轴远离所述第一压紧块的一端与所述传动杠杆铰接，所述从动轴远离所述第二压紧块的一端与所述传动杠杆铰接；

当所述驱动轴朝向远离所述传动杠杆的一端运动时，所述从动轴朝向靠近所述传动杠杆的方向运动。

通过采用上述技术方案，传动杠杆用于实现力的传动。当转动第一固定组件的第一锁紧件使得第一压紧块向下运动时，由于第一锁紧件与驱动轴螺纹连接，当驱动轴相对第一锁紧件向上运动，从而带动传动杠杆靠近驱动轴的一端向上摆动，因此靠近从动轴的一端则向下摆动。因此，当转动第一锁紧件时，第一压紧块和第二压紧块均能同时实现向下压紧的动作，使得晶棒被固定在安装槽内。

可选的，所述第一固定组件和所述第二固定组件还包括弹性复位件，所述弹性复位件一端与所述第一压紧块或所述第二压紧块底部连接，另一端与所述安装板连接。

通过采用上述技术方案，弹性复位件用于使第一压紧块或第二压紧块复位，当回转第一锁紧件或第二锁紧件时，在弹性复位件的作用下第一压紧块和第二压紧块均能朝向远离安装槽的方向运动，从而使得对应的限位环朝向远离晶棒的方向运动，放松晶棒。

可选的，晶棒直径测量装置还包括翻转支撑机构，所述翻转支撑机构包括支撑架和摆动组件，所述安装板一端与所述支撑架一侧转动连接，所述摆动组件设置在所述安装板与所述支撑架之间，所述摆动组件包括第一连杆和第二连杆，所述第一连杆的一端转动连接在所述支撑架上，另一端与所述第二连杆铰接，所述第二连杆远离所述第一连杆的一端与所述安装板铰接。

通过采用上述技术方案，在摆动组件的作用下，安装板可实现竖向状态和水平状态的切换。当需要将晶棒提拉至安装槽内时，使得安装板竖向设置；当需要测量单晶硅棒直径或进一步转移晶棒时，将安装板调整为水平状态，并进而测量单晶硅棒的直径。同时，水平放置的晶棒具有更好的稳定性，因此水平状态下测量有利于提高直径测量的准确性。

可选的，所述支撑架上设置有若干个用于对所述安装板进行限位的限位支座，每个所述限位支座上均开设有限位槽；所述翻转支撑机构还包括转向组件，所述转向组件包括连接杆，所述连接杆沿支撑架长度方向设置，所述连接杆的两端均设置有限位挡板，当沿所述支撑架长度方向移动所述连接杆时，所述限位挡板能够朝向所述限位槽槽口方向移动。

通过采用上述技术方案，通过移动连接杆，带动相应的限位挡板移动至限位槽槽口处，能够使得安装板的端部被限位在限位槽内，从而提高翻转过程中的稳定性，同时，通过调节连接杆的移动方向，使得支撑架不同侧的限位挡板进行移动，能够使得安装板不同侧作为转动轴，朝不同侧翻转。

可选的，所述安装板的两端分别设置有第一托板和第二托板，所述第一托板和所述第二托板分别与所述安装板平面垂直，所述第一托板和所述第二托板上均设置有用于插设晶棒端部的固定座；

所述安装板其中一端开设有滑槽，所述第二托板嵌设在所述滑槽内，所述滑槽内还设置有弹性件，所述弹性件一端与所述第二托板连接，另一端与所述滑槽内侧壁连接。

通过采用上述技术方案，第一托板和第二托板用于对单晶硅棒的两端进行限位，由于单晶硅棒的端部呈直径逐渐减小的锥状，因此通过固定座对单间硅棒两端位置进行固定限位，从而提高晶棒在翻转、转移过程中的稳定性。同时，在利用限位环对晶棒进行限位后，拉动第二托板，使得第二托板的长度可调节，从而适应于不同长度的晶棒。

可选的，所述第二托板和所述安装板上均设置有刻度。

通过采用上述技术方案，根据安装板与第二托板上的刻度可较为方便的获取晶棒的长度，从而实现长度测量。

第二方面，本申请公开了一种晶棒直径测量方法，应用于上述晶棒直径测量装置，包括以下步骤：

S1：将两个限位环向远离安装槽的方向转动并将安装板调整为竖直状态；

S2：提拉晶棒至安装槽内，通过第一托板、第二托板和固定机构对晶棒进行固定；

S3：将安装板调整为水平状态；

S7：利用测量机构对晶棒直径进行测量。

通过采用上述技术方案，根据晶棒的转移过程调整安装板的使用状态，从而使得晶棒在竖直状态下被提拉至安装槽内，被限位环固定后再翻转安装板，使安装板旋转至水平状态。当晶棒在水平状态下处于稳定的状态时，继而完成直径的检测。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益效果：

1.两个测距传感器同时工作，能够测得晶棒侧壁上最接近相应测距传感器的两点之间的距离，从而实现晶棒直径的测量。

2.限位环朝向一侧转动，形成供晶棒穿过的让位空间，从而使得晶棒可以沿安装槽径向安装，无需由安装槽顶端逐一穿过所有的限位环。提高了晶棒安装的便利性。

3.通过翻转支撑机构控制安装板进行翻转，完成水平状态和竖向状态的转换，从而同时实现晶棒的转移过程和直径测量，使得晶棒在较为稳定的水平状态下完成直径的测量。

4.第二托板和安装板上的刻度能够实现晶棒长度的测量。

附图说明

图1是本申请实施例中晶棒直径测量装置的整体结构示意图。

图2是本申请实施例中支撑架的局部结构示意图。

图3是本申请实施例中安装板的局部结构示意图。

图4是本申请实施例中固定组件的局部结构示意图。

图5是图1中A区域的放大示意图。

附图标记说明：1、安装板；11、安装槽；12、滑槽；13、延伸端；2、翻转支撑机构；21、支撑架；22、摆动组件；221、第一连杆；222、第二连杆；223、转动杆；224、驱动电机；23、转向组件；231、限位挡板；2311、连接部；2312、限位部；232、连接杆；24、限位支座；241、限位槽；242、滑道；25、转动座；26、移动轮；3、固定机构；31、第一固定组件；311、驱动轴；312、第一压紧块；313、第一锁紧件；32、第二固定组件；321、从动轴；322、第二压紧块；323、第二锁紧件；33、传动杠杆；34、限位组件；341、限位环；35、弹性复位件；4、测量机构；41、测量驱动件；42、测距传感器；5、第一托板；6、第二托板；61、滑移板；7、固定座；8、刻度。

具体实施方式

以下结合附图1-5对本申请作进一步详细说明。

一种晶棒直径测量装置，参照图1，包括安装板1、翻转支撑机构2、固定机构3和测量机构4，翻转支撑机构2设置在安装板1的一侧，用于将安装板1由竖直方向向水平方向进行翻转，安装板1上开设有若干个安装槽11，固定机构3和测量机构4交替间隔设置在对应安装槽11的两侧。需要说明的，以下，安装槽11的长度方向即为安装板1的长度方向，安装槽11的排布方向为安装板1的宽度方向。

参照图1和图2，翻转支撑机构2包括支撑架21、摆动组件22和转向组件23，支撑架21的长度方向和宽度方向与安装板1的一致，支撑架21底部设置有移动轮26，在其他的实施例中可以设置成带有刹车片的移动轮26。支撑架21两侧均设置有限位支座24，每侧的限位支座24的数量具体为两个，两个限位支座24沿支撑架21宽度方向间隔分布。每个限位支座24均开设有限位槽241，摆动组件22设置在安装板1与支撑架21之间。

参照图1和图2，摆动组件22包括第一连杆221、第二连杆222和转动杆223。支撑架21上设置有转动座25，转动座25的数量具体为两个，两个转动座25位于两侧的限位支座24之间且沿支撑架21宽度方向间隔分布。转动杆223两端分别与对应的转动座25转动连接。第一连杆221和第二连杆222的数量均为两个，每个第一连杆221的一端与转动支座铰接，另一端与第二连杆222铰接，第二连杆222远离第一连杆221的一端与安装板1铰接，转动杆223端部分别贯穿对应的第一连杆221设置且能带动第一连杆221摆动。进一步的，转动杆223的一端延伸至转动支座外侧并连接有驱动电机224，驱动电机224能够驱动转动杆223转动，进而带动第一连杆221摆动。

参照图1和图2，转向组件23包括限位挡板231和连接杆232，连接杆232沿支撑架21长度方向设置，限位挡板231的数量为两个，两个限位挡板231分别连接在连接杆232的两端。具体的，限位挡板231包括连接部2311和限位部2312，限位部2312的数量为两个，两个限位部2312位于连接部2311的两端。连接部2311与对应的连接杆232端部连接，限位部2312一端与连接部2311连接，另一端朝向对应的限位支座24延伸。具体的，每个限位支座24靠近限位槽241槽口的位置贯穿开设有滑道242，对应的限位部2312滑动设置在对应的滑道242内并能朝向限位槽241槽口处移动。

参照图3，安装板1每侧两端均具有延伸端13，延伸端13嵌设在对应的限位槽241内，通过推移限位部2312，能够将延伸端13限位在限位槽241内。安装板1上开设有若干个用于放置晶棒的安装槽11，安装槽11的数量具体为两个，固定机构3的数量为若干组，具体为三组，三组固定机构3沿安装槽11长度方向间隔排布，测量机构4位于每相邻两组固定机构3之间。

具体的，参照图3和图4，固定机构3包括第一固定组件31、第二固定组件32、传动杠杆33和限位组件34，第一固定组件31和第二固定组件32分别设置在对应的安装槽11的两侧。传动杠杆转动设置在安装板1远离安装槽11的背侧，第一固定组件31和第二固定组件32设置在传动杠杆的两端，传动杠杆33能够朝向与安装板1平面相垂直的方向摆动。

参照图4，第一固定组件31包括驱动轴311、第一压紧块312和第一锁紧件313。驱动轴311贯穿安装板1设置，驱动轴311轴向与安装板1平面方向垂直。第一压紧块312和第一锁紧件313均套设在驱动轴311外侧。其中，第一压紧块312与驱动轴311转动连接，第一锁紧件313与驱动轴311螺纹连接。第一锁紧件313与第一压紧块312远离安装板1的一侧抵接。第一锁紧件313具体可以为螺母，当转动第一锁紧件313时，第一锁紧件313能够相对于驱动轴311轴向运动，并带动第一压紧块312朝向安装板1运动夹紧晶棒。

进一步的，参照图4，第二固定组件32包括第二锁紧件323、第二压紧块322和从动轴321，从动轴321轴向与安装板1平面方向垂直，需要说明的，第二锁紧件323和第二压紧块322均套设在从动轴321外侧。第二锁紧件323与从动轴321转动连接，第二锁紧件323与从动轴321固定连接。驱动轴311远离第一压紧块312的一端与传动杠杆33铰接，从动轴321远离第二压紧块322的一端与传动杠杆33铰接。当驱动轴311朝向远离传动杠杆33的一端运动时，从动轴321朝向靠近传动杠杆33的方向运动。限位组件34包括两个相对设置的限位环341，每个限位环341的一端与第一压紧块312或第二压紧块322连接，另一端相向靠拢并朝向安装槽11内延伸，每个限位环341朝向安装槽11的一侧均贴设有缓冲层，缓冲层具体可为橡胶或海绵等材质。

进一步的，参照图4，第一压紧块312或第二压紧块322底部与安装板1之间还设置有弹性复位件35，弹性复位件35一端与第一压紧块312或第二压紧块322底部连接，另一端绕设在驱动轴311或从动轴321的外侧并与安装板1连接。

参照图3，每组测量机构4均包括测量驱动件41和测距传感器42，测距传感器42与对应的测量驱动件41输出轴连接，安装槽11两侧的测距传感器42能够在对应的测量驱动件41的驱动下朝向对侧测距传感器42移动。需要说明的，两个安装槽11之间的测量驱动件41为双向气缸，靠近安装板1边缘部位的测量驱动件41为单向气缸。

参照图3，安装板1的两端分别设置有第一托板5和第二托板6，第一托板5和第二托板6分别与安装板1平面垂直，第一托板5和第二托板6上均设置有用于插设晶棒端部的固定座7。

进一步的，参照图5，安装板1其中一端开设有滑槽12，第二托板6的一侧连接有滑移板61，滑移板61滑动嵌设在滑槽12内，滑移板61靠近滑槽12内侧壁的端部与滑槽12内侧壁之间嵌设有弹性件（图中未显示），弹性件具体为拉簧。进一步的，滑移板61和安装板1表面上设置有刻度8，当将晶棒固定在固定座7上时，通过滑移板61和安装板1上的刻度8可以获取晶棒的整体长度。

第二方面，本申请还公开了一种晶棒直径测量方法，应用于上述晶棒直径测量装置，包括以下步骤：

S1：当支撑架21处于水平状态时，转动第一压紧块312和第二压紧块322，将两个限位环341向远离安装槽11的方向转动，使得两个限位环341之间形成供晶棒穿过的让位空间。

S2：启动驱动电机224，带动转动杆223转动，使得第一连杆221摆动，将安装板1调整为竖直状态。

S3：利用籽晶提拉机构或其他提拉工具将晶棒从牵引室提拉至安装槽11内，同时将晶棒底端抵在第一托板5的固定座7上。

S4：依次将所有的限位环341向安装槽11方向回转，同时转动第一锁紧件313，使得两个限位环341同时向下压紧，对晶棒进行固定。

S5：向安装板1外侧拉动第二托板6，使得晶棒的另一端能够抵在第二托板6上的固定座7上，根据滑移板61的拉出长度和安装板1的整体长度获取晶棒的长度值。

S6：启动驱动电机224回转，将安装板1调整为水平状态。

S7：驱动测量驱动件41，使得安装槽11两侧的测距传感器42相向靠拢并与晶棒表面接触，完成直径测量。

本申请实施例中一种晶棒直径测量装置及测量方法的实施原理为：当安装板1处于竖直状态时，将晶棒沿两个限位环341之间的让位空间牵引至安装槽11内，然后利用第一托板5、第二托板6和限位环341共同对晶棒进行限位固定。晶棒安装固定好之后将安装板1转动至水平状态，然后再通过测量机构4对晶棒直径进行测量，测量结束后可将整个支撑架21进行移动从而实现晶棒的转移。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种晶棒直径测量装置，其特征在于：包括安装板（1）、固定机构（3）和测量机构（4），所述固定机构（3）和所述测量机构（4）均设置在所述安装板（1）上；所述安装板（1）上开设有若干个用于放置晶棒的安装槽（11），所述固定机构（3）的数量为若干组，若干组所述固定机构（3）沿所述安装槽（11）长度方向间隔排布在所述安装槽（11）两侧，所述测量机构（4）设置在所述安装槽（11）两侧且与所述固定机构（3）交替间隔排布；每组所述测量机构（4）包括测量驱动件（41）和测距传感器（42），所述测距传感器（42）与对应的所述测量驱动件（41）输出轴连接，所述安装槽（11）两侧的所述测距传感器（42）能够在对应的所述测量驱动件（41）的驱动下朝向对侧所述测距传感器（42）移动；

所述固定机构（3）包括第一固定组件（31）、第二固定组件（32）和限位组件（34），所述第一固定组件（31）和所述第二固定组件（32）分别设置在所述安装槽（11）的两侧，所述限位组件（34）包括两个相对设置的限位环（341），每个所述限位环（341）的一端与所述第一固定组件（31）或所述第二固定组件（32）连接，另一端相向靠拢并朝向所述安装槽（11）内延伸；

所述第一固定组件（31）包括驱动轴（311）、第一压紧块（312）和第一锁紧件（313），所述驱动轴（311）轴向与所述安装板（1）平面方向垂直，所述第一压紧块（312）与对应的所述限位环（341）连接，所述第一压紧块（312）转动套设在所述驱动轴（311）外侧，所述第一锁紧件（313）套设在所述驱动轴（311）外侧并与所述驱动轴（311）螺纹连接，所述第一锁紧件（313）位于所述第一压紧块（312）远离所述安装板（1）的一侧并能够与所述第一压紧块（312）抵接；

所述固定机构（3）还包括传动杠杆（33），所述传动杠杆（33）转动设置在所述安装板（1）内并能沿垂直于所述安装板（1）平面方向摆动，所述第一固定组件（31）和所述第二固定组件（32）设置在所述传动杠杆（33）的两端；所述第二固定组件（32）包括第二压紧块（322）和从动轴（321），所述从动轴（321）轴向与所述安装板（1）平面方向垂直，所述第二压紧块（322）与对应的所述限位环（341）连接；所述驱动轴（311）远离所述第一压紧块（312）的一端与所述传动杠杆（33）铰接，所述从动轴（321）远离所述第二压紧块（322）的一端与所述传动杠杆（33）铰接；当所述驱动轴（311）朝向远离所述传动杠杆（33）的一端运动时，所述从动轴（321）朝向靠近所述传动杠杆（33）的方向运动。

2.根据权利要求1所述的一种晶棒直径测量装置，其特征在于：所述第一固定组件（31）还包括弹性复位件（35），所述弹性复位件（35）一端与所述第一压紧块（312）底部连接，另一端绕设在所述驱动轴（311）外侧并与所述安装板（1）连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶棒直径测量装置，其特征在于：还包括翻转支撑机构（2），所述翻转支撑机构（2）包括支撑架（21）和摆动组件（22），所述安装板（1）一端与所述支撑架（21）一侧转动连接，所述摆动组件（22）设置在所述安装板（1）与所述支撑架（21）之间；所述摆动组件（22）包括第一连杆（221）、第二连杆（222）和驱动电机（224），所述驱动电机（224）设置在所述支撑架（21）上，所述第一连杆（221）的一端与所述驱动电机（224）输出轴连接，另一端与所述第二连杆（222）铰接，所述第二连杆（222）远离所述第一连杆（221）的一端与所述安装板（1）铰接。

4.根据权利要求3所述的一种晶棒直径测量装置，其特征在于：所述支撑架（21）上设置有若干个用于对所述安装板（1）进行限位的限位支座（24），每个所述限位支座（24）上均开设有限位槽（241）；所述翻转支撑机构（2）还包括转向组件（23），所述转向组件（23）包括连接杆（232），所述连接杆（232）沿支撑架（21）长度方向设置，所述连接杆（232）的两端均设置有限位挡板（231），当沿所述支撑架（21）长度方向移动所述连接杆（232）时，所述限位挡板（231）能够朝向所述限位槽（241）槽口方向移动。

5.根据权利要求1所述的一种晶棒直径测量装置，其特征在于：所述安装板（1）的两端分别设置有第一托板（5）和第二托板（6），所述第一托板（5）和所述第二托板（6）分别与所述安装板（1）平面垂直，所述第一托板（5）和所述第二托板（6）上均设置有用于插设晶棒端部的固定座（7）；所述安装板（1）其中一端开设有滑槽（12），所述第二托板（6）嵌设在所述滑槽（12）内，所述第二托板（6）与所述滑槽（12）内侧壁之间设置有弹性件。

6.根据权利要求5所述的一种晶棒直径测量装置，其特征在于：所述第二托板（6）和所述安装板（1）上均设置有刻度（8）。

7.一种晶棒直径测量方法，其特征在于，应用于如权利要求1～6中任意一项所述的晶棒直径测量装置，包括以下步骤：S1：将两个限位环（341）向远离安装槽（11）的方向转动并将安装板（1）调整为竖直状态；S2：提拉晶棒至安装槽（11）内，通过第一托板（5）、第二托板（6）和固定机构（3）对晶棒进行固定；S3：将安装板（1）调整为水平状态；S7：利用测量机构（4）对晶棒直径进行测量。