CN215896346U - 一种硅片花篮翻转机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片花篮翻转机构，针对现有技术借助滑轮结构复杂的问题，提供了以下技术方案，包括驱动机构，与驱动机构连接的转动片，与转动片固定连接的翻转机构；驱动机构包括伺服电机和减速电机，减速电机位于伺服电机下方，减速电机的电机轴与转动片连接；转动片的另一侧固定翻转机构，翻转机构包括与转动片连接的支撑板，安装在支撑板上的第一气缸和第二气缸，位于第一气缸与第二气缸两边的第一电磁阀和第二电磁阀；与第一气缸、第二气缸、第一电磁阀、第二电磁阀相反一侧的支撑板两端分别安装第四传感器和第五传感器；支撑板上安装卡合硅片花篮。本实用新型通过设置第一气缸和第二气缸将硅片花篮进行夹紧，结构简单，提高工作效率。

Description

一种硅片花篮翻转机构

技术领域

本实用新型涉及硅片加工领域，更具体地说，它涉及一种硅片花篮翻转机构。

背景技术

硅片花篮是在硅片加工制作的过程中用来承载硅片的机构，在使用的过程中需要对硅片花篮进行翻转移动将承载有硅片的花篮进行移动使用，通过将硅片花篮放置在与硅片花篮相互配合的翻转机构上，完成该硅片花篮的翻转，便于将硅片花篮上承载的硅片进行运输。

目前，公开号为CN206059362U的中国专利公开了一种硅片花篮翻转机构，它具有转动机构，所述转动机构包括转动电机，所述转动电机通过第一联轴器连接转动减速机，所述转动减速机驱动转动轴，所述转动轴通过第一连接件连接花篮座，所述花篮座包括卡座以及与卡座垂直的背板，所述花篮座与第一连接件固定连接。转动电机通过第一联轴器驱动转动减速机转动，转动减速机驱动转动轴转动，转动轴通过第一连接件连接花篮座，使得花篮座可旋转90度，从竖直状态翻转至水平状态，进而使得安装在花篮座上的硅片花篮从竖直状态翻转至水平状态。

这种硅片花篮翻转机构主要借助滑移机构推动花篮座在水平方向上的移动，并将滑移电机通过第二联轴器驱动滑移减速机转动，滑移减速机驱动滑移轴转动，借助滑移轴两端设置的滚轮，将滚轮置于固定设置的滑轨上。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种硅片花篮翻转机构，具有使用方便，结构简单的优点。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

一种硅片花篮翻转机构，包括驱动机构，与所述驱动机构连接的转动片，与所述转动片固定连接的翻转机构；

所述驱动机构包括伺服电机和减速电机，所述减速电机位于所述伺服电机的下方，所述减速电机的电机轴与所述转动片连接；

所述转动片的另一侧固定翻转机构，所述翻转机构包括与所述转动片连接的支撑板，安装在所述支撑板上的第一气缸和第二气缸，位于所述第一气缸与所述第二气缸两边的第一电磁阀和第二电磁阀；与所述第一气缸、所述第二气缸、所述第一电磁阀、所述第二电磁阀相反一侧的支撑板两端分别安装有第四传感器和第五传感器；

所述支撑板上安装卡合硅片花篮。

采用上述技术方案，通过第一气缸与第二气缸的作用将硅片花篮夹紧在支撑板上，安装在翻转机构上的硅片花篮跟随转动片转动实现水平和竖直两个状态位置的切换，位于水平状态的硅片花篮呈空载状态，随后硅片花篮在转动片的作用下由水平状态转动至竖直状态，转动至竖直状态的硅片花篮能够承载相对应的硅片，实现对硅片的运输，整个结构安装简单方便，提高工作效率。

进一步，所述驱动机构的下方设置支架，所述支架呈簸箕开口状。

采用上述技术方案，支架设置在驱动机构的下方，能够保证驱动机构运转过程中的稳定性。

进一步，所述支架的顶部安装有第一传感器和第二传感器，与所述第一传感器和第二传感器相邻一侧边上安装有第三传感，所述第一传感器、所述第二传感器与所述第三传感器顶部呈内凹形状。

进一步，所述转动片上设有定位片，所述定位片与所述第一传感器、所述第二传感器和所述第三传感器相互配合。

采用上述技术方案，第一传感器、第二传感器与第三传感器的顶部设置的内凹状与定位片能够相互配合，以便第一感应器、第二感应器和第三感应器对定位片的感应。

进一步，所述第一气缸的两侧边分别安装第二夹板和第四夹板，所述第二夹板与所述第四夹板的内侧分别安装固定第二夹块和第四夹块，所述第二夹块与所述第四夹块分别抵接于所述支撑板两侧边。

进一步，所述第二气缸安装的结构与所述第一气缸安装的结构完全相同，即所述第二气缸的两侧边安装第一夹板和第三夹板，所述第一夹板与所述第三夹板的内侧分别固定第一夹块和第三夹块，所述第一夹块与所述第三夹块分别抵接于所述支撑板两侧边。

采用上述技术方案，第一气缸与第二气缸采用完全相同的结构安装，并且在工作的过程中，第一气缸与第二气缸实现同步打开，便于将两侧边相对应的夹板松开后进行夹取硅片花篮。

进一步，所述支撑板的一侧边还固定安装有支撑架，所述支撑架呈三角形状。

采用上述技术方案，采用三角形状的支撑架设置在支撑板的一侧，用来给支撑板提供稳定性。

进一步，所述第四传感器与所述第五传感器上放置所述硅片花篮。

采用上述技术方案，第四传感器与第五传感器上放置硅片花篮，第四传感器与第五传感器感应到硅片花篮的放置之后能够启动第一气缸和第二气缸将硅片花篮进行夹紧，调整水平或竖直状态。

进一步，所述支撑板上还安装有接近开关。

采用上述技术方案，通过接近开关来检测支撑板上是否放置硅片花篮，使用简单方便。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：

1.通过借助伺服电机和减速电机的作用，驱动转动片实现由水平至竖直状态的转动，与转动片连接的翻转机构跟随转动片进行运动，伺服电机与减速电机通过支架进行保护；

2.通过设置的第一气缸和第二气缸对安装在翻转机构上的硅片花篮进行夹紧或者取放工作，第一气缸与第二气缸呈现同步的工作状态，结构简单，提高了该翻转机构的工作效率；

3.将硅片一片一片放置卡进硅片花篮，通过减速机带动，花篮升起到竖直状态，花篮放置在翻转机构上，第四传感器和第五传感器感应到有东西放上来之后，气缸启动夹紧硅片花篮，将硅片花篮竖直，硅片花篮底部支撑夹紧，气缸松开，翻转机构回到倾斜的状态，硅片花篮上放置满硅片之后，翻转机构再将硅片花篮取回，翻转回去，硅片花篮竖直的时候底部通过气缸夹紧定位。

附图说明

图1为本实用新型实施例花篮水平放置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例花篮竖直放置的结构示意图；

图3为本实用新型实施例翻转机构水平放置的结构示意图；

图4为本实用新型实施例翻转机构的俯视图；

图5为本实用新型实施例翻转机构的仰视图。

图中：1、伺服电机，2、减速电机，3、支架，4、转动片，5、第一传感器，6、第二传感器，7、支撑架，8、支撑板，9、第一气缸，10、第二气缸，11、第一夹板，12、第二夹板，13、硅片花篮，14、第四传感器，15、第五传感器，16、第二夹块，17、第三夹板，18、第四夹板，19、第一夹块，20、第四夹块，21、定位片，22、接近开关，23、第三传感器，24、第三夹块，25、第一电磁阀，26、第二电磁阀。

具体实施方式

下面结合附图及实施例，对本实用新型进行详细描述。

本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。

一种硅片花篮翻转机构，参见图1至图5，硅片花篮13放置在翻转机构上的支撑板8上，与硅片花篮13安装相反一侧的支撑板8上设置第一气缸9和第二气缸10，通过第一气缸9和第二气缸10的松紧实现对硅片花篮13的夹紧或取出，与第一气缸9和第二气缸10安装同侧边的支撑板8上还设有支撑架7，支撑架7成三角形状，用来支撑该支撑板8，支撑架7的一外侧端安装有与减速电机2连接的转动片4，减速电机2的上方安装有伺服电机1，在减速电机2和伺服电机1启动的状态下，转动片4跟随转动，能够将该转动片4从水平位置转动至竖直位置，进而带动支撑板8从水平状态转到竖直状态。

参见图2，展示的为将硅片花篮13安装在翻转机构上之后，通过伺服电机1余减速电机2的驱动作用，通过转动片4带动翻转机构转动，使得硅片花篮13呈现竖直状态，呈现竖直状态的硅片花篮13上能够放置硅片，在硅片花篮13上放置硅片的过程中，硅片花篮13的底部通过外接的气缸夹具结构将硅片花篮13的底部进行夹紧，进而固定硅片花篮13的位置，便于在硅片花篮13上放置硅片，提高工作效率，其中，放置硅片的过程中，翻转机构退出，返回至水平状态，转动片4上安装有定位片21，该定位片21能够与支架3上设置的三个传感器相互感应，即第一传感器5、第二传感器6和第三传感器23能够在定位片21达到的时候感应到翻转机构的到来，便于取放硅片花篮13机构，提高硅片放置加工的工作效率。

参见图3、图4、图5，展示的为没有放置硅片花篮13的单独的翻转机构的结构示意图，此时的翻转机构呈现为将硅片花篮13运输至定位机构安装硅片之后，翻转机构在转动片4的带动下，再次回到水平的位置，此时水平状态的翻转机构上能够放置另一个空置的硅片花篮13，进行操作与上述相同的工作步骤；由具体图示可看，伺服电机1与减速电机2是通过支架3起到支撑作用的，其中该支架3呈簸箕的开口形状，该支架3的上方以及侧边分别设置第一传感器5、第二传感器6和第三传感器23三个传感器，支架3上设置的三个传感器都能够与转动片4上设置的定位片21实现感应互通，转动片4上固定连接有支撑板8，支撑板8的另一侧支撑有三角形状的支撑架7，用来支撑翻转机构，提供稳定性，设有支撑架7一侧的支撑板8上分别安装有第一电磁阀25和第二电磁阀26，第一电磁阀25和第二电磁阀26之间固定有第一气缸9，第二电磁阀26的外侧安装有与第一气缸9完全相同的第二气缸10，第二气缸10的外侧设置圆孔固定有接近开关22，通过接近开关22来检测硅片花篮13是否放置，提高工作效率。

具体的，第一气缸9与第二气缸10的两侧边分别安装固定有夹板，第一气缸9的两侧边分别安装第二夹板12和第三夹板17，第二夹板12与第三夹板17分别通过设置第三夹块24和第二夹块16与支撑板8的两侧相互抵接，在第一气缸9运动打开的时候，第二夹板12和第三夹板17向两侧伸展开，与第二夹板12和第三夹板17固定的第二夹块16和第三夹块24跟随第二夹板12和第三夹板17向两侧伸展，便于取下硅片花篮13，相同的，第二气缸10所在的结构与第一气缸9所在的结构完全相同，第二气缸10的两侧边分别安装第一夹块11和第四夹板18，第一夹板11与第四夹板18分别设置第一夹块19和第四夹块20与支撑板8的两侧相互抵接，在第二气缸10打开的时候，第一夹板11和第四夹板18向两侧神展开，与第一夹板11和第四夹板18固定的第一夹块19和第四夹块20跟随第一夹板11和第四夹板18向两侧伸展，第一气缸9与第二气缸10的工作状态完全相同，两者打开与闭合的状态相同，便于将硅片花篮13放置在该翻转机构上。

具体的，参见图4，支撑板8安装气缸相反的一侧两端分别安装有第四传感器14和第五传感器15，第四传感器14与第五传感器15用来感应硅片花篮13放置在支撑板8上的状态，在硅片花篮13对应放置在支撑板8两端的第四传感器14和第五传感器15上时，第一气缸9与第二气缸10向内夹紧硅片花篮13，便于硅片花篮13固定在翻转机构上，进行运输后将硅片安放在硅片花篮13上，提高工作效率。

本实用新型实施例的工作原理：

通过借助伺服电机1和减速电机2的作用，驱动转动片4实现由水平至竖直状态的转动，与转动片4连接的翻转机构跟随转动片4进行运动，伺服电机1与减速电机2通过支架3进行保护，支架3上设置的第一传感器5、第二传感器6和第三传感器23能够与转动片4上安装的定位片21进行感应，即定位片21位于任一感应器内部，感应器检测到此处的定位片21能够方便调整和设置翻转机构工作所处的状态，即可分为水平状态、竖直状态和倾斜状态，在定位片21与第一传感器5相互对应的时候，翻转机构呈现倾斜状态，此时的翻转机构能够更方便调整回至与硅片花篮13所处的竖直状态，翻转机构无需向下回到水平状态即可回到竖直状态，简单方便，提高工作效率。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (9)

1.一种硅片花篮翻转机构，其特征在于：包括驱动机构，与所述驱动机构连接的转动片（4），与所述转动片（4）固定连接的翻转机构；

所述驱动机构包括伺服电机（1）和减速电机（2），所述减速电机（2）位于所述伺服电机（1）的下方，所述减速电机（2）的电机轴与所述转动片（4）连接；

所述转动片（4）的另一侧固定翻转机构，所述翻转机构包括与所述转动片（4）连接的支撑板（8），安装在所述支撑板（8）上的第一气缸（9）和第二气缸（10），位于所述第一气缸（9）与所述第二气缸（10）两边的第一电磁阀（25）和第二电磁阀（26）；与所述第一气缸（9）、所述第二气缸（10）、所述第一电磁阀（25）、所述第二电磁阀（26）相反一侧的支撑板（8）两端分别安装有第四传感器（14）和第五传感器（15）；

所述支撑板（8）上安装卡合硅片花篮（13）。

2.根据权利要求1所述的一种硅片花篮翻转机构，其特征在于，所述驱动机构的下方设置支架（3），所述支架（3）呈簸箕开口状。

3.根据权利要求2所述的一种硅片花篮翻转机构，其特征在于，所述支架（3）的顶部安装有第一传感器（5）和第二传感器（6），与所述第一传感器（5）和第二传感器（6）相邻一侧边上安装有第三传感器（23），所述第一传感器（5）、所述第二传感器（6）与所述第三传感器（23）顶部呈内凹形状。

4.根据权利要求3所述的一种硅片花篮翻转机构，其特征在于，所述转动片（4）上设有定位片（21），所述定位片（21）与所述第一传感器（5）、所述第二传感器（6）和所述第三传感器（23）相互配合。

5.根据权利要求1所述的一种硅片花篮翻转机构，其特征在于，所述第一气缸（9）的两侧边分别安装第二夹板（12）和第四夹板（18），所述第二夹板（12）与所述第四夹板（18）的内侧分别安装固定第二夹块（16）和第四夹块（20），所述第二夹块（16）与所述第四夹块（20）分别抵接于所述支撑板（8）两侧边。

6.根据权利要求1所述的一种硅片花篮翻转机构，其特征在于，所述第二气缸（10）安装的结构与所述第一气缸（9）安装的结构完全相同，即所述第二气缸（10）的两侧边安装第一夹板（11）和第三夹板（17），所述第一夹板（11）与所述第三夹板（17）的内侧分别固定第一夹块（19）和第三夹块（24），所述第一夹块（19）与所述第三夹块（24）分别抵接于所述支撑板（8）两侧边。

7.根据权利要求1所述的一种硅片花篮翻转机构，其特征在于，所述支撑板（8）的一侧边还固定安装有支撑架（7），所述支撑架（7）呈三角形状。

8.根据权利要求1所述的一种硅片花篮翻转机构，其特征在于，所述第四传感器（14）与所述第五传感器（15）上放置所述硅片花篮（13）。

9.根据权利要求1所述的一种硅片花篮翻转机构，其特征在于，所述支撑板（8）上还安装有接近开关（22）。

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