CN215894422U - 一种物料表面缺陷检测设备 - Google Patents

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CN215894422U CN202123228747.7U CN202123228747U CN215894422U CN 215894422 U CN215894422 U CN 215894422U CN 202123228747 U CN202123228747 U CN 202123228747U CN 215894422 U CN215894422 U CN 215894422U
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刘长江
韩建勋
产文兵
郑军
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Abstract

本实用新型提出了一种物料表面缺陷检测设备,包括隔纸上料仓、物料上料仓、隔纸上料装置、物料上料装置、载物台、视觉检测装置、物料下料装置以及隔纸吸取装置;所述隔纸上料仓与物料上料仓相邻设置,所述隔纸上料装置和物料上料装置均设置于隔纸上料仓、物料上料仓以及载物台的上方,且所述隔纸上料装置能够在隔纸上料仓和物料上料仓上方移动;所述物料上料装置能够在物料上料仓的上方移动;所述载物台能够朝靠近所述物料下料装置的方向移动经过所述视觉检测装置并将物料输送至所述物料下料装置的下方,所述视觉检测装置拍摄检测载物台上的物料的缺陷,所述物料下料装置将检测后的物料吸取至下料区,所述隔纸吸取装置将隔纸吸取放置于物料上。

Description

一种物料表面缺陷检测设备
技术领域
本实用新型涉及产线设备技术领域,尤其涉及一种物料表面缺陷检测设备。
背景技术
集成电路载板类物料作为集成电路的芯片载体,是一种现芯片内部电路与外部电路形成电气回路的关键结构件,绝大部分的半导体集成块中都需要使用引线框架和集成电路载板;大部分厂商需要是以人工检测为主,成本高,效率低,漏检率高。因此如何高效针对生产的薄型物料的质量进行缺陷检测是当前工厂内部急需解决的问题。
鉴于此,实有必要提供一种新型的物料表面缺陷检测设备以克服上述缺陷。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种物料表面缺陷检测设备,能够自动对物料进行检测,检测效率高,且漏检率低。
为了实现上述目的,本实用新型提供一种物料表面缺陷检测设备,包括隔纸上料仓、物料上料仓、隔纸上料装置、物料上料装置、载物台、视觉检测装置、物料下料装置以及隔纸吸取装置;所述隔纸上料装置与物料上料装置呈直线分布,所述物料下料装置与隔纸吸取装置呈直线分布;所述隔纸上料仓与所述物料上料仓相邻设置,所述隔纸上料装置和所述物料上料装置均设置于所述隔纸上料仓、物料上料仓以及载物台的上方,且所述隔纸上料装置能够在所述隔纸上料仓和物料上料仓上方移动;所述物料上料装置能够在所述物料上料仓的上方移动;所述载物台能够朝靠近所述物料下料装置的方向移动经过所述视觉检测装置并将物料输送至所述物料下料装置的下方,所述视觉检测装置拍摄检测载物台上的物料的缺陷,所述物料下料装置将检测后的物料吸取至下料区,所述隔纸吸取装置将隔纸吸取放置于物料上。
优选的,所述物料上料仓的数量为两个,所述隔纸上料仓与两个物料上料仓相邻设置。
优选的,所述隔纸上料装置包括第一安装部以及第一取料机构;所述第一安装部滑动安装于所述物料表面缺陷检测设备的第一安装梁上,所述第一安装部上装设有第一升降组件,所述第一取料机构上装设有第一吸附件,所述第一取料机构与所述第一升降组件连接。
优选的,所述物料上料装置包括第二安装部以及第二取料机构;所述第二安装部滑动安装于所述物料表面缺陷检测设备的第一安装梁上,所述第二安装部上装设有第二升降组件,所述第二取料机构上装设有第二吸附件,所述第二取料机构与所述第二升降组件连接。
优选的,所述第一安装梁上设置有第一滑轨,所述隔纸上料装置的第一安装部上设置有第一滑块,所述第二安装部上设置有第二滑块,所述第一安装部通过所述第一滑块与第一滑轨滑动配合,所述第二安装部通过第二滑块与第一滑轨滑动配合。
优选的,所述物料表面缺陷检测设备还包括缓存移料装置,所述缓存移料装置包括第三安装部以及第三取料机构;所述第三安装部滑动安装于所述物料表面缺陷检测设备的第二安装梁上,所述第三安装部上装设有第三升降组件,所述第三取料机构上装设有第三吸附件,所述第三取料机构与所述第三升降组件连接。
优选的,所述缓存移料装置还包括流水线,所述流水线安装于所述物料下料装置和第三取料机构的下方,且所述流水线上设置有预存工位。
优选的,所述物料下料装置包括第四安装部以及第四取料机构;所述第四安装部滑动安装于所述物料表面缺陷检测设备的第二安装梁上,所述第四安装部上装设有第四升降组件,所述第四取料机构上装设有第四吸附件,所述第四取料机构与所述第四升降组件连接。
优选的,所述第二安装梁上设置有第二滑轨,所述物料下料装置的第四安装部上设置有第三滑块,所述隔纸吸取装置的第五安装部上设置有第四滑块,所述第四安装部通过第三滑块与第二滑轨滑动配合,所述第五安装部通过第四滑块与第二滑轨滑动配合。
优选的,所述隔纸吸取装置包括第五安装部以及第五取料机构;所述第五安装部滑动安装于所述物料表面缺陷检测设备的第二安装梁上,所述第五安装部上装设有第五升降组件,所述第五取料机构上装设有第五吸附件,所述第五取料机构与所述第五升降组件连接。
优选的,所述物料表面缺陷检测设备还包括物料下料仓,所述物料下料仓装设于所述物料表面缺陷检测设备的下料区。
优选的,所述物料表面缺陷检测设备还包括下料隔纸仓,所述下料隔纸仓与所述物料下料仓相邻设置并位于所述物料表面缺陷检测设备的下料区。
优选的,所述物料下料仓的数量为三个,三个物料下料仓相邻设置并位于所述物料下料装置的下方。
优选的,所述物料表面缺陷检测设备还包括机台,所述隔纸上料仓、物料上料仓、载物台、视觉检测装置、流水线、物料下料仓、下料隔纸仓均安装于所述机台上。
与现有技术相比,本实用新型提供的一种物料表面缺陷检测设备,有益效果在于:能够自动上下料,且视觉检测装置自动对物料进行检测,检测效率高,不再需要通过人工的方式逐个检测,且觉检测装置自动检测漏检率低。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图:
图1为本实用新型提供的物料表面缺陷检测设备的结构示意图;
图2为本实用新型提供的物料表面缺陷检测设备的立体图;
图3为图2所示的物料表面缺陷检测设备的另一视角的立体图;
图4为图3所示的A区域的放大图;
图5为图2所示的物料表面缺陷检测设备的侧视图。
附图标记:1、隔纸上料仓;2、物料上料仓;3、隔纸上料装置;4、物料上料装置;5、载物台;6、视觉检测装置;7、物料下料装置;8、隔纸吸取装置;31、第一安装部;32、第一取料机构;311、第一升降组件;321、第一吸附件;9、缓存移料装置; 91、流水线;911、预存工位;10、物料下料仓; 11、下料隔纸仓;12、第一安装梁;13、第二安装梁;14、机台。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案和有益技术效果更加清晰明白,以下结合附图和具体实施方式,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解的是,本说明书中描述的具体实施方式仅仅是为了解释本实用新型,并不是为了限定本实用新型。
需要理解的是,术语 “上”、 “下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
还需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,“安装”、“相连”、“连接”、“固定”、“设置”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况上述术语在本实用新型中的具体含义。
此外,术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”、的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。此外,“多个”、“若干”的含义是指两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
请参阅图1,本实用新型提供一种物料表面缺陷检测设备,包括隔纸上料仓1、物料上料仓2、隔纸上料装置3、物料上料装置4、载物台5、视觉检测装置6、物料下料装置7以及隔纸吸取装置8;
所述隔纸上料装置3与物料上料装置4呈直线分布,所述物料下料装置7与隔纸吸取装置8呈直线分布并与所述隔纸上料装置3和物料上料装置4间隔;
所述隔纸上料仓1与所述物料上料仓2相邻设置,所述隔纸上料装置3和所述物料上料装置4均设置于所述隔纸上料仓1、物料上料仓2以及载物台5的上方,且所述隔纸上料装置3能够在所述隔纸上料仓1和物料上料仓2上方来回移动并用于将放置在物料上料仓2中的物料上的隔纸吸取放置于所述隔纸上料仓1内;所述物料上料装置4能够在所述物料上料仓2的上方来回移动并用于将物料上料仓2中的物料吸取放置于所述载物台5上;
所述载物台5能够朝靠近所述物料下料装置7的方向匀速来回移动经过所述视觉检测装置6,并将物料(如芯片、PCB板等)输送至所述物料下料装置7的下方,所述视觉检测装置6拍摄检测载物台5上的物料的缺陷(如划痕、元件错位、蚀刻纹路缺陷等),所述物料下料装置7将检测后的物料吸取至下料区,所述隔纸吸取装置8将隔纸吸取放置于下料区的物料的表面上。在本实施例中,所述视觉检测装置6为工业相机。
请一同参阅图2至图5,进一步的,所述物料上料仓2的数量为两个,所述隔纸上料仓1与两个物料上料仓2相邻设置。
进一步的,所述隔纸上料装置3包括第一安装部31以及第一取料机构32;所述第一安装部31滑动安装于所述物料表面缺陷检测设备的第一安装梁12上,所述第一安装部31上装设有第一升降组件311,所述第一取料机构32上装设有第一吸附件321,所述第一取料机构32与所述第一升降组件311连接。所述第一安装部31能够在第一安装梁12上来回滑动,所述第一升降组件311能够带动第一取料机构32升降运动以便第一取料机构32的第一吸附件321吸取和移送隔纸。
当所述隔纸上料装置3吸取物料上的隔纸时,所述第一安装部31沿第一安装梁12滑动至所述物料上料仓2的正上方,所述第一升降组件311带动所述第一取料机构32下降运动以便第一吸附件321吸附物料上的隔纸;当所述第一吸附件321吸附隔纸完成时,所述第一升降组件311带动所述第一取料机构32上升运动,所述第一安装部31沿第一安装梁12滑动至所述隔纸上料仓1的正上方,所述第一升降组件311带动所述第一取料机构32下降运动以便第一吸附件321将隔纸放置于隔纸上料仓1上,所述第一升降组件311带动第一取料机构32上升运动至原来的位置,如此往复循环。
进一步的,所述物料上料装置4包括第二安装部以及第二取料机构;所述第二安装部滑动安装于所述物料表面缺陷检测设备的第一安装梁12上,所述第二安装部上装设有第二升降组件,所述第二取料机构上装设有第二吸附件,所述第二取料机构与所述第二升降组件连接。所述第二安装部能够在第一安装梁12上来回滑动,所述第二升降组件能够带动第二取料机构升降运动以便第二取料机构的第二吸附件吸取和移送物料。
当所述隔纸上料装置3吸取物料上的隔纸物料的动作完成后,所述第二安装部沿第一安装梁12滑动至所述物料上料仓2的正上方,所述第二升降组件带动所述第二取料机构下降运动以便第二吸附件吸附物料;当所述第二吸附件吸附物料完成时,所述第二升降组件带动所述第二取料机构上升运动,所述第二安装部沿第一安装梁12滑动至所述载物台5的正上方,所述第二升降组件带动所述第二取料机构下降运动以便第二吸附件将物料放置于载物台5上,所述第二升降组件带动第二取料机构上升运动至原来的位置,
当所述隔纸上料装置3将物料放置于载物台5上的动作完成后,所述载物台5朝靠近所述物料下料装置7的方向匀速移动经过所述视觉检测装置6,此时通过观察所述视觉检测装置6拍摄检测物料的表面是否存有缺陷,并将物料输送至所述物料下料装置7的下方,然后所述载物台5移动至原来的位置。
进一步的,所述物料表面缺陷检测设备还包括缓存移料装置9,所述缓存移料装置9包括第三安装部以及第三取料机构;所述第三安装部滑动安装于所述物料表面缺陷检测设备的第二安装梁13上,所述第三安装部上装设有第三升降组件,所述第三取料机构上装设有第三吸附件,所述第三取料机构与所述第三升降组件连接。所述第三安装部能够在第二安装梁13上来回滑动,所述第三升降组件能够带动第三取料机构升降运动以便第三取料机构的第三吸附件吸取和移送物料。
当所述视觉检测装置6拍摄检测物料完成后,所述载物台5将物料输送至所述缓存移料装置9的正下方,所述第三升降组件带动第三取料机构下降运动以便第三吸附件吸取载物台5上的物料移送至所述物料下料装置7的正下方,当所述缓存移料装置9将物料移送的动作完成后,所述第三升降组件带动所述第三吸附件上升运动,然后所述物料下料装置7将物料吸取移送至下料区,所述载物台5移动至原来的位置。
进一步的,所述缓存移料装置9还包括流水线91,所述流水线91安装于所述物料下料装置7和第三取料机构的下方,且所述流水线91上设置有预存工位911,所述流水线91用于带动物料来回移动将物料移送至所述物料下料装置7的正下方。当所述载物台5将物料输送至所述缓存移料装置9的正下方时,所述第三升降组件带动第三取料机构下降运动以便第三吸附件吸取载物台5上的物料移送至流水线91的预存工位911上,所述流水线91带动预存工位911移动至所述物料下料装置7的正下方。
进一步的,所述物料下料装置7包括第四安装部以及第四取料机构;所述第四安装部滑动安装于所述物料表面缺陷检测设备的第二安装梁13上,所述第四安装部上装设有第四升降组件,所述第四取料机构上装设有第四吸附件,所述第四取料机构与所述第四升降组件连接。所述第四安装部能够在第二安装梁13上来回滑动,所述第四升降组件能够带动第四取料机构升降运动以便第四取料机构的第四吸附件吸取和移送物料。
当所述流水线91的预存工位911移动至所述物料下料装置7的正下方时,所述第四升降组件带动所述第四取料机构下降运动,以便所述第四取料机构的第四吸附件吸取流水线91的预存工位911上的物料,然后所述第四升降组件带动所述第四取料机构上升运动,所述第四安装部沿第二安装梁13滑动以带动所述第四取料机构的移动至下料区的上方,所述第四升降组件带动所述第四取料机构下降运动,所述第四取料机构的第四吸附件将物料放置于下料区。
进一步的,所述物料表面缺陷检测设备还包括物料下料仓10,所述物料下料仓10装设于所述物料表面缺陷检测设备的下料区。具体的,所述物料下料仓10的数量为三个,三个物料下料仓10相邻设置并位于所述物料下料装置7的下方。
如此,当所述物料下料装置7下料时,所述物料下料装置7的第四安装部沿第二安装梁13滑动以带动所述第四取料机构的移动至下料区的物料下料仓10的上方,所述第四升降组件带动所述第四取料机构下降运动,所述第四取料机构的第四吸附件将物料放置于下料区的物料下料仓10中,然后所述第四升降组件带动所述第四取料机构上升运动,所述第四安装部带动第四取料结构沿第二安装梁13滑动至原来的位置。
进一步的,所述隔纸吸取装置8包括第五安装部以及第五取料机构;所述第五安装部滑动安装于所述物料表面缺陷检测设备的第二安装梁13上,所述第五安装部上装设有第五升降组件,所述第五取料机构上装设有第五吸附件,所述第五取料机构与所述第五升降组件连接。所述第五安装部能够在第二安装梁13上来回滑动,所述第五升降组件能够带动第五取料机构升降运动以便第五取料机构的第五吸附件吸取和移送隔纸。
进一步的,所述物料表面缺陷检测设备还包括下料隔纸仓11,所述下料隔纸仓11与所述物料下料仓10相邻设置并位于所述物料表面缺陷检测设备的下料区。
如此,当所述第四取料机构的第四吸附件将物料放置于下料区的物料下料仓10中的动作完成后,所述第五升降组件带动所述第五取料机构下降运动以便所述第五取料机构上的第五吸附件吸取下料隔纸仓11内的隔纸。当所述第五吸附件吸取隔纸后,所述第五升降组件带动所述第五取料机构上升运动,所述第五安装部沿第二安装梁13滑动至物料下料仓10的上方,所述第五升降组件带动所述第五取料机构下降运动以便所述第五吸附件将隔纸放置于物料的表面上。
在本实施例中,所述第一升降组件311、第二升降组件、第三升降组件、第四升降组件以及第五升降组件均为采用电机带动滚珠丝杆的运动方式实现升降,所述第一吸附件321、第二吸附件、第三吸附件、第四吸附件以及第五吸附件均为吸盘。
需要说明的是,所述隔纸上料仓1、物料上料仓2、物料下料仓10以及下料隔纸仓11均设置有顶升机构,所述隔纸上料仓1、物料上料仓2、物料下料仓10以及下料隔纸仓11的顶升机构分别用于将物料顶至其顶面以便物料被吸取。
进一步的,所述第一安装梁12上设置有第一滑轨,所述隔纸上料装置3的第一安装部31上设置有第一滑块,所述第二安装部上设置有第二滑块,所述第一安装部31通过所述第一滑块与第一滑轨滑动配合,所述第二安装部通过第二滑块与第一滑轨滑动配合。
进一步的,所述第二安装梁13上设置有第二滑轨,所述物料下料装置7的第四安装部上设置有第三滑块,所述隔纸吸取装置8的第五安装部上设置有第四滑块,所述第四安装部通过第三滑块与第二滑轨滑动配合,所述第五安装部通过第四滑块与第二滑轨滑动配合。
进一步的,所述物料表面缺陷检测设备还包括机台14,所述隔纸上料仓1、物料上料仓2、载物台5、视觉检测装置6、流水线91、物料下料仓10、下料隔纸仓11均安装于所述机台14上。
本实用新型并不仅仅限于说明书和实施方式中所描述,因此对于熟悉领域的人员而言可容易地实现另外的优点和修改,故在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念的精神和范围的情况下,本实用新型并不限于特定的细节、代表性的设备和这里示出与描述的示例。

Claims (14)

1.一种物料表面缺陷检测设备,其特征在于,包括隔纸上料仓(1)、物料上料仓(2)、隔纸上料装置(3)、物料上料装置(4)、载物台(5)、视觉检测装置(6)、物料下料装置(7)以及隔纸吸取装置(8);所述隔纸上料装置(3)与物料上料装置(4)呈直线分布,所述物料下料装置(7)与隔纸吸取装置(8)呈直线分布;所述隔纸上料仓(1)与所述物料上料仓(2)相邻设置,所述隔纸上料装置(3)和所述物料上料装置(4)均设置于所述隔纸上料仓(1)、物料上料仓(2)以及载物台(5)的上方,且所述隔纸上料装置(3)能够在所述隔纸上料仓(1)和物料上料仓(2)上方移动;所述物料上料装置(4)能够在所述物料上料仓(2)的上方移动;所述载物台(5)能够朝靠近所述物料下料装置(7)的方向移动经过所述视觉检测装置(6)并将物料输送至所述物料下料装置(7)的下方,所述视觉检测装置(6)拍摄检测载物台(5)上的物料的缺陷,所述物料下料装置(7)将检测后的物料吸取至下料区,所述隔纸吸取装置(8)将隔纸吸取放置于物料上。
2.如权利要求1所述的物料表面缺陷检测设备,其特征在于,所述物料上料仓(2)的数量为两个,所述隔纸上料仓(1)与两个物料上料仓(2)相邻设置。
3.如权利要求1所述的物料表面缺陷检测设备,其特征在于,所述隔纸上料装置(3)包括第一安装部(31)以及第一取料机构(32);所述第一安装部(31)滑动安装于所述物料表面缺陷检测设备的第一安装梁(12)上,所述第一安装部(31)上装设有第一升降组件(311),所述第一取料机构(32)上装设有第一吸附件(321),所述第一取料机构(32)与所述第一升降组件(311)连接。
4.如权利要求3所述的物料表面缺陷检测设备,其特征在于,所述物料上料装置(4)包括第二安装部以及第二取料机构;所述第二安装部滑动安装于所述物料表面缺陷检测设备的第一安装梁(12)上,所述第二安装部上装设有第二升降组件,所述第二取料机构上装设有第二吸附件,所述第二取料机构与所述第二升降组件连接。
5.如权利要求4所述的物料表面缺陷检测设备,其特征在于,所述第一安装梁(12)上设置有第一滑轨,所述隔纸上料装置(3)的第一安装部(31)上设置有第一滑块,所述第二安装部上设置有第二滑块,所述第一安装部(31)通过所述第一滑块与第一滑轨滑动配合,所述第二安装部通过第二滑块与第一滑轨滑动配合。
6.如权利要求1所述的物料表面缺陷检测设备,其特征在于,所述物料表面缺陷检测设备还包括缓存移料装置(9),所述缓存移料装置(9)包括第三安装部以及第三取料机构;所述第三安装部滑动安装于所述物料表面缺陷检测设备的第二安装梁(13)上,所述第三安装部上装设有第三升降组件,所述第三取料机构上装设有第三吸附件,所述第三取料机构与所述第三升降组件连接。
7.如权利要求6所述的物料表面缺陷检测设备,其特征在于,所述缓存移料装置(9)还包括流水线(91),所述流水线(91)安装于所述物料下料装置(7)和第三取料机构的下方,且所述流水线(91)上设置有预存工位(911)。
8.如权利要求6所述的物料表面缺陷检测设备,其特征在于,所述物料下料装置(7)包括第四安装部以及第四取料机构;所述第四安装部滑动安装于所述物料表面缺陷检测设备的第二安装梁(13)上,所述第四安装部上装设有第四升降组件,所述第四取料机构上装设有第四吸附件,所述第四取料机构与所述第四升降组件连接。
9.如权利要求8所述的物料表面缺陷检测设备,其特征在于,所述第二安装梁(13)上设置有第二滑轨,所述物料下料装置(7)的第四安装部上设置有第三滑块,所述隔纸吸取装置(8)的第五安装部上设置有第四滑块,所述第四安装部通过第三滑块与第二滑轨滑动配合,所述第五安装部通过第四滑块与第二滑轨滑动配合。
10.如权利要求8所述的物料表面缺陷检测设备,其特征在于,所述隔纸吸取装置(8)包括第五安装部以及第五取料机构;所述第五安装部滑动安装于所述物料表面缺陷检测设备的第二安装梁(13)上,所述第五安装部上装设有第五升降组件,所述第五取料机构上装设有第五吸附件,所述第五取料机构与所述第五升降组件连接。
11.如权利要求7所述的物料表面缺陷检测设备,其特征在于,所述物料表面缺陷检测设备还包括物料下料仓(10),所述物料下料仓(10)装设于所述物料表面缺陷检测设备的下料区。
12.如权利要求11所述的物料表面缺陷检测设备,其特征在于,所述物料表面缺陷检测设备还包括下料隔纸仓(11),所述下料隔纸仓(11)与所述物料下料仓(10)相邻设置并位于所述物料表面缺陷检测设备的下料区。
13.如权利要求12所述的物料表面缺陷检测设备,其特征在于,所述物料下料仓(10)的数量为三个,三个物料下料仓(10)相邻设置并位于所述物料下料装置(7)的下方。
14.如权利要求13所述的物料表面缺陷检测设备,其特征在于,所述物料表面缺陷检测设备还包括机台(14),所述隔纸上料仓(1)、物料上料仓(2)、载物台(5)、视觉检测装置(6)、流水线(91)、物料下料仓(10)、下料隔纸仓(11)均安装于所述机台(14)上。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN115235532A (zh) * 2022-07-01 2022-10-25 江阴新基电子设备有限公司 一种光检机

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