CN215881133U - 一种高效硅片打磨装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种高效硅片打磨装置，涉及硅片加工技术领域，包括机体内设置有工作板,工作板上设置硅片夹持机构,工作板下方设置有收集腔,机体顶部设置有直线驱动机构,所述直线驱动机构的输出端与移动板固定连接,移动板上设置有打磨装置,移动板与工作板之间设置有固定板,所述打磨机构穿过固定板并与固定板滑动连接,打磨机构两侧设置有导向柱,所述导向柱贯穿移动板和固定板,导向柱与移动板滑动连接,与固定板固定连接,所述工作板贯穿有转轴,所述转轴穿过机体并与机体外的驱动电机传动连接，本实用新型打磨效率高，对生产环境污染小。

Description

一种高效硅片打磨装置

技术领域

本实用新型涉及硅片加工技术领域，尤其涉及一种高效硅片打磨装置。

背景技术

在硅片的加工过程中包括对硅片的打磨，而在对硅片进行打磨之前，需要先对硅片进行固定，在传统的设备中，固定硅片的装置通常是与硅片相适配的，这就意味着在对不同直径的硅片进行打磨时，需要更换相应大小的固定装置，这样的操作较为繁琐，大大降低了工作人员的工作效率。

在打磨硅片的时候，往往是将硅片固定好之后用打磨盘对硅片的上下两面进行打磨，在打磨过程中，硅片上被打磨下来的碎屑会到处洒落，在传统的打磨装置中，因为缺乏收集碎屑的设计，四处洒落的碎屑如果没有被及时处理，不仅对环境会造成污染，同时，若是落在一些设备的内部，还有可能造成设备的损坏，影响生产效率，对此我们提出一种高效硅片打磨装置。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术中存在的不足，提供一种高效硅片打磨装置。

本实用新型是通过以下技术方案予以实现：一种高效硅片打磨装置，机体内设置有工作板,工作板上设置硅片夹持机构,工作板下方设置有收集腔,机体顶部设置有直线驱动机构,所述直线驱动机构的输出端与移动板固定连接,移动板上设置有打磨装置,移动板与工作板之间设置有固定板,所述打磨装置穿过固定板并与固定板滑动连接,打磨装置两侧设置有导向柱,所述导向柱贯穿移动板和固定板,导向柱与移动板滑动连接,与固定板固定连接,所述工作板贯穿有转轴,所述转轴穿过机体并与机体外的驱动电机传动连接。

本实用新型技术方案的进一步改进在于：收集腔内设置有过滤网,所述过滤网距离工作板距离大于工作板的宽度。

本实用新型技术方案的进一步改进在于：移动板与固定板之间设置有缓冲件,所述缓冲件包括若干个弹性件,弹性件一端与移动板固定连接,另一端与固定板固定连接。

本实用新型技术方案的进一步改进在于：打磨装置包括固定杆和安装座,所述固定杆一端与移动板下表面固定连接,另一端与安装座固定连接, 所述安装座内固定有打磨电机,打磨电机的输出端朝向硅片夹持机构。

本实用新型技术方案的进一步改进在于：硅片夹持机构包括夹持环和夹持部,螺纹丝杆一端穿过夹持环与夹持部转动连接,另一端固定连接有手轮,所述夹持部形状为弧形块。

本实用新型的有益效果是：工作板通过硅片夹持机构对待加工的硅片进行夹持,工作板下方设置收集腔用来收集工作板加工过程中积累的粉尘碎屑等,打磨完成后通过驱动电机驱动转轴转动进而驱动工作板转动,粉尘掉落入收集腔内收集,打磨装置通过导向柱提高移动精度,直线驱动机构驱动打磨装置沿高度方向移动,便于对硅片进行打磨和避让工作板转动。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型底板俯视示意图；

图中：1、工作板；2、硅片夹持机构；3、收集腔；4、直线驱动机构； 5、打磨装置；6、导向柱；7、驱动电机；8、过滤网；9、弹性件；10、固定杆；11、夹持部；12、夹持环；13、螺纹丝杆。

具体实施方式

为了使本技术领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和最佳实施例对本实用新型作进一步的详细说明。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图所示，本实用新型提供了一种高效硅片打磨装置5，包括机体内设置有工作板1,工作板1上设置硅片夹持机构2,工作板1下方设置有收集腔3,机体顶部设置有直线驱动机构4,所述直线驱动机构4的输出端与移动板固定连接,移动板上设置有打磨装置5,移动板与工作板1之间设置有固定板,所述打磨装置5穿过固定板并与固定板滑动连接,打磨装置5两侧设置有导向柱6,所述导向柱6贯穿移动板和固定板,导向柱6与移动板滑动连接,与固定板固定连接,所述工作板1贯穿有转轴,所述转轴穿过机体并与机体外的驱动电机7传动连接。直线驱动机构4可以是气缸、电动推杆等，图1中所示为气缸。

进一步的实施方案中,收集腔3内设置有过滤网8,所述过滤网8距离工作板1距离大于工作板1的宽度。

进一步的实施方案中,移动板与固定板之间设置有缓冲件,所述缓冲件包括若干个弹性件9,弹性件9一端与移动板固定连接,另一端与固定板固定连接。弹性件9采用弹簧。弹性件9减弱了打磨电机工作带来的振动。

进一步的实施方案中,打磨装置5包括固定杆10和安装座,所述固定杆10一端与移动板下表面固定连接,另一端与安装座固定连接,所述安装座内固定有打磨电机,打磨电机的输出端朝向硅片夹持机构2。

进一步的实施方案中,硅片夹持机构2包括夹持环12和夹持部11, 螺纹丝杆13一端穿过夹持环12与夹持部11转动连接,另一端固定连接有手轮,所述夹持部11形状为弧形块。弧形块的曲率小于夹持环12的曲率。

本实用新型的工作原理是：硅片通过硅片夹持机构2固定,旋转手轮带动螺纹丝杆13转动推动夹持部11做相对运动夹紧硅片,固定好待加工硅片后,启动直线驱动机构4驱动移动板下降,移动板沿导向杆下降,移动板与固定板之间的弹性件9变形蓄能,固定板随移动板下降,安装座上的打磨电机下降,打磨电机启动对硅片进行打磨,打磨完成后,直线驱动机构4 带动移动板上升,弹性件9恢复形变,打磨电机上升,启动驱动电机7,转轴带动工作板1转动,工作板1上的碎屑和粉尘落入收集腔3内,驱动电机7 反向转动,带动转轴进而带动工作板1复位。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (5)

1.一种高效硅片打磨装置，其特征在于：机体内设置有工作板,工作板上设置硅片夹持机构,工作板下方设置有收集腔,机体顶部设置有直线驱动机构,所述直线驱动机构的输出端与移动板固定连接,移动板上设置有打磨装置,移动板与工作板之间设置有固定板,打磨装置穿过固定板并与固定板滑动连接,打磨装置两侧设置有导向柱,所述导向柱贯穿移动板和固定板,导向柱与移动板滑动连接,与固定板固定连接,所述工作板贯穿有转轴,所述转轴穿过机体并与机体外的驱动电机传动连接。

2.根据权利要求1所述的一种高效硅片打磨装置，其特征在于：收集腔内设置有过滤网,所述过滤网距离工作板距离大于工作板的宽度。

3.根据权利要求1所述的一种高效硅片打磨装置，其特征在于：移动板与固定板之间设置有缓冲件,所述缓冲件包括若干个弹性件,弹性件一端与移动板固定连接,另一端与固定板固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种高效硅片打磨装置，其特征在于：打磨装置包括固定杆和安装座,所述固定杆一端与移动板下表面固定连接,另一端与安装座固定连接,所述安装座内固定有打磨电机,打磨电机的输出端朝向硅片夹持机构。

5.根据权利要求1所述的一种高效硅片打磨装置，其特征在于：硅片夹持机构包括夹持环和夹持部,螺纹丝杆一端穿过夹持环与夹持部转动连接,另一端固定连接有手轮,所述夹持部形状为弧形块。

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