CN215865060U - 一种新型晶片自动测频机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种新型晶片自动测频机构，包括金属电极、频率‑厚度信号转换器、显示装置、第一电机和第二电机，金属电极包括上电极模块和下电极模块，第二电机转动连接有转盘，下电极模块设于转盘上，将晶片吸取到下电极模块上，通过第二电机控制转盘转动，再通过第一电机控制上电极模块下降，上电极模块接触下电极模块上的晶片。上电极模块的输出端连接频率‑厚度信号转换器的输入端，用于输出晶片的频率，频率‑厚度信号转换器的输出端连接显示装置的输入端，用于实时接受频率，并将频率转换为厚度数据，输出该厚度数据。本实用新型能对不同的晶片进行连续测频，提高测频效率，而且具有对频率进行高精度测量的能力，实现厚度的精确监测。

Description

一种新型晶片自动测频机构

技术领域

本实用新型属于电子加工技术领域，具体涉及一种新型晶片自动测频机构。

背景技术

石英晶体谐振器又称石英晶体，俗称晶振，是一种利用石英晶体(二氧化矽的结晶体)的压电效应制成的一种谐振器件，其与半导体器件及阻容原件一起使用便可构成石英晶体谐振器。石英晶体谐振器是高精度、高稳定度的振荡器，被广泛应用于彩电、计算机、遥控器等各类震荡电路中，以及通讯系统中用于频率发生器、为数据处理设备产生时钟信号和为特定系统提供基准信号。

在石英晶体加工的过程中，需要对晶体的频率进行监测。如中国专利于2016.03.16公开了名称为一种成膜厚度监测仪(申请号：CN201620201348.1)的实用新型专利，其具有对频率进行高精度测量的能力，实现厚度的精确监测。

如何对晶体进行连续测频是本领域技术人员需要解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型目的在于解决现有技术中存在的上述技术问题，提供一种新型晶片自动测频机构，能对不同的晶片进行连续测频，提高测频效率，而且具有对频率进行高精度测量的能力，实现厚度的精确监测。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种新型晶片自动测频机构，包括金属电极、频率-厚度信号转换器和显示装置。其特征在于，还包括第一电机和第二电机，金属电极包括上电极模块和下电极模块，第二电机转动连接有转盘，采用至少四个下电极模块均匀设于转盘的圆周方向上，通过第二电机控制转盘转动，使得下电极模块远离上电极模块，此时将晶片吸取到下电极模块上；通过第二电机控制转盘持续转动，使得下电极模块设于上电极模块的正下方，此时通过第一电机控制上电极模块下降，上电极模块接触下电极模块上的晶片。上电极模块的输出端连接频率-厚度信号转换器的输入端，用于输出晶片的频率。频率-厚度信号转换器的输出端连接显示装置的输入端，用于实时接受频率，并将频率转换为厚度数据后，输出该厚度数据。显示装置实时接受厚度数据，并显示出来。本实用新型能对不同的晶片进行连续测频，提高测频效率，而且具有对频率进行高精度测量的能力，实现厚度的精确监测。

进一步，还包括安装板和移动板，第一电机固定连接在安装板上，上电极模块和显示装置固定连接在移动板上，安装板设有滑轨，移动板设有滑块，滑块设有滑槽，滑轨设于滑槽中，第一电机驱动移动板上的滑块在安装板上的滑轨上上下移动，使得上电极模块进行上下移动，实现了第一电机如何控制上电极模块上下移动的技术问题，同时增加上电极模块上下移动的稳定性。

进一步，第一电机固定连接有竖向的调节装置，调节装置固定连接有连接件，连接件和移动板固定连接，通过调节装置自身长度调节，使得连接件上下移动，进而调整滑块在滑轨上的位置，当第一电机控制上电极模块下降设定行程时，上电极模块能完全接触下电极模块上的晶片，使得上电极模块能输出晶片的频率，进而保证每个晶片均能被测频。

进一步，调节装置采用微分头，微分头包括安装套、旋钮和测杆，旋钮和测杆设于安装套中，通过旋转旋钮，测杆沿着安装套的轴线进行进退，使得测杆为可动部分，安装套采用固定件和第一电机的电机轴进行固定连接，使得安装套为不可动部分，连接件固定连接在测杆上，通过测杆在安装套上的长度变化，实现连接件上下调整。

进一步，安装套设于固定件的第一安装孔中，第一电机的电机轴设于固定件的第二安装孔中，固定件的轴向设有第一切割槽，固定件的周向设有第二切割槽，第一切割槽和第二切割槽相连通，第一切割槽和第一安装孔相连通，同时第一切割槽和第二安装孔相连通，使得固定件设有第一夹紧块和第二夹紧块，通过在两块第一夹紧块的第一螺纹孔中设置第一螺钉，使得两块第一夹紧块夹紧第一电机的电机轴，通过在两块第二夹紧块的第二螺纹孔中设置第二螺钉，使得两块第二夹紧块夹紧安装套。本实用新型的固定件采用抱箍方式固定连接第一电机的电机轴和安装套，当拧出第一螺钉和第二螺钉时，可将固定件从第一电机的电机轴上拆出，同时可将微分头从固定件上拆出，使得固定件可拆卸连接在第一电机的电机轴上，微分头可拆卸连接在固定件上，便于单独加工固定件，确保固定件的加工质量。

进一步，连接件设有第三安装孔，连接件设计为L形状，测杆设于第三安装孔中，连接件的轴向设有第三切割槽，第三切割槽和第三安装孔相连通，使得连接件设有第三夹紧块，通过在两块第三夹紧块的第三螺纹孔中设置第三螺钉，使得两块第三夹紧块夹紧测杆。本实用新型的连接件采用抱箍方式固定连接测杆，当拧出第三螺钉时，可将连接件拆出，使得连接件可拆卸连接在微分头上，便于单独加工连接件，确保连接件的加工质量。

进一步，安装板固定连接有固定座，第一电机固定连接在固定座上，实现了第一电机如何安装到安装板上的技术问题。

进一步，转盘设有限位件，转盘设有通孔，限位件的底部设有连接轴，连接轴穿过通孔，连接轴螺纹连接有螺母，螺母拧紧在转盘的底面上，限位件固定下电极模块。当拧出螺母时，可将限位件从转盘上拆出，可对限位件单独加工，确保限位件的加工质。

进一步，限位件设有第四安装孔，下电极模块设于第四安装孔中，限位件的轴向设有第四切割槽，第四切割槽和第四安装孔相连通，限位件的周向设有第五切割槽，第五切割槽和第四切割槽相连通，使得限位件设有第四夹紧块，通过在两块第四夹紧块的第四螺纹孔中设置第四螺钉，使得两块第四夹紧块夹紧下电极模块。本实用新型的限位件采用抱箍方式固定连接下电极模块，当拧出第四螺钉，可将下电极模块从限位件中拆出，便于对限位件单独加工。

本实用新型由于采用了上述技术方案，具有以下有益效果：

本实用新型通过第二电机控制转盘转动，使得下电极模块远离上电极模块，此时将晶片吸取到下电极模块上。再通过第二电机控制转盘持续转动，使得下电极模块设于上电极模块的正下方，此时通过第一电机控制上电极模块下降，上电极模块接触下电极模块上的晶片。上电极模块的输出端连接频率-厚度信号转换器的输入端，用于输出晶片的频率。频率-厚度信号转换器的输出端连接显示装置的输入端，用于实时接受频率，并将频率转换为厚度数据后，输出该厚度数据。显示装置实时接受厚度数据，并显示出来，完成测频工作。待测频完成后，第二电机控制转盘持续转动，将测频好的晶片转出测频工位，将下电极模块上的未测频的晶片设于上电极模块的正下方，循环测频工作，对转盘上圆周分布下电极模块上的晶片逐个测频。本实用新型能对不同的晶片进行连续测频，提高测频效率，而且具有对频率进行高精度测量的能力，实现厚度的精确监测。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

图1为本实用新型一种新型晶片自动测频机构的结构示意图；

图2为本实用新型中安装板的结构示意图；

图3为本实用新型中移动板的结构示意图；

图4为本实用新型中固定件的结构示意图；

图5为本实用新型中微分头的结构示意图；

图6为本实用新型中连接件的结构示意图；

图7为本实用新型中转盘的结构示意图；

图8为本实用新型中限位件的结构示意图。

图中，1-上电极模块；2-下电极模块；3-显示装置；4-第一电机；5-第二电机；6-转盘；7-安装板；8-移动板；9-滑轨；10-滑块；11-滑槽；12-固定件；13-微分头；14-连接件；15-安装套；16-测杆；17-旋钮；18-第一安装孔；19-第二安装孔；20-第一切割槽；21-第二切割槽；22-第一夹紧块；23-第二夹紧块；24-第二螺纹孔；25-第一螺纹孔；26-第三安装孔；27-第三切割槽；28-第三夹紧块；29-第三螺纹孔；30-固定座；31-限位件；32-通孔；33-第四安装孔；34-连接轴；35-第四切割槽；36-第五切割槽；37-第四夹紧块；38-第四螺纹孔。

具体实施方式

如图1至图8所示，为本实用新型一种新型晶片自动测频机构，包括金属电极、频率-厚度信号转换器、显示装置3、第一电机4和第二电机5，金属电极包括上电极模块1和下电极模块2，第二电机5转动连接有转盘6，采用至少四个下电极模块2均匀设于转盘6的圆周方向上，通过第二电机5控制转盘6转动，使得下电极模块2远离上电极模块1，此时将晶片吸取到下电极模块2上。通过第二电机5控制转盘6持续转动，使得下电极模块2设于上电极模块1的正下方，此时通过第一电机4控制上电极模块1下降，上电极模块1接触下电极模块2上的晶片。上电极模块1的输出端连接频率-厚度信号转换器的输入端，用于输出晶片的频率。频率-厚度信号转换器的输出端连接显示装置3的输入端，用于实时接受频率，并将频率转换为厚度数据后，输出该厚度数据。显示装置3实时接受厚度数据，并显示出来。本实用新型能对不同的晶片进行连续测频，提高测频效率，而且具有对频率进行高精度测量的能力，实现厚度的精确监测。

本实用新型还包括安装板7和移动板8，第一电机4固定连接在安装板7上，安装板7固定连接有固定座30，第一电机4固定连接在固定座30上，实现了第一电机4如何安装到安装板7上的技术问题。上电极模块1和显示装置3固定连接在移动板8上，安装板7设有滑轨9，移动板8设有滑块10，滑块10设有滑槽11，滑轨9设于滑槽11中，第一电机4驱动移动板8上的滑块10在安装板7上的滑轨9上上下移动，使得上电极模块1进行上下移动，实现了第一电机4如何控制上电极模块1上下移动的技术问题，同时增加上电极模块1上下移动的稳定性。

第一电机4固定连接有竖向的调节装置，调节装置固定连接有连接件14，连接件14和移动板8可通过螺丝固定连接，通过调节装置自身长度调节，使得连接件14上下移动，进而调整滑块10在滑轨9上的位置，当第一电机4控制上电极模块1下降设定行程时，上电极模块1能完全接触下电极模块2上的晶片，使得上电极模块1能输出晶片的频率，进而保证每个晶片均能被测频。

调节装置采用微分头13，微分头13包括安装套15、旋钮17和测杆16，旋钮17和测杆16设于安装套15中，通过旋转旋钮17，测杆16沿着安装套15的轴线进行进退，使得测杆16为可动部分，安装套15采用固定件12和第一电机4的电机轴进行固定连接，使得安装套15为不可动部分，连接件14固定连接在测杆16上，通过测杆16在安装套15上的长度变化，实现连接件14上下调整。

安装套15设于固定件12的第一安装孔18中，第一电机4的电机轴设于固定件12的第二安装孔19中，固定件12的轴向设有第一切割槽20，固定件12的周向设有第二切割槽21，第一切割槽20和第二切割槽21相连通，第一切割槽20和第一安装孔18相连通，同时第一切割槽20和第二安装孔19相连通，使得固定件12设有第一夹紧块22和第二夹紧块23，通过在两块第一夹紧块22的第一螺纹孔25中设置第一螺钉，使得两块第一夹紧块22夹紧第一电机4的电机轴，通过在两块第二夹紧块23的第二螺纹孔24中设置第二螺钉，使得两块第二夹紧块23夹紧安装套15。本实用新型的固定件12采用抱箍方式固定连接第一电机4的电机轴和安装套15，当拧出第一螺钉和第二螺钉时，可将固定件12从第一电机4的电机轴上拆出，同时可将微分头13从固定件12上拆出，使得固定件12可拆卸连接在第一电机4的电机轴上，微分头13可拆卸连接在固定件12上，便于单独加工固定件12，确保固定件12的加工质量。

连接件14设有第三安装孔26，连接件14设计为L形状，测杆16设于第三安装孔26中，连接件14的轴向设有第三切割槽27，第三切割槽27和第三安装孔26相连通，使得连接件14设有第三夹紧块28，通过在两块第三夹紧块28的第三螺纹孔29中设置第三螺钉，使得两块第三夹紧块28夹紧测杆16。本实用新型的连接件14采用抱箍方式固定连接测杆16，当拧出第三螺钉时，可将连接件14拆出，使得连接件14可拆卸连接在微分头13上，便于单独加工连接件14，确保连接件14的加工质量。

转盘6设有限位件31，转盘6设有通孔32，限位件31的底部设有连接轴34，连接轴34穿过通孔32，连接轴34螺纹连接有螺母，螺母拧紧在转盘6的底面上，限位件31固定下电极模块2。当拧出螺母时，可将限位件31从转盘6上拆出，可对限位件31单独加工，确保限位件31的加工质。

限位件31设有第四安装孔33，下电极模块2设于第四安装孔33中，限位件31的轴向设有第四切割槽35，第四切割槽35和第四安装孔33相连通，限位件31的周向设有第五切割槽36，第五切割槽36和第四切割槽35相连通，使得限位件31设有第四夹紧块37，通过在两块第四夹紧块37的第四螺纹孔38中设置第四螺钉，使得两块第四夹紧块37夹紧下电极模块2。本实用新型的限位件31采用抱箍方式固定连接下电极模块2，当拧出第四螺钉，可将下电极模块2从限位件31中拆出，便于对限位件31单独加工。

以上仅为本实用新型的具体实施例，但本实用新型的技术特征并不局限于此。任何以本实用新型为基础，为解决基本相同的技术问题，实现基本相同的技术效果，所作出的简单变化、等同替换或者修饰等，皆涵盖于本实用新型的保护范围之中。

Claims (9)

1.一种新型晶片自动测频机构，包括：

一金属电极；

一频率-厚度信号转换器；

一显示装置；

其特征在于，还包括：

一第一电机；

一第二电机；

所述金属电极包括上电极模块和下电极模块，所述第二电机转动连接有转盘，采用至少四个所述下电极模块均匀设于所述转盘的圆周方向上，通过所述第二电机控制所述转盘转动，使得所述下电极模块远离所述上电极模块，此时将晶片吸取到所述下电极模块上；通过所述第二电机控制所述转盘持续转动，使得所述下电极模块设于所述上电极模块的正下方，此时通过所述第一电机控制所述上电极模块下降，所述上电极模块接触所述下电极模块上的晶片；

所述上电极模块的输出端连接所述频率-厚度信号转换器的输入端，用于输出晶片的频率；

所述频率-厚度信号转换器的输出端连接所述显示装置的输入端，用于实时接受频率，并将频率转换为厚度数据后，输出该厚度数据；

所述显示装置实时接受厚度数据，并显示出来。

2.根据权利要求1所述的一种新型晶片自动测频机构，其特征在于：还包括安装板和移动板，所述第一电机固定连接在所述安装板上，所述上电极模块和所述显示装置固定连接在所述移动板上，所述安装板设有滑轨，所述移动板设有滑块，所述滑块设有滑槽，所述滑轨设于所述滑槽中，所述第一电机驱动所述移动板上的所述滑块在所述安装板上的所述滑轨上上下移动，使得所述上电极模块进行上下移动。

3.根据权利要求2所述的一种新型晶片自动测频机构，其特征在于：所述第一电机固定连接有竖向的调节装置，所述调节装置固定连接有连接件，所述连接件和所述移动板固定连接，通过所述调节装置自身长度调节，使得所述连接件上下移动，进而调整所述滑块在所述滑轨上的位置，当所述第一电机控制所述上电极模块下降时，所述上电极模块能完全接触所述下电极模块上的晶片。

4.根据权利要求3所述的一种新型晶片自动测频机构，其特征在于：所述调节装置采用微分头，所述微分头包括安装套、旋钮和测杆，所述旋钮和所述测杆设于所述安装套中，通过旋转所述旋钮，所述测杆沿着所述安装套的轴线进行进退，所述安装套采用固定件和所述第一电机的电机轴进行固定连接，所述连接件固定连接在所述测杆上。

5.根据权利要求4所述的一种新型晶片自动测频机构，其特征在于：所述安装套设于所述固定件的第一安装孔中，所述第一电机的电机轴设于所述固定件的第二安装孔中，所述固定件的轴向设有第一切割槽，所述固定件的周向设有第二切割槽，所述第一切割槽和所述第二切割槽相连通，所述第一切割槽和所述第一安装孔相连通，同时所述第一切割槽和所述第二安装孔相连通，使得所述固定件设有第一夹紧块和第二夹紧块，通过在两块所述第一夹紧块的第一螺纹孔中设置第一螺钉，使得两块所述第一夹紧块夹紧所述第一电机的电机轴，通过在两块所述第二夹紧块的第二螺纹孔中设置第二螺钉，使得两块所述第二夹紧块夹紧所述安装套。

6.根据权利要求4所述的一种新型晶片自动测频机构，其特征在于：所述连接件设有第三安装孔，所述测杆设于所述第三安装孔中，所述连接件的轴向设有第三切割槽，所述第三切割槽和所述第三安装孔相连通，使得所述连接件设有第三夹紧块，通过在两块所述第三夹紧块的第三螺纹孔中设置第三螺钉，使得两块所述第三夹紧块夹紧所述测杆。

7.根据权利要求2所述的一种新型晶片自动测频机构，其特征在于：所述安装板固定连接有固定座，所述第一电机固定连接在所述固定座上。

8.根据权利要求1所述的一种新型晶片自动测频机构，其特征在于：所述转盘设有限位件，所述转盘设有通孔，所述限位件的底部设有连接轴，所述连接轴穿过所述通孔，所述连接轴螺纹连接有螺母，所述螺母拧紧在所述转盘的底面上，所述限位件固定所述下电极模块。

9.根据权利要求8所述的一种新型晶片自动测频机构，其特征在于：所述限位件设有第四安装孔，所述下电极模块设于所述第四安装孔中，所述限位件的轴向设有第四切割槽，所述第四切割槽和所述第四安装孔相连通，所述限位件的周向设有第五切割槽，所述第五切割槽和所述第四切割槽相连通，使得所述限位件设有第四夹紧块，通过在两块所述第四夹紧块的第四螺纹孔中设置第四螺钉，使得两块所述第四夹紧块夹紧所述下电极模块。

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