CN215813735U - 一种led线路板加工用节水型显影装置 - Google Patents

一种led线路板加工用节水型显影装置 Download PDF

Info

Publication number
CN215813735U
CN215813735U CN202122223182.7U CN202122223182U CN215813735U CN 215813735 U CN215813735 U CN 215813735U CN 202122223182 U CN202122223182 U CN 202122223182U CN 215813735 U CN215813735 U CN 215813735U
Authority
CN
China
Prior art keywords
circuit board
developing
processing
box
water
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202122223182.7U
Other languages
English (en)
Inventor
赖跃龙
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jiangmen Yaoke Electronics Co ltd
Original Assignee
Jiangmen Yaoke Electronics Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jiangmen Yaoke Electronics Co ltd filed Critical Jiangmen Yaoke Electronics Co ltd
Priority to CN202122223182.7U priority Critical patent/CN215813735U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN215813735U publication Critical patent/CN215813735U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Abstract

本实用新型公开了一种LED线路板加工用节水型显影装置,包括用于放置线路板进行加工的显影箱、底部安装的电机,以及上方连接安装的箱盖,所述显影箱包括:底部安装的支撑脚;显影箱内部安装的抽液泵;抽液泵输出端连接安装的导管;导管上安装的定位夹环;显影箱内侧底部开设的排液口,以及底部安装的废液管,本实用新型显影箱的底部设置有电机,线路板基板原料放在转盘上,进行显影时,溶液从雾化喷头喷洒到基板上,电机带动转盘及基板缓慢旋转,保证溶液喷洒的均匀性,在显影液浸透显影完成后,喷出去离子水冲洗基板,停止旋转,伸缩杆带动基板向上抬起,烘干风扇启动吹出热气流将残留的液体烘干,提高加工效率。

Description

一种LED线路板加工用节水型显影装置
技术领域
本实用新型涉及LED线路板加工技术领域,具体为一种LED线路板加工用节水型显影装置。
背景技术
显影是在正性光刻胶的曝光区和负性光刻胶的非曝光区的光刻胶在显影液中溶解,在光刻胶上形成三维图形的一种光刻技术。光刻胶上的可溶解区域被化学显影剂溶解,将可见的岛或者窗口图形留在硅片表面。最常见的显影方法是旋转、喷雾、浸润,然后显影。硅片用去离子水冲洗后甩干,非曝光区的光刻胶由于在曝光时并未发生化学反应,在显影时也就不会存在这样的酸碱中和,因此非曝光区的光刻胶被保留下来。经过曝光的正胶是逐渐溶解的,中和反应只在光刻胶的表面进行,因此正胶受显影液的影响相对比较小。对于负胶来说非曝光区的负胶在显影液中首先形成凝胶体,然后再分解,这就使得整个负胶层都被显影液浸透。在被显影液浸透之后,曝光区的负胶将会膨胀变形。显影后留下的光刻胶图形将在后续的刻蚀和离子注入工艺中作为掩模,因此,显影是一步重要的工艺。严格的说,在显影时曝光区和非曝光区的光刻胶都有不同程度的溶解。曝光区与非曝光区的光刻胶溶解速度反差越大,显影后得到的图形对比度越高。
现有的LED线路板加工用节水型显影装置在使用过程中,化学显影剂及用于冲洗的去离子水用量较大,增加了加工成本,加工完成需要手动对基板进行烘干处理,使用不便。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种LED线路板加工用节水型显影装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种LED线路板加工用节水型显影装置,包括用于放置线路板进行加工的显影箱、底部安装的电机,以及上方连接安装的箱盖,所述显影箱包括:
底部安装的支撑脚;
显影箱内部安装的抽液泵;
抽液泵输出端连接安装的导管;
导管上安装的定位夹环;
显影箱内侧底部开设的排液口,以及
底部安装的废液管。
进一步地,所述支撑脚对称安装有四个,且支撑脚与显影箱通过焊接连接构成固定结构,所述抽液泵与显影箱内部底面通过螺栓连接构成固定结构,且抽液泵连接有导线及电源。
进一步地,所述定位夹环与显影箱内壁通过螺栓连接构成固定结构,所述导管的两端与抽液泵、进液口连接,且导管通过定位夹环与显影箱内壁连接构成固定结构。
进一步地,所述电机包括:
输出端连接安装的转轴;
转轴顶部安装的转盘,以及
转盘上安装的伸缩杆。
进一步地,所述电机与显影箱底部连接构成固定结构,且电机带动转轴及转盘构成旋转结构,所述伸缩杆在转盘上对称设置有四个,且伸缩杆带动线路板基板与转盘构成活动结构。
进一步地,所述箱盖包括:
外侧连接安装的铰链;
内侧安装的烘干风扇;
下方开设的进液口,以及
箱盖底部安装的雾化喷头。
进一步地,所述箱盖通过铰链与显影箱连接构成旋转结构,所述烘干风扇对称设置有三个,且烘干风扇下方出风口上安装有电热丝,所述烘干风扇连接有导线及电源。
进一步地,所述箱盖顶部开设有液体排放口,所述雾化喷头设置有多个,且雾化喷头与进液口连通。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
显影箱的底部设置有电机,线路板基板原料放在转盘上,进行显影时,溶液从雾化喷头喷洒到基板上,电机带动转盘及基板缓慢旋转,保证溶液喷洒的均匀性,在显影液浸透显影完成后,喷出去离子水冲洗基板,停止旋转,伸缩杆带动基板向上抬起,烘干风扇启动吹出热气流将残留的液体烘干,提高加工效率;
在对基板喷洒显影液时,沿基板及转盘滴落到显影箱底部的溶液,被抽液泵重新抽取经导管及进液口连接到雾化喷头中,回收溶液反复进行喷洒,节约用量,降低加工成本。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。在所有附图中,类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中,各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。
图1为本实用新型主视内部结构示意图。
图2为本实用新型显影箱内部俯视结构示意图。
图3为本实用新型箱盖内部结构示意图。
图中:1、显影箱;110、支撑脚;120、抽液泵;130、导管;140、定位夹环;150、排液口;160、废液管;2、电机;210、转轴;220、转盘;230、伸缩杆;3、箱盖;310、铰链;320、烘干风扇;330、进液口;340、雾化喷头。
具体实施方式
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本实用新型。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“设置有”、“连接”等,应做广义理解,例如“连接”,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3,本实用新型提供的一种实施例:一种LED线路板加工用节水型显影装置,包括用于放置线路板进行加工的显影箱1、底部安装的电机2,以及上方连接安装的箱盖3,显影箱1包括:底部安装的支撑脚110;显影箱1内部安装的抽液泵120;抽液泵120输出端连接安装的导管130;导管130上安装的定位夹环140;显影箱1内侧底部开设的排液口150,以及底部安装的废液管160。
支撑脚110对称安装有四个,且支撑脚110与显影箱1通过焊接连接构成固定结构,抽液泵120与显影箱1内部底面通过螺栓连接构成固定结构,且抽液泵120连接有导线及电源,显影箱1底部的溶液,被抽液泵120重新抽取。
定位夹环140与显影箱1内壁通过螺栓连接构成固定结构,导管130的两端与抽液泵120、进液口330连接,且导管130通过定位夹环140与显影箱1内壁连接构成固定结构。
电机2包括:输出端连接安装的转轴210;转轴210顶部安装的转盘220,以及转盘220上安装的伸缩杆230。
电机2与显影箱1底部连接构成固定结构,且电机2带动转轴210及转盘220构成旋转结构,伸缩杆230在转盘220上对称设置有四个,且伸缩杆230带动线路板基板与转盘220构成活动结构,电机2带动转轴210及转盘220上的基板缓慢旋转,保证溶液喷洒的均匀性。
箱盖3包括:外侧连接安装的铰链310;内侧安装的烘干风扇320;下方开设的进液口330,以及箱盖3底部安装的雾化喷头340。
箱盖3通过铰链310与显影箱1连接构成旋转结构,烘干风扇320对称设置有三个,且烘干风扇320下方出风口上安装有电热丝,烘干风扇320连接有导线及电源,吹出热气流将残留的液体烘干。
箱盖3顶部开设有液体排放口,雾化喷头340设置有多个,且雾化喷头340与进液口330连通,在对基板喷洒显影液时,沿基板及转盘220滴落到显影箱1底部的溶液,被抽液泵120重新抽取经导管130及进液口150连接到雾化喷头340中,回收溶液反复进行喷洒,节约用量,降低加工成本。
工作原理:本实用新型在使用时,需要对本实用新型进行简单的结构了解,首先将线路板基板原料放在转盘220上,进行显影时,盖上箱盖3,溶液从雾化喷头340喷洒到基板上,启动电机2带动转轴210及转盘220上的基板缓慢旋转,保证溶液喷洒的均匀性,在显影液浸透显影完成后,再从雾化喷头340中喷出去离子水冲洗基板,电机2停止工作,伸缩杆230带动基板向上抬起,烘干风扇320启动,烘干风扇320下方出风口上安装有电热丝,吹出热气流将残留的液体烘干,在对基板喷洒显影液时,沿基板及转盘220滴落到显影箱1底部的溶液,被抽液泵120重新抽取经导管130及进液口150连接到雾化喷头340中,回收溶液反复进行喷洒,节约用量,降低加工成本。
以上所述的仅是本实用新型的实施例,方案中公知的具体结构及特性等常识在此未作过多描述。对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (8)

1.一种LED线路板加工用节水型显影装置,包括用于放置线路板进行加工的显影箱(1)、底部安装的电机(2),以及上方连接安装的箱盖(3),其特征在于:所述显影箱(1)包括:
底部安装的支撑脚(110);
显影箱(1)内部安装的抽液泵(120);
抽液泵(120)输出端连接安装的导管(130);
导管(130)上安装的定位夹环(140);
显影箱(1)内侧底部开设的排液口(150),以及
底部安装的废液管(160)。
2.根据权利要求1所述的一种LED线路板加工用节水型显影装置,其特征在于:所述支撑脚(110)对称安装有四个,且支撑脚(110)与显影箱(1)通过焊接连接构成固定结构,所述抽液泵(120)与显影箱(1)内部底面通过螺栓连接构成固定结构,且抽液泵(120)连接有导线及电源。
3.根据权利要求1所述的一种LED线路板加工用节水型显影装置,其特征在于:所述定位夹环(140)与显影箱(1)内壁通过螺栓连接构成固定结构,所述导管(130)的两端与抽液泵(120)、进液口(330)连接,且导管(130)通过定位夹环(140)与显影箱(1)内壁连接构成固定结构。
4.根据权利要求1所述的一种LED线路板加工用节水型显影装置,其特征在于:所述电机(2)包括:
输出端连接安装的转轴(210);
转轴(210)顶部安装的转盘(220),以及
转盘(220)上安装的伸缩杆(230)。
5.根据权利要求4所述的一种LED线路板加工用节水型显影装置,其特征在于:所述电机(2)与显影箱(1)底部连接构成固定结构,且电机(2)带动转轴(210)及转盘(220)构成旋转结构,所述伸缩杆(230)在转盘(220)上对称设置有四个,且伸缩杆(230)带动线路板基板与转盘(220)构成活动结构。
6.根据权利要求1所述的一种LED线路板加工用节水型显影装置,其特征在于:所述箱盖(3)包括:
外侧连接安装的铰链(310);
内侧安装的烘干风扇(320);
下方开设的进液口(330),以及
箱盖(3)底部安装的雾化喷头(340)。
7.根据权利要求6所述的一种LED线路板加工用节水型显影装置,其特征在于:所述箱盖(3)通过铰链(310)与显影箱(1)连接构成旋转结构,所述烘干风扇(320)对称设置有三个,且烘干风扇(320)下方出风口上安装有电热丝,所述烘干风扇(320)连接有导线及电源。
8.根据权利要求6所述的一种LED线路板加工用节水型显影装置,其特征在于:所述箱盖(3)顶部开设有液体排放口,所述雾化喷头(340)设置有多个,且雾化喷头(340)与进液口(330)连通。
CN202122223182.7U 2021-09-15 2021-09-15 一种led线路板加工用节水型显影装置 Active CN215813735U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202122223182.7U CN215813735U (zh) 2021-09-15 2021-09-15 一种led线路板加工用节水型显影装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202122223182.7U CN215813735U (zh) 2021-09-15 2021-09-15 一种led线路板加工用节水型显影装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN215813735U true CN215813735U (zh) 2022-02-11

Family

ID=80160240

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202122223182.7U Active CN215813735U (zh) 2021-09-15 2021-09-15 一种led线路板加工用节水型显影装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN215813735U (zh)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6165552A (en) Film forming method
CN100555569C (zh) 图形形成方法
CN215813735U (zh) 一种led线路板加工用节水型显影装置
JPH1187306A (ja) 超臨界乾燥装置
TWI770046B (zh) 基板處理裝置及基板處理方法
CN110618586A (zh) 一种新型光刻显影工艺
US4799993A (en) Rotary developer and method for its use
JPH1081994A (ja) 高アスペクト比の形状をメッキする方法
CN216224948U (zh) 一种硅片用涂胶装置
TWI409597B (zh) 用於減少顯影劑用量之顯影劑噴灑裝置
CN214122683U (zh) 一种能够增强显影效果的显影装置
CN208297925U (zh) 浸润式曝光后移除残留水滴的装置
JPH061807Y2 (ja) 光学的造形体の仕上げ処理装置
JP3859549B2 (ja) 現像処理方法及び現像処理装置
CN208459773U (zh) 一种新型自动显影机
JPH06296943A (ja) 超音波洗浄装置
CN215729281U (zh) 一种陶瓷薄膜集成电路加工用节水型显影装置
CN205787595U (zh) 喷淋显影喷嘴和具有该喷嘴的喷淋显影仪
CN210251852U (zh) 一种用于工业废气处理的除臭装置
TW200532749A (en) Rinse nozzle and method
JP2010177504A (ja) 塗布処理方法及び塗布処理装置
CN216911427U (zh) 一种自动清洗治具及清洗装置
CN219676441U (zh) 一种光刻胶旋涂设备
KR100848249B1 (ko) 감광막 현상 장치 및 방법
CN213843757U (zh) 一种集束式匀胶显影设备

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant