CN215729281U - 一种陶瓷薄膜集成电路加工用节水型显影装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种陶瓷薄膜集成电路加工用节水型显影装置。本实用新型，包括底座，底座底部的两端安装有支脚，底座顶部的两端安装有固定架，两个固定架的顶部安装有第一放置块，第一放置块的内部设置有第一电动伸缩杆，第一电动伸缩杆的输出端延伸至第一放置块底部的外部安装有第一固定块。本实用新型，通过第二电动伸缩杆带动转动辊在陶瓷薄膜集成电路上进行滚动，这样就可以使用机器代替人工擦拭显影，在引液渠底部通孔控制流速去进行冲洗陶瓷薄膜集成电路，这样就可以实现控制显影液的流速来代替使用大量的水去擦拭陶瓷薄膜集成电路用来显影，节省了大量的水资源的同时也加快了工作效率，使显影的效果更好。

Description

一种陶瓷薄膜集成电路加工用节水型显影装置

技术领域

本实用新型涉及显影装置技术领域，具体为一种陶瓷薄膜集成电路加工用节水型显影装置。

背景技术

显影是在硅片表面光刻胶中产生图形的关键步骤。光刻胶上的可溶解区域被化学显影剂溶解，将可见的岛或者窗口图形留在硅片表面，最常见的显影方法是旋转、喷雾、浸润，然后显影。

传统的陶瓷薄膜集成电路需要人工把显影粉放在陶瓷薄膜集成电路上，再通过大量的水去擦拭陶瓷薄膜集成电路用来显影，这样便会浪费大量的水资源，同时显影完的液体没有办法集中收集，然后集中处理，可能会对坏境造成破坏。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种陶瓷薄膜集成电路加工用节水型显影装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种陶瓷薄膜集成电路加工用节水型显影装置，包括底座，所述底座底部的两端安装有支脚，所述底座顶部的两端安装有固定架，两个所述固定架的顶部安装有第一放置块，所述第一放置块的内部设置有第一电动伸缩杆，所述第一电动伸缩杆的输出端延伸至第一放置块底部的外部安装有第一固定块，所述第一固定块的底部安装有第二固定块，所述第二固定块的一端安装有第二放置块，所述第二固定块的另一端安装有储液箱，所述储液箱的顶部开设有进液口，所述储液箱靠近第二放置块一端的底部通过电磁阀连通有波形管，所述第二放置块的内部设置有第二电动伸缩杆，所述第二电动伸缩杆的输出端延伸至第二固定块的内部安装有连接块，所述连接块的两端安装有延伸至第二固定块底部外部的固定杆，两个所述固定杆之间依次竖向连接有引液渠和转动辊，所述底座顶部的中心处安装有放置板，所述放置板顶部的两端安装有挡板，所述底座的内部中心处开设有废液槽，所述废液槽的底部连通有管道，所述管道的底部开设有出废液口，所述底座底部安装有放置框，所述放置框的内部设置有储废液池，所述第二放置块的外表面安装有第一控制面板，所述第一放置块的外表面安装有第二控制面板，所述第一控制面板和第二电动伸缩杆之间电性连接，所述第二控制面板和第一电动伸缩杆之间电性连接。

优选的，所述引液渠的输入端和波形管的输出端相连接。

优选的，所述放置板的两端开设有与废液槽相连通的通孔。

优选的，所述引液渠的底部竖向和横向等距开设有多个通孔。

优选的，所述转动辊的宽度和放置板的宽度相同。

优选的，所述废液槽、管道、出废液口和储废液池的中心处在同一条垂直线上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、该陶瓷薄膜集成电路加工用节水型显影装置，通过第二电动伸缩杆带动转动辊在陶瓷薄膜集成电路上进行滚动，这样就可以使用机器代替人工擦拭显影，在引液渠底部通孔控制流速去进行冲洗陶瓷薄膜集成电路，这样就可以实现控制显影液的流速来代替使用大量的水去擦拭陶瓷薄膜集成电路用来显影，节省了大量的水资源的同时也加快了工作效率，使显影的效果更好。

2、该陶瓷薄膜集成电路加工用节水型显影装置，通过显影完的废水在废液槽中通过管道从出废液口流入储废液池中，这样便可以方便把显影水集中收集完之后进行集中处理，不会造成随意排放给坏境带来危险。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的内部结构示意图；

图3为本实用新型引液渠的俯视示意图；

图4为本实用新型固定杆的侧视示意图。

图中：1、底座；2、支脚；3、固定架；4、第一放置块；5、第一电动伸缩杆；6、第一固定块；7、第二固定块；8、第二放置块；9、第二电动伸缩杆；10、连接块；11、储液箱；12、波形管；13、进液口；14、转动辊；15、放置板；16、挡板；17、废液槽；18、管道；19、出废液口；20、放置框；21、储废液池；22、第一控制面板；23、第二控制面板；24、引液渠；25、固定杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供的一种实施例：一种陶瓷薄膜集成电路加工用节水型显影装置，包括底座1，底座1底部的两端安装有支脚2，底座1顶部的两端安装有固定架3，两个固定架3的顶部安装有第一放置块4，第一放置块4的内部设置有第一电动伸缩杆5，第一电动伸缩杆5的输出端延伸至第一放置块4底部的外部安装有第一固定块6，第一固定块6的底部安装有第二固定块7，第二固定块7的一端安装有第二放置块8，第二固定块7的另一端安装有储液箱11，储液箱11的顶部开设有进液口13，储液箱11靠近第二放置块8一端的底部通过电磁阀连通有波形管12，第二放置块8的内部设置有第二电动伸缩杆9，第二电动伸缩杆9的输出端延伸至第二固定块7的内部安装有连接块10，连接块10的两端安装有延伸至第二固定块7底部外部的固定杆25，两个固定杆25之间依次竖向连接有引液渠24和转动辊14，底座1顶部的中心处安装有放置板15，放置板15顶部的两端安装有挡板16，底座1的内部中心处开设有废液槽17，废液槽17的底部连通有管道18，管道18的底部开设有出废液口19，底座1底部安装有放置框20，放置框20的内部设置有储废液池21，第二放置块8的外表面安装有第一控制面板22，第一放置块4的外表面安装有第二控制面板23，第一控制面板22和第二电动伸缩杆9之间电性连接，第二控制面板23和第一电动伸缩杆5之间电性连接，转动辊14的外表面设置有用于显影的擦拭布。

在本实施中，引液渠24的输入端和波形管12的输出端相连接，可以使显影液通过进液口13顺着储液箱11进入波形管12中，波形管12中的显影液进入引液渠24中。

在本实施中，放置板15的两端开设有与废液槽17相连通的通孔，放置板15上显影水便会顺着放置板15的两端流入废液槽17，方便收集用过的显影水。

在本实施中，引液渠24的底部竖向和横向等距开设有多个通孔，引液渠24底部开设的通孔可以定量的流向转动辊14上，使转动辊14在陶瓷薄膜集成电路上进行显影。

在本实施中，转动辊14的宽度和放置板15的宽度相同，转动辊14转动的幅度和放置板15的尺寸相同，可以完全使放置板15上的陶瓷薄膜集成电路进行充分显影。

在本实施中，废液槽17、管道18、出废液口19和储废液池21的中心处在同一条垂直线上，废液槽17中的显影水通过管道18从出废液口19流入储废液池21中，方便了集中收集，集中处理，避免了显影水对自然环境的破坏。

工作原理：把陶瓷薄膜集成电路放在放置板15上，挡板16起到一个固定的作用，按动第二控制面板23上的按钮，第一电动伸缩杆5便会带动第一固定块6进行上下移动，第一固定块6便通过第二固定块7带动转动辊14进行上下移动，当转动辊14正好和陶瓷薄膜集成电路接触时，第一电动伸缩杆5停止移动，把显影液从进液口13倒入，显影液顺着储液箱11从波形管12中流出进入引液渠24中，引液渠24中开设的通孔便会把引液渠24中的显影液喷洒在转动辊14上，此时按动第一控制面板22上的按钮，第二电动伸缩杆9便带动转动辊14在陶瓷薄膜集成电路上进行滚动，直至显影，这样就可以使用机器代替人工擦拭显影，在引液渠24底部通孔控制流速去进行冲洗陶瓷薄膜集成电路，这样就可以实现控制显影液的流速来代替使用大量的水去擦拭陶瓷薄膜集成电路用来显影，节省了大量的水资源的同时也加快了工作效率，使显影的效果更好，显影完的废水顺着放置板15的两端流入废液槽17中，废液槽17中的显影水通过管道18从出废液口19流入储废液池21中，这样便可以方便把显影水集中收集完之后进行集中处理，不会造成随意排放给坏境带来危险。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

Claims (6)

1.一种陶瓷薄膜集成电路加工用节水型显影装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)底部的两端安装有支脚(2)，所述底座(1)顶部的两端安装有固定架(3)，两个所述固定架(3)的顶部安装有第一放置块(4)，所述第一放置块(4)的内部设置有第一电动伸缩杆(5)，所述第一电动伸缩杆(5)的输出端延伸至第一放置块(4)底部的外部安装有第一固定块(6)，所述第一固定块(6)的底部安装有第二固定块(7)，所述第二固定块(7)的一端安装有第二放置块(8)，所述第二固定块(7)的另一端安装有储液箱(11)，所述储液箱(11)的顶部开设有进液口(13)，所述储液箱(11)靠近第二放置块(8)一端的底部通过电磁阀连通有波形管(12)，所述第二放置块(8)的内部设置有第二电动伸缩杆(9)，所述第二电动伸缩杆(9)的输出端延伸至第二固定块(7)的内部安装有连接块(10)，所述连接块(10)的两端安装有延伸至第二固定块(7)底部外部的固定杆(25)，两个所述固定杆(25)之间依次竖向连接有引液渠(24)和转动辊(14)，所述底座(1)顶部的中心处安装有放置板(15)，所述放置板(15)顶部的两端安装有挡板(16)，所述底座(1)的内部中心处开设有废液槽(17)，所述废液槽(17)的底部连通有管道(18)，所述管道(18)的底部开设有出废液口(19)，所述底座(1)底部安装有放置框(20)，所述放置框(20)的内部设置有储废液池(21)，所述第二放置块(8)的外表面安装有第一控制面板(22)，所述第一放置块(4)的外表面安装有第二控制面板(23)，所述第一控制面板(22)和第二电动伸缩杆(9)之间电性连接，所述第二控制面板(23)和第一电动伸缩杆(5)之间电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种陶瓷薄膜集成电路加工用节水型显影装置，其特征在于：所述引液渠(24)的输入端和波形管(12)的输出端相连接。

3.根据权利要求1所述的一种陶瓷薄膜集成电路加工用节水型显影装置，其特征在于：所述放置板(15)的两端开设有与废液槽(17)相连通的通孔。

4.根据权利要求1所述的一种陶瓷薄膜集成电路加工用节水型显影装置，其特征在于：所述引液渠(24)的底部竖向和横向等距开设有多个通孔。

5.根据权利要求1所述的一种陶瓷薄膜集成电路加工用节水型显影装置，其特征在于：所述转动辊(14)的宽度和放置板(15)的宽度相同。

6.根据权利要求1所述的一种陶瓷薄膜集成电路加工用节水型显影装置，其特征在于：所述废液槽(17)、管道(18)、出废液口(19)和储废液池(21)的中心处在同一条垂直线上。

Images