CN213843757U - 一种集束式匀胶显影设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于集成电路制造光刻技术领域，具体公开了一种集束式匀胶显影设备，包括主体和喷管，所述主体的内部固定连接有显影舱，且显影舱的右侧水平安设有主泵，所述喷管位于主泵的右侧，且喷管的下方固定连接有淋头，所述淋头的下方安装有副转轮，且副转轮的前端安装有副辅轮，所述副辅轮的外壁套接有皮带，且皮带的内部活动连接有主转轮，所述主转轮的前端安装有主辅轮。该集束式匀胶显影设备，与现有的普通集束式匀胶显影设备相比，该装置内的相关设置可提高装置的进料效率，该设计替代了传统人工手动送料，提高装置生产效率该装置进料、显影、冲洗和烘干，四重结构相互配合一体化设置，使得装置的工作效率更高、安全性更高。

Description

一种集束式匀胶显影设备

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，具体为一种集束式匀胶显影设备。

背景技术

光刻胶是集成电路制造工艺中的一种关键材料，其过程主要包括涂布、烘烤、曝光、显影等步骤，光刻胶经过曝光后发生聚合或分解反应，然后采用化学显影液来溶解光刻胶，利用光照反应前后的光刻胶在显影液中的溶解速度的差异，经过一定时间使易溶解区域迅速溶解完全，而不易溶解区域的胶则保留于衬底表面，从而形成光刻图形。

现有的集束式匀胶显影设备，结构复杂，且装置的工作效率低下，降低了装置的实用性能，不能很好的满足人们的使用需求，针对上述情况，在现有的集束式匀胶显影设备基础上进行技术创新。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种集束式匀胶显影设备，以解决上述背景技术中提出一般的集束式匀胶显影设备，结构复杂，且装置的工作效率低下，降低了装置的实用性能，不能很好的满足人们的使用需求问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种集束式匀胶显影设备，包括主体和喷管，所述主体的内部固定连接有显影舱，且显影舱的右侧水平安设有主泵，所述喷管位于主泵的右侧，且喷管的下方固定连接有淋头，所述淋头的下方安装有副转轮，且副转轮的前端安装有副辅轮，所述副辅轮的外壁套接有皮带，且皮带的内部活动连接有主转轮，所述主转轮的前端安装有主辅轮，且主辅轮的外壁套接有转带，所述主辅轮的内部安装有转杆，所述主转轮的右侧垂直安设有冲洗舱，且冲洗舱的内部固定连接有水箱，所述水箱的左侧水平安设有副泵，且副泵的左侧固定连接有淋管，所述淋管的下方固定连接有喷头，所述冲洗舱的右侧垂直安设有烘干舱，且烘干舱的内部垂直安设有电机，所述电机的左右两侧均固定连接有安装架，且电机的下方活动连接有转轴，所述转轴的下方固定连接有转叶。

优选的，所述主泵的右侧与喷管的左侧之间紧密贴合，且淋头呈等距状分布于喷管的下表面。

优选的，所述副辅轮的中轴线与主转轮的中轴线相重合，且副辅轮通过皮带与主转轮构成带传动。

优选的，所述水箱的外部尺寸与冲洗舱的内部尺寸相吻合，且副泵呈水平状安置于冲洗舱的上表面。

优选的，所述淋管的右侧与副泵的左侧之间紧密贴合，且喷头呈等距状分布于淋管的下表面。

优选的，所述安装架呈对称状安置于电机的左右两侧，且电机通过转轴与转叶构成旋转结构。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1.本实用新型通过的设置有显影舱、主泵、喷管和淋头之间的相互配合设置，当装置需要对印板进行显印时，使用者启动主泵，主泵通过喷管将显影舱内的显影剂通过淋头，喷至印板之上，以此对印板进行显影工作，淋头设置有多个，可使显影剂喷洒的更加均匀，提高装置的工作效率；

2.本实用新型通过的设置有副转轮、副辅轮、皮带、主转轮、主辅轮、转带和转杆之间的相互配合设置，使用者启动内部电机，内部电机带动主转轮旋转，主准轮通过皮带和转带带动相关转轮旋转，将印板送入舱内，进行一系列显影工序，该设计提高装置的进料效率，替代了传统人工手动送料，提高装置生产效率；

3.本实用新型通过的设置有冲洗舱、水箱、副泵、淋管、喷头、烘干舱、电机、安装架、转轴和转叶之间的相互配合设置，当淋头对印板显影过后，印板进入冲洗舱，使用者启动副泵，副泵通过淋管和喷头，将水印板进行冲洗，冲洗过后的印板进入烘干舱，使用者启动电机，电机旋转带动转叶对印板进行烘干处理，该装置进料、显影、冲洗和烘干，四重结构相互配合一体化设置，使得装置的工作效率更高、安全性更高。

附图说明

图1为本实用新型主视剖切结构示意图；

图2为本实用新型主视结构示意图；

图3为本实用新型图1中A处放大结构示意图。

图中：1、主体；2、显影舱；3、主泵；4、喷管；5、淋头；6、副转轮；7、副辅轮；8、皮带；9、主转轮；10、主辅轮；11、转带；12、转杆；13、冲洗舱；14、水箱；15、副泵；16、淋管；17、喷头；18、烘干舱；19、电机；20、安装架；21、转轴；22、转叶。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种集束式匀胶显影设备，包括主体1和喷管4，主体1的内部固定连接有显影舱2，且显影舱2的右侧水平安设有主泵3，主泵3的右侧与喷管4的左侧之间紧密贴合，且淋头5呈等距状分布于喷管4的下表面，喷管4位于主泵3的右侧，且喷管4的下方固定连接有淋头5，显影舱2、主泵3、喷管4和淋头5之间的相互配合设置，当装置需要对印板进行显印时，使用者启动主泵3，主泵3通过喷管4将显影舱2内的显影剂通过淋头5，喷至印板之上，以此对印板进行显影工作，淋头5设置有多个，可使显影剂喷洒的更加均匀，提高装置的工作效率；

淋头5的下方安装有副转轮6，且副转轮6的前端安装有副辅轮7，副辅轮7的中轴线与主转轮9的中轴线相重合，且副辅轮7通过皮带8与主转轮9构成带传动，副转轮6、副辅轮7、皮带8、主转轮9、主辅轮10、转带11和转杆12之间的相互配合设置，使用者启动内部电机19，内部电机19带动主转轮9旋转，主准轮通过皮带8和转带11带动相关转轮旋转，将印板送入舱内，进行一系列显影工序，该设计提高装置的进料效率，替代了传统人工手动送料，提高装置生产效率；

副辅轮7的外壁套接有皮带8，且皮带8的内部活动连接有主转轮9，主转轮9的前端安装有主辅轮10，且主辅轮10的外壁套接有转带11，主辅轮10的内部安装有转杆12，主转轮9的右侧垂直安设有冲洗舱13，且冲洗舱13的内部固定连接有水箱14，水箱14的外部尺寸与冲洗舱13的内部尺寸相吻合，且副泵15呈水平状安置于冲洗舱13的上表面，水箱14的左侧水平安设有副泵15，且副泵15的左侧固定连接有淋管16，淋管16的右侧与副泵15的左侧之间紧密贴合，且喷头17呈等距状分布于淋管16的下表面，冲洗舱13、水箱14、副泵15、淋管16、喷头17、烘干舱18、电机19、安装架20、转轴21和转叶22之间的相互配合设置，当淋头5对印板显影过后，印板进入冲洗舱13，使用者启动副泵15，副泵15通过淋管16和喷头17，将水印板进行冲洗，冲洗过后的印板进入烘干舱18，使用者启动电机19，电机19旋转带11动转叶22对印板进行烘干处理，该装置进料、显影、冲洗和烘干，四重结构相互配合一体化设置，使得装置的工作效率更高、安全性更高，淋管16的下方固定连接有喷头17，冲洗舱13的右侧垂直安设有烘干舱18，且烘干舱18的内部垂直安设有电机19，电机19的左右两侧均固定连接有安装架20，且电机19的下方活动连接有转轴21，安装架20呈对称状安置于电机19的左右两侧，且电机19通过转轴21与转叶22构成旋转结构，转轴21的下方固定连接有转叶22。

工作原理：在使用该集束式匀胶显影设备时，首先使用者将显影舱2焊接至主体1内部，随后将显影舱2、主泵3(型号：WQ1)、喷管4和淋都进行对接，随后将副转轮6、副辅轮7、皮带8、主转轮9、主辅轮10、转带11和转杆12安装至主体1内，随后分别将冲洗舱13和烘干舱18焊接至主体1内，同时将副泵15(型号：WQ1)和水箱14安装至冲洗舱13内，一切完成安装后便可对该装置进行操作使用，当装置需要对印板进行显印时，使用者启动内部电机，内部电机带动主转轮9旋转，主准轮通过皮带8和转带11带动相关转轮旋转，将印板送入舱内，进行一系列显影工序，首先使用者启动主泵3，主泵3通过喷管4将显影舱2内的显影剂通过淋头5，喷至印板之上，以此对印板进行显影工作，淋头5设置有多个，可使显影剂喷洒的更加均匀，当淋头5对印板显影过后，印板进入冲洗舱13，使用者启动副泵15，副泵15通过淋管16和喷头17，将水印板进行冲洗，冲洗过后的印板进入烘干舱18，使用者启动电机19(型号：YBBP)，电机19旋转带11动转叶22对印板进行烘干处理，该装置进料、显影、冲洗和烘干，四重结构相互配合一体化设置，使得装置的工作效率更高、安全性更高，这就是该集束式匀胶显影设备的工作原理。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种集束式匀胶显影设备，包括主体(1)和喷管(4)，其特征在于：所述主体(1)的内部固定连接有显影舱(2)，且显影舱(2)的右侧水平安设有主泵(3)，所述喷管(4)位于主泵(3)的右侧，且喷管(4)的下方固定连接有淋头(5)，所述淋头(5)的下方安装有副转轮(6)，且副转轮(6)的前端安装有副辅轮(7)，所述副辅轮(7)的外壁套接有皮带(8)，且皮带(8)的内部活动连接有主转轮(9)，所述主转轮(9)的前端安装有主辅轮(10)，且主辅轮(10)的外壁套接有转带(11)，所述主辅轮(10)的内部安装有转杆(12)，所述主转轮(9)的右侧垂直安设有冲洗舱(13)，且冲洗舱(13)的内部固定连接有水箱(14)，所述水箱(14)的左侧水平安设有副泵(15)，且副泵(15)的左侧固定连接有淋管(16)，所述淋管(16)的下方固定连接有喷头(17)，所述冲洗舱(13)的右侧垂直安设有烘干舱(18)，且烘干舱(18)的内部垂直安设有电机(19)，所述电机(19)的左右两侧均固定连接有安装架(20)，且电机(19)的下方活动连接有转轴(21)，所述转轴(21)的下方固定连接有转叶(22)。

2.根据权利要求1所述的一种集束式匀胶显影设备，其特征在于：所述主泵(3)的右侧与喷管(4)的左侧之间紧密贴合，且淋头(5)呈等距状分布于喷管(4)的下表面。

3.根据权利要求1所述的一种集束式匀胶显影设备，其特征在于：所述副辅轮(7)的中轴线与主转轮(9)的中轴线相重合，且副辅轮(7)通过皮带(8)与主转轮(9)构成带传动。

4.根据权利要求1所述的一种集束式匀胶显影设备，其特征在于：所述水箱(14)的外部尺寸与冲洗舱(13)的内部尺寸相吻合，且副泵(15)呈水平状安置于冲洗舱(13)的上表面。

5.根据权利要求1所述的一种集束式匀胶显影设备，其特征在于：所述淋管(16)的右侧与副泵(15)的左侧之间紧密贴合，且喷头(17)呈等距状分布于淋管(16)的下表面。

6.根据权利要求1所述的一种集束式匀胶显影设备，其特征在于：所述安装架(20)呈对称状安置于电机(19)的左右两侧，且电机(19)通过转轴(21)与转叶(22)构成旋转结构。

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