CN208459773U - 一种新型自动显影机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种新型自动显影机，包括软烘干机构和送气机构，所述软烘干机构内部一侧设有加热管，且加热管下方位于软烘干机构内部设置有出风口。本实用新型中，该装置设有软烘干机构、操作台、送气机构，软烘干机构内设有加热管，通过与电源连接，使热空气经由出风口对操作台进行烘干操作，同时送气机构通过鼓风机将室温或低于室温气体导入设有的通气管道，也起到辅助将热风导入操作台上的作用，提高了烘干效率，烘干处理后，关闭软烘干机构电源，将室温空气或低于室温气体通过软烘干机构的出风口导入操作台，对操作台上的芯片进行冷却处理，使匀胶之后的芯片保持在预定温度。
Description
技术领域
本实用新型涉及显影机技术领域，尤其涉及一种新型自动显影机。
背景技术
在半导体器件制造中，经常采用光刻工艺对基板进行构图。光刻工艺一般包括在基板上涂敷光刻胶、对涂敷在基板上的光刻胶进行曝光图案、显影、蚀刻和光刻胶去除处理。完成光刻胶的涂抹之后，需要进行软烘干操作，这一步骤也被称为前烘，通过在较高温度下进行烘培，可以使溶剂从光刻胶中挥发出来(前烘后溶剂含量降至5％左右)，从而降低了灰尘的沾污，由于温度会影响光刻胶厚度从而影响显影后的图案，因此在对涂敷在基板上的光刻胶进行曝光图案、烘烤后，需进行冷却工艺。
在现有的自动显影机中，一般都是烘烤装置和冷却装置独立于不同的操作平台内，通过机械手臂进行芯片在各个操作平台的传递，芯片在光刻胶进行曝光图案、烘烤后，由于在多个操作平台频繁操作，在传递的过程中无法进行快速有效地冷却，造成了图形差异现象，多个芯片不能够同时处理，造成芯片显影效率低下，烘干结构不便于维护等缺点。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种新型自动显影机。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种新型自动显影机，包括软烘干机构和送气机构，所述软烘干机构内部一侧设有加热管，且加热管下方位于软烘干机构内部设置有出风口，所述软烘干机构一侧底部固定有升降杆，且升降杆底部设置有底座，所述底座内部一侧通过电机连接有半齿轮，且半齿轮一侧啮合有齿轮，所述齿轮一侧连接有传动轴，且传动轴顶部贯穿底座连接有旋转座所述旋转座中部位置固定有送气机构，所述送气机构内部上方位置固定有鼓风机，且鼓风机一侧位于送气机构表面设置有通气管道，所述通气管道一侧表面连接有电动阀，且电动阀一侧位于通气管道端部焊接有冷却管，所述送气机构一侧位于旋转座边缘环绕设置有操作台，且操作台表面设置有烘干槽。
优选的，所述底座底部表面焊接有万向轮，且万向轮均匀分布在底座底部四个拐角处。
优选的，所述送气机构一侧表面环绕焊接有多个通气管道，且多个通气管道与操作台上的烘干槽一一对应。
优选的，所述软烘干机构内部位于加热管下方设有透风网，所述软烘干机构一侧表面侧壁位置设有透风凹槽。
优选的，所述通气管道上设有两个冷却管，且两个冷却管与软烘干机构一侧表面透风凹槽对应。
优选的，所述操作台一侧表面均匀设有多个烘干槽。
优选的，所述半齿轮一侧为齿形结构。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是；首先，该装置设有软烘干机构、操作台、送气机构，软烘干机构内设有加热管，通过与电源连接，使热空气经由出风口对操作台进行烘干操作，同时送气机构通过鼓风机将室温或低于室温气体导入设有的通气管道，也起到辅助将热风导入操作台上的作用，提高了烘干效率，烘干处理后，关闭软烘干机构电源，将室温空气或低于室温气体通过软烘干机构的出风口导入操作台，对操作台上的芯片进行冷却处理，使匀胶之后的芯片保持在预定温度，以防止高温加速化学反应引起图形差异，其次，该装置通过在送气机构设有多个对称设置多个通气管道，通气管道经由鼓风机将室温或低于室温气体导向软烘干机构，软烘干机构通过设有的出风口对应操作台上的多个烘干槽，能够同时逐个对芯片进行烘干操作，提高了烘干效率，最后，该装置设有底座，底座与旋转座通过传动轴连接，传动轴底部表面设有齿轮，齿轮与底座内部的半齿轮啮合，半齿轮通过电机带动，使得旋转座转动，便于逐个处理操作台上多个烘干槽内的芯片，使得转动中存在一定的静止时间，便于烘干和冷却操作更加彻底，同时也提高了装置的效率，软烘干机构底部设有升降杆，通过抬升软烘干机构方便损坏时维护。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种新型自动显影机的结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种新型自动显影机的底座内部结构示意图；
图3为本实用新型提出的一种新型自动显影机的操作台结构示意图；
图4为本实用新型提出的一种新型自动显影机的送气机构结构示意图。
图例说明：
1、软烘干机构；2、出风口；3、升降杆；4、底座；5、万向轮；6、加热管；7、通气管道；8、送气机构；9、电动阀；10、冷却管；11、操作台；12、旋转座；13、半齿轮；14、传动轴；15、齿轮；16、烘干槽；17、鼓风机。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
请参照图1-4，一种新型自动显影机，包括软烘干机构1和送气机构8，软烘干机构1内部一侧设有加热管6，且加热管6下方位于软烘干机构1内部设置有出风口2，软烘干机构1一侧底部固定有升降杆3，且升降杆3底部设置有底座4，底座4内部一侧通过电机连接有半齿轮13，且半齿轮13一侧啮合有齿轮15，齿轮15一侧连接有传动轴14，且传动轴14顶部贯穿底座4连接有旋转座12旋转座12中部位置固定有送气机构8，送气机构8内部上方位置固定有鼓风机17，且鼓风机17一侧位于送气机构8表面设置有通气管道7，通气管道7一侧表面连接有电动阀9，且电动阀9一侧位于通气管道7端部焊接有冷却管10，送气机构8一侧位于旋转座12边缘环绕设置有操作台11，且操作台11表面设置有烘干槽16。
底座4底部表面焊接有万向轮5，且万向轮5均匀分布在底座4底部四个拐角处，方便移动，送气机构8一侧表面环绕焊接有多个通气管道7，且多个通气管道7与操作台11上的烘干槽16一一对应，便于一对一操作，软烘干机构1内部位于加热管6下方设有透风网，软烘干机构1一侧表面侧壁位置设有透风凹槽，可以使得烘干冷却更方便，通气管道7上设有两个冷却管10，且两个冷却管10与软烘干机构1一侧表面透风凹槽对应，操作台11一侧表面均匀设有多个烘干槽16，方便逐个操作，半齿轮13一侧为齿形结构，能够为烘干和冷却提供充足的时间，方便后续芯片处理。
工作原理：使用时，将该装置移动到合适的位置，接通装置电源，将芯片逐个放置在操作台11的烘干槽16上，当烘干和冷却时，该装置设有软烘干机构1、操作台11、送气机构8，通过在送气机构8设有多个对称设置多个通气管道7，通气管道7经由鼓风机17将室温或低于室温气体导向软烘干机构1，软烘干机构1内设有加热管6，使热空气经由出风口2对操作台11进行烘干操作，操作台11上的多个烘干槽16，能够逐个对芯片进行烘干操作，同时送气机构8通过鼓风机17将室温或低于室温气体导入设有的通气管道7，也起到辅助将热风导入操作台11上的作用，提高了烘干效率，烘干处理后，关闭软烘干机构1电源，将室温空气或低于室温气体导入操作台11，对操作台11上的芯片进行冷却处理，使匀胶之后的芯片保持在预定温度，以防止高温加速化学反应引起图形差异，当旋转时，该装置设有底座4，底座4与旋转座12通过传动轴14连接，传动轴14底部表面设有齿轮15，齿轮15与底座4内部的半齿轮13啮合，半齿轮13通过电机带动，使得旋转座12转动，便于逐个处理操作台11上多个烘干槽16内的芯片，使得转动中存在一定的静止时间，便于烘干和冷却操作更加彻底，同时也提高了装置的效率，软烘干机构1底部设有升降杆3，通过抬升软烘干机构1方便损坏时维护。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种新型自动显影机，包括软烘干机构(1)和送气机构(8)，其特征在于，所述软烘干机构(1)内部一侧设有加热管(6)，且加热管(6)下方位于软烘干机构(1)内部设置有出风口(2)，所述软烘干机构(1)一侧底部固定有升降杆(3)，且升降杆(3)底部设置有底座(4)，所述底座(4)内部一侧通过电机连接有半齿轮(13)，且半齿轮(13)一侧啮合有齿轮(15)，所述齿轮(15)一侧连接有传动轴(14)，且传动轴(14)顶部贯穿底座(4)连接有旋转座(12),所述旋转座(12)中部位置固定有送气机构(8)，所述送气机构(8)内部上方位置固定有鼓风机(17)，且鼓风机(17)一侧位于送气机构(8)表面设置有通气管道(7)，所述通气管道(7)一侧表面连接有电动阀(9)，且电动阀(9)一侧位于通气管道(7)端部焊接有冷却管(10)，所述送气机构(8)一侧位于旋转座(12)边缘环绕设置有操作台(11)，且操作台(11)表面设置有烘干槽(16)。
2.根据权利要求1所述的一种新型自动显影机，其特征在于，所述底座(4)底部表面焊接有万向轮(5)，且万向轮(5)均匀分布在底座(4)底部四个拐角处。
3.根据权利要求1所述的一种新型自动显影机，其特征在于，所述送气机构(8)一侧表面环绕焊接有多个通气管道(7)，且多个通气管道(7)与操作台(11)上的烘干槽(16)一一对应。
4.根据权利要求1所述的一种新型自动显影机，其特征在于，所述软烘干机构(1)内部位于加热管(6)下方设有透风网，所述软烘干机构(1)一侧表面侧壁位置设有透风凹槽。
5.根据权利要求1所述的一种新型自动显影机，其特征在于，所述通气管道(7)上设有两个冷却管(10)，且两个冷却管(10)与软烘干机构(1)一侧表面透风凹槽对应。
6.根据权利要求1所述的一种新型自动显影机，其特征在于，所述操作台(11)一侧表面均匀设有多个烘干槽(16)。
7.根据权利要求1所述的一种新型自动显影机，其特征在于，所述半齿轮(13)一侧为齿形结构。
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|---|---|---|---|---|
| CN113467197A (zh) * | 2021-07-02 | 2021-10-01 | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 | 一种新型匀胶显影机 |
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2018
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