CN215766888U

CN215766888U - 一种自动检测装置

Info

Publication number: CN215766888U
Application number: CN202121229931.0U
Authority: CN
Inventors: 高泂; 邱国良; 杜荣钦; 尹建刚; 高云峰
Original assignee: Han s Laser Technology Industry Group Co Ltd
Current assignee: Shenzhen Hans Semiconductor Equipment Technology Co Ltd
Priority date: 2021-06-01
Filing date: 2021-06-01
Publication date: 2022-02-08
Anticipated expiration: 2031-06-01

Abstract

本实用新型属于自动检测技术领域，特别是涉及一种自动检测装置。该自动检测装置包括机架、三轴运动平台、治具组件、用于定位待检测件的相机，以及用于检测待检测件厚度的激光测距仪；所述三轴运动平台安装在所述机架上，所述相机和所述激光测距仪均安装在所述三轴运动平台的输出端；所述治具组件包括夹具板、吸附接头以及安装在所述机架上的旋转驱动件；所述夹具板安装在所述旋转驱动件的输出端，所述夹具板上设有吸附通孔和用于安装待检测件的容纳槽，所述吸附通孔的一端连通所述容纳槽，所述吸附通孔的另一端连通所述吸附接头。该自动检测装置的提高了待检测件的检测精度和检测效率。

Description

一种自动检测装置

技术领域

本实用新型属于自动检测技术领域，特别是涉及一种自动检测装置。

背景技术

随着人工智能芯片、5G芯片、汽车电子、物联网等等电子行业的不断发展，全球半导体的需求量越来越大；半导体行业的发展不仅关系到电子行业的命运，还涉及到国家安全、国计民生等的要务。晶圆是指制作半导体集成电路所需的晶圆片，在晶圆片上可以加工制成各种电路元件结构，从而使得晶圆片成为有特定电性功能的微型电子器件。并且，晶圆需要硅元素加以纯化，接着是将这些纯硅制成硅晶棒，成为制造集成电路的石英半导体的材料，经过照相制版，研磨，抛光，切片等程序，将多晶硅融解拉出单晶的硅晶棒，然后切割成一片一片薄薄的晶圆片。晶圆片制成后还需要贴合在陶瓷盘上进行研磨，来保证晶圆片的厚度及表面光整度。

现有技术中，为了保证晶圆片的质量，晶圆片通常采用光学测量机械对产品的尺寸进行测量，但是在测量过程中，需要人工带动光学测量仪进行移动，从而导致晶圆片检测的精度低，测量效率低等问题

发明内容

本实用新型针对现有晶圆片检测的精度低，测量效率低等技术问题，提供了一种自动检测装置。

鉴于以上技术问题，本实用新型实施例提供一种自动检测装置，包括机架、三轴运动平台、治具组件、用于定位待检测件的相机，以及用于检测待检测件厚度的激光测距仪；所述三轴运动平台安装在所述机架上，所述相机和所述激光测距仪均安装在所述三轴运动平台的输出端；

所述治具组件包括夹具板、吸附接头以及安装在所述机架上的旋转驱动件；所述夹具板安装在所述旋转驱动件的输出端，所述夹具板上设有吸附通孔和用于安装待检测件的容纳槽，所述吸附通孔的一端连通所述容纳槽，所述吸附通孔的另一端连通所述吸附接头。

可选地，所述三轴运动平台包括X轴驱动模组、Y轴驱动模组以及Z轴驱动模组；所述Y轴驱动模组安装在所述机架上，且所述Y轴驱动模组用于带动所述X轴驱动模组和所述Z轴驱动模组沿Y轴方向移动；所述X轴驱动模组安装在所述Y轴驱动模组的输出端，且所述X轴驱动模组用于带动所述Z轴驱动模组沿X轴方向移动；所述Z轴驱动模组安装在所述X轴驱动模组的输出端，所述相机和所述激光测距仪均安装在Z轴驱动模组的输出端，且Z轴驱动模组用于带动所述相机和所述激光测距仪沿Z轴方向移动。

可选地，所述X轴驱动模组包括X轴驱动件、X轴导轨、X轴丝杆、X轴螺母、支撑座以及设有X轴滑动槽的连接板；所述支撑座安装在所述机架上，所述X轴导轨沿X轴方向安装在所述支撑座上，所述X轴驱动件和所述X轴丝杆均安装在所述支撑座上，所述X轴丝杆连接所述X轴驱动件的输出端，所述X轴螺母与所述X轴丝杆螺纹连接，所述连接板安装在所述X轴螺母上，且所述连接板通过所述X轴滑动槽与所述X轴导轨滑动连接；所述Y轴驱动模组安装在所述连接板上。

可选地，所述X轴驱动模组还包括安装在所述支撑座上的第一拖链，所述第一拖链连接所述Y轴驱动模组。

可选地，所述自动检测装置还包括设有通孔且用于照亮待检测件的环形光源，所述环形光源安装在所述三轴运动平台的输出端；在竖直方向上，所述通孔位于所述夹具板和所述相机以及所述激光测距仪之间。

可选地，所述治具组件还包括设有所述吸附接头的旋转座，以及间隔设有第一安装空间和第二安装空间的支架；所述支架安装在所述机架上，所述旋转驱动件安装在所述第一安装空间中，所述旋转座安装在所述第二安装空间中。

可选地，所述容纳槽内还设有环形抵接面，待检测件与所述环形抵接面贴合。

可选地，所述机架包括底座和安装在所述底座上的机罩，所述机罩和所述底座支架形成内部空间，所述三轴运动平台、所述治具组件、所述相机以及所述激光测距仪均位于所述内部空间中。

可选地，所述底座上设有抽屉和工控箱，所述自动检测装置还包括安装在所述抽屉中的键盘和鼠标，以及安装在所述工控箱中的控制器；所述自动检测装置还包括转动安装在所述机罩上的显示屏，所述键盘、所述鼠标以及所述显示屏均连接所述控制器，所述控制器连接所述三轴运动平台、所述相机以及所述激光测距仪。

可选地，所述机架还包括均安装在所述底座底部的脚轮和脚杯。

可选地，所述机架还包括安装在所述机罩顶部的报警器。

本申请中，所述三轴运动平台可以带动所述相机和所述激光测距仪在空间中移动，所述相机通过对待检测件的拍照定位后，所述激光测距仪根据所述相机获取的待检测件的定位点数据，对所述待检测件的厚度进行检测；该自动检测装置可自动完成待检测件厚度检测工作，提高了检测精度和检测效率。此外，所述治具组件包括夹具板、吸附接头以及安装在所述机架上的旋转驱动件；所述夹具板安装在所述旋转驱动件的输出端，所述夹具板上设有吸附通孔和用于安装待检测件的容纳槽，所述吸附通孔的一端连通所述容纳槽，所述吸附通孔的另一端连通所述吸附接头；待检测件通过所述吸附通孔吸附在所述容纳槽中，保证了待检测件在检测过程中的平整度，从而提高了待检测件的检测质量；并且，在所述相机和所述激光测距仪检测的过程中，所述旋转驱动件通过所述夹具板带动待检测件转动，从而该自动检测装置一次可以完成多个待检测件的检测工作，进一步提高了该自动检测装置的检测效率。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型一实施例提供的自动检测装置的结构示意图；

图2是图1中自动检测装置的局部结构示意图；

图3是图1中自动检测装置的X轴驱动模组的结构示意图；

图4是图1中中自动检测装置的Y轴驱动模组的结构示意图；

图5是图1中自动检测装置的Z轴驱动模组的结构示意图；

图6是图1中自动检测装置的治具组件的结构示意图。

说明书中的附图标记如下：

1、机架；11、底座；111、抽屉；112、工控箱；113、脚轮；114、脚杯；12、机罩；121、报警器；13、内部空间；2、三轴运动平台；21、X轴驱动模组；211、X轴驱动件；212、X轴导轨；213、X轴丝杆；214、支撑座；215、连接板；216、第一拖链；22、Y轴驱动模组；221、Y轴驱动件；222、Y轴导轨；223、Y轴丝杆；224、连接架；225、第二拖链；23、Z轴驱动模组；231、Z轴驱动件；232、Z轴导轨；233、Z轴丝杆；234、安装板；3、治具组件；31、夹具板；311、吸附通孔；312、容纳槽；3121、环形抵接面；32、吸附接头；33、旋转驱动件；34、旋转座；35、支架；351、第一安装空间；352、第二安装空间；4、相机；5、激光测距仪；6、环形光源；7、显示屏；10、待检测件。

具体实施方式

为了使本实用新型所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步的详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“中部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为本实用新型的限制。

如图1和图2所示，本实用新型实施例提供了一种自动检测装置，包括机架1、三轴运动平台2、治具组件3、用于定位待检测件10的相机4，以及用于检测待检测件10厚度的激光测距仪5；所述三轴运动平台2安装在所述机架1上，所述相机4和所述激光测距仪5均安装(通过螺钉连接、螺纹连接等方式安装)在所述三轴运动平台2的输出端；可以理解地，所述三轴运动平台2可以带动所述相机4和所述激光测距仪5实现X轴、Y轴以及Z轴方向的移动，而所述相机4包括但不限于CCD(charge coupled device，电荷耦合器件)相机，该CCD相机能具有体积小、重量轻、不受磁场影响、具有抗震动等优点。作为优选，所述相机4包括相机本体和安装在所述相机本体上的镜头，所述镜头可以提高相机4拍照的清晰度，从而提高了该自动检测装置的检测精度。

如图6所示，所述治具组件3包括夹具板31、吸附接头32以及安装(通过螺钉连接、卡接等方式安装)在所述机架1上的旋转驱动件33；所述夹具板31安装(通过螺钉连接、固定销连接等方式安装)在所述旋转驱动件33的输出端，所述夹具板31上设有吸附通孔311和用于安装待检测件10的容纳槽312，所述吸附通孔311的一端连通所述容纳槽312，所述吸附通孔311的另一端连通所述吸附接头32。可以理解地，所述吸附接头32远离所述吸附通孔311的一端连接外部真空泵等元器件；也即，外界真空泵等通过所述吸附接头32将所述吸附通孔311抽成形成真空环境，从而真空的所述吸附通孔311将待检测件10吸附在所述容纳槽312中；该治具组件3的结构简单，操作方便。需要说明地，待检测件10包括但不限于晶圆片等，且晶圆片可以通过陶瓷盘安装在所述容纳槽312中，且一个所述陶瓷盘上可以安装多个晶圆片。

具体地，以待检测件10为晶圆片为例来说明该自动检测装置的工作原理：首先晶圆片通过陶瓷盘安装在所述容纳空间中，外部真空泵等连接所述吸附接头32，并通过所述吸附接头32和所述吸附通孔311将所述陶瓷片固定在所述容纳槽312中；所述三轴运动平台2带动所述相机4和所述激光测距仪5运动至检测工位，所述相机4对所述晶圆片进行拍摄，并将所述晶圆片划分为多个(例如17个、18个、20个等)检测区域；所述激光测距仪5通过所述相机4拍摄的定位点数据，分别测量多个检测区域的厚度值，多个厚度值的平均值计为该晶圆片的厚度值。进一步地，在所述相机4和所述激光测距仪5检测的过程中，所述旋转驱动件33可以带动所述陶瓷盘转动，从而该自动检测装置一次可以对所述陶瓷盘上的对个晶圆片进行检测，提高了晶圆片的检测效率。另外，所述陶瓷盘上还可以设置有识别码(二维码、条形码等)，所述相机4还可以识别所述识别码，从而获取该识别码绑定的所述晶圆片的信息。

本申请中，所述三轴运动平台2可以带动所述相机4和所述激光测距仪5在空间中移动，所述相机4通过对待检测件10的拍照定位后，所述激光测距仪5根据所述相机4获取的待检测件10的定位点数据，对所述待检测件10的厚度进行检测；该自动检测装置可自动完成待检测件10厚度检测工作，提高了检测精度和检测效率。此外，所述治具组件3包括夹具板31、吸附接头32以及安装在所述机架1上的旋转驱动件33；所述夹具板31安装在所述旋转驱动件33的输出端，所述夹具板31上设有吸附通孔311和用于安装待检测件10的容纳槽312，所述吸附通孔311的一端连通所述容纳槽312，所述吸附通孔311的另一端连通所述吸附接头32；待检测件10通过所述吸附通孔311吸附在所述容纳槽312中，保证了待检测件10在检测过程中的平整度，从而提高了待检测件10的检测质量；并且，在所述相机4和所述激光测距仪5检测的过程中，所述旋转驱动件33通过所述夹具板31带动待检测件10转动，从而该自动检测装置一次可以完成多个待检测件10的检测工作，进一步提高了该自动检测装置的检测效率。

在一实施例中，如图2所示，所述三轴运动平台2包括X轴驱动模组21、Y轴驱动模组22以及Z轴驱动模组23；所述Y轴驱动模组22安装在所述机架1上，且所述Y轴驱动模组22用于带动所述X轴驱动模组21和所述Z轴驱动模组23沿Y轴方向移动；所述X轴驱动模组21安装在所述Y轴驱动模组22的输出端，且所述X轴驱动模组21用于带动所述Z轴驱动模组23沿X轴方向移动；所述Z轴驱动模组23安装在所述X轴驱动模组21的输出端，所述相机4和所述激光测距仪5均安装在Z轴驱动模组23的输出端，且Z轴驱动模组23用于带动所述相机4和所述激光测距仪5沿Z轴方向移动。可以理解地，在所述相机4对待检测件10进行拍摄时，所述X轴驱动模组21和所述Y轴驱动模组22带动所述相机4在XY平面内移动，从而使得所述相机4可以正对着待检测件10；而所述Z轴驱动模组23可以带动所述相机4上下移动，即调整所述相机4与所述待检测件10之间的焦距，使得所述相机4可以拍摄到清晰的待检测件10的图像。本实施例中，该三轴运动平台2的结构简单，制造成本低，且提高了待检测件10的检测精度。

在一实施例中，如图3所示，所述X轴驱动模组21包括X轴驱动件211、X轴导轨212、X轴丝杆213、X轴螺母、支撑座214以及设有X轴滑动槽的连接板215；所述支撑座214安装(通过螺钉连接、焊接等方式安装)在所述机架1上，所述X轴导轨212沿X轴方向安装(通过螺钉连接、焊接等方式安装)在所述支撑座214上，所述X轴驱动件211和所述X轴丝杆213均安装(通过螺钉连接、焊接等方式安装)在所述支撑座214上，所述X轴丝杆213连接(销轴连接、螺钉连接等)所述X轴驱动件211的输出端，所述X轴螺母与所述X轴丝杆213螺纹连接，所述连接板215安装在所述X轴螺母上，且所述连接板215通过所述X轴滑动槽与所述X轴导轨212滑动连接；所述Y轴驱动模组22安装在所述连接板215上。可以理解地，所述X轴螺母并不局限于螺母的结构，而是在所述X轴螺母设有与所述X轴丝杆213螺纹连接的螺纹通孔，其结构形式可以根据实际需求来设定；并且所述X轴丝杆213与所述X轴螺母构成丝杆螺母机构；而所述X轴驱动件211包括但不限于伺服电机、转动电机等。

具体地，所述X轴驱动模组21的工作原理为：所述X轴驱动件211带动所述X轴丝杆213转动，所述X轴丝杆213带动所述X轴螺母移动，所述X轴螺母将带动所述连接板215沿所述X轴导轨212滑动，从而实现了所述连接板215带动所述Y轴驱动模组22沿X轴方向移动的技术效果。本实施例中，所述X轴驱动模组21的结构简单，制造成本低，移动稳定性高。

在一实施例中，如图3所示，所述X轴驱动模组21还包括安装在所述支撑座214上的第一拖链216，所述第一拖链216连接所述Y轴驱动模组22。可以理解地，所述X轴驱动模组21带动所述Y轴驱动模组22沿X轴移动的过程中等，所述第一拖链216随着所述Y轴驱动模组22发生折弯，从而避免了Y轴驱动模组22与外部控制器之间线组发生折弯和缠绕的问题，从而延长了该Y轴驱动模组22的使用寿命。

在一实施例中，如图4所示，所述Y轴驱动模组22包括Y轴驱动件221、Y轴导轨222、Y轴丝杆223、Y轴螺母以及设有Y轴滑动槽的连接架224；所述Y轴导轨222沿Y轴方向安装(通过螺钉连接、焊接等方式安装)在所述连接板215上，所述Y轴驱动件221和所述Y轴丝杆223均安装(通过螺钉连接、焊接等方式安装)在所述连接板215上，所述Y轴丝杆223连接(销轴连接、螺钉连接等)所述Y轴驱动件221的输出端，所述Y轴螺母与所述Y轴丝杆223螺纹连接，所述连接架224安装在所述Y轴螺母上，且所述连接架224通过所述Y轴滑动槽与所述Y轴导轨222滑动连接；所述Z轴驱动模组23安装在所述连接架224上。可以理解地，所述Y轴螺母并不局限于螺母的结构，而是在所述Y轴螺母设有与所述Y轴丝杆223螺纹连接的螺纹通孔，其结构形式可以根据实际需求来设定；并且所述Y轴丝杆223与所述Y轴螺母构成丝杆螺母机构；而所述Y轴驱动件221包括但不限于伺服电机、转动电机等。

具体地，所述Y轴驱动模组22的工作原理为：所述Y轴驱动件221带动所述Y轴丝杆223转动，所述Y轴丝杆223带动所述Y轴螺母移动，所述Y轴螺母将带动所述连接架224沿所述Y轴导轨222滑动，从而实现了所述连接架224带动所述Z轴驱动模组23沿Y轴方向移动的技术效果。本实施例中，所述Y轴驱动模组22的结构简单，制造成本低，移动稳定性高。

在一实施例中，如图4所示，所述Y轴驱动模组22还包括安装在所述支撑座214上的第二拖链225，所述第二拖链225连接所述Z轴驱动模组23。可以理解地，所述Y轴驱动模组22带动所述Z轴驱动模组23沿Y轴移动的过程中等，所述第二拖链225随着所述Z轴驱动模组23发生折弯，从而避免了Z轴驱动模组23与外部控制器之间线组发生折弯和缠绕的问题，从而延长了该Z轴驱动模组23的使用寿命。

在一实施例中，如图5所示，所述Z轴驱动模组23包括Z轴驱动件231、Z轴导轨232、Z轴丝杆233、Z轴螺母以及设有Z轴滑动槽的安装板234；所述Z轴导轨232沿Z轴方向安装(通过螺钉连接、焊接等方式安装)在所述连接架224上，所述Z轴驱动件231和所述Z轴丝杆233均安装(通过螺钉连接、焊接等方式安装)在所述连接架224上，所述Z轴丝杆233连接(销轴连接、螺钉连接等)所述Z轴驱动件231的输出端，所述Z轴螺母与所述Z轴丝杆233螺纹连接，所述安装板234安装在所述Z轴螺母上，且所述安装板234通过所述Z轴滑动槽与所述Z轴导轨232滑动连接；所述相机4和所述激光测距仪5均安装在所述安装板234上。可以理解地，所述Z轴螺母并不局限于螺母的结构，而是在所述Z轴螺母设有与所述Z轴丝杆233螺纹连接的螺纹通孔，其结构形式可以根据实际需求来设定；并且所述Z轴丝杆233与所述Z轴螺母构成丝杆螺母机构；而所述Z轴驱动件231包括但不限于伺服电机、转动电机等。

具体地，所述Z轴驱动模组23的工作原理为：所述Z轴驱动件231带动所述Z轴丝杆233转动，所述Z轴丝杆233带动所述Z轴螺母移动，所述Z轴螺母将带动所述安装板234沿所述Z轴导轨232滑动，从而实现了所述安装板234带动所述相机4和所述激光测距仪5沿Z轴方向移动的技术效果。本实施例中，所述Z轴驱动模组23的结构简单，制造成本低，移动稳定性高。

在一实施例中，如图2和图5所示，所述自动检测装置还包括设有通孔且用于照亮待检测件10的环形光源6，所述环形光源6安装(通过螺钉连接、卡接等方式安装)在所述三轴运动平台2的输出端；在竖直方向上，所述通孔位于所述夹具板31和所述相机4以及所述激光测距仪5之间。可以理解地，所述相机4和所述激光测距仪5位于所述环形光源6的上方，所述治具组件3位于所述环形光源6的下方，且所述环形光源6随着所述相机4和所述激光测距仪5的移动而移动。本实施例中，所述环形光源6可以对所述夹具板31上的待检测件10进行补光，从而所述相机4可以获取更加清晰的待检测件10的图像，进一步提高了该自动检测装置的检测精度。

在一实施例中，如图6所示，所述治具组件3还包括设有所述吸附接头32的旋转座34，以及间隔设有第一安装空间351和第二安装空间352的支架35；所述支架35安装(通过螺钉连接、焊接等方式安装)在所述机架1上，所述旋转驱动件33安装(通过螺钉连接、焊接等方式安装)在所述第一安装空间351中，所述旋转座34安装(通过螺钉连接、焊接等方式安装)在所述第二安装空间352中。可以理解地，所述支架35为上下两侧结构，上层的第一安装空间351中安装有所述旋转驱动件33，且所述旋转驱动件33的输出端连接所述夹具板31；下层的所述第二安装空间352中安装有固定不动的所述旋转座34。本实施例中，所述支架35的设计，避免了所述旋转驱动件33带动所述夹具板31转动时，所述旋转座34上与外界真空泵连接的真空管发生折弯、缠绕等事故，从而提高了所述治具组件3的稳定性。

在一实施例中，如图6所示，所述容纳槽312内还设有环形抵接面3121，待检测件10与所述环形抵接面3121贴合。可以理解地，所述容纳槽312为阶梯槽，所述容纳槽312的中间部分向下凹陷，从而所述吸附通孔311在所述容纳槽312的中间部位形成真空环境，并且将待检测件10吸附并与所述环形抵接面3121贴合。本实施例中，所述环形抵接面3121的设计，提高了待检测件10安装的稳定性。

在一实施例中，如图1所示，所述机架1包括底座11和安装(通过螺钉连接、卡接等方式安装)在所述底座11上的机罩12，所述机罩12和所述底座11支架35形成内部空间13，所述三轴运动平台2、所述治具组件3、所述相机4以及所述激光测距仪5均位于所述内部空间13中。本实施例中，所述机罩12的设计。可以将所述三轴运动平台2、所述治具组件3、所述相机4以及所述激光测距仪5均安装在所述内部空间13中，从而避免了外界环境对所述三轴运动平台2、所述治具组件3、所述相机4以及所述激光测距仪5的干扰，提高了该自动检测装置的检测精度，以及延长了其使用寿命。另外，所述机罩12还可以避免所述激光测距仪5发出的激光损害操作员，从而提高了该自动检测装置的安全性。

在一实施例中，如图1和图2所示，所述底座11上设有抽屉111和工控箱112，所述自动检测装置还包括安装在所述抽屉111中的键盘(图未示)和鼠标(图未示)，以及安装在所述工控箱112中的控制器(图未示)；所述自动检测装置还包括转动安装(通过铰链转动安装)在所述机罩12上的显示屏7，所述键盘、所述鼠标以及所述显示屏7均连接所述控制器，所述控制器连接所述三轴运动平台2、所述相机4以及所述激光测距仪5。可以理解地，所述显示屏7可以显示该自动检测装置的检测参数、操作步骤等；所述键盘和所述鼠标通过所述显示屏7对该自动检测装置进行操作。本实施例中，所述键盘、所述鼠标以及所述显示屏7的设计，提高了该自动检测装置的便捷性。

在一实施例中，如图1和图2所示，所述机架1还包括均安装在所述底座11底部的脚轮113和脚杯114。可以理解地，所述脚轮113可以启动推动机架1的作用，所述脚杯114可以起到支撑所述机架1的作用。本实施例中，自动检测装置的搬运方便。

在一实施例中，如图1所示，所述机架1还包括安装在所述机罩12顶部的报警器121。可以理解地，所述报警器121包括但不限于声光报警装置等，且所述报警器121连接所述控制器，当自动检测装置在运行的过程中发生故障时，所述报警器121将发出警报，提醒操作员过来检修。

以上仅为本实用新型的自动检测装置的实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims

1.一种自动检测装置，其特征在于，包括机架、三轴运动平台、治具组件、用于定位待检测件的相机，以及用于检测待检测件厚度的激光测距仪；所述三轴运动平台安装在所述机架上，所述相机和所述激光测距仪均安装在所述三轴运动平台的输出端；

2.根据权利要求1所述的自动检测装置，其特征在于，所述三轴运动平台包括X轴驱动模组、Y轴驱动模组以及Z轴驱动模组；所述Y轴驱动模组安装在所述机架上，且所述Y轴驱动模组用于带动所述X轴驱动模组和所述Z轴驱动模组沿Y轴方向移动；所述X轴驱动模组安装在所述Y轴驱动模组的输出端，且所述X轴驱动模组用于带动所述Z轴驱动模组沿X轴方向移动；所述Z轴驱动模组安装在所述X轴驱动模组的输出端，所述相机和所述激光测距仪均安装在Z轴驱动模组的输出端，且Z轴驱动模组用于带动所述相机和所述激光测距仪沿Z轴方向移动。

3.根据权利要求2所述的自动检测装置，其特征在于，所述X轴驱动模组包括X轴驱动件、X轴导轨、X轴丝杆、X轴螺母、支撑座以及设有X轴滑动槽的连接板；所述支撑座安装在所述机架上，所述X轴导轨沿X轴方向安装在所述支撑座上，所述X轴驱动件和所述X轴丝杆均安装在所述支撑座上，所述X轴丝杆连接所述X轴驱动件的输出端，所述X轴螺母与所述X轴丝杆螺纹连接，所述连接板安装在所述X轴螺母上，且所述连接板通过所述X轴滑动槽与所述X轴导轨滑动连接；所述Y轴驱动模组安装在所述连接板上。

4.根据权利要求3所述的自动检测装置，其特征在于，所述X轴驱动模组还包括安装在所述支撑座上的第一拖链，所述第一拖链连接所述Y轴驱动模组。

5.根据权利要求1所述的自动检测装置，其特征在于，所述自动检测装置还包括设有通孔且用于照亮待检测件的环形光源，所述环形光源安装在所述三轴运动平台的输出端；在竖直方向上，所述通孔位于所述夹具板和所述相机以及所述激光测距仪之间。

6.根据权利要求1所述的自动检测装置，其特征在于，所述治具组件还包括设有所述吸附接头的旋转座，以及间隔设有第一安装空间和第二安装空间的支架；所述支架安装在所述机架上，所述旋转驱动件安装在所述第一安装空间中，所述旋转座安装在所述第二安装空间中。

7.根据权利要求1所述的自动检测装置，其特征在于，所述容纳槽内还设有环形抵接面，待检测件与所述环形抵接面贴合。

8.根据权利要求1所述的自动检测装置，其特征在于，所述机架包括底座和安装在所述底座上的机罩，所述机罩和所述底座支架形成内部空间，所述三轴运动平台、所述治具组件、所述相机以及所述激光测距仪均位于所述内部空间中。

9.根据权利要求8所述的自动检测装置，其特征在于，所述底座上设有抽屉和工控箱，所述自动检测装置还包括安装在所述抽屉中的键盘和鼠标，以及安装在所述工控箱中的控制器；所述自动检测装置还包括转动安装在所述机罩上的显示屏，所述键盘、所述鼠标以及所述显示屏均连接所述控制器，所述控制器连接所述三轴运动平台、所述相机以及所述激光测距仪。

10.根据权利要求8所述的自动检测装置，其特征在于，所述机架还包括均安装在所述底座底部的脚轮和脚杯；和/或

所述机架还包括安装在所述机罩顶部的报警器。