CN220796654U - 一种晶圆抽检装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种晶圆抽检装置,包括抽检吸附台、晶圆抽检上部支撑组件、抽检底座组件和抽检相机组件,抽检底座组件可驱动上方的晶圆抽检上部支撑组件沿着X轴方向移动,晶圆抽检上部支撑组件沿着Y轴负方向一侧的抽检底座组件上设置有抽检相机组件,晶圆抽检上部支撑组件上设置有抽检吸附台。本实用新型通过抽检底座组件可驱动上方的晶圆抽检上部支撑组件沿着X轴方向移动的结构,对需要进行人工识别的晶圆或问题晶圆,能够自动伸出或缩回抽检的晶圆平台。
Description
技术领域
本实用新型涉及芯片加工相关技术领域,尤其涉及一种晶圆抽检装置。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆。在晶圆上可加工制作成各种电路元件结构,通常将晶圆电路面,即完成芯片功能的那一面称为正面,另外一面即为背面。
经过海量检索,发现现有技术公开号为CN102709206B,公开了一种控制晶圆生产过程异常的自动缺陷扫描抽检方法及装置。根据本发明的控制晶圆生产过程异常的自动缺陷扫描抽检方法包括:在线异常检测步骤,用于执行显性异常检测和隐性异常检测,从而在晶圆的生产过程中对生产线的显性异常和隐形异常进行检查,并记录出现显性异常和/或隐形异常的晶圆;以及固定抽检步骤,用于在晶圆处理之后执行固定抽检。所述固定抽检步骤所抽检的晶圆包括在所述在线异常检测步骤记录的出现显性异常和/或隐形异常的晶圆。
在晶圆加工过程中,通常要经过切割,在晶圆之后需要在晶圆的背面贴附一层薄膜,方便后续晶圆的分开,但在晶圆贴膜之前需要对切割后晶圆进行抽检,目前常用的抽检装置都是手动拉开抽检装置,人工检测,效率较低;同时晶圆抽检台面也是固定,不能自动微调节,导致机械手放置或取出晶圆时,容易有较大变形,易损害机械手。
有鉴于上述的缺陷,本设计人积极加以研究创新,以期创设一种晶圆抽检装置,使其更具有产业上的利用价值。
实用新型内容
为解决上述技术问题,本实用新型的目的是提供一种晶圆抽检装置。
为实现上述目的,本实用新型采用如下技术方案:
一种晶圆抽检装置,包括抽检吸附台、晶圆抽检上部支撑组件、抽检底座组件和抽检相机组件,其特征在于,所述抽检底座组件可驱动上方的晶圆抽检上部支撑组件沿着X轴方向移动,所述晶圆抽检上部支撑组件沿着Y轴负方向一侧的抽检底座组件上设置有抽检相机组件,所述晶圆抽检上部支撑组件上设置有抽检吸附台;
所述晶圆抽检上部支撑组件包括抽检台底板一,所述抽检台底板一上的中间位置设置有抽检吸附台,所述抽检吸附台下方的抽检台底板一上设置有若干个固定弹簧组件和调平弹簧组件,所述固定弹簧组件和调平弹簧组件分别与上方的抽检吸附台相接触设置;
所述抽检底座组件包括抽检台底板二,所述抽检台底板二上沿着X轴正方向的一侧设置有气缸一,所述气缸一通过气缸固定板一安装在抽检台底板二上,所述气缸一沿着X轴负方向一侧的驱动端通过活动板与上方的抽检台底板一相连接并可驱动其沿着X轴方向移动;
所述抽检台底板一下方沿着Y轴正方向的一侧设置有滑板组件一,所述抽检台底板一下方沿着Y轴负方向的一侧设置有滑板组件二;
所述滑板组件一包括抽检台左滑板、滑轨组件一和左侧滑轨固定板,所述抽检台左滑板沿着X轴方向安装在下方的抽检台底板二上,所述左侧滑轨固定板沿着X轴方向安装在上方的抽检台底板一的底部,所述抽检台左滑板通过滑轨组件一与外侧的左侧滑轨固定板相连接;
所述滑板组件二包括抽检台右滑板、滑轨组件二和右侧滑轨固定板,所述抽检台右滑板沿着X轴方向安装在下方的抽检台底板二上,所述右侧滑轨固定板安装在下方的抽检台底板二的底部,所述抽检台右滑板通过滑轨组件二与外侧的右侧滑轨固定板相连接。
作为本实用新型的进一步改进,所述抽检台底板一上沿着X轴负方向的一侧设置有传感器一和放大器组件,所述传感器一通过传感器固定板一安装在抽检台底板一上,所述放大器组件通过放大器固定板安装在抽检台底板一上,所述传感器一和放大器组件外侧的抽检台底板一上安装有抽检台盖板,所述抽检台盖板上的顶部外侧设置有拉手,所述抽检台底板一底部沿着X轴正方向的一侧设置有传感器感应片,所述抽检台底板二上沿着X轴正方向的一侧设置有传感器固定板二,所述传感器固定板二上安装有传感器二。
作为本实用新型的进一步改进,所述抽检台底板一底部沿着X轴正方向的一侧设置有磁力扣一和磁力扣吸附板一,所述抽检台左滑板上沿着X轴负方向的一侧设置有磁力扣二,所述磁力扣二通过磁力扣固定板二安装在抽检台左滑板上,所述传感器固定板二上沿着X轴负方向的一侧设置有磁力扣吸附板二,所述磁力扣一与磁力扣吸附板二相配合,所述磁力扣二与磁力扣吸附板一相配合。
作为本实用新型的进一步改进,所述抽检台右滑板上靠近X轴负方向的一侧设置有气缸二,所述气缸二通过气缸固定板二安装在抽检台右滑板上,所述气缸二的顶部设置有锁定柱,所述抽检台底板一底部沿着X轴正方向的一侧设置有可与锁定柱相适配的抽检台锁定块。
作为本实用新型的进一步改进,所述抽检吸附台下方的抽检台底板一的底部安装有若干个吸盘,所述吸盘通过吸盘固定板安装在抽检台底板一的底部,所述吸盘正上方的抽检吸附台上设置有吸附孔,所述吸盘可穿过抽检台底板一上的吸盘孔与上方的吸附孔相连接。
作为本实用新型的进一步改进,所述抽检台底板一的底部中间位置设置有光纤元件,所述抽检台底板一和抽检台底板一之间还连接设置有拖链。
作为本实用新型的进一步改进,所述抽检相机组件包括相机支架和相机,所述相机支架的顶部设置有支撑板,所述支撑板上设置有滑台,所述滑台上设置有转接板一,所述转接板一的外侧设置有转接板二,所述转接板二可相对于转接板一在Z轴方向上进行位置调整并通过紧固销钉锁固,所述转接板二上设置有相机。
作为本实用新型的进一步改进,所述固定弹簧组件包括限位销一、导向套一和销固定板一,所述销固定板一安装在抽检台底板一的底部,所述销固定板一上的中间位置安装有导向套一,所述导向套一内沿着Z轴方向安装有限位销一,所述限位销一可穿过抽检台底板一的销孔一并与上方的抽检吸附台相接触,所述限位销一和导向套一之间还设置有弹簧一。
作为本实用新型的进一步改进,所述调平弹簧组件包括限位销二、导向套二、销固定板二和调节螺母,所述销固定板二安装在抽检台底板一的底部,所述销固定板二上的中间位置安装有导向套二,所述导向套二内沿着Z轴方向安装有限位销二,所述限位销二可穿过抽检台底板一的销孔二并与上方的抽检吸附台相接触,所述销固定板二的底部安装有调节螺母,所述限位销二的底部穿过导向套二后并通过下方的调节螺母锁固,所述限位销二和导向套二之间还设置有弹簧二。
借由上述方案,本实用新型至少具有以下优点:
1、通过抽检底座组件可驱动上方的晶圆抽检上部支撑组件沿着X轴方向移动的结构,对需要进行人工识别的晶圆或问题晶圆,能够自动伸出或缩回抽检的晶圆平台;
2、通过设置固定弹簧组件和调平弹簧组件,吸盘吸附工作台后,能够进行一定的变形,能够有效保护机械手手指;
3、通过设置抽检相机组件,对需要抽检晶圆进行识别检测,实现晶圆的自动抽检与识别。
上述说明仅是本实用新型技术方案的概述,为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段,并可依照说明书的内容予以实施,以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1是本实用新型一种晶圆抽检装置的结构示意图;
图2是图1中晶圆抽检上部支撑组件背面的结构示意图;
图3是图1中晶圆抽检上部支撑组件正面的结构示意图;
图4是图1中左侧滑板组件的结构示意图;
图5是图1中抽检底座组件的结构示意图;
图6是图1中右侧滑板组件的结构示意图;
图7是图1中抽检相机组件1的结构示意图;
图8是图2中固定弹簧组件的结构示意图;
图9是图2中调平弹簧组件的结构示意图。
其中,图中各附图标记的含义如下。
拉手1、传感器一2、抽检台盖板3、抽检吸附台4、晶圆抽检上部支撑组件5、拖链6、滑板组件一7、抽检底座组件8、滑板组件二9、抽检相机组件10;
抽检台锁定块501、固定弹簧组件502、磁力扣一503、磁力扣吸附板一504、传感器感应片505、吸盘固定板506、光纤元件507、抽检台底板一508、调平弹簧组件509、吸盘510、放大器固定板511、放大器组件512;
磁力扣二701、磁力扣固定板二702、抽检台左滑板703、滑轨组件一704、左侧滑轨固定板705;
抽检台底板二801、传感器固定板二802、磁力扣吸附板二803、传感器二804、活动板805、气缸一806、气缸固定板一807;
气缸二901、气缸固定板二902、抽检台右滑板903、滑轨组件二904、右侧滑轨固定板905;
相机支架1001、支撑板1002、滑台1003、转接板一1004、转接板二1005、相机1006;
限位销一5021、弹簧一5022、导向套一5023、销固定板一5024、限位销二5091、弹簧二5092、导向套二5093、销固定板二5094、调节螺母5095。
具体实施方式
下面结合附图和实施例,对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型,但不用来限制本实用新型的范围。
为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案,下面将结合本实用新型实施例中附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此,以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围,而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型的实施例,本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
实施例
如图1~图9所示,一种晶圆抽检装置,包括抽检吸附台4、晶圆抽检上部支撑组件5、抽检底座组件8和抽检相机组件10,抽检底座组件8可驱动上方的晶圆抽检上部支撑组件5沿着X轴方向移动,晶圆抽检上部支撑组件5沿着Y轴负方向一侧的抽检底座组件8上设置有抽检相机组件10,晶圆抽检上部支撑组件5上设置有抽检吸附台4。
晶圆抽检上部支撑组件5包括抽检台底板一508,抽检台底板一508上的中间位置设置有抽检吸附台4,抽检吸附台4下方的抽检台底板一508上设置有若干个固定弹簧组件502和调平弹簧组件509,固定弹簧组件502和调平弹簧组件509分别与上方的抽检吸附台4相接触设置。
固定弹簧组件502包括限位销一5021、导向套一5023和销固定板一5024,销固定板一5024安装在抽检台底板一508的底部,销固定板一5024上的中间位置安装有导向套一5023,导向套一5023内沿着Z轴方向安装有限位销一5021,限位销一5021可穿过抽检台底板一508的销孔一并与上方的抽检吸附台4相接触,限位销一5021和导向套一5023之间还设置有弹簧一5022。
调平弹簧组件509包括限位销二5091、导向套二5093、销固定板二5094和调节螺母5095,销固定板二5094安装在抽检台底板一508的底部,销固定板二5094上的中间位置安装有导向套二5093,导向套二5093内沿着Z轴方向安装有限位销二5091,限位销二5091可穿过抽检台底板一508的销孔二并与上方的抽检吸附台4相接触,销固定板二5094的底部安装有调节螺母5095,限位销二5091的底部穿过导向套二5093后并通过下方的调节螺母5095锁固,限位销二5091和导向套二5093之间还设置有弹簧二5092。
抽检吸附台4下方的抽检台底板一508的底部安装有若干个吸盘510,吸盘510通过吸盘固定板506安装在抽检台底板一508的底部,吸盘510正上方的抽检吸附台4上设置有吸附孔,吸盘510可穿过抽检台底板一508上的吸盘孔与上方的吸附孔相连接。抽检台底板一508的底部中间位置设置有光纤元件507,抽检台底板一508和抽检台底板一508之间还连接设置有拖链6。
抽检台底板一508上沿着X轴负方向的一侧设置有传感器一2和放大器组件512,传感器一2通过传感器固定板一安装在抽检台底板一508上,放大器组件512通过放大器固定板511安装在抽检台底板一508上,传感器一2和放大器组件512外侧的抽检台底板一508上安装有抽检台盖板3,抽检台盖板3上的顶部外侧设置有拉手1,抽检台底板一508底部沿着X轴正方向的一侧设置有传感器感应片505,抽检台底板二801上沿着X轴正方向的一侧设置有传感器固定板二802,传感器固定板二802上安装有传感器二804。
抽检台底板一508底部沿着X轴正方向的一侧设置有磁力扣一503和磁力扣吸附板一504,抽检台左滑板703上沿着X轴负方向的一侧设置有磁力扣二701,磁力扣二701通过磁力扣固定板二702安装在抽检台左滑板703上,传感器固定板二802上沿着X轴负方向的一侧设置有磁力扣吸附板二803,磁力扣一503与磁力扣吸附板二803相配合,磁力扣二701与磁力扣吸附板一504相配合。
抽检底座组件8包括抽检台底板二801,抽检台底板二801上沿着X轴正方向的一侧设置有气缸一806,气缸一806通过气缸固定板一807安装在抽检台底板二801上,气缸一806沿着X轴负方向一侧的驱动端通过活动板805与上方的抽检台底板一508相连接并可驱动其沿着X轴方向移动。
抽检台底板一508下方沿着Y轴正方向的一侧设置有滑板组件一7,抽检台底板一508下方沿着Y轴负方向的一侧设置有滑板组件二9。
滑板组件一7包括抽检台左滑板703、滑轨组件一704和左侧滑轨固定板705,抽检台左滑板703沿着X轴方向安装在下方的抽检台底板二801上,左侧滑轨固定板705沿着X轴方向安装在上方的抽检台底板一508的底部,抽检台左滑板703通过滑轨组件一704与外侧的左侧滑轨固定板705相连接;
滑板组件二9包括抽检台右滑板903、滑轨组件二904和右侧滑轨固定板905,抽检台右滑板903沿着X轴方向安装在下方的抽检台底板二801上,右侧滑轨固定板905安装在下方的抽检台底板二801的底部,抽检台右滑板903通过滑轨组件二904与外侧的右侧滑轨固定板905相连接。
抽检台右滑板903上靠近X轴负方向的一侧设置有气缸二901,气缸二901通过气缸固定板二902安装在抽检台右滑板903上,气缸二901的顶部设置有锁定柱,抽检台底板一508底部沿着X轴正方向的一侧设置有可与锁定柱相适配的抽检台锁定块501。
抽检相机组件10包括相机支架1001和相机1006,相机支架1001的顶部设置有支撑板1002,支撑板1002上设置有滑台1003,滑台1003上设置有转接板一1004,转接板一1004的外侧设置有转接板二1005,转接板二1005可相对于转接板一1004在Z轴方向上进行位置调整并通过紧固销钉锁固,转接板二1005上设置有相机1006。
上述部件之间的位置关系和连接关系:
自动晶圆抽检装置是在抽检底座组件8的上部安装有抽检相机组件10,在抽检底座组件8的两侧也设有滑板组件一7和滑板组件二9,拖链6的一端固定在晶圆抽检上部支撑组件5上部,另一端固定在抽检底座组件8上面,在滑板组件一7和滑板组件二9上面安装有晶圆抽检上部支撑组件5,在左侧滑板组件7和右侧滑板组件9的前面安装有抽检台盖板3,在抽检台盖板3上面安装有拉手1和传感器一2。
工作原理简述:
当机械手放置晶圆在抽检吸附台4上后,真空打开后,吸盘510通过抽检吸附台4吸附晶圆,抽检相机组件10对晶圆进行抽测,根据抽测结果反馈给控制系统。
当晶圆良好时,机械手把晶圆取出,在取出晶圆过程中,机械手下压抽检吸附台4后,调平弹簧组件509上的弹簧可以进行微变形,保证晶圆与机械手的接触,同时避免机械手变形,
当晶圆不良时,抽检相机组件10给控制系统反馈信息后,抽检底座组件8中的气缸一806动作,使得抽检吸附台4和晶圆抽检上部支撑组件5在两侧滑板组件一7和滑板组件二9带动下滑出,即可取出不良的晶圆。
在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接:可以是机械连接,也可以是电连接:可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通.对于本领域的普通技术人员而言,可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,并不用于限制本实用新型,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型技术原理的前提下,还可以做出若干改进和变型,这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (9)
1.一种晶圆抽检装置,包括抽检吸附台(4)、晶圆抽检上部支撑组件(5)、抽检底座组件(8)和抽检相机组件(10),其特征在于,所述抽检底座组件(8)可驱动上方的晶圆抽检上部支撑组件(5)沿着X轴方向移动,所述晶圆抽检上部支撑组件(5)沿着Y轴负方向一侧的抽检底座组件(8)上设置有抽检相机组件(10),所述晶圆抽检上部支撑组件(5)上设置有抽检吸附台(4);
所述晶圆抽检上部支撑组件(5)包括抽检台底板一(508),所述抽检台底板一(508)上的中间位置设置有抽检吸附台(4),所述抽检吸附台(4)下方的抽检台底板一(508)上设置有若干个固定弹簧组件(502)和调平弹簧组件(509),所述固定弹簧组件(502)和调平弹簧组件(509)分别与上方的抽检吸附台(4)相接触设置;
所述抽检底座组件(8)包括抽检台底板二(801),所述抽检台底板二(801)上沿着X轴正方向的一侧设置有气缸一(806),所述气缸一(806)通过气缸固定板一(807)安装在抽检台底板二(801)上,所述气缸一(806)沿着X轴负方向一侧的驱动端通过活动板(805)与上方的抽检台底板一(508)相连接并可驱动其沿着X轴方向移动;
所述抽检台底板一(508)下方沿着Y轴正方向的一侧设置有滑板组件一(7),所述抽检台底板一(508)下方沿着Y轴负方向的一侧设置有滑板组件二(9);
所述滑板组件一(7)包括抽检台左滑板(703)、滑轨组件一(704)和左侧滑轨固定板(705),所述抽检台左滑板(703)沿着X轴方向安装在下方的抽检台底板二(801)上,所述左侧滑轨固定板(705)沿着X轴方向安装在上方的抽检台底板一(508)的底部,所述抽检台左滑板(703)通过滑轨组件一(704)与外侧的左侧滑轨固定板(705)相连接;
所述滑板组件二(9)包括抽检台右滑板(903)、滑轨组件二(904)和右侧滑轨固定板(905),所述抽检台右滑板(903)沿着X轴方向安装在下方的抽检台底板二(801)上,所述右侧滑轨固定板(905)安装在下方的抽检台底板二(801)的底部,所述抽检台右滑板(903)通过滑轨组件二(904)与外侧的右侧滑轨固定板(905)相连接。
2.如权利要求1所述的一种晶圆抽检装置,其特征在于,所述抽检台底板一(508)上沿着X轴负方向的一侧设置有传感器一(2)和放大器组件(512),所述传感器一(2)通过传感器固定板一安装在抽检台底板一(508)上,所述放大器组件(512)通过放大器固定板(511)安装在抽检台底板一(508)上,所述传感器一(2)和放大器组件(512)外侧的抽检台底板一(508)上安装有抽检台盖板(3),所述抽检台盖板(3)上的顶部外侧设置有拉手(1),所述抽检台底板一(508)底部沿着X轴正方向的一侧设置有传感器感应片(505),所述抽检台底板二(801)上沿着X轴正方向的一侧设置有传感器固定板二(802),所述传感器固定板二(802)上安装有传感器二(804)。
3.如权利要求2所述的一种晶圆抽检装置,其特征在于,所述抽检台底板一(508)底部沿着X轴正方向的一侧设置有磁力扣一(503)和磁力扣吸附板一(504),所述抽检台左滑板(703)上沿着X轴负方向的一侧设置有磁力扣二(701),所述磁力扣二(701)通过磁力扣固定板二(702)安装在抽检台左滑板(703)上,所述传感器固定板二(802)上沿着X轴负方向的一侧设置有磁力扣吸附板二(803),所述磁力扣一(503)与磁力扣吸附板二(803)相配合,所述磁力扣二(701)与磁力扣吸附板一(504)相配合。
4.如权利要求1所述的一种晶圆抽检装置,其特征在于,所述抽检台右滑板(903)上靠近X轴负方向的一侧设置有气缸二(901),所述气缸二(901)通过气缸固定板二(902)安装在抽检台右滑板(903)上,所述气缸二(901)的顶部设置有锁定柱,所述抽检台底板一(508)底部沿着X轴正方向的一侧设置有可与锁定柱相适配的抽检台锁定块(501)。
5.如权利要求1所述的一种晶圆抽检装置,其特征在于,所述抽检吸附台(4)下方的抽检台底板一(508)的底部安装有若干个吸盘(510),所述吸盘(510)通过吸盘固定板(506)安装在抽检台底板一(508)的底部,所述吸盘(510)正上方的抽检吸附台(4)上设置有吸附孔,所述吸盘(510)可穿过抽检台底板一(508)上的吸盘孔与上方的吸附孔相连接。
6.如权利要求1或2所述的一种晶圆抽检装置,其特征在于,所述抽检台底板一(508)的底部中间位置设置有光纤元件(507),所述抽检台底板一(508)和抽检台底板一(508)之间还连接设置有拖链(6)。
7.如权利要求1所述的一种晶圆抽检装置,其特征在于,所述抽检相机组件(10)包括相机支架(1001)和相机(1006),所述相机支架(1001)的顶部设置有支撑板(1002),所述支撑板(1002)上设置有滑台(1003),所述滑台(1003)上设置有转接板一(1004),所述转接板一(1004)的外侧设置有转接板二(1005),所述转接板二(1005)可相对于转接板一(1004)在Z轴方向上进行位置调整并通过紧固销钉锁固,所述转接板二(1005)上设置有相机(1006)。
8.如权利要求1所述的一种晶圆抽检装置,其特征在于,所述固定弹簧组件(502)包括限位销一(5021)、导向套一(5023)和销固定板一(5024),所述销固定板一(5024)安装在抽检台底板一(508)的底部,所述销固定板一(5024)上的中间位置安装有导向套一(5023),所述导向套一(5023)内沿着Z轴方向安装有限位销一(5021),所述限位销一(5021)可穿过抽检台底板一(508)的销孔一并与上方的抽检吸附台(4)相接触,所述限位销一(5021)和导向套一(5023)之间还设置有弹簧一(5022)。
9.如权利要求1所述的一种晶圆抽检装置,其特征在于,所述调平弹簧组件(509)包括限位销二(5091)、导向套二(5093)、销固定板二(5094)和调节螺母(5095),所述销固定板二(5094)安装在抽检台底板一(508)的底部,所述销固定板二(5094)上的中间位置安装有导向套二(5093),所述导向套二(5093)内沿着Z轴方向安装有限位销二(5091),所述限位销二(5091)可穿过抽检台底板一(508)的销孔二并与上方的抽检吸附台(4)相接触,所述销固定板二(5094)的底部安装有调节螺母(5095),所述限位销二(5091)的底部穿过导向套二(5093)后并通过下方的调节螺母(5095)锁固,所述限位销二(5091)和导向套二(5093)之间还设置有弹簧二(5092)。
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