CN215506495U - 一种新型研磨液配制装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶片研磨液配制技术领域，公开了一种新型研磨液配制装置，包括壳体和控制器，所述壳体从上至下设置有药粉搅拌单元和药液搅拌单元，药粉搅拌单元包括药粉桶，药液搅拌单元包括药液桶，药液桶上部侧壁上开设有输水孔和输液孔，输水孔固定连接有进水管，输液孔固定连接有输液管，输液管另一端固定连接有药液储存箱，输液管靠近输液孔一侧设置有吸液泵，药液桶内壁上设置有液面监测计，药液桶下端固定连接有出液管，出液管上部固定连接有排液开关，排液开关下方的出液管内安装了过滤网。本实用新型能够解决现有技术配制研磨液过程中容易混入其他杂质且费时费力的问题。

Description

一种新型研磨液配制装置

技术领域

本实用新型涉及晶片研磨液配制技术领域，尤其涉及一种新型研磨液配制装置。

背景技术

晶片研磨过程中，需要使用研磨液，现有技术生产研磨液需要人工配制研磨粉，将研磨粉、分散粉、螯合剂等粉末药物混合均匀后，倒入到搅拌桶中，在整个过程中，研磨粉与其他药粉混合过程中，为了避免其他杂质混入，需要使用特定的装置进行配制，配制结束后再将混合粉末转移到搅拌桶中，在转移过程中，需要注意研磨粉的洁净问题。

现有技术配制研磨液的过程中，人工操作部分很容易混合其他的杂质进入，并且人工搅拌过程，耗费时间较长，造成失误的可能性更大，并且人体容易吸入药粉影响身体健康。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种新型研磨液配制装置，能够解决现有技术配制研磨液过程中容易混入其他杂质、人工配制过程费时费力、还会影响人工身体健康的问题。

本实用新型通过以下技术手段解决上述技术问题：一种新型研磨液配制装置，包括壳体和控制器，控制器电连接有控制面板，壳体从上至下设置有药粉搅拌单元和药液搅拌单元，药粉搅拌单元包括药粉桶，药粉桶上部侧壁上开设有输粉孔，输粉孔处设置有进粉开关，输粉孔固定连接有输粉管，输粉管靠近进粉开关的一端设置有吸粉器，另一端固定连接有磨料储存箱，药粉桶下端中间固定连接有压力传感器；

药液搅拌单元包括药液桶，药液桶设置在药粉桶下端，药粉桶和药液桶之间开设有药粉孔，药粉孔上设置有药粉开关，药液桶中间设置有转轴，转轴上端穿过药粉桶并位于药粉桶外且固定连接有步进电机，转轴上部和下部分别固定连接有第一扇叶和第二扇叶，第一扇叶位于药粉桶内部，第二扇叶位于药液桶内部；

药液桶上部侧壁上开设有输水孔和输液孔，输水孔固定连接有进水管，输液孔固定连接有输液管，输液管另一端固定连接有药液储存箱，输液管靠近输液孔一侧设置有吸液泵，药液桶内壁上设置有液面监测计，药液桶下端固定连接有出液管，出液管上部固定连接有排液开关，排液开关下方的出液管内安装了过滤网；

吸粉器、进粉开关、压力传感器、步进电机、药粉开关、吸液泵、液面监测计、排液开关和控制面板均与控制器电连接。

进一步，所述磨料储存箱为内外双层结构，外层为保护层，保护层与输粉管固定连通，内层为圆柱储存桶，圆柱储存桶中间设置有挡板，圆柱储存桶下部开设有若干个孔洞，保护层与圆柱储存桶通过孔洞相连通，圆柱储存桶底部安装有旋转底座，旋转底座固定连接有第一电机，第一电机与控制器电连接，磨料储存箱上设置有密封盖；根据所需要的药粉种类，添加挡板的数量，挡板的设置将圆柱储存桶分为若干个腔体，可以储存多种药粉和分散粉，输粉管与圆柱储存桶上不同的孔洞连接，可以吸收不同的药粉进入药粉桶中进行搅拌；当需要向磨料储存箱中加入药粉时，可将密封盖打开添加药粉。

进一步，所述药粉孔和药粉开关的形状均为扇形，药粉开关的扇形圆心位置安装有旋转钮，旋转钮固定连接有第二电机，第二电机与控制器电连接；当药粉搅拌结束后，控制器控制旋转钮打开药粉开关，搅拌好后的药粉通过药粉孔落入到药液桶中。

进一步，所述排液开关上方的出液管上开设有第二吹气孔，排液开关与过滤网之间的出液管上开设有第三吹气孔；若有药粉沉积在药液桶的底部，第二吹气孔可以快速吹入洁净的空气将底部的药粉吹散；若有颗粒物质堵住过滤网的漏孔，研磨液无法流下，第三吹气孔吹入洁净的空气，将颗粒物质吹散，让研磨液可以流出。

进一步，所述药粉桶上部内壁上开设有第一吹气孔；第一吹气孔的作用在于药粉搅拌完成后，吹入洁净的空气，能够将药粉桶中的残留药粉吹入药液桶中。

进一步，所述药粉桶内壁的上端对称设置有花洒器，花洒器与控制器电连接，花洒器固定连通有清洁管；花洒器用于清洗药粉桶中残余的药粉。

进一步，所述花洒器底部和侧面均设置有若干个花洒孔，花洒孔设置为不同大小直径的圆孔；底部和侧面的花洒孔能够冲洗附着在药粉桶内壁的药粉，不同大小的花洒孔能够导致不同大小的水流速度，不同的冲洗距离，清洗效果更好。

进一步，所述药液桶内壁设置有环形清洁器，环形清洁器包括环形管，环形管一端为进水口，另一端为排水口，环形管上均匀开设有若干小孔；当清水从进水口进入环形管中，水流急速的从环形管的小孔中喷出，能够清理药液桶内残留的液体。

进一步，所述过滤网的数量为两个，两个过滤网上下设置；两个过滤网可以过滤掉研磨液中的大颗粒物质，过滤网可以重复使用并且更换，若是过滤网破损，更换新的过滤网。

本实用新型的有益效果：

(1)本实用新型通过药粉桶和药液桶的组合设置，减少了研磨液配制过程中药粉受空气污染的程度，减少人工操作过程避免了人体吸入药粉而影响身体健康；本实用新型能够解决现有技术配制研磨液过程中容易混入其他杂质、人工配制过程费时费力、还会影响人工身体健康的问题。

(2)本实用新型通过第一吹气孔的设置，能够将药粉桶中的残留药粉吹入药液桶中。

(3)本实用新型通过第二吹气孔和第三吹气孔的设置，能够避免药液中的少许大颗粒物质堵住出液口或者过滤网而造成研磨液的堵积，可以加快研磨液的流出。

(4)本实用新型通过花洒器和环形清洁器的设置，可以实现对药粉桶和药液桶的清洗。

附图说明

图1是本实用新型一种新型研磨液配制装置的结构示意图；

图2是图1中A处的放大示意图；

图3是药粉开关的俯视图；

图4是花洒器的正视图和俯视图；

图5是出液管的结构示意图；

图6是磨料储存箱的结构示意图；

图7是环形清洁管的三视图；

其中，壳体1、药粉桶2、第一吹气孔301、第二吹气孔302、第三吹气孔303、花洒器4、花洒孔5、清洁管6、进粉开关7、输粉管8、吸粉器9、磨料储存箱10、保护层11、圆柱储存桶12、挡板13、孔洞14、旋转底座15、密封盖16、压力传感器17、药液桶18、药粉孔19、药粉开关20、旋转钮21、转轴22、步进电机23、第一扇叶241、第二扇叶242、输水孔25、输液孔26、输液管27、药液储存箱28、吸液泵29、液面监测计30、出液管31、排液开关32、过滤网33、环形清洁管34、进水口35、排水口36。

具体实施方式

以下将结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细说明：

如图1-7所示，本实施例的一种新型研磨液配制装置，包括壳体1和控制器，控制器电连接有控制面板，壳体1从上至下设置有药粉搅拌单元和药液搅拌单元，药粉搅拌单元包括药粉桶2，药粉桶2上部侧壁上开设有第一吹气孔301；药粉桶2内壁的上端对称设置有花洒器4，如图4所示，花洒器4底部和侧面均设置有若干个花洒孔5，花洒孔5设置为不同大小直径的圆孔，花洒器4固定连通有清洁管6。

药粉桶2上部侧壁上开设有输粉孔，输粉孔处设置有进粉开关7，输粉孔固定连接有输粉管8，输粉管8靠近进粉开关7的一端设置有吸粉器9，另一端固定连接有磨料储存箱10，如图6所示，磨料储存箱10为内外双层结构，外层为保护层11，内层为圆柱储存桶12，保护层11与输粉管8固定连通，圆柱储存桶12中间设置有挡板13，圆柱储存桶12下部开设有若干个孔洞14，保护层11与圆柱储存桶12通过孔洞14相连通，圆柱储存桶12底部安装有旋转底座15，旋转底座15固定连接有第一电机，磨料储存箱10上设置有密封盖16，药粉桶2下端中间固定连接有压力传感器17。

药液搅拌单元包括药液桶18，药液桶18固定安装在药粉桶2下端，药粉桶2和药液桶18之间开设有药粉孔19，药粉孔19上设置有药粉开关20，如图3所示，药粉孔19和药粉开关20的形状均为扇形，药粉开关20的扇形圆心位置安装有旋转钮21，旋转钮21固定连接有第二电机，药液桶18中间设置有转轴22，转轴22上端穿过药粉桶2并位于药粉桶2外且固定连接有步进电机23，转轴22上部和下部分别固定连接有第一扇叶241和第二扇叶242，第一扇叶241位于药粉桶2内部，第二扇叶242位于药液桶18内部。

药液桶18上部侧壁上开设有输水孔25和输液孔26，输水孔25固定连接有进水管，进水管靠近输水孔25处设置有第一阀门，进水管外接有离子水箱，输液孔26固定连接有输液管27，输液管27另一端固定连接有药液储存箱28，输液管27靠近输液孔26一侧设置有吸液泵29，药液桶18内壁上设置有液面监测计30，药液桶18下端固定连接有出液管31，如图5所示，出液管31上部固定连接有排液开关32，排液开关32上方的出液管31上开设有第二吹气孔302，排液开关32下方的出液管31上开设有第三吹气孔303，第三吹气孔303下方的出液管31内安装了过滤网33，过滤网33的数量为两个，两个过滤网33上下设置。

药液桶18内壁设置有环形清洁器，如图7所示，环形清洁器包括环形管，环形管一端为进水口35，另一端为排水口36，环形管上均匀开设有若干小孔。

第一吹气孔301、第二吹气孔302和第三吹气孔303均外接有气泵，第一吹气孔301、第二吹气孔302和第三吹气孔303与气泵中间分别设置有第一气阀、第二气阀和第三气阀。

清洁管6和进水口35均外接有清洁水箱，清洁管6和进水口35与外接清洁水箱中间分贝设置有第二阀门和第三阀门。

吸粉器9、压力传感器17、进粉开关7、步进电机23、旋转钮21、吸液泵29、液面监测计30、排液开关32、旋转底座15、第一气阀、第二气阀、第三气阀、第一阀门、第二阀门、第三阀门、第一电机、第二电机和控制面板均与控制器电连接。

本实用新型的使用方法如下：

先打开密封盖16，将所需要的研磨药粉与分散粉加入到磨料储存箱10中，吸粉器9将药粉从磨料储存箱10中吸到药粉桶2中，压力传感器17根据所受的压力感知药粉的重量，控制器根据所需磨料的重量，控制吸粉器9的开关，当药粉抽取的重量结束后，与吸粉器9相连接的进粉开关7会马上关闭，吸粉器9改变运行方向，将输粉管8中的药粉回吸到磨料储存箱10中，可以在控制器中设计好回吸的时间，当吸粉器9回吸药粉时间停止后，旋转底座15发生旋转，将装有分散粉的孔洞14对准输粉管8，吸入分散粉，吸入的分散粉掉落到药粉桶2中，药粉桶2下的压力传感器17，进行计算，根据控制器设计的分散粉重量进行计算，重量达到后，控制器会关闭进粉开关7，并且将输粉管8中的分散粉回吸到磨料储存箱10中。

当药粉全部称量结束后，控制器启动步进电机23带动转轴22旋转，带动扇叶旋转进行搅拌，将药粉桶2中的药粉搅拌均匀，药粉搅拌设置相应的时间，在搅拌过程中，控制器开启第一阀门，使得离子水箱中的离子水输入到药液桶18中，药液桶18中的离子水量达到合适的容量时，液面监测计30向控制器发出信号，控制器关闭第一阀门；药粉搅拌结束之后，控制器打开药粉开关20，使得混合后的药粉通过药粉孔19落入到药液桶18中。

当压力传感器17的数值不在发生改变后，控制器打开第一气阀，洁净的空气从第一吹气孔301进入到药粉桶2中，将剩余的药粉全部吹入到药液桶18中，当压力传感器17的数值为0时，第一气阀关闭。

当药粉桶2中的药粉全部进入到药液桶18中后，控制器启动吸液泵29，将药液从药液储存箱28中输入到药液桶18中。控制器设置所需药液的体积，提取完成后药液停止输入；设置好搅拌药液的时间，当搅拌均匀后，就可以进行研磨液的提取。

在研磨液的提取过程中，通过控制面板向控制器传输信号，控制器打开排液开关32，研磨液通过出液管31经过过滤网33后流出。

若有药粉沉积在药液桶18的底部，通过控制面板向控制器发射信号，控制器打开第二气阀，从第二吹气孔302快速吹入洁净的空气将底部的药粉吹散；若有颗粒物质堵住过滤网33的漏孔，研磨液无法流下，控制器打开第三气阀，从第三吹气孔303吹入洁净的空气，将颗粒物质吹散，让研磨液可以流出。

需要清洗药粉桶2和药液桶18时，通过控制面板向控制器传输信号，控制器打开第二阀门和第三阀门，清洁水箱中的清洗液通过花洒器4和环形管分别进入药粉桶2和药液桶18中，冲洗药粉桶2和药液桶18。

以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的宗旨和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。本实用新型未详细描述的技术、形状、构造部分均为公知技术。

Claims (9)

1.一种新型研磨液配制装置，包括壳体和控制器，控制器电连接有控制面板，其特征在于：所述壳体从上至下设置有药粉搅拌单元和药液搅拌单元，药粉搅拌单元包括药粉桶，药粉桶上部侧壁上开设有输粉孔，输粉孔处设置有进粉开关，输粉孔固定连接有输粉管，输粉管靠近进粉开关的一端设置有吸粉器，另一端固定连接有磨料储存箱，药粉桶下端中间固定连接有压力传感器；

药液搅拌单元包括药液桶，药液桶设置在药粉桶下方，药粉桶和药液桶之间开设有药粉孔，药粉孔上设置有药粉开关，药液桶中间设置有转轴，转轴上端穿过药粉桶并位于药粉桶外且固定连接有步进电机，转轴上部和下部分别固定连接有第一扇叶和第二扇叶，第一扇叶位于药粉桶内部，第二扇叶位于药液桶内部；

药液桶上部侧壁上开设有输水孔和输液孔，输水孔固定连接有进水管，输液孔固定连接有输液管，输液管另一端固定连接有药液储存箱，输液管靠近输液孔一侧设置有吸液泵，药液桶内壁上设置有液面监测计，药液桶下端固定连接有出液管，出液管上部固定连接有排液开关，排液开关下方的出液管内安装了过滤网；

吸粉器、压力传感器、步进电机、药粉开关、吸液泵、液面监测计、排液开关和控制面板均与控制器电连接。

2.根据权利要求1所述的一种新型研磨液配制装置，其特征在于：所述磨料储存箱为内外双层结构，外层为保护层，保护层与输粉管固定连通，内层为圆柱储存桶，圆柱储存桶中间设置有挡板，圆柱储存桶下部开设有若干个孔洞，保护层与圆柱储存桶通过孔洞相连通，圆柱储存桶底部安装有旋转底座，旋转底座固定连接有第一电机，第一电机与控制器电连接，磨料储存箱上设置有密封盖。

3.根据权利要求2所述的一种新型研磨液配制装置，其特征在于：所述药粉孔和药粉开关的形状均为扇形，药粉开关的扇形圆心位置安装有旋转钮，旋转钮固定连接有第二电机，第二电机与控制器电连接。

4.根据权利要求3所述的一种新型研磨液配制装置，其特征在于：所述排液开关上方的出液管上开设有第二吹气孔，排液开关与过滤网之间的出液管上开设有第三吹气孔。

5.根据权利要求4所述的一种新型研磨液配制装置，其特征在于：所述药粉桶上部内壁上开设有第一吹气孔。

6.根据权利要求5所述的一种新型研磨液配制装置，其特征在于：所述药粉桶内壁的上端对称设置有花洒器，花洒器与控制器电连接，花洒器固定连通有清洁管。

7.进根据权利要求6所述的一种新型研磨液配制装置，其特征在于：所述花洒器底部和侧面均设置有若干个花洒孔，花洒孔设置为不同大小直径的圆孔。

8.根据权利要求7所述的一种新型研磨液配制装置，其特征在于：所述药液桶内壁设置有环形清洁器，环形清洁器包括环形管，环形管一端为进水口，另一端为排水口，环形管上均匀开设有若干小孔。

9.根据权利要求8所述的一种新型研磨液配制装置，其特征在于：所述过滤网的数量为两个，两个过滤网上下设置。

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