CN215488219U - 一种用于晶圆FOUP自动装载机Loadport的万向可调密封装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体晶圆制作技术领域，具体涉及一种用于晶圆FOUP自动装载机Loadport的万向可调密封装置；基于螺纹作用，通过转动调节套，使进出气底座上下移动，调节相对于FOUP的进出气口上下距离，并通过万向头保证与FOUP的接触；并且弹簧同时进行柔性调节，密封圈确保内圈密封性，从而使整体结构确保其全面接触密封性；在设备改造后可保持原机械运动基准，减少调试时间，避免误动作造成的工件损伤。

Description

一种用于晶圆FOUP自动装载机Loadport的万向可调密封装置

技术领域

本实用新型涉及半导体晶圆制作技术领域，具体涉及一种用于晶圆FOUP自动装载机Loadport的万向可调密封装置。

背景技术

在半导体的制造过程中，晶圆(制作硅半导体电路所用的硅晶片)需要经过各种不同流程的处理，所以会在多个设备之间进行运送。Loadport(通过晶圆盒从处理装置中取放硅晶圆的晶圆盒装载端口)形式多样，FOUP(晶圆传输盒，可保护、运送、并储存晶圆，在运输传载及储存时提供安全防护)进出气口大多采取Loadport台面上的固定规格尺寸的胶盘密封，用来减少从装置外部混入内部的微粒子。

如今国外半导体设备不断国产化，在现有设备基础上进行改造升级，不断优化，降低成本，满足更高功能要求成为趋势。现有Loadport台面上的固定规格尺寸的胶盘种类较多，对设备改造升级不便，常常需要更换不同尺寸规格的胶盘满足FOUP进出气口的密封，降低生产效率，延长设备改造、调试时间。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

本实用新型目的在于背景技术提出的技术问题，而提供了一种用于晶圆FOUP自动装载机Loadport的万向可调密封装置，采取万向可调密封结构，用来替换单一固定尺寸规格的密封胶盘，解决了不同设备需要不同规格尺寸胶盘密封的现实问题。

(二)技术方案

一种用于晶圆FOUP自动装载机Loadport的万向可调密封装置，包括进出气底座、调节套、固定法兰、万向头、密封圈及弹簧；

进出气底座设置有安装槽，安装槽中心设置有中心柱；万向头的内孔设置有密封圈，并整体穿进中心柱；万向头通过固定法兰压紧在进出气底座上；弹簧套装在中心柱上，一端抵住万向头，另一端抵住安装槽内底；进出气底座外围螺接有调节套。

优选的，进出气底座设置有外螺纹，调节套设置有对应的内螺纹。

优选的，进出气底座设置在Loadport台面上。

优选的，Loadport台面上设有安放进出气底座的凹槽，凹槽将进出气底座卡住，使进出气底座可以上下移动、不能产生转动。

优选的，凹槽内圈设置有卡位突起，进出气底座对应设置有配合的卡槽。

优选的，中心柱为空心结构，一端与万向头连通，另一端侧向设置并连通有通气道。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种用于晶圆FOUP自动装载机Loadport的万向可调密封装置，基于螺纹作用，通过转动调节套，使进出气底座上下移动，调节相对于FOUP的进出气口上下距离，并通过万向头保证与FOUP的接触；并且弹簧同时进行柔性调节，密封圈确保内圈密封性，从而使整体结构确保其全面接触密封性；在设备改造后可保持原机械运动基准，减少调试时间，避免误动作造成的工件损伤。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的，保护一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型安装及关联结构示意图；

图2为本实用新型的剖视图；

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1-Loadport台面，2-万向可调密封装置，3-FOUP；

21-进出气底座，22-调节套，23-固定法兰，24-万向头，25-密封圈，26-弹簧。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，如出现术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等，其所指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，如出现术语“第一”、“第二”、“第三”，其仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，如出现术语“安装”、“相连”、“连接”，应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

参看附图1，一种用于晶圆FOUP自动装载机Loadport的万向可调密封装置，装在Loadport台面1和FOUP2之间。

具体的，参考附图2，本万向可调密封装置2包括进出气底座21、调节套22、固定法兰23、万向头24、密封圈25及弹簧26；

进出气底座21设有安装槽，安装槽中心设有中心柱；万向头24的内孔装有密封圈25，并整体穿进中心柱；万向头24通过固定法兰23压紧在进出气底座21上；弹簧26套装在中心柱上，一端抵住万向头24，另一端抵住安装槽内底；进出气底座21外围螺接有调节套22。

其中，进出气底座21加工有外螺纹，调节套22加工有对应的内螺纹，使两者可以螺纹连接。

其中，中心柱为空心结构，一端与万向头24连通，另一端侧向设置并连通有通气道，实现进出气。

进出气底座21装在Loadport台面1上，其中进出气底座21可以上下移动、不能产生转动；FOUP2通过Loadport台面1上的定位销进行定位，根据FOUP2、Loadport台面1的距离对本万向可调密封装置2进行调整。

具体的，Loadport台面1上设有安放进出气底座21的凹槽，凹槽内圈加工有卡位突起，进出气底座21对应开有配合的卡槽，这样凹槽将进出气底座21卡住，使进出气底座21可以上下移动、不能产生转动。

左旋或右旋调节套22，并保持调节套22位置不动(可使调节套22底端压在Loadport台面1上)，这样基于螺纹作用，使进出气底座21上下移动，即进行相对于FOUP2的进出气口上下距离的调节，并通过万向头24保证与FOUP2的接触；并且弹簧26同时进行柔性调节，密封圈25确保内圈密封性，从而使整体结构确保其全面接触密封性。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料过着特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (6)

1.一种用于晶圆FOUP自动装载机Loadport的万向可调密封装置，其特征在于，包括进出气底座(21)、调节套(22)、固定法兰(23)、万向头(24)、密封圈(25)及弹簧(26)；

所述进出气底座(21)设置有安装槽，安装槽中心设置有中心柱；所述万向头(24)的内孔设置有密封圈(25)，并整体穿进中心柱；所述万向头(24)通过固定法兰(23)压紧在进出气底座(21)上；所述弹簧(26)套装在中心柱上，一端抵住万向头(24)，另一端抵住安装槽内底；所述进出气底座(21)外围螺接有调节套(22)。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆FOUP自动装载机Loadport的万向可调密封装置，其特征在于，所述进出气底座(21)设置有外螺纹，调节套(22)设置有对应的内螺纹。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆FOUP自动装载机Loadport的万向可调密封装置，其特征在于，所述进出气底座(21)设置在Loadport台面(1)上。

4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆FOUP自动装载机Loadport的万向可调密封装置，其特征在于，所述Loadport台面上设有安放进出气底座(21)的凹槽，凹槽将进出气底座(21)卡住，使进出气底座(21)可以上下移动、不能产生转动。

5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆FOUP自动装载机Loadport的万向可调密封装置，其特征在于，所述凹槽内圈设置有卡位突起，进出气底座(21)对应设置有配合的卡槽。

6.根据权利要求1所述的一种用于晶圆FOUP自动装载机Loadport的万向可调密封装置，所述中心柱为空心结构，一端与万向头(24)连通，另一端侧向设置并连通有通气道。

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