CN215478170U - 一种双抓手搬舟机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种双抓手搬舟机构,包括竖向支架、水平支架以及花篮夹爪,水平支架包括位于其长度方向不同位置的支架段A和支架段B,所述支架段A位于沿其长度方向依次布置的多个工位A的上方,所述支架段B位于沿其长度方向依次布置的多个工位B的上方,所述花篮夹爪设置为两个,其中一个所述花篮夹爪可移动的连接于所述支架段A上并将石英舟搬运至所述多个工位A上或将所述多个工位A上的石英舟搬离,另一个所述花篮夹爪可移动的连接于所述支架段B上并将石英舟搬运至所述多个工位B上或将所述多个工位B上的石英舟搬离。本实用新型公开的双抓手搬舟机构可实现对更多工位上的石英舟的搬运。
Description
技术领域
本实用新型属于太阳能电池领域,具体涉及一种双抓手搬舟机构。
背景技术
在半导体和太阳能光伏电池的制造过程中,需要搬舟机构从桨上工位、流线工位、舟缓存工位来转运舟。现有的搬舟机构通过包括一个花篮夹爪,一个花篮夹爪一次只能对设定数量工位上的石英舟进行搬运,若想实现更多工位上石英舟的搬运,就需要使用多个搬舟机构,多个独立的搬舟机构所占空间较大。如何实现对更多工位上的产品进行搬运,同时尽可能减少搬舟机构所占空间是本领域亟待解决的技术问题。
实用新型内容
为此,本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术中一个搬舟机构不能抓取多个工位上的花篮的问题。
为解决上述技术问题,本实用新型提供了一种双抓手搬舟机构,包括:
竖向支架,所述竖向支架沿竖直Z轴方向延伸;
水平支架,所述水平支架沿水平X轴方向延伸并且可升降的连接于所述竖向支架上;
升降驱动部件,所述升降驱动部件安装于所述竖向支架上并带动所述水平支架沿竖向运动;
花篮夹爪,所述花篮夹爪可升降的连接于所述水平支架上;
平移驱动部件,所述平移驱动部件安装于所述水平支架上并带动所述花篮夹爪沿水平X轴方向运动;
所述水平支架包括位于其长度方向不同位置的支架段A和支架段B,所述支架段A位于沿其长度方向依次布置的多个工位A的上方,所述支架段B位于沿其长度方向依次布置的多个工位B的上方,所述花篮夹爪设置为两个,其中一个所述花篮夹爪可移动的连接于所述支架段A上并将石英舟搬运至所述多个工位A上或将所述多个工位A上的石英舟搬离,另一个所述花篮夹爪可移动的连接于所述支架段B上并将石英舟搬运至所述多个工位B上或将所述多个工位B上的石英舟搬离。
作为进一步改进,所述平移驱动部件为伺服电机系统。
作为进一步改进,两个所述花篮夹爪同步同向运动并共用同一所述伺服电机系统。
作为进一步改进,所述升降驱动部件为伺服电机系统。
作为进一步改进,所述竖向支架设置为一个,所述水平支架设置为一个。
作为进一步改进,所述花篮夹爪包括:
总支架;
第一夹持定位单元,所述第一夹持定位单元包括沿竖直Z轴方向延伸并沿水平Y轴方向可移动连接于所述总支架上的第一夹持臂、安装于所述总支架上并带动所述第一夹持臂移动的第一夹持驱动部件、沿水平Y轴方向延伸并沿水平Y轴方向可伸缩连接于所述第一夹持臂上的第一定位柱、安装于所述第一夹持臂上并带动所述第一定位柱伸缩的第一定位驱动部件、沿水平Y 轴方向延伸并沿水平Y轴方向可伸缩连接于所述第一夹持臂上的第三定位柱以及安装于所述第一夹持臂上并带动所述第三定位柱伸缩的第三定位驱动部件;
第二夹持定位单元,所述第二夹持定位单元包括沿竖直Z轴方向延伸并沿水平Y轴方向可移动连接于所述总支架上的第二夹持臂、安装于所述总支架上并带动所述第二夹持臂移动的第二夹持驱动部件、沿水平Y轴方向延伸并沿水平Y轴方向可伸缩连接于所述第二夹持臂上的第二定位柱、安装于所述第二夹持臂上并带动所述第二定位柱伸缩的第二定位驱动部件、沿水平Y 轴方向延伸并沿水平Y轴方向可伸缩连接于所述第二夹持臂上的第四定位柱以及安装于所述第二夹持臂上并带动所述第四定位柱伸缩的第四定位驱动部件;
所述第一夹持臂和所述第二夹持臂相对被夹持花篮的水平Y轴方向平分切面对称设置;
所述第三定位柱沿竖直Z轴方向投影在所述第二夹持臂上并形成第三定位柱投影,所述第四定位柱沿竖直Z轴方向投影在所述第一夹持臂上并形成第四定位柱投影,所述第一定位柱与所述第四定位柱投影相对被夹持花篮的水平X轴方向平分切面对称设置,所述第二定位柱与所述第三定位柱投影相对被夹持花篮的水平X轴方向平分切面对称设置;
一种工作状态下,所述第一夹持臂和所述第二夹持臂分别夹紧被夹持花篮的第一侧板和第二侧板,所述第一定位柱伸出并插入所述第一侧板上的第一定位孔中,所述第二定位柱伸出并插入所述第二侧板上的第二定位孔中,所述第三定位柱和所述第四定位柱回缩;
另一种工作状态下,所述第一夹持臂和所述第二夹持臂分别夹紧被夹持花篮的第二侧板和第一侧板时,所述第三定位柱伸出并插入所述第二侧板上的第二定位孔中,所述第四定位柱伸出并插入所述第一侧板上的第一定位孔中,所述第一定位柱和所述第二定位柱回缩。
作为进一步改进,所述第一定位柱和所述第四定位柱各设置为一根,所述第二定位柱和所述第三定位柱各设置为两根,所述第一定位孔的直径大于所述第二定位孔的直径,两根所述第三定位柱分别设于所述第一定位柱沿水平X轴方向的两侧,两根所述第二定位柱分别设于所述第四定位柱沿水平X 轴方向的两侧。
作为进一步改进,两根所述第二定位柱连接于同一U形连接件A上,所述U形连接件A连接于所述第二定位驱动部件上,两根所述第三定位柱连接于同一U形连接件B上,所述U形连接件B连接于所述第三定位驱动部件上。
作为进一步改进,所述第一夹持驱动部件、所述第二夹持驱动部件、所述第一定位驱动部件、所述第二定位驱动部件、所述第三定位驱动部件以及所述第四定位驱动部件均为气缸。
作为进一步改进,所述第一定位驱动部件与所述第三定位驱动部件安装于同一U形连接件C上,所述U形连接件C安装于所述第一夹持臂的外侧面上,所述第二定位驱动部件与所述第四定位驱动部件安装于同一U形连接件 D上,所述U形连接件D安装于所述第二夹持臂的外侧面上。
由于上述技术方案运用,本实用新型与现有技术相比具有下列优点:
1)本实用新型公开的双抓手搬舟机构,通过将两个抓手沿左右方向移动连接在水平支架上,水平支架沿上下方向移动连接在竖向支架上,可以在实现原一个搬舟机构双倍工位上石英舟的搬运,同时搬舟机构的体积没有明显变大;
2)本实用新型公开的双抓手搬舟机构,当夹持正向的花篮时,第一定位柱和第二定位柱伸出,当夹持反向花篮时,第三定位柱和第四定位柱伸出,本花篮夹爪可以夹持正向和反向的花篮,满足在不同的工艺段需要不同方向花篮的生产要求。
附图说明
构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本申请的进一步理解,本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请,并不构成对本申请的不当限定。
图1为本实用新型公开的双抓手搬舟机构的轴视图;
图2为本实用新型公开的夹爪的主视图;
图3为本实用新型公开的夹爪的俯视图;
图4为本实用新型公开的夹爪的轴视图;
图5为本实用新型公开的被夹持花篮的主视图;
图6为本实用新型公开的被夹持花篮的左视图;
图7为本实用新型公开的被夹持花篮的右视图;
图8为本实用新型公开的被夹持花篮的轴视图;
图9为本实用新型公开的夹爪夹持花篮的示意图。
其中,101、竖向支架;102、水平支架;103、升降驱动部件;104、花篮夹爪;105、平移驱动部件;106、支架段A;107、支架段B;
10、总支架;21、第一夹持臂;22、第一夹持驱动部件;23、第一定位柱;24、第一定位驱动部件;25、第三定位柱;26、第三定位驱动部件;27、 U形连接件A;28、第一垫板;29、U形连接件C;31、第二夹持臂;32、第二夹持驱动部件;33、第二定位柱;34、第二定位驱动部件;35、第四定位柱;36、第四定位驱动部件;37、U形连接件BA;38、第二垫板;39、U形连接件D;40、被夹持花篮;41、第一侧板;42、第二侧板;43、第一定位孔;44、第二定位孔。
具体实施方式
下面结合附图和实施例,对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。
应该指出,以下详细说明都是例示性的,旨在对本申请提供进一步的说明。除非另有指明,本文使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。需要注意的是,这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式,而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的,除非上下文另外明确指出,否则单数形式也意图包括复数形式,此外,还应当理解的是,当在本说明书中使用术语“包含”和 /或“包括”时,其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。在本公开中,术语如“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“侧”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,只是为了便于叙述本公开各部件或元件结构关系而确定的关系词,并非特指本公开中任一部件或元件,不能理解为对本公开的限制。本公开中,术语如“固接”、“相连”、“连接”等应做广义理解,表示可以是固定连接,也可以是一体地连接或可拆卸连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的相关科研或技术人员,可以根据具体情况确定上述术语在本公开中的具体含义,不能理解为对本公开的限制。
以下为用于说明本实用新型的一较佳实施例,但不用来限制本实用新型的范围。
实施例一
参见图1,如其中的图例所示,一种双抓手搬舟机构,包括:
竖向支架101,竖向支架101沿竖直Z轴方向延伸;
水平支架102,水平支架102沿水平X轴方向延伸并且可升降的连接于竖向支架101上;
升降驱动部件103,升降驱动部件103安装于竖向支架101上并带动水平支架102沿竖向运动;
花篮夹爪104,花篮夹爪104可升降的连接于水平支架102上;
平移驱动部件105,平移驱动部件105安装于水平支架102上并带动花篮夹爪104沿水平X轴方向运动;
水平支架102包括位于其长度方向不同位置的支架段A106和支架段 B107,支架段A106位于沿其长度方向依次布置的多个工位A的上方,支架段 B107位于沿其长度方向依次布置的多个工位B的上方,花篮夹爪104设置为两个,其中一个花篮夹爪104可移动的连接于支架段A106上并将石英舟搬运至多个工位A上或将多个工位A上的石英舟搬离,另一个花篮夹爪104可移动的连接于支架段B107上并将石英舟搬运至多个工位B上或将多个工位B上的石英舟搬离。
通过设置两个花篮夹爪,两个花篮夹爪连接于同一水平支架上,水平支架连接于同一竖向支架上,可以对更多工位上石英舟进行抓取的同时,搬舟机构的体积没有明显增大。
本实施例中优选的实施方式,平移驱动部件105为伺服电机系统。平移驱动部件所采用的伺服电机系统包括伺服电机、丝杆以及螺母部件等。
本实施例中优选的实施方式,两个花篮夹爪104同步同向运动并共用同一伺服电机系统。两个花篮夹爪分别通过两个连接件连接于两个螺母部件上,两个花篮夹爪可同向同步平移运动。
本实施例中优选的实施方式,升降驱动部件103为伺服电机系统。升降驱动部件所采用的伺服电机系统包括伺服电机、丝杆以及螺母部件等。
参见图2至图9,如其中的图例所示,花篮夹爪包括:
总支架10;
第一夹持定位单元,第一夹持定位单元包括沿竖直Z轴方向延伸并沿水平Y轴方向可移动连接于总支架10上的第一夹持臂21、安装于总支架10 上并带动第一夹持臂21移动的第一夹持驱动部件22、沿水平Y轴方向延伸并沿水平Y轴方向可伸缩连接于第一夹持臂21上的第一定位柱23以及安装于第一夹持臂21上并带动第一定位柱23伸缩的第一定位驱动部件24;
第二夹持定位单元,第二夹持定位单元包括沿竖直Z轴方向延伸并沿水平Y轴方向可移动连接于总支架10上的第二夹持臂31、安装于总支架10 上并带动第二夹持臂31移动的第二夹持驱动部件32、沿水平Y轴方向延伸并沿水平Y轴方向可伸缩连接于第二夹持臂31上的第二定位柱33以及安装于第二夹持臂31上并带动第二定位柱33伸缩的第二定位驱动部件34;
第一夹持臂21和第二夹持臂31相对被夹持花篮40的水平Y轴方向平分切面对称设置;
第一夹持定位单元还包括沿水平Y轴方向延伸并沿水平Y轴方向可伸缩连接于第一夹持臂21上的第三定位柱25和安装于第一夹持臂21上并带动第三定位柱25伸缩的第三定位驱动部件26;
第二夹持定位单元还包括沿水平Y轴方向延伸并沿水平Y轴方向可伸缩连接于第二夹持臂31上的第四定位柱35和安装于第二夹持臂31上并带动第四定位柱35伸缩的第四定位驱动部件36;
第三定位柱25沿竖直Z轴方向投影在第二夹持臂31上并形成第三定位柱投影,第四定位柱35沿竖直Z轴方向投影在第一夹持臂21上并形成第四定位柱投影,第一定位柱23与第四定位柱25投影相对被夹持花篮40的水平X轴方向平分切面对称设置,第二定位柱33与第三定位柱投影相对被夹持花篮40的水平X轴方向平分切面对称设置;
一种工作状态下,第一夹持臂21和第二夹持臂31分别夹紧被夹持花篮 40的第一侧板41和第二侧板42,第一定位柱23伸出并插入第一侧板41上的第一定位孔43中,第二定位柱33伸出并插入第二侧板42上的第二定位孔44中,第三定位柱25和第四定位柱35回缩;
另一种工作状态下,第一夹持臂21和第二夹持臂31分别夹紧被夹持花篮40的第二侧板42和第一侧板41时,第三定位柱25伸出并插入第二侧板 42上的第二定位孔44中,第四定位柱35伸出并插入第一侧板41上的第一定位孔43中,第一定位柱23和第二定位柱33回缩。
本实施例中优选的实施方式,第一定位柱23和第四定位柱35各设置为一根,第二定位柱33和第三定位柱25各设置为两根,第一定位孔43的直径大于第二定位孔44的直径,两根第三定位柱25分别设于第一定位柱23 沿水平X轴方向的两侧,两根第二定位柱33分别设于第四定位柱35沿水平 X轴方向的两侧。本实施例中第一定位孔43设置为一个,第二定位孔44设置为两个,可用最少的定位孔防止被夹持花篮旋转,且一个第一定位孔43 和两个第二定位孔44的定位力相当。在其他实施例中还可以是第一定位柱、第二定位柱、第三定位柱、第四定位柱、第一定位孔以及第二定位孔设置为别的数量。
本实施例中优选的实施方式,两根第二定位柱33连接于同一U形连接件A37上,U形连接件A37连接于第二定位驱动部件34上,两根第三定位柱25连接于同一U形连接件B27上,U形连接件B27连接于第三定位驱动部件26上。本实施例中通过设置U形连接件A可连接两根第三定位柱的同时避开第一定位柱,通过设置U形连接件B可连接两根第二定位柱的同时避开第四定位柱,使得整体结构更加紧凑。在其他实施例中还可以是其他各种可实现的方式,根据定位孔的位置关系具体进行设置。
本实施例中优选的实施方式,第一夹持定位单元还包括安装于第一夹持臂21上的第一垫板28和安装于第二夹持臂31上的第二垫板38,第一垫板 28沿竖直Z轴方向投影在第二夹持臂31上并形成第一垫板投影,第二定垫板38与第一垫板投影相对被夹持花篮40的水平X轴方向平分切面对称设置。
本实施例中优选的实施方式,第一垫板28设置为两块,两块第一垫板 28设于第一夹持臂21的对角位置,第二垫板38设置为两块,两块第二垫板38设置于第二夹持臂31的对角位置。通过设置垫板可以防止花篮被夹持损伤。在其他实施例中还可以是不设置垫板。
本实施例中优选的实施方式,第一夹持驱动部件22、第二夹持驱动部件32、第一定位驱动部件24、第二定位驱动部件34、第三定位驱动部件26 以及第四定位驱动部件36均为气缸。在其他实施例中还可以是电机直线驱动装置等。
本实施例中优选的实施方式,总支架10上安装有第一导轨(图中未示出)和第二导轨(图中未示出),第一夹持臂21和第二夹持臂31分别导向连接于第一导轨和第二导轨上。可实现第一夹持臂和第二夹持臂的稳定移动。在其他实施例中还可以是不设置滑轨。
本实施例中优选的实施方式,第一定位孔43和第二定位孔44均为通孔。在其他实施例中还可以是:第一定位孔和第二定位孔均为盲孔。
本实施例中优选的实施方式,第一定位驱动部件24与第三定位驱动部件26安装于同一U形连接件C29上,U形连接件C29安装于第一夹持臂21 的外侧面上,第二定位驱动部件34与第四定位驱动部件36安装于同一U形连接件D39上,U形连接件D39安装于第二夹持臂21的外侧面上。通过U 形连接件C29和U形连接件D39,可实现各个定位驱动部件的安装和保护,同时不影响夹持臂与产品的夹持。在其他实施例中还可以是其他形状的连接件,例如将U形连接件替换为L形连接件等。
当夹持正向的花篮时,第一定位驱动部件和第二定位驱动部件分别带动第一定位柱和第二定位柱伸出,当夹持反向花篮时,第三定位驱动部件和第四定位驱动部件分别带动第三定位柱和第四定位柱伸出,本花篮夹爪可以夹持正向和反向的花篮,满足在不同的工艺段需要不同方向花篮的生产要求。
以上为对本实用新型实施例的描述,通过对所公开的实施例的上述说明,使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的,本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下,在其它实施例中实现。因此,本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例,而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
Claims (10)
1.一种双抓手搬舟机构,包括:
竖向支架,所述竖向支架沿竖直Z轴方向延伸;
水平支架,所述水平支架沿水平X轴方向延伸并且可升降的连接于所述竖向支架上;
升降驱动部件,所述升降驱动部件安装于所述竖向支架上并带动所述水平支架沿竖向运动;
花篮夹爪,所述花篮夹爪可升降的连接于所述水平支架上;
平移驱动部件,所述平移驱动部件安装于所述水平支架上并带动所述花篮夹爪沿水平X轴方向运动;
其特征在于:
所述水平支架包括位于其长度方向不同位置的支架段A和支架段B,所述支架段A位于沿其长度方向依次布置的多个工位A的上方,所述支架段B位于沿其长度方向依次布置的多个工位B的上方,所述花篮夹爪设置为两个,其中一个所述花篮夹爪可移动的连接于所述支架段A上并将石英舟搬运至所述多个工位A上或将所述多个工位A上的石英舟搬离,另一个所述花篮夹爪可移动的连接于所述支架段B上并将石英舟搬运至所述多个工位B上或将所述多个工位B上的石英舟搬离。
2.如权利要求1所述的双抓手搬舟机构,其特征在于,所述平移驱动部件为伺服电机系统。
3.如权利要求2所述的双抓手搬舟机构,其特征在于,两个所述花篮夹爪同步同向运动并共用同一所述伺服电机系统。
4.如权利要求1所述的双抓手搬舟机构,其特征在于,所述升降驱动部件为伺服电机系统。
5.如权利要求1所述的双抓手搬舟机构,其特征在于,所述竖向支架设置为一个,所述水平支架设置为一个。
6.如权利要求1所述的双抓手搬舟机构,其特征在于,所述花篮夹爪包括:
总支架;
第一夹持定位单元,所述第一夹持定位单元包括沿竖直Z轴方向延伸并沿水平Y轴方向可移动连接于所述总支架上的第一夹持臂、安装于所述总支架上并带动所述第一夹持臂移动的第一夹持驱动部件、沿水平Y轴方向延伸并沿水平Y轴方向可伸缩连接于所述第一夹持臂上的第一定位柱、安装于所述第一夹持臂上并带动所述第一定位柱伸缩的第一定位驱动部件、沿水平Y轴方向延伸并沿水平Y轴方向可伸缩连接于所述第一夹持臂上的第三定位柱以及安装于所述第一夹持臂上并带动所述第三定位柱伸缩的第三定位驱动部件;
第二夹持定位单元,所述第二夹持定位单元包括沿竖直Z轴方向延伸并沿水平Y轴方向可移动连接于所述总支架上的第二夹持臂、安装于所述总支架上并带动所述第二夹持臂移动的第二夹持驱动部件、沿水平Y轴方向延伸并沿水平Y轴方向可伸缩连接于所述第二夹持臂上的第二定位柱、安装于所述第二夹持臂上并带动所述第二定位柱伸缩的第二定位驱动部件、沿水平Y轴方向延伸并沿水平Y轴方向可伸缩连接于所述第二夹持臂上的第四定位柱以及安装于所述第二夹持臂上并带动所述第四定位柱伸缩的第四定位驱动部件;
所述第一夹持臂和所述第二夹持臂相对被夹持花篮的水平Y轴方向平分切面对称设置;
所述第三定位柱沿竖直Z轴方向投影在所述第二夹持臂上并形成第三定位柱投影,所述第四定位柱沿竖直Z轴方向投影在所述第一夹持臂上并形成第四定位柱投影,所述第一定位柱与所述第四定位柱投影相对被夹持花篮的水平X轴方向平分切面对称设置,所述第二定位柱与所述第三定位柱投影相对被夹持花篮的水平X轴方向平分切面对称设置;
一种工作状态下,所述第一夹持臂和所述第二夹持臂分别夹紧被夹持花篮的第一侧板和第二侧板,所述第一定位柱伸出并插入所述第一侧板上的第一定位孔中,所述第二定位柱伸出并插入所述第二侧板上的第二定位孔中,所述第三定位柱和所述第四定位柱回缩;
另一种工作状态下,所述第一夹持臂和所述第二夹持臂分别夹紧被夹持花篮的第二侧板和第一侧板时,所述第三定位柱伸出并插入所述第二侧板上的第二定位孔中,所述第四定位柱伸出并插入所述第一侧板上的第一定位孔中,所述第一定位柱和所述第二定位柱回缩。
7.如权利要求6所述的双抓手搬舟机构,其特征在于,所述第一定位柱和所述第四定位柱各设置为一根,所述第二定位柱和所述第三定位柱各设置为两根,所述第一定位孔的直径大于所述第二定位孔的直径,两根所述第三定位柱分别设于所述第一定位柱沿水平X轴方向的两侧,两根所述第二定位柱分别设于所述第四定位柱沿水平X轴方向的两侧。
8.如权利要求7所述的双抓手搬舟机构,其特征在于,两根所述第二定位柱连接于同一U形连接件A上,所述U形连接件A连接于所述第二定位驱动部件上,两根所述第三定位柱连接于同一U形连接件B上,所述U形连接件B连接于所述第三定位驱动部件上。
9.如权利要求6所述的双抓手搬舟机构,其特征在于,所述第一夹持驱动部件、所述第二夹持驱动部件、所述第一定位驱动部件、所述第二定位驱动部件、所述第三定位驱动部件以及所述第四定位驱动部件均为气缸。
10.如权利要求6所述的双抓手搬舟机构,其特征在于,所述第一定位驱动部件与所述第三定位驱动部件安装于同一U形连接件C上,所述U形连接件C安装于所述第一夹持臂的外侧面上,所述第二定位驱动部件与所述第四定位驱动部件安装于同一U形连接件D上,所述U形连接件D安装于所述第二夹持臂的外侧面上。
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Cited By (1)
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---|---|---|---|---|
CN117340534A (zh) * | 2023-11-27 | 2024-01-05 | 浙江硅石新能源有限公司 | 石英舟高精密组装焊接装置及其工艺 |
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2021
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CN117340534A (zh) * | 2023-11-27 | 2024-01-05 | 浙江硅石新能源有限公司 | 石英舟高精密组装焊接装置及其工艺 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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GR01 | Patent grant | ||
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