CN215466500U - 铬版清洗工具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了铬版清洗工具，包括底座，所述底座的上端面设置有支撑柱，所述底座的上端面在远离支撑柱的一侧设置有用于放置铬版的卡槽。通过本实用新型所述清洗工具，改进光罩的清洗方式，使原有液体浸泡擦洗法清洗效果不佳，或无法清洗TFT等高端产品的状况得到彻底改变，并且能很好的提升光罩的清洗效率；不仅脏点清除明显，1um以上的脏污均可清洗干净，符合TFT贴膜清洗要求，且不需另外购置昂贵的超声波设备，本工具制作成本仅数百元，为企业节约了大量成本。

Description

铬版清洗工具

技术领域

本实用新型涉及液晶显示面板生产技术领域，具体涉及铬版清洗工具。

背景技术

随着显示技术的发展，对光罩产品的洁净度要求也越来越高，尤其是LED、TFT行业，精度发展到了纳米级别，任何细微的灰尘和脏污附着在产品图形上都会造成产品的不良甚至报废。为此，光罩在出货打包前必须进行清洗干净，并贴上光学膜，使光罩图形与外部环境隔绝避免受污染，提高下游产品的良率。另外，光罩制作出来后在扫描缺陷前也需要先进行清洗干净，避免太多脏污影响扫描确认。目前光罩行业现行的清洗方法主要有液体浸泡擦洗法和超声波清洗法，液体浸泡擦洗是将光罩泡在酸碱液中并用无尘布等工具擦拭冲洗，此法主要用在对洁净度要求不高的LCD、TP等行业产品，而超声波法更多的主要是针对TFT等高端行业产品，将光罩放入装有酸、碱、水等各种液体的超声波槽体中，在高频振动作用下将光罩上的各种脏污去除。

液体浸泡擦洗法是将光罩平放于冲洗槽内，使用DI水冲洗的同时不断用海绵擦拭光罩表面，已达到清洁的目的。对于LCD和TP类光罩，其图形相对简单，洁净要求不高，此法能较容易达到要求，但TFT类光罩，图形非常精细复杂，洁净要求高，脏污容易藏身于细小密集的图形中，光罩平放擦洗过程中脏污会随液体不断变换位置，但最终还是会有较多的脏点填充在图形中，基本上5um以下的脏污无法通过此法有效去除。超声波清洗法一般是使用十几个装有不同清洗液体的槽子，将光罩按次序置于这些槽体中，然后开启高频振子不断振动液体，在液体高频振动下将光罩表面的脏污去除，此法能达到很好的清洁效果，是现行行业内主流的清洗工具，但其明显的缺点是设备成本高，一套超声波清洗设备数十上百万，比较适用于大批量流水线型生产，但对于光罩这种小产量产品来说，无法显现出它的优势。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供铬版清洗工具，该工具能够将铬版倾斜固定，以便于对浸泡后的铬版进行冲洗，提高铬版的洁净度。

本实用新型通过下述技术方案实现：

铬版清洗工具，包括底座，所述底座的上端面设置有支撑柱，所述底座的上端面在远离支撑柱的一侧设置有用于放置铬版的卡槽。

本实用新型的上端面具体是指清洗工具使用时朝上的面。

本实用新型所述清洗清洗工具的使用过程：

1)、先将光罩置于化学药液中浸泡；2)、再将光罩倾斜置于清洗工具上，光罩一条边置于卡槽中，另一条边斜靠在支撑柱上；3)、操作者一只手握住支撑柱与光罩接触的部位，这样可以同时固定住清洗工具和光罩；4)、开启DI水龙头，使水柱从上往下不断冲刷在光罩上部位置；5)、冲水过程中，操作者另一只手拿着海绵沿水平方向不断擦拭光罩表面；6)、擦洗5分钟后，再冲水2分钟。

通过以上操作后，光罩上的脏污会随着水流不断往下流走，不会再重新污染光罩，清洁效果也得到极大改善，符合TFT产品的贴光学膜及出货要求。

通过本实用新型所述清洗工具，改进光罩的清洗方式，使原有液体浸泡擦洗法清洗效果不佳，或无法清洗TFT等高端产品的状况得到彻底改变，并且能很好的提升光罩的清洗效率。

进一步地，底座为U形板，所述支撑柱与U形板的底部连接，所述U形板的两个侧壁的上端面均设置有卡槽。

U形板由一个底部和两个侧壁构成，U形板的底部不是根据方位进行定义，而是根据U形板的具体结构组成进行定义。

本实用新型的底板可以是一个完整的平板结构，也可以是U形板，优选采用U形板，U形板既能满足支承效果，又能减轻重量，提高灵活性。

进一步地，支撑柱设置在U形板底部的上端面中部，以提高清洗工具的整体结构稳定性。

进一步地，U形板两个侧壁上的卡槽以支撑柱为中心呈对称设置，确保使用时铬版放置的稳定性。

进一步地，U形板包括连接部和支承部；

所述连接部呈U形结构，所述支承部设置有两个，两个支承部分别为U形结构两个侧壁的延伸段，所述U形结构两个侧壁之间的间距自与U形结构底部连接一端到另一端呈逐渐增大的趋势，两个支承部平行设置，所述卡槽设置在支承部的上端面。

上述设置能够进一步降低清洗工具的重量，当将底座设置为U形板时，为了提高铬版放置的稳定性，理论上U形板的侧壁长度越长以及U形板两个侧壁之间的间距越大，铬版放置的稳定性越好。

本实用新型通过将所述U形结构两个侧壁之间的间距设置为自与U形结构底部连接一端到另一端呈逐渐增大的趋势，相比将所述U形结构两个侧壁之间的间距设置为等间距，既能满足两个卡槽之间的间距足够大，又能尽可能降低U形板的重量。

进一步地，卡槽靠近支撑柱的一个侧壁为倾斜面。

使用时，铬版为倾斜靠在支撑柱上，将卡槽靠近支撑柱的一个侧壁为倾斜面利于将铬版的一个边插入卡槽内。

进一步地，卡槽为V形槽，所述V形槽靠近支撑柱的一个侧壁为倾斜面，另一个侧壁为垂直面。

进一步地，卡槽的底部设置有若干通孔。

所述通孔的设置利于卡槽底部的排水，避免清洗时污水聚集在卡槽的底部导致铬版嵌入卡槽部分清洗不彻底。

进一步地，底座和支撑柱为一体成型结构。

进一步地，底座和支撑柱均采用PP材料制成。

所述PP材料为现有技术，具有重量轻的优点且不易被腐蚀的优点。

本实用新型与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：

1、本实用新型所述清洗工具成本非常低廉，而且坚固灵活耐用。

2、采用本实用新型清洗工具能够将铬版倾斜固定，以便于对浸泡后的铬版进行冲洗，较槽体水平擦拭清洗法，脏污洗净效果更明显，提高缺陷扫描确认效率。

3、采用本实用新型清洗工具实现对铬版的冲洗，脏点清除明显，1um以上的脏污均可清洗干净，符合TFT贴膜清洗要求。

4、采用本实用新型清洗工具实现对铬版的冲洗，不需另外购置昂贵的超声波设备，本工具制作成本仅数百元，为企业节约了大量成本。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本实用新型实施例的限定。在附图中：

图1为清洗工具的结构示意图；

图2为清洗工具用于固定铬版的示意图。

附图中标记及对应的零部件名称：

1-支撑柱，2-底座，3-卡槽，4-铬版，21-连接部，22-支承部。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本实用新型作进一步的详细说明，本实用新型的示意性实施方式及其说明仅用于解释本实用新型，并不作为对本实用新型的限定。

实施例1：

如图1-图2所示，铬版清洗工具，包括底座2，所述底座2的上端面设置有支撑柱1，所述底座2的上端面在远离支撑柱1的一侧设置有用于放置铬版4的卡槽3。

在本实施例中，所述底座2为U形板，所述支撑柱1与U形板的底部连接，所述U形板的两个侧壁的上端面均设置有卡槽3。

为了提高工具的整体稳定性，所述支撑柱1设置在U形板底部的上端面中部；所述U形板两个侧壁上的卡槽3以支撑柱1为中心呈对称设置，所述卡槽3靠近支撑柱1的一个侧壁为倾斜面，具体的，所述卡槽3为V形槽，所述V形槽靠近支撑柱1的一个侧壁为倾斜面，另一个侧壁为垂直面。所述底座2和支撑柱1为一体成型结构；所述底座2和支撑柱1均采用PP材料制成。

实施例2：

本实施例基于实施例1，所述U形板包括连接部21和支承部22；

所述连接部21呈U形结构，所述支承部22设置有两个，两个支承部22分别为U形结构两个侧壁的延伸段，所述U形结构两个侧壁之间的间距自与U形结构底部连接一端到另一端呈逐渐增大的趋势，两个支承部22平行设置，所述卡槽3设置在支承部22的上端面。

实施例3：

本实施例基于实施例1或实施例2，所述卡槽3的底部设置有若干通孔。

实施例4：

本实施例基于实施例1，与实施例1的区别在于：

底座2为平板结构。

以上所述的具体实施方式，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施方式而已，并不用于限定本实用新型的保护范围，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.铬版清洗工具，其特征在于，包括底座(2)，所述底座(2)的上端面设置有支撑柱(1)，所述底座(2)的上端面在远离支撑柱(1)的一侧设置有用于放置铬版(4)的卡槽(3)。

2.根据权利要求1所述的铬版清洗工具，其特征在于，所述底座(2)为U形板，所述支撑柱(1)与U形板的底部连接，所述U形板的两个侧壁的上端面均设置有卡槽(3)。

3.根据权利要求2所述的铬版清洗工具，其特征在于，所述支撑柱(1)设置在U形板底部的上端面中部。

4.根据权利要求3所述的铬版清洗工具，其特征在于，所述U形板两个侧壁上的卡槽(3)以支撑柱(1)为中心呈对称设置。

5.根据权利要求2所述的铬版清洗工具，其特征在于，所述U形板包括连接部(21)和支承部(22)；

所述连接部(21)呈U形结构，所述支承部(22)设置有两个，两个支承部(22)分别为U形结构两个侧壁的延伸段，所述U形结构两个侧壁之间的间距自与U形结构底部连接一端到另一端呈逐渐增大的趋势，两个支承部(22)平行设置，所述卡槽(3)设置在支承部(22)的上端面。

6.根据权利要求1所述的铬版清洗工具，其特征在于，所述卡槽(3)靠近支撑柱(1)的一个侧壁为倾斜面。

7.根据权利要求6所述的铬版清洗工具，其特征在于，所述卡槽(3)为V形槽，所述V形槽靠近支撑柱(1)的一个侧壁为倾斜面，另一个侧壁为垂直面。

8.根据权利要求1所述的铬版清洗工具，其特征在于，所述卡槽(3)的底部设置有若干通孔。

9.根据权利要求1所述的铬版清洗工具，其特征在于，所述底座(2)和支撑柱(1)为一体成型结构。

10.根据权利要求1-9任一项所述的铬版清洗工具，其特征在于，所述底座(2)和支撑柱(1)均采用PP材料制成。

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