CN201188173Y - 去除玻璃基板边缘光刻胶的装置 - Google Patents

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CN201188173Y CNU2008200799175U CN200820079917U CN201188173Y CN 201188173 Y CN201188173 Y CN 201188173Y CN U2008200799175 U CNU2008200799175 U CN U2008200799175U CN 200820079917 U CN200820079917 U CN 200820079917U CN 201188173 Y CN201188173 Y CN 201188173Y
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苏顺康
黄福林
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Beijing BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
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Abstract

本实用新型公开了一种去除玻璃基板边缘光刻胶的装置,属于液晶显示技术领域。所述装置,包括清洗喷嘴,所述清洗喷嘴的内顶面和内底面上分别对应设置有柔性清洗块;所述柔性清洗块上设有清洗液通孔,所述清洗液通孔与所述清洗喷嘴内的清洗液通道相连通;所述柔性清洗块上还设有负压孔,所述负压孔与所述清洗喷嘴内的负压通道相连通。本实用新型所述的装置,能够有效的解决由于清洗液溅射而引起的产品不良的问题。

Description

去除玻璃基板边缘光刻胶的装置
技术领域
本实用新型涉及液晶显示技术领域,尤其涉及阵列基板边缘光刻胶的去 除装置。
背景技术
目前,薄膜晶体管液晶显示器TFT-LCD (Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display)在生产中大体分为阵列、成盒、才莫块三大工序,而在阵列工 序中又大体分为沉积、光刻、蚀刻三大工艺。其中,阵列工序中有一道工序 是在玻璃上涂光刻胶(photoresist, PR); PR胶是一种感光后,化学性质会改 变的红色粘稠物。玻璃基板高速旋转,将PR胶均匀的涂在玻璃基板上,旋转 完毕后,PR胶会均匀分布在整张玻璃表面, 一般在玻璃基板的边缘也会涂有 PR胶。
为了避免玻璃边缘的PR胶滴落对后续工程造成污染,设置了清洗喷嘴, 用于将涂有PR胶的玻璃基板边缘进行清洁。
图1、图2所示,清洗喷嘴11的形状呈鸭嘴形,玻璃基板13处于清洗喷 嘴11上下两内壁16之间;清洗喷嘴11的内部置有清洗液通道14、氮气通道 15以及17内部的负压通道18,清洗液通道14和氮气通道15均为并排的较 细的管道;清洗液通道14与玻璃基板13垂直,氮气通道15与玻璃基板13 成一定的角度,所述的负压通道18为真空通道。
所述清洗喷嘴11的清洗原理如下:清洗液通过并排的较细的清洗液通道 14垂直喷向玻璃基板13的上下表面,清洗液是一种能够溶解PR胶的化学液 体;同时氮气通过并排的较细的氮气管道15以一定角度吹向玻璃基板13上 下表面。清洗液将玻璃基板13边缘PR胶溶解掉后,氮气将溶解液吹向清洗 喷嘴ll底部,同时负压通道18通过真空将溶解液抽走。
在上述的现有技术中,利用清洗液溶解玻璃基板边缘的PR胶。由于清洗
液是以喷射的方式沖洗PR胶,因此在清洗液喷射向玻璃基板的过程中,容易 发生清洗液的溅射。如果溅射出来的清洗液小液滴落在玻璃基板的TFT图案 区域,会引起产品不良,虽然有氮气的吹力,但却不能有效解决清洗液溅射 的问题。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种去除玻璃基板边缘光刻胶 的装置,能够防止清洗液溅射而引起产品缺陷的问题。
为解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案如下:
一种去除玻璃基板边缘光刻胶的装置,包括清洗喷嘴,所述清洗喷嘴的 内顶面和内底面上分别对应设置有柔性清洗块;
所述柔性清洗块上设有清洗液通孔,所述清洗液通孔与所述清洗喷嘴内 的清洗液通道相连通;
所述柔性清洗块上还设有负压孔,所述负压孔与所述清洗喷嘴内的负压 通道相连通。
所述柔性清洗块为具有弹性的多孔状布。
所述柔性清洗块上的清洗液通孔为均匀分布的若干^f敖孔。
所述柔性清洗块上的负压孔布置在所述清洗液通孔周围。
所述清洗喷嘴内的负压通道为真空管道。
所述清洗喷嘴呈鸭嘴型。
本实用新型所述的去除玻璃基板边缘光刻胶的装置,柔性清洗块中置有 清洗液通道,通过柔性清洗块将清洗液涂到玻璃基板边缘,溶解玻璃基板边 缘的光刻胶,同时通过负压通道将溶解液进行去除,从而避免了清洗液賊射 到玻璃基板的TFT图案区域,提高了产品的质量。
附图说明
图1为现有技术去除玻璃基板边缘光刻胶的装置的纵剖面结构示意图;
图2为现有技术去除玻璃基板边缘光刻胶的装置的内底面俯视图; 图3为本实用新型去除玻璃基板边缘光刻胶的装置的纵剖面结构示意图; 图4为本实用新型去除玻璃基板边缘光刻胶的装置中柔性清洗块的结构 示意图;
图5为本实用新型去除玻璃基板边缘光刻胶的装置的一实施例结构示意图。
具体实施方式
本实用新型提供了 一种去除玻璃基板边缘光刻胶的装置,能够有效的解 决由于清洗液溅射而引起的产品不良的问题。
如图3、图4所示,本实用新型所述的装置包括清洗喷嘴21,清洗喷嘴 21的形状呈鸭嘴形,清洗喷嘴21的内顶面和内底面26上分别对应设置有柔 性清洗块28;所述柔性清洗块28为具有弹性的多孔状布,柔性清洗块28上 设有清洗液通孔29,所述清洗液通孔29为均匀分布的若干微孔;清洗液通孔 29与所述清洗喷嘴21内的清洗液通道24相连通;柔性清洗块28上还设有负 压孔20,负压孔20布置在所述清洗液通孔29周围,负压孔20与27内的负 压通道相连通,所述负压通道为真空管道。
所述清洗液通孔与负压孔的排列方式不固定,只要是能有效的除去PR, 且溶解液能顺利地排出的排列方式都在本实用新型的保护范围内。
图5为本实用新型去除玻璃基板边缘光刻胶的装置的一实施例结构示意 图。玻璃基板23放置在台子22上,玻璃基板23放置在清洗喷嘴21的内顶 面和内底面26之间,四个清洗喷嘴21分别安装在玻璃基板23的四个拐角上。 打开喷嘴,所述四个喷嘴分别从基板的一角开始,同时以逆时针方向洗净基 板的一边,然后再顺时针方向回到喷嘴的原始位置,如此往复两次,以确保 基板边缘的PR胶被完全洗净。同时,上下两块柔性清洗块上下擦洗玻璃基板 的边缘,在清洗液的作用下,PR胶很容易被擦除掉,去除掉的清洗液通过负 压孔沿着真空的负压通道排出。
本实用新型所述的去除玻璃基板边缘光刻胶的装置,由于利用了柔性清
洗块与玻璃基板进行接触擦洗的结构方式,既有效的清洗掉了玻璃基板的PR 胶,又避免了清洗液溅射到基板的TFT图案区域,从而提高了产品的成品质 量。
以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护 范围并不局卩良于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技 术范围内,可轻易想到的变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围之 内。因此,本实用新型的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。

Claims (6)

1、一种去除玻璃基板边缘光刻胶的装置,包括清洗喷嘴,其特征在于,所述清洗喷嘴的内顶面和内底面上分别对应设置有柔性清洗块; 所述柔性清洗块上设有清洗液通孔,所述清洗液通孔与所述清洗喷嘴内的清洗液通道相连通; 所述柔性清洗块上还设有负压孔,所述负压孔与所述清洗喷嘴内的负压通道相连通。
2、 根据权利要求1所述的去除玻璃基板边缘光刻胶的装置,其特征在于, 所述柔性清洗块为具有弹性的多孔状布。
3、 根据权利要求2所述的去除玻璃基板边缘光刻胶的装置,其特征在于, 所述柔性清洗块上的清洗液通孔为均匀分布的若干^t孔。
4、 根据权利要求l、 2或3所述的去除玻璃基板边缘光刻胶的装置,其 特征在于,所述柔性清洗块上的负压孔布置在所述清洗液通孔周围。
5、 根据权利要求4所述的去除玻璃基板边缘光刻胶的装置,其特征在于, 所述清洗喷嘴内的负压通道为真空管道。
6、 根据权利要求5所述的去除玻璃基板边缘光刻胶的装置,其特征在于, 所述清洗喷嘴呈鸭嘴型。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109290082A (zh) * 2017-07-25 2019-02-01 细美事有限公司 薄膜形成方法及薄膜形成装置
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