CN215451335U - 晶闸管模块检测台 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种晶闸管模块检测台，属于半导体加工技术领域，包括检测台壳体、传送带，所述检测台壳体上设有第一机械臂和第二机械臂，所述第一机械臂一端设有第一气缸，所述第二机械臂一端设有第二气缸，所述第一机械臂下端处设有第一检测开关；所述第二机械臂下端处设有第二检测开关；所述传送带一侧设有导辊，所述导辊一侧设有电机，所述电机与导辊传动连接；所述检测台壳体内设有控制器，所述控制器与第一气缸、第二气缸、第一检测开关、第二检测开关和电机电气连接。本实用新型晶闸管模块检测台特别适用于半导体生产，快速检测晶闸管好坏，降低人工劳动强度，提高生产效率，降低企业生产成本。

Description

晶闸管模块检测台

技术领域

本实用新型属于半导体加工技术领域，具体涉及晶闸管模块检测台。

背景技术

晶闸管(Thyristor)是晶体闸流管的简称，又被称做可控硅整流器(简称为可控硅)。晶闸管是PNPN四层半导体结构，它有三个极：阳极，阴极和控制极；晶闸管具有硅整流器件的特性，能在高电压、大电流条件下工作，且其工作过程可以控制、被广泛应用于可控整流、交流调压、无触点电子开关、逆变及变频等电子电路中。

在晶闸管生产过程中，需要对晶闸管进行一定的检测，测量晶闸管的好坏。但是，在现有技术中，在对晶闸管进行性能检测常常是通过人工多次使用万用表多次触碰晶闸管的引脚来判断晶闸管的好坏，这种方式的检测效率较低，耗费大量人力资源，且在检测的过程中用万用表探针直接对晶闸管的引脚进行检测，常常导致引脚受力出现弯折损坏的问题，大大降低了晶闸管的使用寿命。因此亟需一种能够提高检测效率、保护晶闸管引脚的能够适合半导体生产过程中检测晶闸管模块功能的检测台。

实用新型内容

针对上述现有技术存在的问题，本实用新型提供了一种晶闸管模块检测台。为解决上述问题，本实用新型采用的技术方案是：

包括检测台壳体、传送带，所述检测台壳体上设有第一机械臂和第二机械臂，所述第一机械臂和第二机械臂左右依次排列，所述第一机械臂一端设有第一气缸，所述第一机械臂与所述第一气缸的自由端固定连接；所述第二机械臂一端设有第二气缸，所述第二机械臂与所述第二气缸的自由端固定连接；所述第一机械臂下端处设有第一检测开关；所述第二机械臂下端处设有第二检测开关；

所述传送带一侧设有导辊，所述导辊一侧设有电机，所述电机与导辊传动连接；所述检测台壳体内设有控制器，所述控制器与第一气缸、第二气缸、第一检测开关、第二检测开关和电机电气连接。

根据上述技术方案进一步优选的，所述第一机械臂和第二机械臂为L型支架，所述第一机械臂和第二机械臂横截面为圆形或方形。

优选的，所述第一机械臂下端设有固定爪，所述固定爪为倒盆型结构，所述固定爪内侧设有弹性胶垫。

优选的，所述固定爪一侧开设有三个引脚槽，所述引脚槽与晶闸管引脚位置对应，所述引脚槽内侧分别设有A探针、G探针和K探针，所述A探针、G探针和K探针与所述控制器电气连接。

优选的，所述第二机械臂上设有真空吸盘，所述真空吸盘的控制阀与控制器电气连接。

优选的，所述传送带上设有凹槽，所述凹槽形状与晶闸管外壳轮廓一致，所述凹槽位置处于所述固定爪和真空吸盘的正下方。

优选的，所述传送带的宽度为10cm～80cm。

优选的，所述第一检测开关和第二检测开关为光电开关传感器。

优选的，所述控制器为PLC控制器。

优选的，所述电机为伺服电机或为步进电机。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

本实用新型提供了一种晶闸管模块检测台，解决了人工检测晶闸管工作效率低下、容易破坏晶闸管引脚的技术缺陷，由PLC控制器自动控制晶闸管进料、检测、捡废件等操作，特别适用于半导体生产，快速检测晶闸管好坏，降低人工劳动强度，提高生产效率，降低企业生产成本。

附图说明

图1为本实用新型立体结构示意图；

图2为本实用新型俯视结构示意图；

图3为本实用新型右视结构示意图；

图4为本实用新型固定爪前视结构示意图；

图5为本实用新型固定爪剖视结构图；

图6为本实用新型电气原理图。

图中：1、检测台壳体，2、传送带，3、第一检测开关，4、导辊，5、电机，6、第一机械臂，7、第一气缸，8、控制器，9、第二检测开关，10、第二机械臂，11、第二气缸，12、真空吸盘，13、引脚槽，14、固定爪，21、凹槽，62、A探针，63、G探针，64、K探针。

具体实施方式

以下结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案作进一步清楚完整的描述，所描述的实施例仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部实施例，本领域普通技术人员，在本实用新型技术方案基础上做出的改变，均属本实用新型的保护范围。

如图1～图6所示，本实用新型提供了一种晶闸管模块检测台，包括检测台壳体1、传送带2，所述检测台壳体1上设有第一机械臂6和第二机械臂10，所述第一机械臂6和第二机械臂10左右依次排列，所述第一机械臂6一端设有第一气缸7，所述第一气缸7的自由端与第一机械臂6固定连接，所述第二机械臂10一端设有第二气缸11，所述第二气缸11的自由端与所述第二机械臂10固定连接，所述第一机械臂6下端处设有第一检测开关3，所述第二机械臂10的下端处设有第二检测开关9。所述传送带2的一端设有导辊4，所述导辊4一侧设有电机5，所述电机5与导辊4传动连接，所述检测台壳体1内设有控制器8，所述控制器8与第一气缸7、第二气缸11、第一检测开关3、第二检测开关9和电机5电气连接。本实用新型实施例中，所述第一气缸7可带动第一机械臂6快速上下运动。所述第二气缸11带动第二机械臂10快速上下运动，所述第一气缸7和第二气缸11可以替换为油缸或者电缸，气缸具有维护方便，控制简单，响应迅速的特点，因此本实用新型实施例中采用的是气缸设计。晶闸管在传送带2的带动下转运时，所述第一检测开关3检测到晶闸管，所述控制器8控制电机5暂停，第一气缸7带动第一机械臂6向下运动，对晶闸管开始检测，检测完成后，从新启动电机5开始运转传送带2。如果晶闸管损坏，检测不通过，则控制器8控制第二气缸11向下运动，通过第二机械臂10把损坏的件捡走。所述第一检测开关3和第二检测开关9可以分别连接两个计数器，通过两个计数器数据可以计算检测晶闸管的成品合格率，通过成品合格率数据分析生产环节中的问题，提高晶闸管的产品质量。

如图1和图3所示，作为进一步优选的一种实施例，所述第一机械臂6和所述第二机械臂10为L型支架，所述第一机械臂6和第二机械臂10横截面为圆环形或为方管形。

所述第一机械臂6和第二机械臂10采用圆形管或者方形管型材，价格低，方便设计。中空的管型结构，可方便电气布线或气路布管。

图1、图4和图5所示，作为进一步优选的一种实施例，所述第一机械臂6下端设有固定爪14，所述固定爪14为倒盆型结构，所述固定爪14内侧设有弹性胶垫。本实用新型实施例中，所述固定爪14倒扣在晶闸管上，所述固定爪14内侧的弹性胶垫压住晶闸管的散热外壳，设置的弹性胶垫比较软，防止固定爪14在固定晶闸管的过程中损坏晶闸管。

如图4所示，作为进一步优选的的一种实施例，所述固定爪14一侧开设有三个引脚槽13，所述引脚槽13与晶闸管引脚位置对应，所述引脚槽13内侧分别设有A探针62、G探针63和K探针64，所述A探针62、G探针63和K探针64分别与所述控制器8电气连接。本实用新型装置检测晶闸管时，控制器8控制第一机械臂6侠义，通过所述固定爪14卡主待检测晶闸管，固定爪14上开设有与晶闸管引脚对应的引脚槽13，在固定爪14卡主待检测晶闸管时，所述固定爪14上分别设置的A探针62、G探针63和K探针64分别与待检测晶闸管引脚接触，此时通过控制器8控制A探针62、G探针63和K探针64的通电，进行对待检测晶闸管检测，检测完毕后，晶闸管在传送带2的作用下运转到下一个工序。

如图1和图3所示，作为优选的一种实施例，所述第二机械臂10上设有真空吸盘12，所述真空吸盘12的控制阀与控制器8电气连接。所述第二机械臂10的下方处设有第二检测开关9，在前序检测流程中，若出现晶闸管损坏时，所述第二检测开关9检测到损坏晶闸管运转到第二机械臂10下方时，控制器8控制第二气缸11向下运动，带动第二机械臂10上的真空吸盘12运动到损坏晶闸管处，控制真空吸盘12把损坏的晶闸管捡走。

如图1、图2和图3所示，作为优选的一种实施例，所示传送带2上设有凹槽21，所述凹槽21的宽度轮廓与晶闸管外壳轮廓一致，所述凹槽21处于固定爪14和真空吸盘12的正下方。所述凹槽21为一个浅型槽，待检测的晶闸管可以卡在所述凹槽21内，防止在传送带2运转晶闸管的过程中晶闸管移动位置，在检测时所述固定爪14不能对准晶闸管，在固定爪14下移时对晶闸管引脚造成损坏。

如图2所示，作为优选的一种实施例，所述传送带2的宽度为10cm～80cm。

如图1所示，作为优选的一种实施例，所述第一检测开关3和所述第二检测开关9为光电开关传感器。本实用新型实施例中，所第一检测开关3和第二检测开关9为光电开关，在检测到待检晶闸管时，所述第一检测开关3和第二检测开关9给控制器8输入控制信号，由控制器8控制输出控制信号。

如图6所示，为本实用新型的电气原理示意图，作为优选的一种实施例，所述控制器8为PLC控制器。本实用新型实施例中，所述控制器8通过采集第一检测开关3和第二检测开关9的输入信号，所述控制器8输出控制第一气缸7和第二气缸11的控制信号。

作为优选的一种实施例，所述电机5为伺服电机或为步进电机。

本实用新型装置的工作过程：如图6所示，为本实用新型的电气原理示意图，首先启动，控制器8输出控制信号控制电机5转动，通过导辊4带动传送带2运转，当传送带2上的待检晶闸管运转到第一机械臂6下方时，第一检测开关3给控制器8输入控制信号，控制器8控制电机5暂停运转，控制器8控制第一气缸7动作，带动第一机械臂6上的固定爪14卡住待检晶闸管，此时固定爪14上的A探针62、G探针63和K探针64分别与待检晶闸管引脚接触，控制器8再输出检测电压到A探针62、G探针63和K探针64，检测顺序为先检测，如果导通则待检晶闸管损坏，如果不导通，则在G探针63和K探针64施加触发电压，然后在测A探针62和K探针64间是否导通，如果导通，则晶闸管正常，检测通过后控制器8从新启动电机5运转，进行下一个晶闸管检测。当检测到待检晶闸管损坏时，损坏晶闸管运转到第二机械臂10下方时，第二检测开关检测到损坏晶闸管，第二检测开关9给控制器8输入控制信号，控制器8控制电机5暂停运转，控制器8控制第二机械臂10向下运动，通过第二机械臂10上的真空吸盘12把损坏晶闸管捡走。然后再开始继续下一个循环。

Claims (10)

1.晶闸管模块检测台，包括检测台壳体(1)、传送带(2)，其特征在于：

所述检测台壳体(1)上设有第一机械臂(6)和第二机械臂(10)，所述第一机械臂(6)和第二机械臂(10)左右依次排列，所述第一机械臂(6)一端设有第一气缸(7)，所述第一机械臂(6)与所述第一气缸(7)的自由端固定连接；所述第二机械臂(10)一端设有第二气缸(11)，所述第二机械臂(10)与所述第二气缸(11)的自由端固定连接；所述第一机械臂(6)下端处设有第一检测开关(3)；所述第二机械臂(10)下端处设有第二检测开关(9)；

所述传送带(2)一端设有导辊(4)，所述导辊(4)一侧设有电机(5)，所述电机(5)与导辊(4)传动连接；所述检测台壳体(1)内设有控制器(8)，所述控制器(8)与第一气缸(7)、第二气缸(11)、第一检测开关(3)、第二检测开关(9)和电机(5)电气连接。

2.根据权利要求1所述的晶闸管模块检测台，其特征在于：

所述第一机械臂(6)和所述第二机械臂(10)为L型支架，所述第一机械臂(6)和第二机械臂(10)为横截面为圆形或为方形。

3.根据权利要求1所述的晶闸管模块检测台，其特征在于：

所述第一机械臂(6)下端设有为固定爪(14)，所述固定爪(14)为倒盆型结构，所述固定爪(14)内侧设有弹性胶垫。

4.根据权利要求3所述的晶闸管模块检测台，其特征在于：

所述固定爪(14)一侧开设有三个引脚槽(13)，所述引脚槽(13)与晶闸管引脚位置对应，所述引脚槽(13)内侧分别设有A探针(62)、G探针(63)和K探针(64)，所述A探针(62)、G探针(63)和K探针(64)与所述控制器(8)电气连接。

5.根据权利要求1所述的晶闸管模块检测台，其特征在于：

所述第二机械臂(10)下端设有真空吸盘(12)，所述真空吸盘(12)的控制阀与控制器(8)电气连接。

6.根据权利要求1所述的晶闸管模块检测台，其特征在于：

所述传送带(2)上设有凹槽(21)，所述凹槽(21)形状与晶闸管外壳轮廓一致，所述凹槽(21)处于固定爪(14)和真空吸盘(12)的正下方。

7.根据权利要求1所述的晶闸管模块检测台，其特征在于：

所述传送带(2)的宽度为10cm～80cm。

8.根据权利要求1所述的晶闸管模块检测台，其特征在于：

所述第一检测开关(3)和第二检测开关(9)为光电开关传感器。

9.根据权利要求1所述的晶闸管模块检测台，其特征在于：

所述控制器(8)为PLC控制器。

10.根据权利要求1所述的晶闸管模块检测台，其特征在于：

所述电机(5)为伺服电机或为步进电机。

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