CN215415115U - 一种用于晶圆探针测量的测量仪 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于晶圆探针测量的测量仪，其可实现探针卡精确测量，便于准确把控探针卡的质量，其包括安装架、影像测量仪、晶圆放置区，晶圆放置区用于放置晶圆，影像测量仪用于采集晶圆的图像信息，其还包括显微镜测量仪、固定于安装架的连接板、用于放置探针的探针放置区，影像测量仪、显微镜测量仪并排固定于连接板，显微镜测量仪的镜头朝下与探针放置区对应，显微镜测量仪用于采集探针的放大图像信息，影像测量仪与控制器电连接。

Description

一种用于晶圆探针测量的测量仪

技术领域

本实用新型涉及探针检测技术领域，具体为一种用于晶圆探针测量的测量仪。

背景技术

探针卡是一种测试接口，主要用于对集成电路芯片进行测试，通过探针连接测试机和芯片，即将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片信号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的，因此，探针卡质量的好坏，严重影响晶圆参数测试的准确性。目前晶圆参数的测量主要通过影像测量仪实现，但现有的影像测量仪放大倍数不够，其一般可满足晶圆参数测量，而探针的具体参数则无法精确测量探针，从而影响生产者对探针质量的严格管控。

实用新型内容

针对现有技术中存在的影像测量仪放大倍数不够，无法精确测量探针卡具体参数，影响探针卡质量把控准确性的问题，本实用新型提供了一种用于晶圆探针测量的测量仪，其可实现探针卡精确测量，便于准确把控探针卡的质量。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种用于晶圆探针测量的测量仪，其包括安装架、影像测量仪、晶圆放置区，所述晶圆放置区用于放置晶圆，所述影像测量仪用于采集所述晶圆的图像信息，其特征在于，其还包括显微镜测量仪、固定于所述安装架的连接板、用于放置探针的探针放置区，所述影像测量仪、显微镜测量仪并排固定于所述连接板，所述显微镜测量仪的镜头朝下与所述探针放置区对应，所述显微镜测量仪用于采集所述探针的放大图像信息，所述影像测量仪与控制器电连接。

其进一步特征在于，

所述安装架包括第一丝杆导轨滑台，所述第一丝杆导轨滑台包括凹形第一滑台、活动安装于所述第一滑台的第一丝杆、与所述第一丝杆滑动连接的第一滑块、驱动所述丝杆转动的第一丝杠驱动装置，所述连接板的一侧端固定于所述第一滑块，所述影像测量仪、显微镜测量仪固定于所述连接板的另一侧端，所述第一丝杠驱动装置包括第一驱动杆，所述第一驱动杆的一端与所述第一滑台的一侧端转动连接，所述第一驱动杆的中部固定有与所述第一丝杆啮合的齿轮，所述第一驱动杆的另一端贯穿所述第一滑台的另一侧端并与第一摇杆固定；

所述显微镜测量仪为金相显微镜测量仪；

所述安装架还包括第二丝杆导轨滑台，所述第二丝杆导轨滑台包括第二滑台、活动安装于所述第二滑台的第二丝杆、与所述第二丝杆滑动连接的第二滑块、驱动所述第二丝杆转动的第二丝杠驱动装置，所述晶圆放置区、探针放置区位于同一平台，所述平台固定于所述第二滑块，所述第二丝杠驱动装置包括第二驱动杆、固定于所述第二驱动杆中部并与所述第二丝杆啮合的第二齿轮、固定于所述第二驱动杆两侧端的第二摇杆；

所述连接板为U形，所述连接板的另一端两侧分别开有若干螺纹孔，所述影像测量仪、显微镜测量仪分别固定于第一固定板、第二固定板，所述第一固定板、第二固定板分别通过螺钉固定于所述螺纹孔内。

采用本实用新型上述结构可以达到如下有益效果：该探针卡测量仪包括影像测量仪、显微镜测量仪，通过影像测量仪采集晶圆的图像信息，通过显微镜测量仪采集探针的放大图像信息，影像测量仪与控制器电连接，可将图像信息发送给控制器，通过控制器对图像信息进行处理，获取晶圆参数信息，由于显微镜测量仪可以采集探针的放大图像信息，因此可弥补影像测量仪放大倍数不够的缺陷，获得探针参数信息，从而实现探针具体参数的精确测量，便于准确把控探针的质量。

附图说明

图1为本实用新型的主视结构示意图；

图2为本实用新型的左视结构示意图。

具体实施方式

见图1、图2，一种用于晶圆探针测量的测量仪，其包括安装架1、影像测量仪2、晶圆放置区、显微镜测量仪3、固定于安装架1的连接板4、探针放置区，晶圆放置区用于放置晶圆，探针放置区用于放置探针，影像测量仪2用于采集晶圆的图像信息，显微镜测量仪3用于采集探针的放大图像信息，影像测量仪2、显微镜测量仪3并排固定于连接板4，显微镜测量仪3的镜头朝下与探针放置区对应，影像测量仪2与控制器电连接，本实施例中控制器为电脑，显微镜测量仪为金相显微镜测量仪，连接板4为U形，连接板4的另一端两侧分别开有若干螺纹孔，通过第一固定板21、第二固定板31、贯穿第一固定板21、第二固定板的螺钉，分别将影像测量仪2、显微镜测量仪3固定于连接板4的螺纹孔内。本实施例中影像测量仪2的型号为MED-3020、显微镜测量仪3的型号为CMY-100。

安装架1包括第一丝杆导轨滑台，第一丝杆导轨滑台包括凹形第一滑台11、活动安装于第一滑台11的第一丝杆12、与第一丝杆12滑动连接的第一滑块、驱动丝杆转动的第一丝杠驱动装置，连接板4的一侧端固定于第一滑块，影像测量仪2、显微镜测量仪3固定于连接板4的另一侧端，第一丝杠驱动装置包括第一驱动杆13，第一驱动杆13的一端与第一滑台11的一侧端转动连接，第一驱动杆13的中部固定有与第一丝杆12啮合的齿轮14，第一驱动杆13的另一端贯穿第一滑台11的另一侧端并与第一摇杆15固定；

安装架1还包括第二丝杆导轨滑台，第二丝杆导轨滑台包括第二滑台16、活动安装于第二滑台16的第二丝杆、与第二丝杆滑动连接的第二滑块、驱动第二丝杆转动的第二丝杠驱动装置，晶圆放置区、探针放置区位于同一平台5，平台5固定于第二滑块，第二丝杠驱动装置包括第二驱动杆、固定于第二驱动杆中部并与第二丝杆啮合的第二齿轮、固定于第二驱动杆两侧端的第二摇杆 17。

其具体工作原理如下所述：将晶圆放置于晶圆放置区，通过影像测量仪2 采集晶圆的图像信息，将探针放置于探针放置区，通过显微镜测量仪3采集探针的放大图像信息，影像测量仪2与控制器电连接，可将图像信息发送给控制器，通过控制器对图像信息进行处理，获取晶圆参数信息，晶圆参数信息包括单颗芯片上的PAD坐标、PAD的尺寸、芯片间距离等(通过影像测量仪获取晶圆参数信息为现有技术)；由于显微镜测量仪3可以采集探针的放大图像信息，因此可弥补影像测量仪2放大倍数不够的缺陷，获得探针参数信息，探针参数信息包括探针的高度、针长、针尖直径。第一丝杆导轨滑台为竖向滑台，用于实现影像测量仪2、显微镜测量仪3的竖向调节，即根据实际测量需求，操作人员手动摇动第一摇杆15，第一摇杆15带动第一驱动杆13转动，第一驱动杆 13上的齿轮驱动第一丝杆12转动，从而带动第一滑块在第一丝杆12上滑动，第一滑块带动连接板4在第一滑台11上滑动，实现了影像测量仪2、显微镜测量仪3的高度调整。同理，通过摇动第二摇杆17，驱动第二丝杆导轨滑台上的第二滑块带动平台5横向移动，实现晶圆及探针的横向位置调节，进一步提高了该测量仪测量操作的便利性。相比于现有的影像测量仪2、显微镜测量仪3 分别安装于不同支架的方式，影像测量仪2、显微镜测量仪3通过连接板4固定于同一安装架1，即通过一台安装架即可实现晶圆和探针的测量，节约了材料投入，降低了投入成本。

以上的仅是本申请的优选实施方式，本实用新型不限于以上实施例。可以理解，本领域技术人员在不脱离本实用新型的精神和构思的前提下直接导出或联想到的其他改进和变化，均应认为包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种用于晶圆探针测量的测量仪，其包括安装架、影像测量仪、晶圆放置区，所述晶圆放置区用于放置晶圆，所述影像测量仪用于采集所述晶圆的图像信息，其特征在于，其还包括显微镜测量仪、固定于所述安装架的连接板、用于放置探针的探针放置区，所述影像测量仪、显微镜测量仪并排固定于所述连接板，所述显微镜测量仪的镜头朝下与所述探针放置区对应，所述显微镜测量仪用于采集所述探针的放大图像信息，所述影像测量仪与控制器电连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆探针测量的测量仪，其特征在于，所述安装架包括第一丝杆导轨滑台，所述第一丝杆导轨滑台包括凹形第一滑台、活动安装于所述第一滑台的第一丝杆、与所述第一丝杆滑动连接的第一滑块、驱动所述丝杆转动的第一丝杠驱动装置，所述连接板的一侧端固定于所述第一滑块，所述影像测量仪、显微镜测量仪固定于所述连接板的另一侧端，所述第一丝杠驱动装置包括第一驱动杆，所述第一驱动杆的一端与所述第一滑台的一侧端转动连接，所述第一驱动杆的中部固定有与所述第一丝杆啮合的齿轮，所述第一驱动杆的另一端贯穿所述第一滑台的另一侧端并与第一摇杆固定。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆探针测量的测量仪，其特征在于，所述安装架还包括第二丝杆导轨滑台，所述第二丝杆导轨滑台包括第二滑台、活动安装于所述第二滑台的第二丝杆、与所述第二丝杆滑动连接的第二滑块、驱动所述第二丝杆转动的第二丝杠驱动装置，所述晶圆放置区、探针放置区位于同一平台，所述平台固定于所述第二滑块，所述第二丝杠驱动装置包括第二驱动杆、固定于所述第二驱动杆中部并与所述第二丝杆啮合的第二齿轮、固定于所述第二驱动杆两侧端的第二摇杆。

4.根据权利要求1或3所述的一种用于晶圆探针测量的测量仪，其特征在于，所述连接板为U形，所述连接板的另一端两侧分别开有若干螺纹孔，所述影像测量仪、显微镜测量仪分别固定于第一固定板、第二固定板，所述第一固定板、第二固定板分别通过螺钉固定于所述螺纹孔内。

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