CN102519874A - 一种led晶片表面粘附力测试仪 - Google Patents

Abstract

一种LED晶片表面粘附力测试仪，包括：机架、载物机构、显微镜升降机构、推力机构和PLC与摇杆控制系统。载物机构设置在机架的上方，用于固定LED晶片；显微镜升降机构设置在载物机构的上方并且固定在机架上，用于放置显微镜并且用于控制显微镜的升降运动；推力机构设置在载物机构的上方和显微镜升降机构的下方，用于测试LED晶片表面的粘附力；PLC与摇杆控制系统用于控制测试仪的运动。本发明的一种LED晶片表面粘附力测试仪采用载物机构来放置LED晶片和定位LED晶片在空间内的位置、利用推力机构来检测LED晶片表面的粘附力、通过显微镜机构来观察LED晶片表面测试点，并通过本测试仪测试出的数据以标准仪表进行对比分析，具有操作简单，运动精度高和测试数据可靠性高的特点。

Description

一种LED晶片表面粘附力测试仪

技术领域

本发明涉及LED晶片的生产测试领域，尤其涉及一种能够检测LED晶片表面粘附力的自动化设备。

背景技术

LED是一种固态的半导体器件，利用电转化为光的特性实现LED灯发光。LED的心脏是一个半导体的晶片，因此对LED晶片生产过程管控对于提高LED灯的质量就显得十分重要的事情。在LED晶片的生产过程中，LED晶片表面状态的检测是一道十分重要的工序。为了达到对LED晶片表面状态的检测，采用人工在LED晶片的每个晶粒上点焊上焊点，通过检测焊点粘附在晶片表面的粘附力来作为测试LED晶片表面粘附力的指标。本发明所提供的一种LED晶片表面粘附力测试仪采用载物机构来放置LED晶片和定位LED晶片在空间内的位置、利用推力机构来检测LED晶片表面的粘附力、通过显微镜机构来观察LED晶片表面测试点，并通过本测试仪测试出的数据以标准仪表进行对比分析，具有操作简单，运动精度高和测试数据可靠性高的特点。

发明内容

本发明的目的在于提供一种LED晶片表面粘附力测试仪，以达到对LED晶片表面粘附力测试的目的。

为达到上述目的，本发明提供一种LED晶片表面粘附力测试仪采用载物机构来放置LED晶片和定位LED晶片在空间内的位置、利用推力机构来检测LED晶片表面的粘附力、通过显微镜机构来观察LED晶片表面测试点，并通过本测试仪测试出的数据以标准仪表进行对比分析。本发明包括机架、载物机构、显微镜升降机构、推力机构和PLC与摇杆控制系统，其中载物机构设置在机架的上方，用于固定LED晶片。其进一步包括：Y轴伺服电机、Y轴滚珠丝杆副、Y轴支承座、Y轴直线导轨副、第一Y轴限位开关、第二Y轴限位开关、X轴伺服电机、第一X轴限位开关、载物台、X轴滚珠丝杆副、第二X轴限位开关、X轴直线导轨副、载物台支撑、X轴支承座和X轴运动机架。所述Y轴伺服电机固定在机架上，用于产生载物机构Y轴运动的动力；所述Y轴滚珠丝杆副与Y轴伺服电机相连接，用于产生载物机构Y轴运动；所述Y轴支撑座固定在机架上，用于支撑Y轴滚珠丝杆副；所述Y轴直线导轨副固定在机架上，用于载物机构Y轴运动的导向；所述第一Y轴限位开关和第二Y轴限位开关固定在机架上，用于载物机构Y轴运动的限位；所述X轴伺服电机固定在X轴运动机架上，用于产生载物机构X轴运动的动力；所述第一X轴限位开关和第二X轴限位开关固定在X轴运动机架上，用于载物机构X轴运动的限位；所述X轴直线导轨副与X轴伺服电机相连接，用于产生载物机构X轴运动；所述载物台支撑固定在X轴滚珠丝杆副和X轴直线导轨副上，用于支撑载物台；所述X轴支承座固定在X轴运动机架上，用于支撑X轴直线导轨副；所述X轴运动机架固定在Y轴直线导轨副和Y轴滚珠丝杆副上。

显微镜升降机构设置在载物机构的上方并且固定在机架上，用于放置显微镜并且用于控制显微镜的升降运动。其进一步包括：精调旋钮、精调旋轴、精调齿轮、粗调齿轮、旋转齿轮、显微镜升降梯形丝杆副、显微镜升降导向轴、连接块、显微镜旋转轴、显微镜固定轴、显微镜固定块、显微镜、显微镜升降机构机架、显微镜旋转固定螺丝、粗调旋钮和粗调旋轴；所述精调旋钮固定在精调旋轴上，用于显微镜升降机构精调的手动操作；所述精调旋轴固定在显微镜升降机构机架上，用于连接精调旋钮和精调齿轮；所述精调齿轮固定在精调旋轴上，用于显微镜升降机构的传动；所述粗调齿轮固定在粗调旋轴上，用于显微镜升降机构的传动；所述旋转齿轮固定在显微镜升降梯形丝杠副上，用于显微镜升降机构的传动；所述显微镜升降梯形丝杆副与显微镜升降机构机架上，用于产生显微镜升降的运动；所述显微镜升降导向轴固定在显微镜升降机构机架上，用于显微镜升降的导向；所述连接块固定在显微镜升降机构梯形丝杆副上，并在显微镜升降导向轴上进行滑动；所述显微镜旋转轴固定在连接块上，用于显微镜的旋转；所述显微镜固定轴与显微镜旋转轴相连接，用于显微镜固定块的固定；所述显微镜固定块固定在显微镜固定轴上，用于固定显微镜；所述显微镜固定在显微镜固定块上，用于观察LED晶片上的晶粒；所述显微镜升降机构机架固定在推力机构的显微镜升降机构直线导轨副上；所述显微镜旋转固定螺丝固定在显微镜固定轴上，用于显微镜的旋转固定；所述粗调旋钮固定在粗调旋轴上，用于显微镜机构粗调的手动操作；所述粗调旋轴固定在显微镜升降机构机架上，用于连接粗调旋钮和粗调齿轮。

推力机构设置在载物机构的上方和显微镜升降机构的下方，用于测试LED晶片表面的粘附力。其进一步包括：推力机构机架、第一推力机构微型导轨副、推拉力计、推拉力计劈刀、推力机构驱动板、粘附力测试劈刀、粘附力测试劈刀固定块、测力传感器、油压缓冲器、油压缓冲块、第二推力机构微型导轨副、第一推力机构滚珠丝杆副、推力机构直线导轨副、推力机构升降伺服电机、减速机、联轴器、显微镜升降机构水平驱动梯形丝杆副、显微镜升降机构水平驱动梯形丝杆副滚花旋钮、显微镜升降机构直线导轨副、显微镜升降机构水平驱动梯形丝杆副支撑、第二推力机构滚珠丝杆副、推拉力计固定板、推力机构固定板和推力机构水平伺服电机；所述推力机构机架固定在机架上，用于支撑推力机构；所述第一推力机构微型导轨副固定在推力机构固定板上，用于对推拉力计进行运动导向；所述推拉力计固定在推拉力计固定板上，用于对LED晶片表面粘附力提供标准示值；所述推拉力计劈刀固定在推拉力计的端部，用于对LED晶片表面焊点进行拨动；所述推力机构驱动板固定在第一推力机构微型导轨副、第二推力机构微型导轨副和第一推力机构滚珠丝杆副；所述粘附力测试劈刀固定在粘附力测试劈刀固定块上，用于对LED晶片表面焊点进行拨动；所述粘附力测试劈刀固定块固定在第二推力机构微型直线导轨副上，用于和测力传感器的固定；所述测力传感器分别固定在粘附力测试劈刀固定块和推力机构驱动板，用于检测LED晶片表面粘附力；所述油压缓冲器固定在推力机构固定板上，用于对推力机构水平伺服电机的驱动力进行减力缓冲；所述油压缓冲块固定在推力机构驱动板上，用于对油压缓冲器进行碰撞接触；所述第二推力机构微型导轨副固定在推力机构固定板上，用于测力传感器受力方向进行导向；所述第一推力机构滚珠丝杆副用于连接推力机构驱动板和联轴器；所述推力机构直线导轨副固定在推力机构固定板上，用于推力机构固定板的运动导向；所述推力机构升降伺服电机固定在推力机构机架上，用于为推力机构的升降提供动力；所述减速机用于连接推力机构升降伺服电机和联轴器，用于推力机构升降伺服电机进行减速；所述联轴器用于连接第一推力机构滚珠丝杆副和推拉力计；显微镜升降机构直线导轨副固定在推力机构机架，用于固定显微镜升降机构机架；所述显微镜升降机构水平驱动梯形丝杆副滚花旋钮固定在显微镜升降机构水平驱动梯形丝杆副上，用于人工操作显微镜升降机构的水平运动；所述显微镜升降机构水平驱动梯形丝杆副支撑固定在推力机构机架上，用于支撑显微镜升降机构水平驱动梯形丝杆副；所述第二推力机构滚珠丝杆副用于连接推力机构驱动板和推力机构水平伺服电机；所述推拉力计固定板固定在第一推力机构微型导轨副上，用于固定推拉力计；所述推力机构固定板固定在推力机构直线导轨副上；所述推力机构水平伺服电机固定在推力机构固定板上，用于推力机构的水平运动提供动力。

PLC与摇杆控制系统用于控制测试仪的运动，并接受传感器信号。

附图说明

图1为本发明实施例的一种LED晶片表面粘附力测试仪的正视图。

图2为本发明实施例的一种LED晶片表面粘附力测试仪的载物机构的正视图。

图3为本发明实施例的一种LED晶片表面粘附力测试仪的显微镜升降机构的正视图。

图4为本发明实施例的一种LED晶片表面粘附力测试仪的推力机构的正视图。

具体实施方式

以下结合附图，具体说明本发明。

请参阅图1，一种LED晶片表面粘附力测试仪，包括：机架（100）、载物机构（200）、显微镜升降机构（300）、推力机构（400）和PLC与摇杆控制系统（500）。

请参阅图2和图1，载物机构（200）设置在机架（100）的上方，用于固定LED晶片。其进一步包括：Y轴伺服电机（201）、Y轴滚珠丝杆副（202）、Y轴支承座（203）、Y轴直线导轨副（204）、第一Y轴限位开关（205）、第二Y轴限位开关（206）、X轴伺服电机（207）、第一X轴限位开关（208）、载物台（209）、X轴滚珠丝杆副（210）、第二X轴限位开关（211）、X轴直线导轨副（212）、载物台支撑（213）、X轴支承座（214）和X轴运动机架（215）。所述Y轴伺服电机（201）固定在机架（100）上，用于产生载物机构Y轴运动的动力；所述Y轴滚珠丝杆副（202）与Y轴伺服电机（201）相连接，用于产生载物机构Y轴运动；所述Y轴支撑座（203）固定在机架（100）上，用于支撑Y轴滚珠丝杆副（202）；所述Y轴直线导轨副（204）固定在机架（100）上，用于载物机构Y轴运动的导向；所述第一Y轴限位开关（205）和第二Y轴限位开关（206）固定在机架上，用于载物机构Y轴运动的限位；所述X轴伺服电机（207）固定在X轴运动机架（215）上，用于产生载物机构X轴运动的动力；所述第一X轴限位开关（207）和第二X轴限位开关（208）固定在X轴运动机架（215）上，用于载物机构X轴运动的限位；所述X轴直线导轨副（212）与X轴伺服电机（207）相连接，用于产生载物机构X轴运动；所述载物台支撑（213）固定在X轴滚珠丝杆副（210）和X轴直线导轨副（212）上，用于支撑载物台（209）；所述X轴支承座（214）固定在X轴运动机架（215）上，用于支撑X轴直线导轨副（212）；所述X轴运动机架（215）固定在Y轴直线导轨副（204）和Y轴滚珠丝杆副（202）上。

请参阅图1、图2和图3，显微镜升降机构（300）设置在载物机构（200）的上方并且固定在机架（100）上，用于放置显微镜（312）并且用于控制显微镜（312）的升降运动。其进一步包括：精调旋钮（301）、精调旋轴（302）、精调齿轮（303）、粗调齿轮（304）、旋转齿轮（305）、显微镜升降梯形丝杆副（306）、显微镜升降导向轴（307）、连接块（308）、显微镜旋转轴（309）、显微镜固定轴（310）、显微镜固定块（311）、显微镜（312）、显微镜升降机构机架（315）、显微镜旋转固定螺丝（313）、粗调旋钮（314）和粗调旋轴（316）；所述精调旋钮（301）固定在精调旋轴（302）上，用于显微镜升降机构精调的手动操作；所述精调旋轴（302）固定在显微镜升降机构机架（315）上，用于连接精调旋钮（301）和精调齿轮（303）；所述精调齿轮（303）固定在精调旋轴（302）上，用于显微镜升降机构的传动；所述粗调齿轮（304）固定在粗调旋轴（316）上，用于显微镜升降机构的传动；所述旋转齿轮（305）固定在显微镜升降梯形丝杠副（306）上，用于显微镜升降机构的传动；所述显微镜升降梯形丝杆副（306）与显微镜升降机构机架（315）上，用于产生显微镜升降的运动；所述显微镜升降导向轴（307）固定在显微镜升降机构机架（315）上，用于显微镜升降的导向；所述连接块（308）固定在显微镜升降机构梯形丝杆副（306）上，并在显微镜升降导向轴（307）上进行滑动；所述显微镜旋转轴（309）固定在连接块（308）上，用于显微镜（312）的旋转；所述显微镜固定轴（311）与显微镜旋转轴（309）相连接，用于显微镜固定块（311）的固定；所述显微镜固定块（311）固定在显微镜固定轴（311）上，用于固定显微镜（312）；所述显微镜（312）固定在显微镜固定块（311）上，用于观察LED晶片上的晶粒；所述显微镜升降机构机架（315）固定在推力机构（400）的显微镜升降机构直线导轨副（421）上；所述显微镜旋转固定螺丝（313）固定在显微镜固定轴（311）上，用于显微镜（312）的旋转固定；所述粗调旋钮（314）固定在粗调旋轴（316）上，用于显微镜机构粗调的手动操作；所述粗调旋轴（316）固定在显微镜升降机构机架（315）上，用于连接粗调旋钮（314）和粗调齿轮（304）。

请参阅图1、图2、图3和图4，推力机构（400）设置在载物机构（200）的上方和显微镜升降机构（300）的下方，用于测试LED晶片表面的粘附力。其进一步包括：推力机构机架（401）、第一推力机构微型导轨副（402）、推拉力计（403）、推拉力计劈刀（404）、推力机构驱动板（405）、粘附力测试劈刀（406）、粘附力测试劈刀固定块（407）、测力传感器（408）、油压缓冲器（409）、油压缓冲块（410）、第二推力机构微型导轨副（411）、第一推力机构滚珠丝杆副（412）、推力机构直线导轨副（413）、推力机构升降伺服电机（414）、减速机（415）、联轴器（416）、显微镜升降机构水平驱动梯形丝杆副（417）、显微镜升降机构水平驱动梯形丝杆副滚花旋钮（418）、显微镜升降机构水平驱动梯形丝杆副支撑（419）、第二推力机构滚珠丝杆副（420）、显微镜升降机构直线导轨副（421）、推拉力计固定板（422）、推力机构固定板（423）和推力机构水平伺服电机（424）；所述推力机构机架（401）固定在机架（100）上，用于支撑推力机构（400）；所述第一推力机构微型导轨副（402）固定在推力机构固定板（423）上，用于对推拉力计（403）进行运动导向；所述推拉力计（403）固定在推拉力计固定板（422）上，用于对LED晶片表面粘附力提供标准示值；所述推拉力计劈刀（404）固定在推拉力计（403）的端部，用于对LED晶片表面焊点进行拨动；所述推力机构驱动板（405）固定在第一推力机构微型导轨副（402）、第二推力机构微型导轨副（411）和第一推力机构滚珠丝杆副（412）；所述粘附力测试劈刀（406）固定在粘附力测试劈刀固定块（407）上，用于对LED晶片表面焊点进行拨动；所述粘附力测试劈刀固定块（407）固定在第二推力机构微型直线导轨副（411）上，用于和测力传感器（408）的固定；所述测力传感器（408）分别固定在粘附力测试劈刀固定块（407）和推力机构驱动板（405），用于检测LED晶片表面粘附力；所述油压缓冲器（410）固定在推力机构固定板（423）上，用于对推力机构水平伺服电机（424）的驱动力进行减力缓冲；所述油压缓冲块（410）固定在推力机构驱动板（405）上，用于对油压缓冲器（409）进行碰撞接触；所述第二推力机构微型导轨副（411）固定在推力机构固定板（423）上，用于测力传感器（408）受力方向进行导向；所述第一推力机构滚珠丝杆副（412）用于连接推力机构驱动板（405）和联轴器（416）；所述推力机构直线导轨副（413）固定在推力机构固定板（423）上，用于推力机构固定板（423）的运动导向；所述推力机构升降伺服电机（414）固定在推力机构机架（401）上，用于为推力机构的升降提供动力；所述减速机（415）用于连接推力机构升降伺服电机（414）和联轴器（416），用于推力机构升降伺服电机（414）进行减速；所述联轴器（416）用于连接第一推力机构滚珠丝杆副（412）和推拉力计（403）；显微镜升降机构直线导轨副（421）固定在推力机构机架（401），用于固定显微镜升降机构机架（315）；所述显微镜升降机构水平驱动梯形丝杆副滚花旋钮（418）固定在显微镜升降机构水平驱动梯形丝杆副（417）上，用于人工操作显微镜升降机构的水平运动；所述显微镜升降机构水平驱动梯形丝杆副支撑（419）固定在推力机构机架（401）上，用于支撑显微镜升降机构水平驱动梯形丝杆副（417）；所述第二推力机构滚珠丝杆副（411）用于连接推力机构驱动板（405）和推力机构水平伺服电机（424）；所述推拉力计固定板（422）固定在第一推力机构微型导轨副（402）上，用于固定推拉力计（403）；所述推力机构固定板（423）固定在推力机构直线导轨副（413）上；所述推力机构水平伺服电机（424）固定在推力机构固定板（423）上，用于推力机构的水平运动提供动力。

 本发明还包括PLC与摇杆控制系统用于控制测试仪的运动，并接受传感器信号。

 本发明的一种LED晶片表面粘附力测试仪主要用于LED晶片的生产测试领域，采用载物机构来放置LED晶片和定位LED晶片在空间内的位置、利用推力机构来检测LED晶片表面的粘附力、通过显微镜机构来观察LED晶片表面测试点，并通过本测试仪测试出的数据以标准仪表进行对比分析。其具体工作过程如下。

第一，将LED晶片放置在载物机构的载物台。

第二，旋转显微镜升降机构水平驱动梯形丝杆副滚花旋钮，并调节显微镜旋转轴，使得显微镜正好对准粘附力测试劈刀，并利用显微镜旋转固定螺丝将显微镜固定住。

第三，拨动摇杆控制载物机构上的Y轴伺服电机和X轴伺服电机，并利用显微镜观察，使得LED晶片上的焊点正好在粘附力测试劈刀的下方。

第四，拨动摇杆，控制推力机构升降伺服电机，和使得粘附力测试劈刀在LED晶片上焊点的正前方。

第五，点击测试按钮，启动推力机构水平伺服电机，此时粘附力测试劈刀拨动LED晶片上的焊点，然后，测力传感器输出测力值，此值即LED晶片表面粘附力的一次测试值。

第六，重复第一到第五步骤，连续测试三次，取测量结果的平均值作为最终的LED晶片表面粘附力值。

第七，旋转显微镜升降机构水平驱动梯形丝杆副滚花旋钮，并调节显微镜旋转轴，使得显微镜正好对准推拉力计劈刀，并利用显微镜旋转固定螺丝将显微镜固定住。

第八，拨动摇杆控制载物机构上的Y轴伺服电机和X轴伺服电机，并利用显微镜观察，使得LED晶片上的焊点正好在推拉力计劈刀的下方。

第九，点击测试按钮，启动推力机构水平伺服电机，此时推拉力计劈刀拨动LED晶片上的焊点，然后，推拉力计输出测力值，此值即LED晶片表面粘附力的一次标准值。

第十，重复第七、第八和第九步骤，连续测试三次，取测量结果的平均值作为最终的LED晶片表面粘附力标准值。

第十一，比较LED晶片表面粘附力标准值和LED晶片表面粘附力值，进而检验所测量值的准确性。

本发明的一种LED晶片表面粘附力测试仪、采用载物机构来放置LED晶片和定位LED晶片在空间内的位置、利用推力机构来检测LED晶片表面的粘附力、通过显微镜机构来观察LED晶片表面测试点，并通过本测试仪测试出的数据以标准仪表进行对比分析，具有操作简单，运动精度高和测试数据可靠性高的特点。

以上公开的仅为本发明的几个具体实施例，但本发明并非局限于此，任何本领域的技术人员能思之的变化，都应落在本发明的保护范围内。

Claims (5)

1.一种LED晶片表面粘附力测试仪，包括：机架、载物机构、显微镜升降机构、推力机构和PLC与摇杆控制系统，其中：

所述载物机构设置在机架的上方，用于固定LED晶片；

所述显微镜升降机构设置在载物机构的上方并且固定在机架上，用于放置显微镜并且用于控制显微镜的升降运动；

所述推力机构设置在载物机构的上方和显微镜升降机构的下方，用于测试LED晶片表面的粘附力；

所述PLC与摇杆控制系统用于控制测试仪的运动。

2.如权利要求1所述的一种LED晶片表面粘附力测试仪，其特征在于，所述载物机构进一步包括：Y轴伺服电机、Y轴滚珠丝杆副、Y轴支承座、Y轴直线导轨副、第一Y轴限位开关、第二Y轴限位开关、X轴伺服电机、第一X轴限位开关、载物台、X轴滚珠丝杆副、第二X轴限位开关、X轴直线导轨副、载物台支撑、X轴支承座和X轴运动机架；所述Y轴伺服电机固定在机架上，用于产生载物机构Y轴运动的动力；所述Y轴滚珠丝杆副与Y轴伺服电机相连接，用于产生载物机构Y轴运动；所述Y轴支撑座固定在机架上，用于支撑Y轴滚珠丝杆副；所述Y轴直线导轨副固定在机架上，用于载物机构Y轴运动的导向；所述第一Y轴限位开关和第二Y轴限位开关固定在机架上，用于载物机构Y轴运动的限位；所述X轴伺服电机固定在X轴运动机架上，用于产生载物机构X轴运动的动力；所述第一X轴限位开关和第二X轴限位开关固定在X轴运动机架上，用于载物机构X轴运动的限位；所述X轴直线导轨副与X轴伺服电机相连接，用于产生载物机构X轴运动；所述载物台支撑固定在X轴滚珠丝杆副和X轴直线导轨副上，用于支撑载物台；所述X轴支承座固定在X轴运动机架上，用于支撑X轴直线导轨副；所述X轴运动机架固定在Y轴直线导轨副和Y轴滚珠丝杆副上。

3.如权利要求1所述的一种LED晶片表面粘附力测试仪，其特征在于，所述显微镜升降机构其进一步包括：精调旋钮、精调旋轴、精调齿轮、粗调齿轮、旋转齿轮、显微镜升降梯形丝杆副、显微镜升降导向轴、连接块、显微镜旋转轴、显微镜固定轴、显微镜固定块、显微镜、显微镜升降机构机架、显微镜旋转固定螺丝、粗调旋钮和粗调旋轴；所述精调旋钮固定在精调旋轴上，用于显微镜升降机构精调的手动操作；所述精调旋轴固定在显微镜升降机构机架上，用于连接精调旋钮和精调齿轮；所述精调齿轮固定在精调旋轴上，用于显微镜升降机构的传动；所述粗调齿轮固定在粗调旋轴上，用于显微镜升降机构的传动；所述旋转齿轮固定在显微镜升降梯形丝杠副上，用于显微镜升降机构的传动；所述显微镜升降梯形丝杆副与显微镜升降机构机架上，用于产生显微镜升降的运动；所述显微镜升降导向轴固定在显微镜升降机构机架上，用于显微镜升降的导向；所述连接块固定在显微镜升降机构梯形丝杆副上，并在显微镜升降导向轴上进行滑动；所述显微镜旋转轴固定在连接块上，用于显微镜的旋转；所述显微镜固定轴与显微镜旋转轴相连接，用于显微镜固定块的固定；所述显微镜固定块固定在显微镜固定轴上，用于固定显微镜；所述显微镜固定在显微镜固定块上，用于观察LED晶片上的晶粒；所述显微镜升降机构机架固定在推力机构的显微镜升降机构直线导轨副上；所述显微镜旋转固定螺丝固定在显微镜固定轴上，用于显微镜的旋转固定；所述粗调旋钮固定在粗调旋轴上，用于显微镜机构粗调的手动操作；所述粗调旋轴固定在显微镜升降机构机架上，用于连接粗调旋钮和粗调齿轮。

4.如权利要求1所述的一种LED晶片表面粘附力测试仪，其特征在于，所述推力机构其进一步包括：推力机构机架、第一推力机构微型导轨副、推拉力计、推拉力计劈刀、推力机构驱动板、粘附力测试劈刀、粘附力测试劈刀固定块、测力传感器、油压缓冲器、油压缓冲块、第二推力机构微型导轨副、第一推力机构滚珠丝杆副、推力机构直线导轨副、推力机构升降伺服电机、减速机、联轴器、显微镜升降机构直线导轨副、显微镜升降机构水平驱动梯形丝杆副、显微镜升降机构水平驱动梯形丝杆副滚花旋钮、显微镜升降机构水平驱动梯形丝杆副支撑、第二推力机构滚珠丝杆副、推拉力计固定板、推力机构固定板和推力机构水平伺服电机；所述推力机构机架固定在机架上，用于支撑推力机构；所述第一推力机构微型导轨副固定在推力机构固定板上，用于对推拉力计进行运动导向；所述推拉力计固定在推拉力计固定板上，用于对LED晶片表面粘附力提供标准示值；所述推拉力计劈刀固定在推拉力计的端部，用于对LED晶片表面焊点进行拨动；所述推力机构驱动板固定在第一推力机构微型导轨副、第二推力机构微型导轨副和第一推力机构滚珠丝杆副；所述粘附力测试劈刀固定在粘附力测试劈刀固定块上，用于对LED晶片表面焊点进行拨动；所述粘附力测试劈刀固定块固定在第二推力机构微型直线导轨副上，用于和测力传感器的固定；所述测力传感器分别固定在粘附力测试劈刀固定块和推力机构驱动板，用于检测LED晶片表面粘附力；所述油压缓冲器固定在推力机构固定板上，用于对推力机构水平伺服电机的驱动力进行减力缓冲；所述油压缓冲块固定在推力机构驱动板上，用于对油压缓冲器进行碰撞接触；所述第二推力机构微型导轨副固定在推力机构固定板上，用于测力传感器受力方向进行导向；所述第一推力机构滚珠丝杆副用于连接推力机构驱动板和联轴器；所述推力机构直线导轨副固定在推力机构固定板上，用于推力机构固定板的运动导向；所述推力机构升降伺服电机固定在推力机构机架上，用于为推力机构的升降提供动力；所述减速机用于连接推力机构升降伺服电机和联轴器，用于推力机构升降伺服电机进行减速；所述联轴器用于连接第一推力机构滚珠丝杆副和推拉力计；显微镜升降机构直线导轨副固定在推力机构机架，用于固定显微镜升降机构机架；所述显微镜升降机构水平驱动梯形丝杆副滚花旋钮固定在显微镜升降机构水平驱动梯形丝杆副上，用于人工操作显微镜升降机构的水平运动；所述显微镜升降机构水平驱动梯形丝杆副支撑固定在推力机构机架上，用于支撑显微镜升降机构水平驱动梯形丝杆副；所述第二推力机构滚珠丝杆副用于连接推力机构驱动板和推力机构水平伺服电机；所述推拉力计固定板固定在第一推力机构微型导轨副上，用于固定推拉力计；所述推力机构固定板固定在推力机构直线导轨副上；所述推力机构水平伺服电机固定在推力机构固定板上，用于推力机构的水平运动提供动力。

5.如权利要求1所述的一种LED晶片表面粘附力测试仪，其特征在于，PLC与摇杆控制系统用于控制测试仪的运动，并接受传感器信号。

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