CN215266239U - 拾取组件及芯片拾取贴装设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种拾取组件及芯片拾取贴装设备，拾取组件包括第一座体、第二座体、调节组件及吸嘴，吸嘴固设于第二座体；第一座体与第二座体之间磁性连接，调节组件用于调节第一座体与第二座体之间的相对位置关系。本实用新型提供的拾取组件及芯片拾取贴装设备，第一座体与第二座体之间能够通过调节组件进行微调，在装配完成后以及长时间使用后也可以调整吸嘴的水平度，从而保证了拾取效率。此外，第一座体与第二座体之间采用磁性连接，既能够保证连接的可靠性，又不会影响调节组件调节第一座体与第二座体之间的相对位置关系。

Description

拾取组件及芯片拾取贴装设备

技术领域

本实用新型涉及芯片拾取领域，特别是涉及一种拾取组件及芯片拾取贴装设备。

背景技术

超薄晶圆上小尺寸芯片的拾取，对吸嘴的水平度要求极高，吸嘴稍有倾斜即可能导致拾取过程中芯片碎裂或拾取失败。传统的吸嘴在装配后无法进行调整，吸嘴的水平度取决于机械加工时的精度和装配的精度，提高了吸嘴的生产和装配成本，并且吸嘴在长时间使用后存在磨损，影响拾取效率。

实用新型内容

有鉴于此，有必要提供一种拾取组件及芯片拾取贴装设备。

本实用新型提供一种拾取组件，包括第一座体、第二座体、调节组件及吸嘴，所述吸嘴固设于所述第二座体；所述第一座体连接于所述第二座体，所述调节组件用于调节所述第一座体与所述第二座体之间的相对位置关系。

在本实用新型的一个实施例中，所述调节组件为多个，多个所述调节组件沿所述第一座体或所述第二座体的周向均匀分布。

在本实用新型的一个实施例中，所述第一座体与所述第二座体之间磁性连接。

在本实用新型的一个实施例中，所述调节组件包括调节件，所述第二座体上开设有安装孔，所述调节件可活动地安装于所述安装孔，且所述调节件能够伸出所述安装孔并抵接于所述第一座体。

在本实用新型的一个实施例中，所述调节组件还包括弹性件，所述弹性件容置于所述安装孔内，所述弹性件弹性作用于所述调节件，且所述弹性件使得所述调节件具有远离所述第一座体的趋势；及/或，

所述调节件螺纹安装于所述安装孔。

在本实用新型的一个实施例中，所述调节件包括分体成型的调节凸块及调节螺杆，所述调节凸块包括依次连接的抵接部、连接部及突出部，所述抵接部能够伸出所述安装孔并抵接于所述第一座体，所述突出部的径向尺寸大于所述连接部的径向尺寸；所述弹性件套设所述连接部，且所述弹性件的两端分别抵接于所述突出部及所述安装孔的内壁；

所述调节螺杆螺纹连接于所述安装孔，且所述调节凸块弹性抵接于所述调节螺杆。

在本实用新型的一个实施例中，所述第一座体相对靠近所述第二座体的一侧开设有弧形卡槽，所述抵接部相对靠近所述第一座体的一端为弧形，且所述抵接部的形状与所述弧形卡槽相匹配。

在本实用新型的一个实施例中，所述弧形卡槽沿所述第一座体的径向方向延伸并呈长条状。

在本实用新型的一个实施例中，所述第一座体或所述第二座体上内嵌有磁性件，所述弧形卡槽及所述磁性件均为多个，且所述弧形卡槽与所述磁性件交替设置。

在本实用新型的一个实施例中，所述调节螺杆包括相互连接的第一螺纹部及旋拧部，所述第一螺纹部螺纹连接于所述安装孔，所述旋拧部具有两个相互平行的旋拧面，且所述旋拧部位于所述安装孔外。

在本实用新型的一个实施例中，所述第一座体与所述第二座体之间设置有密封件；及/或，

所述吸嘴可拆卸安装于所述第二座体。

本实用新型还提供一种芯片拾取贴装设备，包括上述的拾取组件。

本实用新型提供的拾取组件及芯片拾取贴装设备，第一座体与第二座体之间能够通过调节组件进行微调，在装配完成后以及长时间使用后也可以调整吸嘴的水平度，从而保证了拾取效率。

附图说明

图1为拾取组件的结构示意图；

图2为图1所示拾取组件的剖视图；

图3为图1中第一座体的结构示意图；

图4为图1中第二座体的结构示意图；

图5为图4所示第二座体的剖视图；

图6为图1中调节组件的结构示意图；

图7为图6中调节凸块的结构示意图；

图8为图6中调节螺杆的结构示意图；

图9为一个实施例中吸嘴的结构示意图；

图10为另一个实施例中吸嘴的结构示意图；

图11为另一个实施例中吸嘴的结构示意图；

100、拾取组件；10、第一座体；11、第一通气孔；12、弧形卡槽；13、定位销；20、第二座体；21、第二通气孔；22、安装孔；221、伸出部；222、容置部；223、第二螺纹部；30、调节组件；31、调节凸块；311、抵接部；312、连接部；313、突出部；32、调节螺杆；321、第一螺纹部；322、旋拧部；33、弹性件；40、吸嘴；41、第三通气孔；42、十字凹槽；50、磁性件。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，当组件被称为“连接于”另一个组件，它可以直接连接于另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“固定于”另一个组件，它可以是直接固定在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“或/及”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请参阅图1及图2，图1为拾取组件100的结构示意图；图2为图1所示拾取组件100的剖视图。

本实用新型提供一种拾取组件100，其用于拾取超薄晶圆上小尺寸芯片。本实施方式中，拾取组件100可满足25μm超薄芯片的拾取。可以理解，在其他实施方式中，拾取组件100还可以应用于其他尺寸的芯片拾取。

拾取组件100包括第一座体10、第二座体20及吸嘴40，第一座体10与第二座体20之间可拆卸连接，吸嘴40固设于第二座体20，第一座体10上开设有第一通气孔11，第二座体20上开设有第二通气孔21，吸嘴40上开设有第三通气孔41。当第一座体10、第二座体20及吸嘴40装配好后，第一通气孔11、第二通气孔21及第三通气孔41之间相互连通。将拾取组件100与外部抽气装置或真空装置连接后，吸嘴40即可通过负压拾取晶圆上的芯片。作为优选，第一座体10上凸设有定位销13。定位销13用于在拾取组件100安装至外部设备时定位。

传统的吸嘴在装配后无法进行调整，吸嘴的水平度取决于机械加工时的精度和装配的精度，提高了吸嘴的生产和装配成本，并且吸嘴在长时间使用后存在磨损，影响拾取效率。

基于此，本申请的拾取组件100还包括调节组件30，第一座体10连接于第二座体20，调节组件30用于调节第一座体10与第二座体20之间的相对位置关系。如此设置，第一座体10与第二座体20之间能够通过调节组件30进行1mm左右的微调，在装配完成后以及长时间使用后也可以调整吸嘴40的水平度，从而保证了拾取效率。

作为优选，第一座体10与第二座体20之间磁性连接，既能够保证连接的可靠性，又不会影响调节组件30调节第一座体10与第二座体20之间的相对位置关系。可以理解，在其他实施方式中，第一座体10与第二座体20之间也可以通过具有弹性的结构相连接，例如弹簧、皮筋等。

在本实施例中，第一座体10为304不锈钢件(SUS304)，第二座体20为能够被磁吸的不锈钢件。第一座体10的外径为20mm；第二座体20的外径为20mm，高度为17mm，加工精度控制在±0.02mm。可以理解，上述仅仅是一个实施例中所使用的第一座体10及第二座体20的示例，本申请并不限于上述任何具体材质及尺寸数据，而是可以作出替代、修改或改进。

在其中一个实施例中，调节组件30为多个，多个调节组件30沿第一座体10或第二座体20的周向均匀分布。如此设置，能够更加精准地调整吸嘴40的水平度，使得调节更加灵活。在本实施例中，调节组件30为4个。可以理解，在其他实施例中，调节组件30也可以是2个、3个、5个或者更多个，只要能够起到调节水平度的作用即可，在此不做限制。

请一并参阅图3至图8，在其中一个实施例中，调节组件30包括调节件，第二座体20上开设有安装孔22，调节件可活动地安装于安装孔22，且调节件能够伸出安装孔22并抵接于第一座体10。如此设置，便于调节件与第二座体20之间的调节。

进一步的，调节组件30还包括弹性件33，弹性件33容置于安装孔22内，弹性件33弹性作用于调节件，且弹性件33使得调节件具有远离第一座体10的趋势。在弹性件33的作用下，调节件具有远离第一座体10的趋势，弥补了由于螺纹调节带来的精度误差，使得调节精度更高。

更进一步的，调节件螺纹安装于安装孔22，进一步便于使用者调节调节件与第二座体20之间的相对位置关系。可以理解，调节件也可以通过其他方式调节，例如调节件沿周向设置凸块，安装孔22设置多层圆弧状凸起，调节件通过与不同凸起卡接的方式调节在安装孔22内的位置。

作为优选，为了节约制作成本，调节件包括分体成型的调节凸块31及调节螺杆32。由于与第二座体20螺纹连接的部件无需太高的精度，将调节件设置成分体成型的调节凸块31及调节螺杆32，只需要对调节螺杆32进行精细化制作即可，大大节约了制作成本。

具体的，在本实施例中，调节凸块31为304不锈钢件(SUS304)，采用机械加工而成，长度为6.5mm，最大处的直径为2.5mm。调节螺杆32为304不锈钢件(SUS304)，采用机械加工而成，长度为7mm，采用M2螺纹。

更进一步的，调节凸块31包括依次连接的抵接部311、连接部312及突出部313，抵接部311能够伸出安装孔22并抵接于第一座体10，突出部313的径向尺寸大于连接部312的径向尺寸；弹性件33套设连接部312，且弹性件33的两端分别抵接于突出部313及安装孔22的内壁；调节螺杆32螺纹连接于安装孔22，且调节凸块31弹性抵接于调节螺杆32。如此设置，调节凸块31、调节螺杆32、弹性件33与第二座体20的装配关系简单，并且微调的精度高。

作为优选，第一座体10相对靠近第二座体20的一侧开设有弧形卡槽12，抵接部311相对靠近第一座体10的一端为弧形，且抵接部311的形状与弧形卡槽12相匹配。如此设置，抵接部311与弧形卡槽12之间采用弧形面接触，在调节时稳定性更高，并且调节精度更高。

进一步的，弧形卡槽12沿第一座体10的径向方向延伸并呈长条状，不仅便于第一座体10、第二座体20以及调节组件30之间的安装，而且使得第一座体10能够与更多型号的第二座体20相适配。

请再次参阅图2、图5至图8，在一个实施例中，安装孔22包括伸出部221、容置部222及第二螺纹部223，伸出部221的内径小于容置部222，且伸出部221的内径与调节凸块31中连接部312的外径相匹配；第二螺纹部223的内径不小于容置部222的内径，以便于调节组件30的安装，第二螺纹部223上设置有内螺纹。

伸出部221用于供调节凸块31的抵接部311伸出，并且伸出部221的内壁还具有导向连接部312的作用，使得抵接部311能够沿垂直的方向上下移动。容置部222用于容置用于容纳调节凸块31及弹性件33，弹性件33的一端抵接于调节凸块31的突出部313，另一端抵接于容置部222相对靠近伸出部221一端的内壁上，防止弹性件33从安装孔22中脱出。第二螺纹部223用于与调节螺杆32之间螺纹连接。

请再次参阅图3，在其中一个实施例中，第一座体10上内嵌有磁性件50。可以理解，磁性件50也可以设置在第二座体20上，只要能够实现第一座体10与第二座体20之间磁性连接即可。

在一个未示出的实施例中，第一座体10及/或第二座体20上可以开设用于盛放磁性件50的凹槽，以提高第一座体10与第二座体20在安装时的定位便捷性。

作为优选，弧形卡槽12与磁性件50均为多个，在第一座体10上，弧形卡槽12和磁性件50交替设置，以提高调节过程中第一座体10与第二座体20之间的连接稳定性。

请再次参阅图8，调节螺杆32包括相互连接的第一螺纹部321及旋拧部322，第一螺纹部321螺纹连接于安装孔22的第二螺纹部223，旋拧部322具有两个相互平行的旋拧面，且旋拧部322位于安装孔22外。如此设置，便于用户旋拧调节螺杆32以微调吸嘴40的水平度。

在其中一个实施例中，第一座体10与第二座体20之间设置有密封件(图未示)，以确保第一通气孔11与第二通气孔21之间的气密性。可以理解，密封件可以设置在第一通气孔11与第二通气孔21周围，也可以设置在第一座体10与第二座体20的周壁上，只要能够起到密封作用即可。

请一并参阅图9至图11，在其中一个实施例中，吸嘴40可拆卸安装于第二座体20，以便于根据不同的芯片大小和厚度，更换不同型号的吸嘴40。在本实施例中，吸嘴40通过顶丝可拆卸安装于第二座体20。可以理解，在其他实施例中，吸嘴40也可以通过其他类型的螺纹紧固件连接。

具体的，吸嘴40还开设有十字凹槽42，十字凹槽42连通于第三通气孔41，十字凹槽42的设置能够增加吸嘴40的吸附力。

本实用新型还提供一种芯片拾取贴装设备，包括上述的拾取组件100。

本实用新型提供的拾取组件100及芯片拾取贴装设备，第一座体10与第二座体20之间能够通过调节组件30进行微调，在装配完成后以及长时间使用后也可以调整吸嘴40的水平度，从而保证了拾取效率。此外，第一座体10与第二座体20之间采用磁性连接，既能够保证连接的可靠性，又不会影响调节组件30调节第一座体10与第二座体20之间的相对位置关系。

以上所述实施方式的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施方式中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

本技术领域的普通技术人员应当认识到，以上的实施方式仅是用来说明本实用新型，而并非用作为对本实用新型的限定，只要在本实用新型的实质精神范围内，对以上实施方式所作的适当改变和变化都落在本实用新型要求保护的范围内。

Claims (12)

1.一种拾取组件，其特征在于，包括第一座体(10)、第二座体(20)、调节组件(30)及吸嘴(40)，所述吸嘴(40)固设于所述第二座体(20)；

所述第一座体(10)连接于所述第二座体(20)，所述调节组件(30)用于调节所述第一座体(10)与所述第二座体(20)之间的相对位置关系。

2.根据权利要求1所述的拾取组件，其特征在于，所述调节组件(30)为多个，多个所述调节组件(30)沿所述第一座体(10)或所述第二座体(20)的周向均匀分布。

3.根据权利要求1所述的拾取组件，其特征在于，所述第一座体(10)与所述第二座体(20)之间磁性连接。

4.根据权利要求2所述的拾取组件，其特征在于，所述调节组件(30)包括调节件，所述第二座体(20)上开设有安装孔(22)，所述调节件可活动地安装于所述安装孔(22)，且所述调节件能够伸出所述安装孔(22)并抵接于所述第一座体(10)。

5.根据权利要求4所述的拾取组件，其特征在于，所述调节组件(30)还包括弹性件(33)，所述弹性件(33)容置于所述安装孔(22)内，所述弹性件(33)弹性作用于所述调节件，且所述弹性件(33)使得所述调节件具有远离所述第一座体(10)的趋势；及/或，

所述调节件螺纹安装于所述安装孔(22)。

6.根据权利要求5所述的拾取组件，其特征在于，所述调节件包括分体成型的调节凸块(31)及调节螺杆(32)，所述调节凸块(31)包括依次连接的抵接部(311)、连接部(312)及突出部(313)，所述抵接部(311)能够伸出所述安装孔(22)并抵接于所述第一座体(10)，所述突出部(313)的径向尺寸大于所述连接部(312)的径向尺寸；所述弹性件(33)套设所述连接部(312)，且所述弹性件(33)的两端分别抵接于所述突出部(313)及所述安装孔(22)的内壁；

所述调节螺杆(32)螺纹连接于所述安装孔(22)，且所述调节凸块(31)弹性抵接于所述调节螺杆(32)。

7.根据权利要求6所述的拾取组件，其特征在于，所述第一座体(10)相对靠近所述第二座体(20)的一侧开设有弧形卡槽(12)，所述抵接部(311)相对靠近所述第一座体(10)的一端为弧形，且所述抵接部(311)的形状与所述弧形卡槽(12)相匹配。

8.根据权利要求7所述的拾取组件，其特征在于，所述弧形卡槽(12)沿所述第一座体(10)的径向方向延伸并呈长条状。

9.根据权利要求8所述的拾取组件，其特征在于，所述第一座体(10)或所述第二座体(20)上内嵌有磁性件(50)，所述弧形卡槽(12)及所述磁性件(50)均为多个，且所述弧形卡槽(12)与所述磁性件(50)交替设置。

10.根据权利要求6所述的拾取组件，其特征在于，所述调节螺杆(32)包括相互连接的第一螺纹部(321)及旋拧部(322)，所述第一螺纹部(321)螺纹连接于所述安装孔(22)，所述旋拧部(322)具有两个相互平行的旋拧面，且所述旋拧部(322)位于所述安装孔(22)外。

11.根据权利要求1所述的拾取组件，其特征在于，所述第一座体(10)与所述第二座体(20)之间设置有密封件；及/或，

所述吸嘴(40)可拆卸安装于所述第二座体(20)。

12.一种芯片拾取贴装设备，其特征在于，包括如权利要求1至11任意一项所述的拾取组件(100)。

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