CN215179730U - 一种视觉测试机构及其芯片外观自动检测机 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种视觉测试机构及其芯片外观自动检测机，所述视觉测试机构包括：支撑平台、XY轴运动模组、马达组件、真空吸附平台、视觉模组和Z轴运动模组，所述XY轴运动模组设置于所述支撑平台上，所述真空吸附平台通过所述马达组件设置于所述XY轴运动模组上，所述视觉模组通过所述Z轴运动模组设置于所述真空吸附平台的上方。本实用新型能够实现了产品的快速装夹，并有效避免了对产品造成的损坏，提高了视觉测试的工作效率和测试精度；在此基础上，还能够有效减少了产品在真空压力下的变形，且通过增加吸盘的流量从而提高了其反应速度。

Description

一种视觉测试机构及其芯片外观自动检测机

技术领域

本实用新型涉及一种测试机构，尤其涉及一种适用于芯片外观自动检测机的视觉测试机构，并涉及包括了该视觉测试机构的芯片外观自动检测机。

背景技术

国内半导体行业起步较晚，晶圆芯片产品外观检测通常采用的是人工检测方式，需要耗费大量的人力和工时，同时容易在检测中造成二次污染和损坏；市场上晶圆检测设备通常采用静态拍照检测方式，拍照间隔长，效率低，拍照定位精度误差大，不能满足实际的生产和测试需求；那么，在芯片外观自动检测过程中，如何快速且高效地实现视觉测试，是一个急需解决的问题。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是需要提供一种快速且高效的适用于芯片外观自动检测机的视觉测试机构，还进一步提供包括了该视觉测试机构的芯片外观自动检测机。

对此，本实用新型提供一种视觉测试机构，包括：支撑平台、XY轴运动模组、马达组件、真空吸附平台、视觉模组和Z轴运动模组，所述XY轴运动模组设置于所述支撑平台上，所述真空吸附平台通过所述马达组件设置于所述XY轴运动模组上，所述视觉模组通过所述Z轴运动模组设置于所述真空吸附平台的上方。

本实用新型的进一步改进在于，所述真空吸附平台包括背光源、真空吸盘和支撑件，所述背光源设置于所述马达组件的上方；所述真空吸盘设置于所述背光源上，并设置于所述背光源和支撑件之间。

本实用新型的进一步改进在于，所述真空吸附平台还包括气管旋转接头和马达连接座，所述马达组件通过所述气管旋转接头和马达连接座连接至所述真空吸盘。

本实用新型的进一步改进在于，所述支撑件为光学玻璃；所述真空吸盘上设置有双路窄凹槽和吸盘进气口，所述双路窄凹槽为设置于所述真空吸盘上的圆环形凹槽，所述吸盘进气口对称设置于所述真空吸盘的外侧。

本实用新型的进一步改进在于，所述支撑平台包括减震构件和刚性支撑平台，所述减震构件设置于所述刚性支撑平台的下方。

本实用新型的进一步改进在于，所述XY轴运动模组包括X轴直线模组和Y轴直线模组，所述X轴直线模组通过所述Y轴直线模组设置于所述支撑平台上。

本实用新型的进一步改进在于，所述XY轴运动模组还包括拖链，所述拖链设置于所述Y轴直线模组的一侧。

本实用新型的进一步改进在于，所述视觉模组包括相机保护罩、工业相机和相机安装板，所述工业相机通过所述相机安装板设置于所述Z轴运动模组上，所述工业相机设置于所述相机保护罩和相机安装板之间。

本实用新型的进一步改进在于，所述Z轴运动模组包括Z轴丝杠模组和Z轴安装柱，所述Z轴丝杠模组通过所述Z轴安装柱设置于所述支撑平台上。

本实用新型还提供一种芯片外观自动检测机，包括了如上所述的视觉测试机构。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：通过真空吸附平台的定位方式实现了产品的快速装夹，能够避免了对产品造成的损坏，并且通过XY轴运动模组、马达组件、视觉模组和Z轴运动模组等组件的配合，实现了相机在短时间高频率启停运动过程中的高速飞拍，提高了视觉测试的工作效率；在此基础上，所述真空吸附平台中真空吸盘上设置有双路窄凹槽和吸盘进气口，能够有效减少了产品在真空压力下的变形，且通过增加吸盘的流量从而提高了其反应速度；还通过光学玻璃承载产品，降低产品在测试过程中的上下晃动，提高了测试精度。

附图说明

图1是本实用新型一种实施例的立体结构示意图；

图2是本实用新型一种实施例的爆炸结构示意图；

图3是本实用新型一种实施例的真空吸附平台的爆炸结构示意图；

图4是本实用新型一种实施例的工业相机的放大结构示意图；

图5是本实用新型一种实施例的侧视结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型的较优的实施例作进一步的详细说明。

如图1至图5所示，本例提供一种视觉测试机构，包括：支撑平台1、XY轴运动模组、马达组件2、真空吸附平台3、视觉模组4和Z轴运动模组5，所述XY轴运动模组设置于所述支撑平台1上，所述真空吸附平台3通过所述马达组件2设置于所述XY轴运动模组上，所述视觉模组4通过所述Z轴运动模组5设置于所述真空吸附平台3的上方。

本例所述支撑平台1包括减震构件101和刚性支撑平台102，所述减震构件101设置于所述刚性支撑平台102的下方。所述减震构件101优选为气浮式减震器，用于吸收设备在运动中产生的震动；所述刚性支撑平台102优选为大理石平台，具有精度高和刚性高的优点，可减少周围环境对测试结果的影响。

本例所述XY轴运动模组包括X轴直线模组6、Y轴直线模组7和拖链8，所述X轴直线模组6通过所述Y轴直线模组7设置于所述支撑平台1上，本例所述马达组件2优选采用DD马达（直驱马达），所述X轴直线模组6、Y轴直线模组7和马达组件2的DD马达共同实现了真空吸附平台3在水平方向上位置的高精度调整，重复定位精度可达2微米；所述拖链8设置于所述Y轴直线模组7的一侧，便于通过拖链8实现拓展。

如图2和图3所示，本例所述真空吸附平台3包括气管旋转接头301、马达连接座302、背光源303、真空吸盘304和支撑件305，所述马达组件2通过所述气管旋转接头301和马达连接座302连接至所述真空吸盘304；所述背光源303设置于所述马达组件2的上方，更为具体的，是设置于所述马达连接座302上；所述真空吸盘304设置于所述背光源303上，并设置于所述背光源303和支撑件305之间。本例所述气管旋转接头301用于实现气管的旋转转接；所述马达连接座302也称安装座，用于实现背光源303的安装，并连接至所述马达组件2；所述背光源303用于相机拍摄时对产品背面打光；所述真空吸盘304为中空的真空吸盘，利用真空负压将晶圆9等产品吸附在该真空吸盘304上以实现定位；所述支撑件305优选为光学玻璃用于承载产品，保证产品在测试时的平面度，另外，由于所述真空吸盘304是中空的，所述真空吸盘304上增加了光学玻璃承载产品，能够降低产品在测试过程中的上下晃动，提高了测试精度；所述产品优选为晶圆9，也可以是其他需要测试的产品。

如图1所示，本例所述真空吸盘304上设置有双路窄凹槽3041和吸盘进气口3042，所述双路窄凹槽3041为设置于所述真空吸盘304上的圆环形凹槽，在保证了吸力的情况下还有效减少了产品在真空压力下的变形；所述吸盘进气口3042对称设置于所述真空吸盘304的外侧，所述吸盘进气口3042的数量优选为四个，以便增加真空吸盘304的流量从而提高了反应速度。

如图2所示，本例所述视觉模组4包括相机保护罩401、工业相机402和相机安装板403，所述工业相机402通过所述相机安装板403设置于所述Z轴运动模组5上，所述工业相机402设置于所述相机保护罩401和相机安装板403之间，便于实现所述工业相机402的保护，所述工业相机402优选包括相机本体4021、镜头4022和光源4023，如图4所示，便于为视觉检测提供基础。

如图1和图5所示，本例所述Z轴运动模组5包括Z轴丝杠模组501和Z轴安装柱502，所述Z轴丝杠模组501通过所述Z轴安装柱502设置于所述支撑平台1上，便于实现所述视觉模组4中工业相机402的高度调节，也便于实现其安装和固定，提高产品的稳定性能和使用寿命。

本例还提供一种芯片外观自动检测机，包括了如上所述的视觉测试机构。

综上所述，本例通过真空吸附平台3的定位方式实现了产品的快速装夹，能够避免了对产品造成的损坏，并且通过XY轴运动模组、马达组件2、视觉模组4和Z轴运动模组5等组件的配合，实现了相机在短时间高频率启停运动过程中的高速飞拍，提高了视觉测试的工作效率；在此基础上，所述真空吸附平台3中真空吸盘304上设置有双路窄凹槽3041和吸盘进气口3042，能够有效减少了产品在真空压力下的变形，且通过增加吸盘的流量从而提高了其反应速度；还通过光学玻璃承载产品，降低产品在测试过程中的上下晃动，提高了测试精度。

以上所述之具体实施方式为本实用新型的较佳实施方式，并非以此限定本实用新型的具体实施范围，本实用新型的范围包括并不限于本具体实施方式，凡依照本实用新型之形状、结构所作的等效变化均在本实用新型的保护范围内。

Claims (10)

1.一种视觉测试机构，其特征在于，包括：支撑平台、XY轴运动模组、马达组件、真空吸附平台、视觉模组和Z轴运动模组，所述XY轴运动模组设置于所述支撑平台上，所述真空吸附平台通过所述马达组件设置于所述XY轴运动模组上，所述视觉模组通过所述Z轴运动模组设置于所述真空吸附平台的上方。

2.根据权利要求1所述的视觉测试机构，其特征在于，所述真空吸附平台包括背光源、真空吸盘和支撑件，所述背光源设置于所述马达组件的上方；所述真空吸盘设置于所述背光源上，并设置于所述背光源和支撑件之间。

3.根据权利要求2所述的视觉测试机构，其特征在于，所述真空吸附平台还包括气管旋转接头和马达连接座，所述马达组件通过所述气管旋转接头和马达连接座连接至所述真空吸盘。

4.根据权利要求2所述的视觉测试机构，其特征在于，所述支撑件为光学玻璃；所述真空吸盘上设置有双路窄凹槽和吸盘进气口，所述双路窄凹槽为设置于所述真空吸盘上的圆环形凹槽，所述吸盘进气口对称设置于所述真空吸盘的外侧。

5.根据权利要求1至4任意一项所述的视觉测试机构，其特征在于，所述支撑平台包括减震构件和刚性支撑平台，所述减震构件设置于所述刚性支撑平台的下方。

6.根据权利要求1至4任意一项所述的视觉测试机构，其特征在于，所述XY轴运动模组包括X轴直线模组和Y轴直线模组，所述X轴直线模组通过所述Y轴直线模组设置于所述支撑平台上。

7.根据权利要求6所述的视觉测试机构，其特征在于，所述XY轴运动模组还包括拖链，所述拖链设置于所述Y轴直线模组的一侧。

8.根据权利要求1至4任意一项所述的视觉测试机构，其特征在于，所述视觉模组包括相机保护罩、工业相机和相机安装板，所述工业相机通过所述相机安装板设置于所述Z轴运动模组上，所述工业相机设置于所述相机保护罩和相机安装板之间。

9.根据权利要求1至4任意一项所述的视觉测试机构，其特征在于，所述Z轴运动模组包括Z轴丝杠模组和Z轴安装柱，所述Z轴丝杠模组通过所述Z轴安装柱设置于所述支撑平台上。

10.一种芯片外观自动检测机，其特征在于，包括了如权利要求1至9任意一项所述的视觉测试机构。

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