CN215163074U - 辅助更换靶材工具及辅助更换靶材装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及镀膜生产设备维护技术领域，提供一种辅助更换靶材工具及辅助更换靶材装置。该辅助更换靶材工具包括支撑座、立杆、第一紧固件和支撑柱，立杆的数量为至少两个，立杆竖直安装于支撑座；第一紧固件的数量与立杆的数量一一对应，第一紧固件位置可调地固定于立杆；支撑柱水平套接立杆且支撑于第一紧固件上。本实用新型提供的辅助更换靶材工具及辅助更换靶材装置，根据阴极的旋转端头中心位置和靶材的直径，第一紧固件的位置调整至合适高度，从而保证放置在支撑柱顶部的靶材的中心位置和阴极的旋转端头中心位置位于同一水平线，解决了现有的靶材更换操作存在着换靶效率低的的技术问题，从而保证靶材对位安装的一次成功性，换靶效率高。

Description

辅助更换靶材工具及辅助更换靶材装置

技术领域

本实用新型涉及镀膜生产设备维护技术领域，尤其是涉及一种辅助更换靶材工具及辅助更换靶材装置。

背景技术

在镀膜生产中，镀膜玻璃的生产设备保养基本是换靶操作。换靶包括腔体换靶、电气机械作业及阴极盖板的保养换靶。其中，阴极盖板换靶包括计划保养和靶材更换。阴极盖板分为旋转阴极和平面阴极，本申请后续提到的阴极均为旋转阴极(即需要安装中空的圆柱形靶材的阴极)。

现有的换靶安装方式是依靠使用葫芦吊进行调整高度安装。这种安装方式十分依赖操作者的经验和判断。阴极更换靶材时常常因为靶材没有更换合格，导致靶材与阴极之间密封不好而漏气、旋转扭矩过大而卡死等设备故障，不得不返工处理，影响工作效率。

根据本申请的发明人分析，究其原因就在于阴极的旋转端头中心位置与靶材的中心位置没有在一条直线上。一根靶材重达200斤左右，即使熟练工更换靶材，也常常需要返工重新对位，新手更是困难重重，返工率更高。因此，现有的靶材更换操作存在着换靶效率低的技术问题

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种辅助更换靶材及辅助更换靶材装置，旨在解决现有的靶材更换操作存在着换靶效率低的的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种辅助更换靶材工具，包括：

支撑座；

立杆，所述立杆的数量为至少两个，所述立杆竖直安装于所述支撑座；

第一紧固件，所述第一紧固件的数量与所述立杆的数量一一对应，所述第一紧固件位置可调地固定于所述立杆；

支撑柱，所述支撑柱水平套接所述立杆且支撑于所述第一紧固件上。

在其中一个实施例中，所述第一紧固件的外周壁连接有施力杆。

在其中一个实施例中，所述立杆为丝杆，所述第一紧固件为第一螺母，所述第一螺母与所述丝杆螺纹连接。

在其中一个实施例中，所述辅助更换靶材工具还包括第二紧固件，所述第二紧固件的数量与所述立杆的数量一一对应，所述第二紧固件位置可调地固定于所述立杆，从而所述第二紧固件能与所述第一紧固件共同夹持所述支撑柱。

在其中一个实施例中，所述第二紧固件与所述立杆螺纹连接。

在其中一个实施例中，所述支撑柱的端部具有连接孔，所述辅助更换靶材工具还包括第三紧固件，所述第三紧固件的一端穿过所述连接孔后抵持所述立杆，以将所述支撑柱固定在所述立杆上。

在其中一个实施例中，所述连接孔为螺纹孔，所述第三紧固件具有与所述螺纹孔配合的外螺纹。

在其中一个实施例中，所述支撑柱的两端端部均具有所述连接孔，所述第三紧固件的数量与所述连接孔的数量一一对应。

在其中一个实施例中，所述支撑柱的顶部具有用于支撑靶材的平面。

在其中一个实施例中，所述支撑座的数量与所述立杆的数量一一对应，至少两个所述支撑座间隔分布。

本实用新型还提供一种辅助更换靶材装置，包括至少两个上述任意一项辅助更换靶材工具，至少两个所述辅助更换靶材工具并排设置。

本实用新型提供的辅助更换靶材工具及辅助更换靶材装置的有益效果是：根据阴极的旋转端头中心位置和靶材的直径，第一紧固件的位置调整至合适高度，从而保证放置在支撑柱顶部的靶材的中心位置和阴极的旋转端头中心位置位于同一水平线，解决了现有的靶材更换操作存在着换靶效率低的的技术问题，从而保证靶材对位安装的一次成功性，无需返工，换靶效率高。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的辅助更换靶材工具的外观示意图；

图2为图1中的辅助更换靶材工具的结构示意图；

图3为图2中的辅助更换靶材工具的局部剖视图；

图4为图3中的A处放大图。

其中，图中各附图标记：

100—支撑座，200—立杆，300—第一紧固件，310—施力杆，400—支撑柱，410—连接孔，500—第二紧固件，600—第三紧固件。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参考图1和图2，一种辅助更换靶材工具，包括支撑座100、立杆200、第一紧固件300和支撑柱400，立杆200的数量为至少两个，立杆200竖直安装于支撑座100。第一紧固件300的数量与立杆200的数量一一对应，第一紧固件300位置可调地固定于立杆200。支撑柱400水平套接立杆200且支撑于第一紧固件300上。

本实用新型提供的辅助更换靶材工具的有益效果是，根据阴极的旋转端头中心位置和靶材的直径，第一紧固件300的位置调整至合适高度，从而保证放置在支撑柱400顶部的靶材的中心位置和阴极的旋转端头中心位置位于同一水平线，进而使得靶材与阴极之间密封良好、不会出现旋转扭矩过大卡死等设备故障，无需多次返工，解决了现有的靶材更换操作存在着换靶效率低的的技术问题，从而保证靶材对位安装的一次成功性，换靶效率高。

此外，上述辅助更换靶材工具操作简单，无需依赖熟练工的经验和判断，有利于推广使用，降低换靶难度。

具体操作是，工作人员换靶前，测量阴极的旋转端头中心位置的高度H，测量靶材直径D，测量支撑柱400的材料厚度L，把第一紧固件300调整至高度为

则把直径为D的靶材放置在材料厚度为L的支撑柱400上，靶材的中心位置自然和阴极的旋转端头中心位置位于同一水平线。

在其中一个实施例中，请参考图2，第一紧固件300的外周壁连接有施力杆310。施力杆310的设置，能够增加拧转第一紧固件300的力臂，从而节省操作人员的力气，省力地拧转第一紧固件300，提高换靶效率。

在其中一个实施例中，可结合图1，立杆200为丝杆，第一紧固件300为第一螺母，第一螺母与丝杆螺纹连接。如此，第一螺母通过与丝杆螺纹连接，从而实现位置可调地安装在丝杆上。

可以理解，在其他实施例中，第一紧固件300还可以通过其他方式实现位置可调地安装在立杆200上。

比如，立杆200具有沿立杆200的高度方向延伸的安装槽，第一紧固件300滑动安装于安装槽内，当第一紧固件300滑动至合适位置时，第一紧固件300通过锁扣或其他固定方式固定在安装槽内，实现位置可调地固定安装于立杆200上。

再比如，立杆200和第一紧固件300之间通过滑块滑轨配合关系，实现位置调整，当第一紧固件300滑动至合适位置时，第一紧固件300通过锁扣或其他固定方式固定在立杆200上。

再比如，第一紧固件300放置在立杆200的合适位置后，第一紧固件300通过电磁吸附方式固定在立杆200上。

在其中一个实施例中，请参考图1和图2，辅助更换靶材工具还包括第二紧固件500，第二紧固件500的数量与立杆200的数量一一对应，第二紧固件500位置可调地固定于立杆200，从而第二紧固件500能与第一紧固件300共同夹持支撑柱400，进一步保证支撑柱400的稳定，便于有力地、稳定地支撑位于支撑柱400顶部的重达200斤的靶材，保证靶材的一次安装成功性。

可选地，第二紧固件500与立杆200螺纹连接。此时，立杆200为丝杆，第二紧固件500为第二螺母。

可以理解，在其他实施例中，第二紧固件500还可以通过其他方式位置可调地可拆卸安装于立杆200上。

比如，立杆200具有沿立杆200的高度方向延伸的安装槽，第二紧固件500滑动安装于安装槽内，当第二紧固件500滑动至合适位置时，第二紧固件500通过锁扣或其他固定方式固定在安装槽内，实现位置可调地固定安装于立杆200上。

再比如，立杆200和第二紧固件500之间通过滑块滑轨配合关系，实现位置调整，当第二紧固件500滑动至合适位置时，第二紧固件500通过锁扣或其他固定方式固定在立杆200上。

再比如，第二紧固件500放置在立杆200的合适位置后，第二紧固件500通过电磁吸附方式固定在立杆200上。

在其中一个实施例中，请参考图2和图3，支撑柱400的端部具有连接孔410，辅助更换靶材工具还包括第三紧固件600，第三紧固件600的一端穿过连接孔410后抵持立杆200，以将支撑柱400固定在立杆200上。由于靶材重达200斤，第三紧固件600从支撑柱400的端部支撑支撑柱400，使得支撑柱400更加固定在立杆200上，从而支撑柱400能够有力地支撑靶材。

具体地，请参考图3和图4，连接孔410为螺纹孔，第三紧固件600具有与螺纹孔配合的外螺纹。

可选地，第三紧固件600为顶丝。

具体地，请参考图3和图4，支撑柱400的两端端部均具有连接孔410，第三紧固件600的数量与连接孔410的数量一一对应。如此，两个第三紧固件600从支撑柱400的两端支撑支撑柱400。

在其中一个实施例中，请参考图1和图2，支撑柱400的顶部具有用于支撑靶材的平面。平面的设置便于增加支撑柱400与靶材之间的接触面积，从而支撑柱400能够稳定地支撑靶材，便于靶材位置稳定地进行对位安装，提高换靶的精准性和效率。

在上述实施例中，至少两个立柱间隔分布。一个支撑柱400同时支撑于两个以上第一紧固件300上，能够保证支撑柱400位置稳定，进而保证靶材位置稳定、对位精准。

在上述实施例中，请参考图1和图2，支撑座100的数量与立杆200的数量一一对应，至少两个支撑座100间隔分布。如此，每个支撑座100只需支撑一个立杆200，支撑座100的体积可以减小，便于减轻支撑座100的重量、减小支撑座100的体积。

本实用新型还提供一种辅助更换靶材装置，包括至少两个上述任意一项辅助更换靶材工具，至少两个辅助更换靶材工具并排设置。

如此，一个靶材能够同时横跨放置在至少两个辅助更换靶材工具的支撑柱400上，靶材无需额外人力支撑，位置更加稳定。靶材放置在支撑柱400上，靶材的中心位置和阴极的旋转端头中心位置位于同一水平线，进而使得靶材与阴极之间密封良好、不会出现旋转扭矩过大卡死等设备故障，解决了现有的靶材更换操作存在着换靶效率低的的技术问题，从而保证靶材对位安装的一次成功性，无需返工，换靶效率高。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种辅助更换靶材工具，其特征在于，包括：

支撑座；

立杆，所述立杆的数量为至少两个，所述立杆竖直安装于所述支撑座；

第一紧固件，所述第一紧固件的数量与所述立杆的数量一一对应，所述第一紧固件位置可调地固定于所述立杆；

支撑柱，所述支撑柱水平套接所述立杆且支撑于所述第一紧固件上。

2.根据权利要求1所述的辅助更换靶材工具，其特征在于：所述第一紧固件的外周壁连接有施力杆。

3.根据权利要求1所述的辅助更换靶材工具，其特征在于：所述立杆为丝杆，所述第一紧固件为第一螺母，所述第一螺母与所述丝杆螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的辅助更换靶材工具，其特征在于：所述辅助更换靶材工具还包括第二紧固件，所述第二紧固件的数量与所述立杆的数量一一对应，所述第二紧固件位置可调地固定于所述立杆，从而所述第二紧固件能与所述第一紧固件共同夹持所述支撑柱。

5.根据权利要求4所述的辅助更换靶材工具，其特征在于：所述第二紧固件与所述立杆螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的辅助更换靶材工具，其特征在于：所述支撑柱的端部具有连接孔，所述辅助更换靶材工具还包括第三紧固件，所述第三紧固件的一端穿过所述连接孔后抵持所述立杆，以将所述支撑柱固定在所述立杆上。

7.根据权利要求6所述的辅助更换靶材工具，其特征在于：所述连接孔为螺纹孔，所述第三紧固件具有与所述螺纹孔配合的外螺纹。

8.根据权利要求1所述的辅助更换靶材工具，其特征在于：所述支撑柱的顶部具有用于支撑靶材的平面。

9.根据权利要求1至8任意一项所述的辅助更换靶材工具，其特征在于：所述支撑座的数量与所述立杆的数量一一对应，至少两个所述支撑座间隔分布。

10.一种辅助更换靶材装置，其特征在于：包括至少两个权利要求1至9任意一项辅助更换靶材工具，至少两个所述辅助更换靶材工具并排设置。

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