CN216694864U - 一种用于硅芯安装的测量校验装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及多晶硅生产设备技术领域，尤其涉及一种用于硅芯安装的测量校验装置，其包括:支撑构件、调节构件、激光发射构件一和激光发射构件二；支撑构件包括：下支撑部和侧支撑部；侧支撑部与下支撑部连接；下支撑部上具有卡槽；在卡槽上具有半圆形的槽底；两个卡槽对称设置；调节构件与支撑构件的相对位置能够调节；激光发射构件一设在下支撑部上，位于两个卡槽的对称面上，且在两个槽底的圆心连线上；激光发射构件二设在侧支撑部上；两个激光发射构件二与两个卡槽一一对应设置；激光发射构件二的激光发射方向所在的平面与激光发射构件一的激光发射方向所在的平面相互垂直。采用本实用新型能够提高硅芯的安装效率和安装的精确度。

Description

一种用于硅芯安装的测量校验装置

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产设备技术领域，尤其涉及一种用于硅芯安装的测量校验装置。

背景技术

在通过西门子法生产多晶硅时，需要将硅芯通过石墨夹头固定在还原炉内的电极头上；为了使硅芯在长成硅棒的过程中，不发生接地事故停炉，需要保持硅芯与硅芯之间、硅芯与还原炉的炉筒内壁之间具有足够的间隙。为了达到这一目的，需要在硅芯安装时，保证硅芯的垂直度。

目前，对硅芯垂直度的检测主要是依靠人肉眼观察、铅锤线检查和激光水平仪检查完成。由于肉眼观察的准确度极低，硅芯的安装质量得不到有效保证。铅垂线检查容易带来对硅芯的污染，甚至会碰倒硅芯；激光水平仪检查需要不断移动调整水平仪的位置，校正仪器的状态，操作时间长，并且，需要两台以上的激光水平仪配合角度检测，操作难度大，效率低。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种用于硅芯安装的测量校验装置，主要目的在于提高硅芯的安装效率和安装的精确度。

为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：

本实用新型的实施例提供一种用于硅芯安装的测量校验装置，包括:支撑构件、调节构件、激光发射构件一和激光发射构件二；

所述支撑构件包括：下支撑部和侧支撑部；

所述侧支撑部与所述下支撑部固定连接；

所述下支撑部上具有卡槽；所述卡槽水平设置；所述卡槽的开口位于所述下支撑部上远离所述侧支撑部的一端；在所述卡槽上与所述开口相对的另一端具有半圆形的槽底；

所述卡槽为两个；两个所述卡槽位于所述下支撑部的同一侧；两个所述卡槽具有预定距离，且相互平行；两个所述卡槽对称设置；

所述调节构件设置在所述支撑构件上，用于支撑所述支撑构件；所述调节构件与所述支撑构件的相对位置能够调节，以调节所述支撑构件的状态；

所述激光发射构件一设置在所述下支撑部上，位于两个所述卡槽的对称面上，且在两个所述槽底的圆心连线上；

所述激光发射构件一的激光发射方向位于两个所述槽底的轴线所在的平面上；

所述激光发射构件二设置在所述侧支撑部上，位于所述槽底的一侧；

所述激光发射构件二为两个；两个所述激光发射构件二与两个所述卡槽一一对应设置；

所述激光发射构件二的中心线与对应的所述卡槽的中心线位于同一平面上；

所述激光发射构件二的激光发射方向与所述槽底的轴线位于同一平面；所述激光发射构件二的激光发射方向所在的平面与所述激光发射构件一的激光发射方向所在的平面相互垂直。

进一步地，所述调节构件为多个；多个所述调节构件间隔地支撑在所述支撑构件的下部。

进一步地，所述调节构件与所述支撑构件通过螺纹连接，以控制所述调节构件与所述支撑构件的相对位置。

进一步地，所述支撑构件上设置有水平仪。

进一步地，所述水平仪为两个；两个所述水平仪设置在所述下支撑部上；两个所述水平仪垂直分布。

进一步地，所述下支撑部为板状结构；

所述侧支撑部为板状结构；所述侧支撑部固定在所述下支撑部的一端，与所述下支撑部的夹角为45°～60°。

进一步地，所述下支撑部和所述侧支撑部一体化设置。

进一步地，所述支撑构件为不锈钢材质。

借由上述技术方案，本实用新型用于硅芯安装的测量校验装置至少具有下列优点：

能够提高硅芯的安装效率和安装的精确度。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的一种用于硅芯安装的测量校验装置的俯视示意图；

图2为本实用新型实施例提供的一种用于硅芯安装的测量校验装置的主视示意图；

图3为本实用新型实施例提供的一种用于硅芯安装的测量校验装置的侧视示意图。

图中所示：

1为支撑构件，1-1为下支撑部，1-2为侧支撑部，1-3为卡槽，1-31为槽底，2为激光发射构件一，3为激光发射构件二，4为调节构件。

具体实施方式

为更进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型申请的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。在下述说明中，不同的“一实施例”或“实施例”指的不一定是同一实施例。此外，一或多个实施例中的特定特征、结构、或特点可由任何合适形式组合。

如图1至图3所示，本实用新型的一个实施例提出的一种用于硅芯安装的测量校验装置，包括:支撑构件1、调节构件4、激光发射构件一2和激光发射构件二3；

支撑构件1包括：下支撑部1-1和侧支撑部1-2；侧支撑部1-2与下支撑部1-1固定连接；本实施例优选，下支撑部1-1为板状结构；侧支撑部1-2为板状结构；侧支撑部1-2固定在下支撑部1-1的一端，与下支撑部1-1的夹角为45°～60°，以利于对激光发射构件一2和激光发射构件二3进行支撑的定位。进一步优选，下支撑部1-1和侧支撑部1-2一体化设置，以方便加工，且结构可靠。进一步优选，支撑构件1为不锈钢材质，耐腐蚀，不易对硅芯造成污染。

下支撑部1-1上具有卡槽1-3；卡槽1-3水平设置；卡槽1-3的开口位于下支撑部1-1上远离侧支撑部1-2的一端；在卡槽1-3上与开口相对的另一端具有半圆形的槽底1-31；卡槽1-3的槽底1-31用于卡接电极头，与电极头圆环面接触定位。通过卡槽1-3的开口卡入电极头，再通过半圆形的槽底1-31与电极头接触进行定位。卡槽1-3为两个；两个卡槽1-3位于下支撑部1-1的同一侧；两个卡槽1-3具有预定距离，且相互平行；两个卡槽1-3对称设置；两个卡槽1-3分别对应于两个电极头；卡槽1-3的距离可以根据电极头的距离确定。

调节构件4设置在支撑构件1上，用于支撑支撑构件1；调节构件4与支撑构件1的相对位置能够调节，以调节支撑构件1的状态；本实施例优选，调节构件4为多个；多个调节构件4间隔地支撑在支撑构件1的下部，以便于在还原炉内对支撑构件1形成稳定支撑，保持支撑构件1的水平位置。进一步优选，调节构件4与支撑构件1通过螺纹连接，以控制调节构件4与支撑构件1的相对位置，可以适量调节支撑构件1的角度。进一步优选，支撑构件1上设置有水平仪，以便于操作人员观察支撑构件1的状态；更进一步优选，水平仪为两个；两个水平仪设置在下支撑部1-1上；两个水平仪垂直分布，以分别测量支撑构件1两个方向的水平状态，以利于操作人员观察。

激光发射构件一2设置在下支撑部1-1上，位于两个卡槽1-3的对称面上，且在两个槽底1-31的圆心连线上；激光发射构件一2的激光发射方向位于两个槽底1-31的轴线所在的平面上，以在两个硅芯的中间检测硅芯的垂直度。

激光发射构件二3设置在侧支撑部1-2上，位于槽底1-31的一侧；激光发射构件二3为两个；两个激光发射构件二3与两个卡槽1-3一一对应设置；激光发射构件二3的中心线与对应的卡槽1-3的中心线位于同一平面上；激光发射构件二3的激光发射方向与槽底1-31的轴线位于同一平面；激光发射构件二3的激光发射方向所在的平面与激光发射构件一2的激光发射方向所在的平面相互垂直。激光发射构件一2与激光发射构件二3从不同的方向检测硅芯的垂直状态。

本实用新型的一个实施例提出的一种用于硅芯安装的测量校验装置，能够快速、准确地检测硅芯垂直状态，提高硅芯的安装效率和安装的精确度。

进一步说明，虽然术语第一、第二等在本文中可以用于描述各种元件，但是这些术语不应该限制这些元件。这些术语仅用于区别一个元件与另一元件。例如，第一元件可以被称为第二元件，并且，类似地，第二元件可以被称为第一元件，这些术语仅用于区别一个元件与另一元件。这没有脱离示例性实施例的范围。类似地，元件一、元件二也不代表元件的顺序，这些术语仅用于区别一个元件与另一元件。如本文所用，术语“和/或”包括一个或多个相关联的列出项目的任意结合和所有结合。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

本实用新型使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中，常规的型号，加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式，在此不再详述。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。

Claims (8)

1.一种用于硅芯安装的测量校验装置，其特征在于，包括:支撑构件、调节构件、激光发射构件一和激光发射构件二；

所述支撑构件包括：下支撑部和侧支撑部；

所述侧支撑部与所述下支撑部固定连接；

所述下支撑部上具有卡槽；所述卡槽水平设置；所述卡槽的开口位于所述下支撑部上远离所述侧支撑部的一端；在所述卡槽上与所述开口相对的另一端具有半圆形的槽底；

所述卡槽为两个；两个所述卡槽位于所述下支撑部的同一侧；两个所述卡槽具有预定距离，且相互平行；两个所述卡槽对称设置；

所述调节构件设置在所述支撑构件上，用于支撑所述支撑构件；所述调节构件与所述支撑构件的相对位置能够调节，以调节所述支撑构件的状态；

所述激光发射构件一设置在所述下支撑部上，位于两个所述卡槽的对称面上，且在两个所述槽底的圆心连线上；

所述激光发射构件一的激光发射方向位于两个所述槽底的轴线所在的平面上；

所述激光发射构件二设置在所述侧支撑部上，位于所述槽底的一侧；

所述激光发射构件二为两个；两个所述激光发射构件二与两个所述卡槽一一对应设置；

所述激光发射构件二的中心线与对应的所述卡槽的中心线位于同一平面上；

所述激光发射构件二的激光发射方向与所述槽底的轴线位于同一平面；所述激光发射构件二的激光发射方向所在的平面与所述激光发射构件一的激光发射方向所在的平面相互垂直。

2.根据权利要求1所述的用于硅芯安装的测量校验装置，其特征在于，

所述调节构件为多个；多个所述调节构件间隔地支撑在所述支撑构件的下部。

3.根据权利要求2所述的用于硅芯安装的测量校验装置，其特征在于，

所述调节构件与所述支撑构件通过螺纹连接，以控制所述调节构件与所述支撑构件的相对位置。

4.根据权利要求3所述的用于硅芯安装的测量校验装置，其特征在于，

所述支撑构件上设置有水平仪。

5.根据权利要求4所述的用于硅芯安装的测量校验装置，其特征在于，

所述水平仪为两个；两个所述水平仪设置在所述下支撑部上；两个所述水平仪垂直分布。

6.根据权利要求1所述的用于硅芯安装的测量校验装置，其特征在于，

所述下支撑部为板状结构；

所述侧支撑部为板状结构；所述侧支撑部固定在所述下支撑部的一端，与所述下支撑部的夹角为45°～60°。

7.根据权利要求6所述的用于硅芯安装的测量校验装置，其特征在于，

所述下支撑部和所述侧支撑部一体化设置。

8.根据权利要求7所述的用于硅芯安装的测量校验装置，其特征在于，

所述支撑构件为不锈钢材质。

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