CN215137865U

CN215137865U - 工艺炉尾气处理装置

Info

Publication number: CN215137865U
Application number: CN202121629555.4U
Authority: CN
Inventors: 陈庆敏; 张海洋; 张旭冉
Original assignee: Wuxi Songyu Technology Co ltd
Current assignee: Wuxi Songyu Technology Co ltd
Priority date: 2021-07-16
Filing date: 2021-07-16
Publication date: 2021-12-14
Anticipated expiration: 2031-07-16

Abstract

本实用新型公开了一种工艺炉尾气处理装置，至少包括过滤瓶，过滤瓶的主体为一个中空的过滤瓶体，在过滤瓶体的腰部缠绕设有盘管结构，盘管结构的始端为进气端，盘管结构的末端与过滤瓶体连通，过滤瓶体内设置层间隔板，隔板上形成有过滤网，过滤瓶体的顶部设置有向外伸出的排气管道。过滤瓶的盘管结构可增加尾气处理行程，让尾气中的可反应化学物质充分反应，并作一级冷却，使尾气与空气进行更多的热交换。过滤瓶内的过滤网将尾气中的颗粒状或者絮状反应物过滤，同时隔板上的小气孔有利于热空气经过时被均匀散开，冷热交换降低尾气温度，有效保护后端抽气装置的使用寿命以及保障工作环境的安全，降低了维护周期，提高生产效率，降低生产成本。

Description

工艺炉尾气处理装置

技术领域

本实用新型涉及光伏电池工艺炉领域，尤其是一种工艺炉尾气处理装置。

背景技术

晶硅太阳能电池具有良好的工艺稳定性以及成熟的工艺流程，已经大规模应用于能源行业。随着工艺技术的发展，N型晶硅电池以其效率高，性价比高的优势，越来越受到市场的重视。其中，扩散工艺是太阳能电池制备过程中的一个核心工序，即硅片以石英舟为载体放入扩散炉中，在一定温度下向扩散炉内通入氮气和扩散源，以使硅片的表面扩散沉积PN结。扩散工艺在反应过程中会产生一些副产物，需要从尾气管排出，进入废气塔处理。现有技术中尾气在排出时尾气处理装置冷却路径较短，其利用水作为过滤介质对尾气进行过滤，但实际效果并不理想。由于硼扩散工艺温度高（900-1100摄氏度），目前硼扩散炉存在尾气管路维护周期短、易损坏导致运行成本高等问题。

实用新型内容

本申请人针对上述现有工艺炉尾气处理装置冷却路径较短、过滤效果不理想造成尾气管路易损坏等缺点，提供了一种结构合理的工艺炉尾气处理装置，能够在不影响主体结构的情况下，通过增加石英部件的方式，降低尾气废气温度，有效过滤尾气中的杂质，防止堵塞真空泵和压力传感器等设备。

本实用新型所采用的技术方案如下：

一种工艺炉尾气处理装置，至少包括过滤瓶，过滤瓶的主体为一个中空的过滤瓶体，在过滤瓶体的腰部缠绕设有盘管结构，盘管结构的始端为进气端，盘管结构的末端与过滤瓶体连通，过滤瓶体内设置层间隔板，层间隔板上形成有过滤网，过滤瓶体的顶部设置有向外伸出的排气管道。

作为上述技术方案的进一步改进：

盘管结构在过滤瓶体上的管道呈螺旋状结构，盘绕在过滤瓶体上至少一周，气体经过盘管结构进入过滤瓶体内部。

所述过滤网的区域为正多边形或者圆形。

层间隔板将过滤瓶体的内腔分隔成上下两层，通过过滤网上下连通。

过滤瓶内还设有可拆卸的滤芯，用于过滤气体中的有害物质。

还包括与过滤瓶连接的冷却瓶，冷却瓶的主体为一个冷却瓶体，内部为腔室结构，腔室内注入冷却液，顶部设有上端盖，上端盖上设有进气管和出气管，冷却瓶体内设置有储气罐，储气罐分别连接进气管和出气管。

上端盖在进气管和出气管之外的区域开设有注水口，通过注水口向腔室内注入冷却液。

储气罐填充嵌置在冷却瓶体的腔室壁上或者作为冷却瓶体的腔室壁的一部分，将冷却瓶分隔成上下两个空间。

进气管伸入冷却瓶体内的形状为螺旋形或蛇形，下端连接储气罐的进气口，出气管伸入冷却瓶体内的形状为螺旋形或蛇形，出气管的下端连接储气罐的出气口。

冷却瓶的进气管向外与过滤瓶的排气管道连通，冷却瓶的出气管向外与后端抽气装置连通。

本实用新型的有益效果如下：

在本实用新型中，过滤瓶的盘管结构可增加尾气处理行程，让尾气中的可反应化学物质充分反应，并作一级冷却，使尾气与空气进行更多的热交换。过滤瓶内的过滤网将尾气中的颗粒状或者絮状反应物过滤，同时隔板上的小气孔有利于热空气经过时被均匀散开，冷热交换降低尾气温度，有效的保护了后端抽气装置的使用寿命以及保障工作环境的安全，降低了维护周期，提高生产效率，降低生产成本。冷却瓶采用弯曲管道的进气管和出气管以及储气罐，冷却液在冷却瓶内储存在进气管和出气管的周围，对管内的气体进行充分冷却，形成二级冷却。整套设备的冷却路径长，叠加效果更佳。本实用新型可在不影响主体结构的情况下，通过增加石英部件的方式实现，具有良好的适用性。

附图说明

图1为本实用新型过滤瓶的示意图。

图2为图1的左视图。

图3为图1中A-A截面的剖视图。

图4为本实用新型冷却瓶的示意图。

图5为图4的左视图。

图6为图4的俯视图。

图7为本实用新型在工作状态时的示意图。

图中：10、过滤瓶；11、过滤瓶体；12、盘管结构；13、隔板；14、排气管道；20、冷却瓶；21、冷却瓶体；22、进气管；23、出气管；24、注水口；25、储气罐；30、扩散炉；40、真空泵过滤器；50、真空泵。

具体实施方式

下面结合附图，说明本实用新型的具体实施方式。

如图1至图7所示，本实用新型所述的工艺炉尾气处理装置包括过滤瓶10和冷却瓶20，均优选为采用石英材质制成的石英部件，过滤瓶10和冷却瓶20含有的管路连接采用聚四氟乙烯密封件。过滤瓶10的主体为一个中空的过滤瓶体11，在瓶体的腰部缠绕设有盘管结构12，盘管结构12的始端为进气端，进气端与扩散炉30炉体通过石英管连通。盘管结构12在过滤瓶体11上的管道呈螺旋状结构，盘绕在过滤瓶体11上至少一周，盘管结构12的末端与过滤瓶体11连通，气体经过盘管结构12由炉体流通到过滤瓶体11内部。过滤瓶体11内为中空的腔体，在过滤瓶体11上下方向的中间位置设置层间隔板13，隔板13上开设有若干均匀分布的小气孔形成过滤网，所述小气孔均匀分布的区域为正多边形或者圆形。层间隔板13将过滤瓶体11的内腔分隔成上下两层，通过小气孔上下连通。过滤瓶体11的顶部设置有向外伸出的排气管道14。气体经过螺旋状的盘管结构12进行冷却作用，在过滤瓶体11内的层间隔板13处进行过滤。过滤瓶10采用盘管结构12可以增加尾气处理行程，让尾气中的可反应化学物质充分反应，并作一级冷却。过滤瓶10内还设有可拆卸的滤芯，用于过滤气体中的有害物质，保护真空泵50。

冷却瓶20的主体为一个冷却瓶体21，冷却瓶体21的外形呈圆筒状结构，内部为腔室结构，顶部设有上端盖，上端盖上设有一进一出的进气管22和出气管23，在进气管22和出气管23之外的区域开设有弓形口的注水口24，通过注水口24向腔室内注入冷却液。冷却瓶20内设置有储气罐25，储气罐25填充嵌置在冷却瓶体21的腔室壁上或者作为冷却瓶体21的腔室壁的一部分，从而将冷却瓶20分隔成上下两个空间。进气管22伸入冷却瓶体21内的形状为螺旋形或蛇形，下端连接储气罐25的进气口，出气管23伸入冷却瓶体21内的形状为螺旋形或蛇形，出气管23的下端连接储气罐25的出气口。冷却瓶20的进气管22向外与过滤瓶10的排气管道14连通，冷却瓶20的出气管23向外与后端抽气装置连通。冷却液通过注水口24注入到冷却瓶20内，并储存在弯曲的进气管22和出气管23的周围，对管内的气体进行充分冷却。冷却液优选为冷却水。

如图7所示，本实用新型在实施时，先安装本实用新型工艺炉尾气处理装置的过滤瓶10和冷却瓶20，过滤瓶10上盘管结构12的进气端使用管道与扩散炉30炉尾出气处连接，过滤瓶10内部干燥，将过滤瓶10顶端的排气管道14与冷却瓶20上的进气管22连接，冷却瓶20上的出气管23使用管道与后端的抽气装置连接，抽气装置至少包括真空泵过滤器40和真空泵50。即在工艺炉炉尾和后端抽气装置之间通过本实用新型的过滤瓶10和冷却瓶20连接成一个气流通道。在冷却瓶20的腔室结构中通过注水口24注入冷却液，检查整套设备的气密封情况后进行使用。工艺炉排出的尾气通过过滤瓶10和冷却瓶20进行过滤和充分冷却后，进入后端排出。

本实用新型还进行了实际试验，得出对比使用的试验数据如下表1。试验表明，本实用新型具有良好的使用效果，明显改善了现有技术不良的使用状况。

表1 使用尾气处理装置前后数据

对比组	真空泵过滤器滤芯更换周期	真空泵无异常使用周期
			不使用尾气处理装置	10 天	14 天
仅使用一级过滤瓶	15 天	16 天
			使用尾气处理装置	30 天	60 天以上

以上描述是对本实用新型的解释，不是对实用新型的限定，在不违背本实用新型精神的情况下，本实用新型可以作任何形式的修改。

Claims

1.一种工艺炉尾气处理装置，其特征在于：至少包括过滤瓶（10），过滤瓶（10）的主体为一个中空的过滤瓶体（11），在过滤瓶体（11）的腰部缠绕设有盘管结构（12），盘管结构（12）的始端为进气端，盘管结构（12）的末端与过滤瓶体（11）连通，过滤瓶体（11）内设置层间隔板（13），层间隔板（13）上形成有过滤网，过滤瓶体（11）的顶部设置有向外伸出的排气管道（14）。

2.根据权利要求1所述的工艺炉尾气处理装置，其特征在于：盘管结构（12）在过滤瓶体（11）上的管道呈螺旋状结构，盘绕在过滤瓶体（11）上至少一周，气体经过盘管结构（12）进入过滤瓶体（11）内部。

3.根据权利要求1所述的工艺炉尾气处理装置，其特征在于：所述过滤网的区域为正多边形或者圆形。

4.根据权利要求1所述的工艺炉尾气处理装置，其特征在于：层间隔板（13）将过滤瓶体（11）的内腔分隔成上下两层，通过过滤网上下连通。

5.根据权利要求1所述的工艺炉尾气处理装置，其特征在于：过滤瓶（10）内还设有可拆卸的滤芯，用于过滤气体中的有害物质。

6.根据权利要求1所述的工艺炉尾气处理装置，其特征在于：还包括与过滤瓶（10）连接的冷却瓶（20），冷却瓶（20）的主体为一个冷却瓶体（21），内部为腔室结构，腔室内注入冷却液，顶部设有上端盖，上端盖上设有进气管（22）和出气管（23），冷却瓶体（21）内设置有储气罐（25），储气罐（25）分别连接进气管（22）和出气管（23）。

7.根据权利要求6所述的工艺炉尾气处理装置，其特征在于：上端盖在进气管（22）和出气管（23）之外的区域开设有注水口（24），通过注水口（24）向腔室内注入冷却液。

8.根据权利要求6所述的工艺炉尾气处理装置，其特征在于：储气罐（25）填充嵌置在冷却瓶体（21）的腔室壁上或者作为冷却瓶体（21）的腔室壁的一部分，将冷却瓶（20）分隔成上下两个空间。

9.根据权利要求6所述的工艺炉尾气处理装置，其特征在于：进气管（22）伸入冷却瓶体（21）内的形状为螺旋形或蛇形，下端连接储气罐（25）的进气口，出气管（23）伸入冷却瓶体（21）内的形状为螺旋形或蛇形，出气管（23）的下端连接储气罐（25）的出气口。

10.根据权利要求6所述的工艺炉尾气处理装置，其特征在于：冷却瓶（20）的进气管（22）向外与过滤瓶（10）的排气管道（14）连通，冷却瓶（20）的出气管（23）向外与后端抽气装置连通。