CN215103488U

CN215103488U - 一种真空镀膜机清洗装置

Info

Publication number: CN215103488U
Application number: CN202121268437.5U
Authority: CN
Inventors: 袁旭庆
Original assignee: Fujian Guotai Photoelectric Equipment Co ltd
Current assignee: Fujian Guotai Photoelectric Equipment Co ltd
Priority date: 2021-06-08
Filing date: 2021-06-08
Publication date: 2021-12-10
Anticipated expiration: 2031-06-08

Abstract

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，且公开了一种真空镀膜机清洗装置，包括底座、U形框、旋转组件、转动箱、顶板和喷头，所述U形框设置在底座的顶部且其内底壁设置有转动箱，所述旋转组件设置在底座的底部且其顶部延伸至U形框内部且与转动箱相连接。该真空镀膜机清洗装置，通过转动蜗杆使得蜗轮转动进而带动第一螺纹杆转动，使得滚轮向下移动推动左右两个楔形板相背移动，从而调节了左右两个固定板之间的距离，方便对不同直径大小的镀膜机进行固定，通过正反转电机旋转带动拉绳拉动活动块移动，方便根据镀膜机的大小调节左右两个清理刷之间的距离，灵活且便利，有利于提高清洗装置的清洗效率。

Description

一种真空镀膜机清洗装置

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种真空镀膜机清洗装置。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延和PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。

真空镀膜机在长时间将使用后需要对其进行清洗，但现有的清洗装置存在不足之处，例如只能对单一大小的镀膜机进行清洗，不能根据不同直径大小的镀膜机进行调节式的清洗，灵活性较差，为解决上述问题故而提出一种真空镀膜机清洗装置。

实用新型内容

（一）解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种真空镀膜机清洗装置，具备方便根据不同直径大小镀膜机进行调节清洗的优点，解决了现有的清洗装置存在不足之处，例如只能对单一大小的镀膜机进行清洗，不能根据不同直径大小的镀膜机进行调节式的清洗，灵活性较差的问题。

（二）技术方案

为实现上述方便根据不同直径大小镀膜机进行调节清洗的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空镀膜机清洗装置，包括底座、U形框、旋转组件、转动箱、顶板和喷头，所述U形框设置在底座的顶部且其内底壁设置有转动箱，所述旋转组件设置在底座的底部且其顶部延伸至U形框内部且与转动箱的底部相连接，所述转动箱的内壁上下两侧之间设置有推动组件，所述转动箱的内底壁设置有数量为两个且分别位于推动组件左右两侧且与推动组件连接的固定组件，所述U形框的顶部左侧设置有一端与其顶部右侧连接的顶板，所述顶板的顶部设置有一端贯穿顶板并延伸至U形框内部且与U形框的内壁左右两侧连接的移动组件，所述移动组件位于U形框内部一端的前侧设置有罩壳，所述罩壳的内壁上下两侧之间设置有一端延伸至延伸至其底部的清理组件。

优选的，所述底座的底部左右两侧均固定安装有支撑柱，所述旋转组件包括旋转电机，所述底座的底部固定安装有位于左右两个支撑柱之间的旋转电机，所述旋转电机的输出轴处固定安装有一端延伸至U形框内部且与转动箱活动连接的旋转杆。

优选的，所述推动组件包括第一螺纹杆，所述转动箱的内壁上下两侧之间活动安装有第一螺纹杆，所述转动箱的内壁左侧活动安装有位于第一螺纹杆后侧且一端延伸至转动箱右侧的蜗杆，所述第一螺纹杆的外部套接有与第一螺纹杆相啮合的蜗轮，所述第一螺纹杆的外部螺纹安装有位于蜗轮上方的螺纹套筒，所述螺纹套筒的左右两侧均固定安装有滚轮。

优选的，所述固定组件包括楔形板，所述转动箱的内底壁活动安装有数量为两个且分别位于第一螺纹杆左右两侧且与滚轮滑动连接的楔形板，所述楔形板的顶部固定安装有一端延伸至转动箱顶部的固定板，左右两个所述固定板相背的一侧与转动箱的内壁之间均固定安装有压缩弹簧。

优选的，所述移动组件包括伺服电机，所述顶板的顶部固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出轴处固定安装有一端贯穿顶板并延伸至U形框内部第二螺纹杆，所述第二螺纹杆位于U形框内部一端的外部螺纹安装有移动板，所述移动板的左右两侧均固定安装有一端分别与U形框的内壁左右两侧活动连接的滑动杆。

优选的，所述清理组件包括正反转电机，所述罩壳的内顶壁固定安装有正反转电机，所述正反转电机的输出轴处固定安装有一端与罩壳的内底壁固定连接的转动杆，所述罩壳的内壁上下两侧之间活动安装有数量为两个且分别位于转动杆左右两侧的活动块，所述转动杆的外部活动安装有数量为两个且分别与左右两个活动块活动连接的拉绳，左右两个所述活动块相背的一侧和罩壳的内壁之间均固定安装有复位弹簧，所述活动块的底部固安装有一端延伸至罩壳底部的清理刷。

优选的，所述U形框的内底壁开设有与转动箱底部相适配的环形槽。

（三）有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种真空镀膜机清洗装置，具备以下有益效果：

该真空镀膜机清洗装置，通过转动蜗杆使得蜗轮转动进而带动第一螺纹杆转动，使得滚轮向下移动推动左右两个楔形板相背移动，从而调节了左右两个固定板之间的距离，方便对不同直径大小的镀膜机进行固定，通过正反转电机旋转带动拉绳拉动活动块移动，方便根据镀膜机的大小调节左右两个清理刷之间的距离，灵活且便利，有利于提高清洗装置的清洗效率。

附图说明

图1为本实用新型结构正视图；

图2为本实用新型结构罩壳内部剖视示意图；

图3为本实用新型结构蜗轮与蜗杆连接的局部示意图。

图中：1底座、2 U形框、3旋转组件、31旋转杆、32旋转电机、4转动箱、5固定组件、51楔形板、52压缩弹簧、53固定板、6顶板、7喷头、8移动组件、81伺服电机、82第二螺纹杆、83移动板、84滑动杆、9清理组件、91清理刷、92正反转电机、93转动杆、94拉绳、95活动块、96复位弹簧、10罩壳、11推动组件、1101第一螺纹杆、1102螺纹套筒、1103蜗杆、1104滚轮、1105蜗轮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，一种真空镀膜机清洗装置，包括底座1、U形框2、旋转组件3、转动箱4、顶板6和喷头7，U形框2固定安装在底座1的顶部且其内底壁活动安装有转动箱4，U形框2的内底壁开设有与转动箱4底部相适配的环形槽，旋转组件3固定安装在底座1的底部且其顶部延伸至U形框2内部且与转动箱4的底部活动连接，底座1的底部左右两侧均固定安装有支撑柱，旋转组件3包括旋转电机32，底座1的底部固定安装有位于左右两个支撑柱之间的旋转电机32，旋转电机32的输出轴处固定安装有一端延伸至U形框2内部且与转动箱4活动连接的旋转杆31，转动箱4的内壁上下两侧之间活动安装有推动组件11，推动组件11包括第一螺纹杆1101，转动箱4的内壁上下两侧之间活动安装有第一螺纹杆1101，转动箱4的内壁左侧活动安装有位于第一螺纹杆1101后侧且一端延伸至转动箱4右侧的蜗杆1103，第一螺纹杆1101的外部套接有与第一螺纹杆1101相啮合的蜗轮1105，第一螺纹杆1101的外部螺纹安装有位于蜗轮1105上方的螺纹套筒1102，螺纹套筒1102的左右两侧均固定安装有滚轮1104，转动箱4的内底壁活动安装有数量为两个且分别位于推动组件11左右两侧且与推动组件11连接的固定组件5，固定组件5包括楔形板51，转动箱4的内底壁活动安装有数量为两个且分别位于第一螺纹杆1101左右两侧且与滚轮1104滑动连接的楔形板51，楔形板51的顶部固定安装有一端延伸至转动箱4顶部的固定板53，左右两个固定板53相背的一侧与转动箱4的内壁之间均固定安装有压缩弹簧52，U形框2的顶部左侧固定安装有一端与其顶部右侧固定连接的顶板6，顶板6的顶部固定安装有一端贯穿顶板6并延伸至U形框2内部且与U形框2的内壁左右两侧连接的移动组件8，移动组件8包括伺服电机81，顶板6的顶部固定安装有伺服电机81，伺服电机81的输出轴处固定安装有一端贯穿顶板6并延伸至U形框2内部第二螺纹杆82，第二螺纹杆82位于U形框2内部一端的外部螺纹安装有移动板83，移动板83的左右两侧均固定安装有一端分别与U形框2的内壁左右两侧活动连接的滑动杆84，移动板83的前侧固定安装有罩壳10，罩壳10的内壁上下两侧之间固定安装有一端延伸至延伸至其底部的清理组件9，清理组件9包括正反转电机92，罩壳10的内顶壁固定安装有正反转电机92，正反转电机92的输出轴处固定安装有一端与罩壳10的内底壁固定连接的转动杆93，罩壳10的内壁上下两侧之间活动安装有数量为两个且分别位于转动杆93左右两侧的活动块95，转动杆93的外部活动安装有数量为两个且分别与左右两个活动块95活动连接的拉绳94，左右两个活动块95相背的一侧和罩壳10的内壁之间均固定安装有复位弹簧96，活动块95的底部固安装有一端延伸至罩壳10底部的清理刷91，通过转动蜗杆1103使得蜗轮1105转动进而带动第一螺纹杆1101转动，使得滚轮1104向下移动推动左右两个楔形板51相背移动，从而调节了左右两个固定板53之间的距离，方便对不同直径大小的镀膜机进行固定，通过正反转电机92旋转带动拉绳94拉动活动块95移动，方便根据镀膜机的大小调节左右两个清理刷91之间的距离，灵活且便利，有利于提高清洗装置的清洗效率。

在使用时，将真空镀膜机固定在左右两个固定板53之间，之后根据真空镀膜机的大小来调整两个清理刷91之间的距离，再打开旋转电机32和伺服电机81的开关并配合喷头7喷水进行清洗。

综上所述，该真空镀膜机清洗装置，通过转动蜗杆1103使得蜗轮1105转动进而带动第一螺纹杆1101转动，使得滚轮1104向下移动推动左右两个楔形板51相背移动，从而调节了左右两个固定板53之间的距离，方便对不同直径大小的镀膜机进行固定，通过正反转电机92旋转带动拉绳94拉动活动块95移动，方便根据镀膜机的大小调节左右两个清理刷91之间的距离，灵活且便利，有利于提高清洗装置的清洗效率，解决了现有的清洗装置存在不足之处，例如只能对单一大小的镀膜机进行清洗，不能根据不同直径大小的镀膜机进行调节式的清洗，灵活性较差的问题。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims

1.一种真空镀膜机清洗装置，包括底座（1）、U形框（2）、旋转组件（3）、转动箱（4）、顶板（6）和喷头（7），其特征在于：所述U形框（2）设置在底座（1）的顶部且其内底壁设置有转动箱（4），所述旋转组件（3）设置在底座（1）的底部且其顶部延伸至U形框（2）内部且与转动箱（4）的底部相连接，所述转动箱（4）的内壁上下两侧之间设置有推动组件（11），所述转动箱（4）的内底壁设置有数量为两个且分别位于推动组件（11）左右两侧且与推动组件（11）连接的固定组件（5），所述U形框（2）的顶部左侧设置有一端与其顶部右侧连接的顶板（6），所述顶板（6）的顶部设置有一端贯穿顶板（6）并延伸至U形框（2）内部且与U形框（2）的内壁左右两侧连接的移动组件（8），所述移动组件（8）位于U形框（2）内部一端的前侧设置有罩壳（10），所述罩壳（10）的内壁上下两侧之间设置有一端延伸至其底部的清理组件（9）。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机清洗装置，其特征在于：所述底座（1）的底部左右两侧均固定安装有支撑柱，所述旋转组件（3）包括旋转电机（32），所述底座（1）的底部固定安装有位于左右两个支撑柱之间的旋转电机（32），所述旋转电机（32）的输出轴处固定安装有一端延伸至U形框（2）内部且与转动箱（4）活动连接的旋转杆（31）。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机清洗装置，其特征在于：所述推动组件（11）包括第一螺纹杆（1101），所述转动箱（4）的内壁上下两侧之间活动安装有第一螺纹杆（1101），所述转动箱（4）的内壁左侧活动安装有位于第一螺纹杆（1101）后侧且一端延伸至转动箱（4）右侧的蜗杆（1103），所述第一螺纹杆（1101）的外部套接有与第一螺纹杆（1101）相啮合的蜗轮（1105），所述第一螺纹杆（1101）的外部螺纹安装有位于蜗轮（1105）上方的螺纹套筒（1102），所述螺纹套筒（1102）的左右两侧均固定安装有滚轮（1104）。

4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜机清洗装置，其特征在于：所述固定组件（5）包括楔形板（51），所述转动箱（4）的内底壁活动安装有数量为两个且分别位于第一螺纹杆（1101）左右两侧且与滚轮（1104）滑动连接的楔形板（51），所述楔形板（51）的顶部固定安装有一端延伸至转动箱（4）顶部的固定板（53），左右两个所述固定板（53）相背的一侧与转动箱（4）的内壁之间均固定安装有压缩弹簧（52）。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机清洗装置，其特征在于：所述移动组件（8）包括伺服电机（81），所述顶板（6）的顶部固定安装有伺服电机（81），所述伺服电机（81）的输出轴处固定安装有一端贯穿顶板（6）并延伸至U形框（2）内部第二螺纹杆（82），所述第二螺纹杆（82）位于U形框（2）内部一端的外部螺纹安装有移动板（83），所述移动板（83）的左右两侧均固定安装有一端分别与U形框（2）的内壁左右两侧活动连接的滑动杆（84）。

6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机清洗装置，其特征在于：所述清理组件（9）包括正反转电机（92），所述罩壳（10）的内顶壁固定安装有正反转电机（92），所述正反转电机（92）的输出轴处固定安装有一端与罩壳（10）的内底壁固定连接的转动杆（93），所述罩壳（10）的内壁上下两侧之间活动安装有数量为两个且分别位于转动杆（93）左右两侧的活动块（95），所述转动杆（93）的外部活动安装有数量为两个且分别与左右两个活动块（95）活动连接的拉绳（94），左右两个所述活动块（95）相背的一侧和罩壳（10）的内壁之间均固定安装有复位弹簧（96），所述活动块（95）的底部固安装有一端延伸至罩壳（10）底部的清理刷（91）。

7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机清洗装置，其特征在于：所述U形框（2）的内底壁开设有与转动箱（4）底部相适配的环形槽。