CN215085925U - 一种大型化学气相沉积炉尾气管路焦油清理系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种大型化学气相沉积炉尾气管路焦油清理系统，包含罐体，罐体内分为冷却段和除焦段，其中冷却段侧下方设置有尾气进入口，尾气进入口上方设置有冷却水进入口，冷却水进入口链接罐体内部螺旋板式冷却水管一端，罐体下部设置的冷却水出口与螺旋板式冷却水管另一端链接，冷却段与除焦段之间的通气口设置有气体温度感应器，除焦段内部靠近冷却段出气口出设置有弧面分气孔板，分气孔板上方设置有沉淀极，沉淀极上下两端设置有电晕极并贯通沉淀极。本实用新型解决了因焦油附着而导致的管道堵塞问题。

Description

一种大型化学气相沉积炉尾气管路焦油清理系统

技术领域

本实用新型涉及一种大型化学气相沉积炉尾气管路焦油清理系统。

背景技术

在利用化学气相沉积法制备碳/碳复合材料过程中容易产生大量焦油充斥于尾气中，逐渐附着在冷却罐的冷壁、过滤罐的滤芯以及真空泵的滤网上等，使管路堵塞导致沉积炉内压力失控；且焦油清理困难、操作复杂、费时费力，甚至会影响整体沉积效果。

专利《一种碳/碳复合材料化学气相沉积焦油过滤结构》(CN202020432832.1):此实用新型涉及过滤结构领域,特别是碳碳复合材料化学气相沉积高温尾气冷凝过滤结构.该过滤结构包括冷凝罐和焦油炭粉过滤罐,高温冷凝罐的罐体上设有尾气进气管和冷却水进水管,高温冷凝罐的顶端设计有法兰盖,高温冷凝罐的底端设计有储存罐用于存放焦油,储存罐开口处设有下法兰盖,高温冷凝罐内设计有循环冷却水管和尾气流通管道；焦油炭粉过滤罐的罐体上设有尾气排出管道,焦油炭粉过滤罐上端设有法兰盖下端设有排污口,过滤罐内还设计有冷却水出水管道和滤芯.该实用新型分冷凝与过滤两个部分。

专利《一种碳/碳复合材料化学气相沉积焦油过滤结构》所提及的真空净油设备有着结构复杂、占用空间大、滤芯更换频率高、各部分拆装繁琐等弊端。

实用新型内容

为解决以上现有技术存在的问题，本实用新型提出一种大型化学气相沉积炉尾气管路焦油清理系统。

本实用新型可通过以下技术方案予以实现：

一种大型化学气相沉积炉尾气管路焦油清理系统，包含罐体，罐体内分为冷却段和除焦段，其中所述冷却段侧下方设置有尾气进入口，尾气进入口上方设置有冷却水进入口，冷却水进入口链接罐体内部螺旋板式冷却水管一端，罐体下部设置的冷却水出口与所述螺旋板式冷却水管另一端链接，所述冷却段与除焦段之间的通气口设置有气体温度感应器，所述除焦段底部设置有排油口，所述除焦段内部靠近冷却段出气口出设置有弧面分气孔板，分气孔板上方设置有沉淀极，沉淀极上下两端设置有电晕极并贯通沉淀极，所述除焦段上方罐壁处设置有尾气出气口。

进一步地，所述冷却段和除焦段顶部使用法兰口密封。

进一步地，所述除焦段顶部的法兰口上设置有引电绝缘子箱、放散管、引电绝缘箱。

进一步地，所述分气孔板上方罐体侧面设置有观察孔。

有益效果

1.本实用新型将气体冷却与除焦、除粉等功能集合一身，减少空间占用；

2.本实用新型具有除焦效率高、气体处理量大等优点；

3.本实用新型储焦空间大，可隔1-2月清理一次，清理周期长，清理方便，节省人力工时；

4.本实用新型减少沉积系统后端真空泵维护次数，确保整理生产过程连续，提高产品质量。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

具体实施方式

以下通过特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，本领域的技术人员可由本说明书所揭示的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。

如图1示，本实用新型的大型化学气相沉积炉尾气管路焦油清理系统包含罐体1，罐体1内分为冷却段和除焦段，其中罐体冷却段侧下方设置有尾气进入口2，尾气进入口2上方设置有冷却水进入口3，冷却水进入口3链接罐体内部螺旋板式冷却水管4一端，罐体下部设置有冷却水出口5与螺旋板式冷却水管另一端链接。罐体冷却段上方使用法兰口6密封，罐体冷却段与除焦段之间的通气口设置有气体温度感应器7，罐体除焦段底部设置有排油口8，罐体除焦段内部靠近冷却段出气口出设置有弧面分气孔板9，分气孔板上方罐体侧面设置有观察孔10，分气孔板上方设置有沉淀极11，沉淀极上下两端设置有电晕极12并贯通沉淀极，罐体除焦段上方罐壁处设置有尾气出气口13，罐体除焦段顶部使用法兰口14密封，法兰口上设置引电绝缘子箱15、放散管16、引电绝缘箱17。

其中，罐体冷却段作用是将沉积尾气通过螺旋板式冷却水管4接触高温尾气，利用冷却水进水口3与冷却水出水口5控制冷却水进水量同时利用气体温度感应器7反馈信息调节气体温度；除焦段作用是将通过冷却段调节温度后的尾气，通过弧面分气孔板9均匀分开，利用沉淀极11将尾气中的焦油、碳粉等杂质分离出来吸附于沉淀极上，当杂质量增加到大于其附着力时，会自动向下流趟，穿过弧面分气孔板(或通过弧面分气孔板聚集)滴落在除焦段底部，利用排油口8排出。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种大型化学气相沉积炉尾气管路焦油清理系统，包含罐体(1)，罐体(1)内分为冷却段和除焦段，其中所述冷却段侧下方设置有尾气进入口(2)，尾气进入口(2)上方设置有冷却水进入口(3)，冷却水进入口(3)链接罐体内部螺旋板式冷却水管(4)一端，罐体下部设置的冷却水出口(5)与所述螺旋板式冷却水管(4)另一端链接，所述冷却段与除焦段之间的通气口设置有气体温度感应器(7)，所述除焦段底部设置有排油口(8)，所述除焦段内部靠近冷却段出气口出设置有弧面分气孔板(9)，分气孔板上方设置有沉淀极(11)，沉淀极上下两端设置有电晕极(12)并贯通沉淀极，所述除焦段上方罐壁处设置有尾气出气口(13)。

2.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉尾气管路焦油清理系统，其特征在于，所述冷却段和除焦段顶部使用法兰口(6)密封。

3.根据权利要求2所述的化学气相沉积炉尾气管路焦油清理系统，其特征在于，所述除焦段顶部的法兰口上设置有引电绝缘子箱(15)、放散管(16)、引电绝缘箱(17)。

4.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉尾气管路焦油清理系统，其特征在于，所述分气孔板(9)上方罐体侧面设置有观察孔(10)。

Images