CN215046640U - 一种料台和处理设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种料台和处理设备，涉及料台技术领域。一种料台具体包括支撑平台，所述支撑平台上依次设有多个工位，所述多个工位中包括至少一个称重工位；驱动组件，用于带动所述物料在多个所述工位之间传输；顶升组件，用于在任一所述工位处驱动所述物料升降，以将所述物料置于或移出所述工位。旨在实现在传送物料的过程中获取物料的重量。

Description

一种料台和处理设备

技术领域

本实用新型涉及料台技术领域，特别涉及一种料台和处理设备。

背景技术

目前，在对基板清洗时，基本是在槽式机的料台上进行的。其具体流程为，由机械手臂将载有基板的花篮放置在上料台上，由上料台将载有基板的花篮传送至机料台的清洗位置，对花篮中的基板进行清洗后，将载有基板的花篮从下料台输出。

目前的料台仅仅具有传输花篮的作用，功能简单，无法满足现有生产流程对料台的要求。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提供一种料台和处理设备，旨在实现在传送花篮的过程中获取花篮的重量。

为了实现上述目的，本实用新型提出一种料台，用于传送物料，包括：

支撑平台，所述支撑平台上依次设有多个工位，所述多个工位中包括至少一个称重工位；

驱动组件，用于带动所述物料在多个所述工位之间传输；

顶升组件，用于在任一所述工位处驱动所述物料升降，以将所述物料置于或移出所述工位。

在本申请的一实施例中，所述多个工位沿物料的传送方向依次为放料工位、称重工位以及取料工位。

在本申请的一实施例中，所述支撑平台还设有缓存工位，所述缓存工位位于所述放料工位与所述称重工位和/或称重工位与取料工位之间。

在本申请的一实施例中，所述放料工位、称重工位和所述取料工位上各自设有位置检测组件，所述称重工位上还设有重量检测件。

在本申请的一实施例中，所述放料工位上还设有与所述物料相配合的用于校验所述物料放置状态的校验装置。

在本申请的一实施例中，所述支撑平台上设有与所述物料传送方向一致的导向槽，所述多个工位分别位于所述导向槽长度方向的两侧；

所述驱动组件与所述顶升组件位于所述支撑平台下方，所述顶升组件的顶部穿过所述导向槽伸出于所述支撑平台上方。

在本申请的一实施例中，所述导向槽内覆盖有可变形的防尘罩，所述防尘罩包括：

第一防尘罩，其一端连接于所述导向槽的起始端点，另一端连接于所述顶升组件；

第二防尘罩，其一端连接于所述导向槽的终点端点，另一端连接于所述顶升组件。

在本申请的一实施例中，所述顶升组件包括：

用于支撑所述物料的至少一个支撑件，驱动所述支撑件上下运动的伸缩件；

所述伸缩件连接于所述驱动组件，所述驱动组件驱动所述伸缩件沿所述物料传送方向往复运动；

所述驱动组件包括：

至少两条并排设置的滑轨，用于连接各伸缩件使各伸缩件同步沿着所述滑轨运动的连接件，位于两条所述滑轨之间与所述连接件连接的传送带以及驱动所述传送带运动的电机。

在本申请的一实施例中，所述支撑平台上还设有用于收集所述取料工位上液体的接液盒。

本申请还公开了一种处理设备，包括处理模块，还包括如上所述的任意一项所述的料台，所述料台设于所述处理模块的端部用于上下物料。

采用上述技术方案，先将物料放置在工位上，此时驱动组件驱动顶升组件运动到物料的下方，然后由顶升组件将物料从工位上抬起，此时驱动组件驱动顶升组件由所在工位运动至下一工位上，从而实现物料的转运，在转运过程中，物料被放置在称重工位上，通过称重工位获取物料的重量信息，准确获取花篮的重量。

附图说明

下面结合具体实施例和附图对本实用新型进行详细的说明，其中：

图1为本实用新型第一种实施例的结构示意图；

图2为本实用新型剖视图；

图3为本实用新型驱动组件和顶升组件的放大结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚，以下结合附图和实施例对本实用新型进行详细的说明。应当理解，以下具体实施例仅用以解释本实用新型，并不对本实用新型构成限制。

如图1至图3所示，本实用新型提出一种料台100，用于传送物料，包括：

支撑平台20，所述支撑平台20上依次设有多个工位，所述多个工位中包括至少一个称重工位12；

驱动组件40，用于带动所述物料在多个所述工位之间传输；

顶升组件30，用于在任一所述工位处驱动所述物料升降，以将所述物料置于或移出所述工位。

具体的，本申请中的物料由硅片和用于装载该硅片的花篮共同构成。

图2中，所述X方向为物料传送方向，本图中可以理解为料台100的长度方向。

支撑平台20采用铝合金等金属材料制成，在支撑平台20的外部包裹聚丙烯材料，采用铝合金材料制成的支撑平台20具有支撑强度大，不易变形等优点，在支撑平台20的外部包裹聚丙烯，可以防止溶液对支撑平台20的腐蚀。当然根据设计的需要也可以采用其他的材料制成，例如木质材料，采用木质材料制成的支撑架具有重量轻，抗振动，成本低等优点。

支撑平台20，所述支撑平台20上依次设有多个工位，所述多个工位中包括至少一个称重工位12，称重工位12用于获取物料的重量信息。

驱动组件40，用于带动所述物料在多个所述工位之间传输，所述多个工位之间传输，可以理解为：从一个工位传送至另一个工位中，所述一个工位与另一个工位可以是相邻的、连续的两个工位，也可以是不相邻的、不连续的、间隔的工位。

顶升组件30，用于在任一所述工位处驱动所述物料升降，以将所述物料置于或移出所述工位，即实现将物料放置在工位上或者使物料与工位之间分离。

其工作原理为，先将物料放置在工位上，此时驱动组件40驱动顶升组件30运动到物料的下方，然后由顶升组件30将物料从工位上抬起，此时驱动组件40驱动顶升组件30由所在工位运动至另一个工位上，从而实现物料的转运，在转运过程中，物料被放置在称重工位12上，通过称重工位12获取物料的重量信息后，再通过驱动组件40将花篮转运至另一个工位。

采用上述技术方案，通过驱动组件40驱动顶升组件30由 一个工位运动至另一个工位，然后通过顶升组件30将物料放置在工位上，通过称重工位12获取物料的重量信息后，再将物料转运至下一步骤，使得料台100在转运物料的过程中，可准确的获取物料的重量信息。

在本申请的一个实施例中，所述多个工位沿物料的传送方向依次为放料工位11、称重工位12以及取料工位13。

具体的，放料工位11可以理解为在对物料通过顶升组件30转运前，先对物料进行存放的工位。当人工或转运设备将物料转运至料台100的放料工位11后，顶升组件将其转运至另一个工位。称重工位12可以理解为用于专门获取物料重量的工位。取料工位13，可以理解为在对物料称重完成后，将物料移出料台100前存储的工位。顶升组件30可以依据控制系统指令在放料工位11、称重工位12以及取料工位13间反复运动，此外，沿物料传送方向，可以设置多个顶升组件30，同时在各工位间转运物料。

采用上述技术方案，沿着物料的传送方向依次设置放料工位11、称重工位12、取料工位13，在能获取物料重量的同时，减少物料转运过程中的等待时间，提高了物料的转运效率。

在本申请的一个实施例中，所述支撑平台20还设有缓存工位14，所述缓存工位14位于所述放料工位11与所述称重工位12和/或称重工位12与取料工位13之间。

具体的，料台100正常运行时，缓存工位14用于承接上一个工位转运至此的物料，所述物料被放置于所述缓存工位14上，便于等待顶升组件30取走物料，可加快物料的转运速度，提高设备运行的效率；或者是当料台100出现异常时，缓存工位14用于缓存堆积的物料。

缓存工位14可以设置在放料工位11和称重工位12之间，采用此种设置方式，在料台100正常运行时，顶升组件30将物料将放料工位11放置在缓存工位14上，为顶升组件30预留工作时间，等待顶升组件30完成上个动作后，再取走物料，实现了协调和优化设备操作节拍的作用；在料台100出现异常时，直接对堆积的物料进行缓存，无需对物料进行称重，减少数据的产生。缓存工位14也可以设置在称重工位12与取料工位13之间，采用此种设置方式，可以在对堆积的物料进行缓存前，采集缓存物料的重量信息，当异常排除后，可直接对该物料进行转运，提高转运效率。

还可以在放料工位11与称重工位12之间、称重工位12与取料工位13之间都设置缓存工位14，采用此种设置方式，提高料台100的缓存能力。

在本申请的一个实施例中，所述放料工位11和所述取料工位13上各自设有位置检测组件，所述称重工位12上设有重量检测件和位置检测组件。

具体的，放料工位11、称重工位12和取料工位13上均设置有位置检测组件，本申请的中的位置检测组件用于检测是否有物料放置在放料工位11、称重工位12和取料工位13上。本申请中的位置检测组件可以光电传感器、压力传感器、电磁脉冲传感器等。为提高位置检测组件的检测效率和检测的准确度，本申请中的位置检测组件优选为光电传感器。

称重工位12上设置有重量检测件，通过重量检测件检测物料的重量。

在本申请的一个实施例中，所述放料工位11上还设有与所述物料相配合的用于校验所述物料放置状态的校验装置。

物料是指装载有硅片的花篮，所述料台为上料台时，搬运装置（例如可以是机械手）在取料工位搬取花篮，由于花篮上设置有专用搬运装置搬取花篮的钩取位，钩取位单向设置，即花篮没有按照设定方式放置在工位上时，搬运装置不能接触到钩取位，造成取篮失败的同时，易损坏硅片，故物料放置状态效验的含义是指：当花篮被传送至放料工位时，花篮是否能按照搬运装置在搬取花篮时能接触到钩取位的位置放置，能接触到钩取位，即花篮放置位置正确，不能接触到钩取位，可以理解为花篮放置不正确，或者是理解为放置不规范。

另外，在放料工位设置校验所述物料放置状态的校验装置的作用是：在物料初始放到料台上时，识别是否放置正不正确，放置不正确时，能及时进行处理，避免在后续物料转运中再发现造成料台工序动作增加，以及无效数据的产生。

具体的，本申请中的物料放置状态校验装置可以为视觉检测系统或者感应装置等。为了降低生产成本，提高校验的精度，简化结构。本申请中的物料放置状态校验装置也采用光电传感器，为方便说明，将其定义为第二光电传感器。其工作原理为：由于物料由花篮和硅片构成，众所周知，花篮的外形并不规则，选定花篮中的某一个特定部位与第二光电传感器相配合，用于校验花篮是否物料放置状态是否正确，采用此种方法，操作简单，无需设置其他的感应部件，维护方便。

在本申请的一个实施例中，所述支撑平台20上设有与所述物料传送方向一致的导向槽21，所述多个工位分别位于所述导向槽21长度方向的两侧；

所述驱动组件40与所述顶升组件30位于所述支撑平台20下方，所述顶升组件30的顶部穿过所述导向槽21伸出所述支撑平台20上方。

具体的，支撑平台20上开设有两个长度、宽度以及形状完全一致的两个导向槽21，两个导向槽21的起始点互相对齐且两个导向槽21的长度方向互相平行。本申请中导向槽21的长度小于支撑平台20的长度。

驱动组件40位于导向槽21的下方，将驱动组件40设置在导向槽21的下方，可以通过支撑平台20将外界的灰尘阻隔，避免外界的灰尘对驱动组件40的影响。驱动组件40的运动方向与导向槽21的长度方向相同，驱动组件40可沿着导向槽21的长度方向往复运动。其中，导向槽21的设置方向与物料的传送方向一致。

驱动组件40上设有用于对物料进行承托的顶升组件30，顶升组件30的一部分通过导向槽21伸出至支撑平台20上方。

采用上述技术方案，通过将驱动组件40设置在支撑平台20下方并在驱动组件40上设置顶升组件30，通过顶升组件30对支撑平台20上的物料进行转送，将驱动组件40与外界进行隔离，避免外界的灰尘对驱动组件40的影响，延长了驱动组件40的使用寿命。

在本申请的一个实施例中，所述导向槽21内覆盖有可变形的防尘罩。

具体的，可变形包括可伸展与可压缩两种情况。在导向槽21内设置可以伸展或者压缩的防尘罩，通过防尘罩实现对导向槽21的封闭，进一步提高了料台100的防尘特性。

在本申请的一个实施例中，所述防尘罩包括：

第一防尘罩221，其一端连接于所述导向槽21的起始端点，另一端连接于所述顶升组件30；

第二防尘罩222，其一端连接于所述导向槽21的终止端点，另一端连接于所述顶升组件30。

具体的，一个导向槽21内的防尘罩的数量为两个，分为第一防尘罩221和第二防尘罩222，第一防尘罩221的一端连接在导向槽21的起始端点，另一端连接在顶升组件30上。第二防尘罩222的一端连接在导向槽21的终止端点，另一端连接在顶升组件30上。其工作过程为，当驱动组件40驱动顶升组件30沿导向槽21的起始端点至导向槽21的终止端点运动时，第一防尘罩221被慢慢拉伸，第二防尘罩222被慢慢压缩。当顶升组件30运动至导向槽21的终止端时，第一防尘罩221被拉伸至最大状态，第二防尘罩222被压缩至最大状态。当驱动组件40驱动顶升组件30沿导向槽21的终止端点至起始端点运动时，第二防尘罩222逐步被拉伸，第一防尘罩221逐步被压缩。

采用上述技术方案，保证顶升组件30不论从导向槽21的起始端点至终止端点运动还是从导向的终止端点至起始端点运动，都能保证导向槽21始终处于封闭状态，避免外界的灰尘通过导向槽21进入至支撑平台20下方对驱动组件40产生影响，提高了料台100的防尘能力。

在本申请的一个实施例中，所述顶升组件30包括：

用于支撑所述物料的至少一个支撑件31，驱动所述支撑件31上下运动的伸缩件32；

所述伸缩件32连接于所述驱动组件40，所述驱动组件40驱动所述伸缩件32沿所述物料传送方向往复运动。

如图2所示，顶升组件30包括支撑件31，支撑件31采用金属材料制成支撑件与物料（物料指装载有硅片的花篮）直接接触的部分包覆有非金属材料，例如塑胶等，采用金属制成的支撑件31硬度高，不易变形，在物料与支撑件接触的部分采用非金属材料可以避免金属离子对硅片的二次污染，支撑件31的数量为一个。支撑件31下方设有伸缩件32，本申请中的伸缩件32是指伸缩气缸，当然根据设计的需要也可以由伺服电机44带动丝杆构成的伸缩件32。伸缩气缸的数量为一个，在支撑件31的正下方，设置一个伸缩气缸结构简单。当伸缩件32为两个时，既可以提供较大的升降力度，也可以保证支撑件31在升降过程中的稳定性，避免出现支撑件31偏摆的问题，提高了料台100工作时的稳定性。伸缩气缸被固定于驱动组件40上，驱动组件40驱动两个伸缩气缸沿物料传送方向往复运动，从而实现支撑件31对物料的移动。

在本申请的一个实施例中，所述驱动组件40包括：

至少两条并排设置的滑轨41，用于连接各伸缩件32使各伸缩件32同步沿着所述滑轨41运动的连接件42，位于两条所述滑轨41之间与所述连接件42连接的传送带43以及驱动所述传送带43运动的电机44。

具体的，驱动组件40包括连接在支架上的两条滑轨41，滑轨41的设置方向与物料传送方向一致，通过设置两条滑轨41，保证顶升组件30在滑轨41上运动时避免出现偏摆，保证顶升组件30在滑轨41上运动时的稳定性。两条滑轨41上连接有连接件42，连接件42使伸缩件32同步沿着滑轨41运动，保证运动的同步性。在连接件42上连接有传动皮带，皮带的两端设有滑轮，电机44驱动皮带转动，从而带动顶升组件30运动。

在本申请的一个实施例中，还包括缓冲件，缓冲件为现有技术中的伸缩弹簧或者气垫杆等。缓冲件安装在支撑件31与伸缩件32之间，伸缩气缸下降时，由缓冲件对待传送件进行缓冲，保证待传送件的稳定传送。

在本申请的一个实施例中，支撑件31为U形，保证支撑件31对物料的稳定传输。U形支撑件31的U形侧壁上设有多个与物料相配合的限位槽，所述限位槽为非金属材料，可以避免金属离子对硅片的二次污染，通过设置限位槽可实现为物料的限位，避免物料在支撑件31上发生位移，保证支撑件31支撑时的稳定性。

在本申请的一实施例中，所述支撑平台20上还设有用于收集所述取料工位13上液体的接液盒50。

具体的，接液盒50设置在支撑平台20上并位于取料工位13的内侧，用于收集取料工位上的液体，取料工位13可以理解为放置花篮的支撑座，具体地，在支撑平台20取料工位内侧开设槽口，接液盒设置在支撑平台20靠近连接件42的一面，接液盒为底部带有坡度的盒状结构，如图2所述，下方低点处设置排液口，可连接外部排液管路，上方开口，与所述槽口适配，当机械手上残留清洗槽内的溶液，溶液为酸或碱溶液，易滴落在支撑座上，进而流至支撑平台20上，造成支撑平台的污染，且不易清理，接液盒50配合支撑座的结构，使滴落至支撑座上的残液流至接液盒50内，一种情况是，支撑座可以理解为缺少一侧面和顶面的长方体，缺少一侧面的底面对接槽口，三个侧面与底面按一定比例放坡至底面，底面用于支撑花篮，机械手抓取花篮时，残液滴落至底面，由于3个侧面为坡面，一方面便于残液流落，一方面阻挡残液溢流，使残液仅沿缺少一侧面的底面边缘流至所述滴液盒。

采用上述技术方案，避免取料工位上的液体对支撑平台的腐蚀，延长料台的使用寿命。

本申请还公开了一种处理设备，包括处理模块，还包括如上所述的任意一项所述的料台100，所述料台100设于所述处理模块的端部用于上下物料。

所述处理设备可以是一种硅片处理设备，可以用于实现硅片生产过程中中的清洗制绒工艺，优选地，在处理设备的两端各连接一个料台，可以理解为，位于处理设备前端的设备称为上料台，位于处理设备后端的设备称为下料台，处理设备包括处理模块和搬运装置（例如可以是机械手），所述处理模块包括多个清洗槽，可以为酸洗槽、水洗槽、碱洗槽、烘干槽等其中的一种或者多种，搬运装置用于将上料台中的物料搬运至清洗槽内，也用于在各清洗槽内转运物料，物料完成处理后，搬运装置将物料放置在下料台中，完成处理。

优选地，所述料台位于处理设备前端时，称为上料台，具体地，上料台上，沿物料传送方向，依次设置有放料工位、缓存工位、称重工位、取料工位，搬移装置将传送至上料台取料工位的物料转运至清洗槽内；

此外，在所述上料台中的放料工位上设置物料放置状态校验装置，当花篮放置位置错位时，也即花篮放置不规范时，可及时发出提醒信号，人工及时处理，可以避免后续搬运装置抓取物料（物料指装载有硅片的花篮）时，不能抓取花篮上的位置点，造成硅片损坏。

所述料台位于处理设备后端时，称为下料台，具体地，下料台，沿物料传送方向，依次设置有放料工位，称重工位、缓存工位、取料工位，搬移装置将完成清洗槽处理的物料放置下料台上的放料工位。

此外，所述接液盒设置在上料台的取料工位上。处理设备中，可仅在上料台中设置，因为下料时，机械手会经过烘干槽，机械手上基本不会有残液。

处理模块对物料进行处理时，物料自身重量会有改变，进而，选择在上料时进行初始称重，记录未处理的硅片重量，在下料时进行再次称重，记录处理后的硅片重量，两次记录对比来反应处理设备是否出现异常，同时判断处理设备的工艺效果；同时可结合RFID识别，再处理设备后端的加工设备中，来记录硅片各工序的加工质量，进而实现整个工艺加工产线中硅片的生产记录。所述FRID识别设备设置在料台100上，用于识别硅片和花篮。

本申请中的物料由硅片和用于装载该硅片的花篮共同构成。所述工位可以理解为至少设有可容纳一个花篮的位置，此外，为提供效率，在水平面上且垂直于物料传送方向，也可设置一个或两个或多个工位，可以同步实现物料的传送。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的实用新型构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种料台，用于传送物料，其特征在于，包括：

支撑平台，所述支撑平台上依次设有多个工位，所述多个工位中包括至少一个称重工位；

驱动组件，用于带动所述物料在多个所述工位之间传输；

顶升组件，用于在任一所述工位处驱动所述物料升降，以将所述物料置于或移出所述工位。

2.如权利要求1所述的料台，其特征在于，所述多个工位包括沿物料的传送方向依次设置的放料工位、所述称重工位、取料工位。

3.如权利要求2所述的料台，其特征在于，所述支撑平台还设有缓存工位，所述缓存工位位于所述放料工位与所述称重工位和/或称重工位与取料工位之间。

4.如权利要求2至3中任意一项所述的料台，其特征在于，所述放料工位、称重工位和所述取料工位上各自设有位置检测组件，所述称重工位上还设有重量检测件。

5.如权利要求2所述的料台，其特征在于，所述放料工位上还设有与所述物料相配合的用于校验所述物料放置状态的校验装置。

6.如权利要求1所述的料台，其特征在于，所述支撑平台上设有与所述物料传送方向一致的导向槽，所述多个工位分别位于所述导向槽长度方向的两侧；

所述驱动组件与所述顶升组件位于所述支撑平台下方，所述顶升组件的顶部穿过所述导向槽伸出于所述支撑平台上方。

7.如权利要求6所述的料台，其特征在于，所述导向槽内覆盖有可变形的防尘罩，所述防尘罩包括：

第一防尘罩，其一端连接于所述导向槽的起始端点，另一端连接于所述顶升组件；

第二防尘罩，其一端连接于所述导向槽的终点端点，另一端连接于所述顶升组件。

8.如权利要求7所述的料台，其特征在于，所述顶升组件包括：

用于支撑所述物料的至少一个支撑件，驱动所述支撑件上下运动的伸缩件；

所述伸缩件连接于所述驱动组件，所述驱动组件驱动所述伸缩件沿所述物料传送方向往复运动；

所述驱动组件包括：

至少两条并排设置的滑轨，用于连接各伸缩件使各伸缩件同步沿着所述滑轨运动的连接件，位于两条所述滑轨之间与所述连接件连接的传送带以及驱动所述传送带运动的电机。

9.如权利要求2所述的料台，其特征在于，所述支撑平台上还设有用于收集所述取料工位上液体的接液盒。

10.一种处理设备，包括处理模块，其特征在于，还包括如权利要求1至9中任意一项所述的料台，所述料台设于所述处理模块的端部用于上下物料。

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