CN214950261U - 一种石墨舟干燥装置 - Google Patents

Abstract

一种石墨舟干燥装置，属于清洁设备技术领域。包括振动架，用于放置石墨舟；振动源，设置于振动架，且振动源用于驱动振动架振动；吹扫管，设有朝向石墨舟的出风口。本实用新型设置振动源驱动振动架振动，进而使放置在振动架上的石墨舟振动，通过振动使石墨舟附着携带的清洗液脱离，同时吹扫管通过出风口排出的气体对石墨舟起到吹扫作用，通过吹扫使石墨舟附着携带的清洗液脱离，从而实现对石墨舟的干燥处理，并且本实用新型通过振动及吹扫的动作，能够将石墨舟附着携带的较大清洗液团同时进行脱离，相较于通过烘干箱的烘干过程，效率更快，进而提升了干燥处理的效率。

Description

一种石墨舟干燥装置

技术领域

本实用新型涉及清洁设备技术领域，具体涉及一种石墨舟干燥装置。

背景技术

太阳能电池生产过程中利用管式PECVD在硅片上镀减反射膜，石墨舟作为镀减反射膜时的一种载体，用于承载固定硅片。在生产过程中，石墨舟的表面会沉积氮化硅，氮化硅且随着使用次数的增加而累积，进而会对硅片的镀膜均匀性造成影响，因此石墨舟需要定期进行清洗，以减少硅片不良品的产生，而清洗后的石墨舟需要干燥以后才能够再次使用。

目前对于清洗后的石墨舟采用烘干箱进行干燥处理，但是由于石墨舟附着携带的清洗液的数量较大，因此仅使用烘干箱将清洗液烘干需要较长时间，干燥处理的效率较低，进而导致石墨舟清洁处理的效率较低。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中仅使用烘干箱对石墨舟进行干燥处理需要较长时间，导致干燥处理的效率较低的缺陷，从而提供一种石墨舟干燥装置。

本实用新型提供如下技术方案：

一种石墨舟干燥装置，包括：

振动架，用于放置石墨舟；

振动源，设置于所述振动架，且所述振动源用于驱动所述振动架振动；

吹扫管，设有朝向所述石墨舟的出风口。

可选地，还包括：

料台，为镂空结构的筐体，用于容置所述石墨舟；

所述振动架用于放置所述料台。

可选地，所述振动架设有多个用于放置所述料台的工位，且相邻工位之间设有限位件。

可选地，所述振动源与其相邻的工位之间设有限位件。

可选地，所述吹扫管沿多个所述工位的排布方向设置。

可选地，多个所述工位沿直线方向排布设置，所述振动架垂直于直线方向的两侧均设有所述吹扫管。

可选地，还包括：

防护罩，罩设在所述振动源外。

可选地，还包括：

减震垫，支撑所述振动架。

可选地，还包括：

干燥腔，其内部空间设置所述振动架、所述振动源和所述吹扫管，所述干燥腔的底部设置排液管。

可选地，所述干燥腔的顶部设置用于气体排出的开口。

本实用新型技术方案，具有如下优点：

1.本实用新型提供的石墨舟干燥装置，包括振动架，用于放置石墨舟；振动源，设置于所述振动架，且所述振动源用于驱动所述振动架振动；吹扫管，设有朝向所述石墨舟的出风口。

本实用新型设置振动源驱动振动架振动，进而使放置在振动架上的石墨舟振动，通过振动使石墨舟附着携带的清洗液脱离，同时吹扫管通过出风口排出的气体对石墨舟起到吹扫作用，通过吹扫使石墨舟附着携带的清洗液脱离，从而实现对石墨舟的干燥处理，并且本实用新型通过振动及吹扫的动作，能够将石墨舟附着携带的较大清洗液团同时进行脱离，相较于通过烘干箱的烘干过程，效率更快，进而提升了干燥处理的效率。

2.本实用新型提供的石墨舟干燥装置，还包括料台，为镂空结构的筐体，用于容置所述石墨舟；所述振动架用于放置所述料台。

本实用新型设置料台容置石墨舟，避免石墨舟直接放置在振动架上时，在振动过程中产生窜动而造成损坏，同时，通过料台移动石墨舟，能够避免夹具夹持石墨舟而造成石墨舟的变形及损坏，此外，料台容置石墨舟能够整体进行干燥之前的清洗过程，并整体进行干燥，而无需在清洗后将石墨舟取出，节省工序，提升处理效率

3.本实用新型提供的石墨舟干燥装置，所述振动架设有多个用于放置所述料台的工位，且相邻工位之间设有限位件。

本实用新型设置多个工位能够提升同时处理的石墨舟数量，进而提升干燥效率，限位件对工位上的料台起到限位作用，避免料台在振动过程中产生窜动，进而彼此之间产生碰撞而损坏容置的石墨舟。

4.本实用新型提供的石墨舟干燥装置，所述振动源与其相邻的工位之间设有限位件。

本实用新型设置限位件对工位上的料台起到限位作用，避免料台在振动过程中产生窜动，进而导致料台与振动源产生碰撞而损坏容置的石墨舟。

5.本实用新型提供的石墨舟干燥装置，所述吹扫管沿多个所述工位的排布方向设置。

本实用新型的吹扫管沿多个工位的排布方向设置，使其能够对各个工位的石墨舟均起到吹扫作用，保证干燥效果。

6.本实用新型提供的石墨舟干燥装置，多个所述工位沿直线方向排布设置，所述振动架垂直于直线方向的两侧均设有所述吹扫管。

本实用新型的振动架垂直于直线方向的两侧均设有所述吹扫管，使得石墨舟的两侧均能够受到吹扫，避免单侧吹扫导致远离吹扫管的一侧干燥效果不佳，从而保证干燥效果。

7.本实用新型提供的石墨舟干燥装置，还包括防护罩，罩设在所述振动源外。

本实用新型设置防护罩对振动源起到保护作用，避免从石墨舟上脱离的清洗液溅到振动源上，而对振动源造成腐蚀损坏。

8.本实用新型提供的石墨舟干燥装置，还包括减震垫，支撑所述振动架。

本实用新型的振动架设置在减震垫上，从而实现隔音减振。

9.本实用新型提供的石墨舟干燥装置，还包括干燥腔，其内部空间设置所述振动架、所述振动源和所述吹扫管，所述干燥腔的底部设置排液管。

本实用新型设置干燥腔对从石墨舟上脱离的清洗液起到收集作用，避免清洗液飞溅造成环境污染和人体损伤，同时设置排液管导出收集的清洗液，以便于进行后续处理，并避免清洗液积存过多而影响干燥处理过程。

10.本实用新型提供的石墨舟干燥装置，所述干燥腔的顶部设置用于气体排出的开口。

本实用新型设置开口以排出干燥过程中产生的蒸汽，避免蒸汽积存而在石墨舟上重新汇聚为液体，保证干燥处理的效果。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式中的技术方案，下面将对具体实施方式描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例1的主剖视图；

图2为本实用新型实施例1的侧剖视图；

图3为本实用新型实施例1的俯视图。

附图标记说明：

1.振动架；2.振动源；3.吹扫管；4.料台；5.限位件；6.防护罩；7.减震垫；8.干燥腔；9.排液管。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

实施例1

本实施例提供一种石墨舟干燥装置，如图1-图3所示，包括

振动架1，用于放置石墨舟；本实施例对振动架1的结构及放置石墨舟的数量不做具体限定，优选的，本实施例的振动架1为具有一定长度的矩形板体，并沿其长度的直线方向排布设置多个工位，本实施例中工位用于直接放置料台4，相邻工位之间设有限位件5，并在振动源2与其相邻的工位之间设有限位件5，本实施例的限位件5采用挡板；当然，在其他实施例中，振动架1也可以为圆形或环形，并沿圆周方向设置多个工位；当然振动架1也可以仅设置一个工位；在其他实施例中，也可以不采用限位件5，或者在工位设置用于可拆卸连接料台4的卡接结构，例如卡扣。

振动源2，设置于所述振动架1，且所述振动源2用于驱动所述振动架1振动；本实施例对振动源2的安装位置不做具体限定，优选的，本实施例的振动源2采用振动机，并在振动架1沿其长度方向的两端均设置振动源2，且振动源2位于振动架1顶部，并在振动架1上设置防护罩6，防护罩6罩设在所述振动源2外；当然，在其他实施例中，振动源2也可以设置在振动架1的中部上，或者设置在振动架1的底部，也可以设置在振动架1开设的安装槽内；当然，也可以不设置防护罩6。

吹扫管3，设有朝向所述石墨舟的出风口；本实施例对吹扫管3的结构不做具体限定，优选的，本实施例的吹扫管3为直管，并与多个所述工位的排布方向平行，振动架1垂直于工位排布的直线方向的两侧均设有所述吹扫管3，且任一一侧设置有多个沿竖直方向，即沿装置高度方向平行设置的吹扫管3，本实施例的吹扫管3与热风机相连，使得出风口排出的气体具有一定温度，能够起到烘干作用，使得无法被振动脱离的清洗液在一定温度的作用下蒸发脱离；当然，在其他实施中，吹扫管3也可以沿多个所述工位的排布方向呈环形设置，并围绕振动架1；也可以不沿多个所述工位的排布方向设置，能够保证出风口对石墨舟具有吹扫效果即可；当然，吹扫管3也可以不与热风机相连，此时吹扫管3主要起到吹扫作用，而无法被振动脱离的清洗液仅能够在气体流动的作用下产生蒸发效果。

料台4，为镂空结构的筐体，用于容置所述石墨舟，本实施中所述振动架1用于放置容纳有石墨舟的料台4；当然，在其他实施中，也可以不设置料台4，而将石墨舟直接放置在振动架1上；本实施例对料台4的结构不做具体限定，优选的，料台4具有适于连接挂钩的吊耳，以便于进行移动料台4，且本实施例的料台4为聚丙烯材料，其由聚丙烯管热熔焊接而成，相邻聚丙烯管之间具有空隙以形成镂空结构。

干燥腔8，本实施例的干燥腔8优选为顶部开口的槽体，振动架1设置在干燥腔8内，并在干燥腔8的底部设置用于支撑振动架1的减震垫7，使得振动架1在振动源2的驱动下，在干燥腔8内进行振动，吹扫管3设置在槽体的侧壁，所述干燥腔8的底部设置排液管9，用于将在振动及吹扫作用下脱离的清洗液排出，而蒸发的清洗液通过槽体顶部的开口直接排出；当然，在其他实施例中，也可以不设置干燥腔8，而将振动架1设置在安装平台上，并在安装平台外围设置用于安装吹扫管3的安装架；当然干燥腔8也可以是设有开合连接的安全门的密闭腔室，并设置用于排出蒸汽的排风机。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种石墨舟干燥装置，其特征在于，包括：

振动架(1)，用于放置石墨舟；

振动源(2)，设置于所述振动架(1)，且所述振动源(2)用于驱动所述振动架(1)振动；

吹扫管(3)，设有朝向所述石墨舟的出风口。

2.根据权利要求1所述的石墨舟干燥装置，其特征在于，还包括：

料台(4)，为镂空结构的筐体，用于容置所述石墨舟；

所述振动架(1)用于放置所述料台(4)。

3.根据权利要求2所述的石墨舟干燥装置，其特征在于，所述振动架(1)设有多个用于放置所述料台(4)的工位，且相邻工位之间设有限位件(5)。

4.根据权利要求2所述的石墨舟干燥装置，其特征在于，所述振动源(2)与其相邻的工位之间设有限位件(5)。

5.根据权利要求3所述的石墨舟干燥装置，其特征在于，所述吹扫管(3)沿多个所述工位的排布方向设置。

6.根据权利要求5所述的石墨舟干燥装置，其特征在于，多个所述工位沿直线方向排布设置，所述振动架(1)垂直于直线方向的两侧均设有所述吹扫管(3)。

7.根据权利要求1所述的石墨舟干燥装置，其特征在于，还包括：

防护罩(6)，罩设在所述振动源(2)外。

8.根据权利要求1所述的石墨舟干燥装置，其特征在于，还包括：

减震垫(7)，支撑所述振动架(1)。

9.根据权利要求1-8任一所述的石墨舟干燥装置，其特征在于，还包括：

干燥腔(8)，其内部空间设置所述振动架(1)、所述振动源(2)和所述吹扫管(3)，所述干燥腔(8)的底部设置排液管(9)。

10.根据权利要求9所述的石墨舟干燥装置，其特征在于，所述干燥腔(8)的顶部设置用于气体排出的开口。

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