CN214901332U - 一种应用于rtp退火设备的95v630w卤素灯 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及TRP退火炉发热技术领域，具体公开了一种应用于RTP退火设备的95V630W卤素灯，包括封装灯管和套设在封装灯管上且长度小于封装灯管的散热管，封装灯管内设有发热灯芯，封装灯管一端设有绝缘灯座，绝缘灯座上设有一对插接部，插接部上设有与发热灯芯导电连接的导电插脚，两插接部上还套设有交错布置的柔性O型圈。本实用新型在封装灯管上设置有散热管，确保发热灯芯在通电后得到充分散热，使其发热更加稳定；光源在通电后，热量主要集中在封装灯管伸出散热管的一端，避免绝缘灯座一端过热；本实用新型在插接部上设有交错布置的柔性O型圈，通过交错布置柔性O型圈的方式不仅方便插拔和更换卤素灯，并且安装后更加稳定。
Description
技术领域
本实用新型涉及TRP退火炉发热技术领域，具体涉及一种应用于RTP退火设备的95V630W卤素灯。
背景技术
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态。
现有的退火炉通常使用卤素灯作为热源，卤素灯在工作时，电流通过电极片传递至灯丝，在灯丝和电极片连接的位置会产生较大热量，使得封装部的温度超过容许范围(350℃)，进而导致电极片氧化膨胀甚至导致封装部出现裂缝，造成卤素灯失效；此外，现有技术中的卤素光源安装稳定较低，容易脱落损坏。因此，如何增强卤素灯散热性能和安装稳定性，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。
实用新型内容
针对现有技术中的缺陷，本实用新型提供了一种应用于RTP退火设备的95V630W卤素灯，具有散热效果好、发热稳定、安装稳定等特点。
本实用新型采用的技术方案是：一种应用于RTP退火设备的95V630W卤素灯，包括封装灯管和套设在封装灯管上且长度小于封装灯管的散热管，所述封装灯管内设有发热灯芯，所述封装灯管一端设有绝缘灯座，所述绝缘灯座上设有一对插接部，所述插接部上设有与发热灯芯导电连接的导电插脚，两插接部上还套设有交错布置的柔性O型圈。
本技术方案中；封装灯管上设置有散热管，确保发热灯芯在通电后得到充分散热，使其发热更加稳定；由于散热管与绝缘灯座的一端连接，能够提高封装灯管至绝缘灯座部分区域的散热；防止绝缘灯座过热等；卤素灯安装在RTP退火设备上时，通过插接部插接在设备的热源安装插口上，使导电插脚与设备构成导电连接；本技术方案在插接部上设有交错布置的柔性O型圈，通过交错布置柔性O型圈的方式不仅方便插拔和更换卤素灯，并且安装后更加稳定。
进一步地，两所述插接部的外周上设有嵌装柔性O型圈的嵌入槽，两嵌入槽交错布置。
进一步地，所述发热灯芯位于封装灯管伸出散热管的一端。
进一步地，所述绝缘灯座包括插接段和连接段，所述插接段与散热管插接适配，所述插接部设置在连接段上。
进一步地，所述散热管端部边缘设有环绕插接段布置的固定片，所述固定片卡入插接段与连接段相连的端面上。
进一步地，所述插接段与连接段相连的一端外周上设有若干与固定片卡合适配的固定槽。
进一步地，所述发热灯芯呈螺旋状，并沿封装灯管长度方向布置。
进一步地，所述发热灯芯为卤素发热丝。
进一步地，所述散热管为金属散热管。
本实用新型的有益效果是：本实用新型中在封装灯管上设置有散热管，确保发热灯芯在通电后得到充分散热，使其发热更加稳定；光源在通电后，热量主要集中在封装灯管伸出散热管的一端，避免绝缘灯座一端过热；本实用新型在插接部上设有交错布置的柔性O型圈，通过交错布置柔性O型圈的方式不仅方便插拔和更换卤素灯，并且安装后更加稳定；具有较高的实用价值和推广价值。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。
图1为本实用新型实施例一提供的应用于RTP退火设备的95V630W卤素灯结构图。
附图标记：封装灯管100、散热管200、发热灯芯300、绝缘灯座400、插接部500、导电插脚600、柔性O型圈700、插接段510、连接段520、固定槽511。
具体实施方式
下面将结合附图对本实用新型技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。
需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域技术人员所理解的通常意义。
如图1所示，本实用新型实施例提供了一种应用于RTP退火设备的95V630W卤素灯，该卤素灯用于安装在RTP退火设备上作为发热光源使用，具有发热稳定、散热效果好等优点；其具体包括封装灯管和套设在封装灯管上且长度小于封装灯管的散热管，所述封装灯管内设有发热灯芯，所述封装灯管一端设有绝缘灯座，所述绝缘灯座上设有一对插接部，所述插接部上设有与发热灯芯导电连接的导电插脚，两插接部上还套设有交错布置的柔性O型圈。本实施例在封装灯管上设置有散热管，确保发热灯芯在通电后得到充分散热，使其发热更加稳定；由于散热管与绝缘灯座的一端连接，能够提高封装灯管至绝缘灯座部分区域的散热；防止绝缘灯座过热等；卤素灯安装在TRP退火设备上时，通过插接部插接在设备的热源安装插口上，使导电插脚与设备构成导电连接；本技术方案在插接部上设有交错布置的柔性O型圈，通过交错布置柔性O型圈的方式不仅方便插拔和更换卤素灯，并且安装后更加稳定，柔性O型圈可选用硅胶材质制作，柔性更好，更方便安装拆卸同时提高安装的稳定性；散热管则可选用金属片卷绕成型，金属材质可选用铜，确保其散热效果，封装灯管则可选用石英材质的玻璃管，具有耐高温等特点；常用规格为95V、630W；使用通光量1026l/m、光效为16.73lm/w。
为了方便安装柔性O型圈，本实施例在两插接部的外周上设有嵌装柔性O型圈的嵌入槽，两嵌入槽交错布置。这样，各个柔性O型圈可稳定安装在嵌入槽内，防止柔性O型圈脱落。
如前所述，本卤素光源用于起到发热作用，在确保其良好散热效果的发热灯芯位于封装灯管伸出散热管的一端。这样，光源在通电后，热量主要集中在封装灯管伸出散热管的一端，从而稳定提高退火炉区域内的温度，还可降低绝缘灯座一端的温度，避免绝缘灯座一端过热；封装灯管内的发热灯芯呈螺旋状，并沿封装灯管长度方向布置，在材质上选用卤素发热丝，卤素灯丝具有热效率高、加热不氧化等优点；在使用时升温快、热惯性小、热化学性能稳定性好，使用寿命长，绝缘强度高；其使用效果良好。
如前所述，绝缘灯座一方面用于连接散热管、一方面用于安装光源；本实施例中的绝缘灯座包括插接段和连接段，所述插接段与散热管插接适配，所述插接部设置在连接段上。这样，散热管套设在封装灯管上后可与插接段插接适配，而连接段可与插接部相连；此外，为了提高散热管安装的稳定性，散热管端部边缘设有环绕插接段布置的固定片，所述固定片卡入插接段与连接段相连的端面上。插接段与连接段相连的一端外周上设有若干与固定片卡合适配的固定槽。这样，散热管与插接部插接适配后，固定片能够卡入各个固定槽内，提高散热管安装的稳定性，防止散热管脱落。
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求和说明书的范围当中。
Claims (9)
1.一种应用于RTP退火设备的95V630W卤素灯，其特征在于；包括封装灯管和套设在封装灯管上且长度小于封装灯管的散热管，所述封装灯管内设有发热灯芯，所述封装灯管一端设有绝缘灯座，所述绝缘灯座上设有一对插接部，所述插接部上设有与发热灯芯导电连接的导电插脚，两插接部上还套设有交错布置的柔性O型圈。
2.根据权利要求1所述的应用于RTP退火设备的95V630W卤素灯，其特征在于；两所述插接部的外周上设有嵌装柔性O型圈的嵌入槽，两嵌入槽交错布置。
3.根据权利要求1所述的应用于RTP退火设备的95V630W卤素灯，其特征在于；所述发热灯芯位于封装灯管伸出散热管的一端。
4.根据权利要求1所述的应用于RTP退火设备的95V630W卤素灯，其特征在于；所述绝缘灯座包括插接段和连接段，所述插接段与散热管插接适配，所述插接部设置在连接段上。
5.根据权利要求1所述的应用于RTP退火设备的95V630W卤素灯，其特征在于；所述散热管端部边缘设有环绕插接段布置的固定片，所述固定片卡入插接段与连接段相连的端面上。
6.根据权利要求5所述的应用于RTP退火设备的95V630W卤素灯，其特征在于；所述插接段与连接段相连的一端外周上设有若干与固定片卡合适配的固定槽。
7.根据权利要求1所述的应用于RTP退火设备的95V630W卤素灯，其特征在于；所述发热灯芯呈螺旋状，并沿封装灯管长度方向布置。
8.根据权利要求1所述的应用于RTP退火设备的95V630W卤素灯，其特征在于；所述发热灯芯为卤素发热丝。
9.根据权利要求1所述的应用于RTP退火设备的95V630W卤素灯，其特征在于；所述散热管为金属散热管。
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN114318547A (zh) * | 2021-12-24 | 2022-04-12 | 武汉嘉仪通科技有限公司 | 红外快速退火炉 |
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2021
- 2021-06-01 CN CN202121209669.3U patent/CN214901332U/zh active Active
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Denomination of utility model: A 95V630W halogen lamp applied to RTP annealing equipment Granted publication date: 20211126 Pledgee: Bank of China Limited by Share Ltd. Huaian Huaiyin branch Pledgor: Huai'an jingling Electronic Technology Co.,Ltd. Registration number: Y2024980006401 |
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