CN214782099U - 一种蒸镀装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种蒸镀装置，包括真空腔体和设于真空腔体内的复数个坩埚，所述真空腔体顶部设有进料口，复数个所述坩埚均通过一进料管与所述进料口连接；还包括一进料开关，所述进料开关设有开口，所述进料开关可转动地设于所述进料口，所述进料开关转动时开口与进料管连通。使用本实用新型可以提高坩埚的原料填充效率。

Description

一种蒸镀装置

技术领域

本实用新型涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种蒸镀装置。

背景技术

OLED，即有机发光二极管(organic light-emitting diode)是继LCD后新一代的显示器，具有宽视角、高亮度、高对比度、低驱动电压和快速响应的优点，由于OLED器件对水氧十分敏感，因此在制作OLED显示器时，主要采用在高真空环境下蒸镀成膜，坩埚作为蒸镀设备的蒸发源，盛放金属或有机材料，材料受热汽化后沉积到玻璃基板上形成有机薄膜，用于实现OLED器件发光。

现有技术的蒸镀设备中，坩埚单次填料量有限，特别是熔融型有机材料，原始为粉末状，温度超过其熔点后液化，体积会比固态时缩小约1/3，在材料用至一定量后需要对蒸镀腔室破真空，取出坩埚重新添加材料，如此降低了OLED显示器连续制作时间，同时也降低了设备利用率及生产效率，因此有必要对目前OLED显示器制作的蒸镀设备进行改进优化，以解决或缓解上述问题。

实用新型内容

为了克服上述现有技术的缺陷，本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能提高填料效率的蒸镀装置。

为实现上述技术目的，本实用新型的技术方案如下：

一种蒸镀装置，包括真空腔体和设于真空腔体内的复数个坩埚，所述真空腔体顶部设有进料口，复数个所述坩埚均通过一进料管与所述进料口连接；还包括一进料开关，所述进料开关设有开口，所述进料开关可转动地设于所述进料口，所述进料开关转动时开口与进料管连通。

进一步的，还包括一进料斗，所述进料斗设有复数个容纳槽，每个容纳槽均设有一出料口，所述出料口与所述进料管连接。

进一步的，所述进料口设有密封罩。

进一步的，所述密封罩设有通槽，所述通槽设有一可翻转地密封盖板，所述密封罩可转动地设于所述进料口，所述进料开关固定于通槽。

进一步的，所述进料口的环周设有数字标识，每个数字标识对应一个坩埚，密封罩的外表面设有指示箭头，所述箭头位置与进料开关的开口对应。

进一步的，所述真空腔体设有观测窗。

进一步的，真空腔体内壁设有可拆卸的遮挡板。

进一步的，所述真空腔体设有抽真空装置和破真空装置。

进一步的，还包括一控制面板，每个所述坩埚均设有一个加热源，所述控制面板控制每个加热源的加热温度。

本实用新型的有益效果在于：

采用本实用新型技术方案的蒸镀装置，在填料时只需转动进料开关，使进料开关的开口对准进料管即可对真空腔体内的坩埚进行填料，无需将坩埚从真空腔体内取出，提高填料效率。

附图说明

图1为本实用新型内部的结构示意图；

图2为本实用新型的俯视图；

图3为本实用新型整体的结构示意图；

图4为本实用新型设有进料斗的结构示意图；

图5为本实用新型设有进料斗的俯视图；

图6为本实用新型设有密封罩的结构示意图；

标号说明：

1、真空腔体；2、坩埚；3、进料管；4、进料开关；5、开口；6、进料斗；7、容纳槽；8、出料口；9、密封罩；10、密封盖板；11、数字标识；12、箭头；13、观测窗；14、遮挡板；15、抽真空装置；16、破真空装置。

具体实施方式

为详细说明本实用新型的技术内容、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。

参照图1至图3，一种蒸镀装置，包括真空腔体1、加热源(图中未视出)和复数个坩埚2，真空腔体1顶部设有进料口，复数个所述坩埚均通过一进料管3与进料口连接；本技术方案还包括一进料开关4，进料开关4开设有开口5，进料开关4可转动地设于进料口，进料开关4在转动过程中开口5会与不同位置的进料管3连通。本技术方案真空腔体1内设有5个坩埚2，坩埚2的数量根据蒸镀工艺而定，并不局限于5个。

使用原理：

当真空腔体1内的坩埚2需要填料时，转动进料开关4，使开口5对准需要进料坩埚2且与坩埚2连接的进料管3，将原料从开口5放入即可；本技术方案的进料口采用进料开关4的结构，是为了防止在填料时原料进入过坩埚2时混合。

参照图2、图4和图5，本技术方案还包括一进料斗6，进料斗6设有复数个容纳槽7，容纳槽7的数量与坩埚2的数量相等，每个容纳槽7均设有一出料口8，出料口8与进料管3连接。使用时只需将进料管3与出料口8的对接部设置在进料开关4处，转动进料开关4时，进料斗6内的原料就会自动进入坩埚2，使用方便。

参照图6，为了加强真空腔体1的密封性，进料口设有密封罩9。本实施方的密封罩9设有通槽，通槽设有一可翻转地密封盖板10，密封罩9可转动地设于进料口，进料开关固定于通槽，采用该结构的密封罩9在填料时只需打开密封盖板10即可，无需将密封罩9从进料口上拆卸下来。为了能够清楚开口是对准哪个进料管，本实施方式进料口的环周设有数字标识11，每个数字标识对应一个坩埚，即将进料管进行编排，密封罩9的外表面设有指示箭头12，箭头12位置与进料开关的开口对应。

参照图1，本技术方案的真空腔体1设有观测窗13，观测窗13的设置便于观察坩埚2原料的消耗情况和控制原料的填充量。

参照图1，本技术方案的真空腔体1内壁设有可拆卸的遮挡板14。遮挡板14供材料气体附着凝固并可更换，避免真空腔体1附着材料过多造成污染。遮挡板14的可拆卸结构可采用挂钩的形式或粘合于内壁，在这就不加赘述。

参照图1，本技术方案的真空腔体1设有抽真空装置15和破真空装置16。抽真空装置15用于维持真空腔体1内的真空度，以满足蒸镀工艺的所需要的真空环境；破真空装置16用于取坩埚时往真空腔体1内充入气体，直到真空腔体1压力与外界大气压力水平一致，然后打开真空腔体1取出坩埚2。

本技术方案，还包括一控制面板(图中未视出)，每个坩埚2均设有一个加热源(图中未视出)，控制面板(图中未视出)控制每个加热源(图中未视出)的加热温度。采用该技术方案是为控制每个坩埚2的加热温度，以满足对不同原料所需的加热温度。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等同变换，或直接或间接运用在相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (9)

1.一种蒸镀装置，其特征在于：包括真空腔体和设于真空腔体内的复数个坩埚，所述真空腔体顶部设有进料口，复数个所述坩埚均通过一进料管与所述进料口连接；还包括一进料开关，所述进料开关设有开口，所述进料开关可转动地设于所述进料口，所述进料开关转动时开口与进料管连通。

2.根据权利要求1所述的一种蒸镀装置，其特征在于：还包括一进料斗，所述进料斗设有复数个容纳槽，每个容纳槽均设有一出料口，所述出料口与所述进料管连接。

3.根据权利要求1所述的一种蒸镀装置，其特征在于：所述进料口设有密封罩。

4.根据权利要求1所述的一种蒸镀装置，其特征在于：所述进料口设有密封罩，所述密封罩设有通槽，所述通槽设有一可翻转地密封盖板，所述密封罩可转动地设于所述进料口，所述进料开关固定于通槽。

5.根据权利要求4所述的一种蒸镀装置，其特征在于：所述进料口的环周设有数字标识，每个数字标识对应一个坩埚，密封罩的外表面设有指示箭头，所述箭头位置与进料开关的开口对应。

6.根据权利要求1所述的一种蒸镀装置，其特征在于：所述真空腔体设有观测窗。

7.根据权利要求1所述的一种蒸镀装置，其特征在于：所述真空腔体内壁设有可拆卸的遮挡板。

8.根据权利要求1所述的一种蒸镀装置，其特征在于：所述真空腔体设有抽真空装置和破真空装置。

9.根据权利要求1所述的一种蒸镀装置，其特征在于：还包括一控制面板，每个所述坩埚均设有一个加热源，所述控制面板控制每个加热源的加热温度。

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