CN205420532U - 一种金属蒸镀装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种金属蒸镀装置。该金属蒸镀装置包括蒸镀腔体和至少一个坩埚，还包括填料腔体、填料机构、安装于蒸镀腔室内的第一滑轨、安装于填料腔室内的第二滑轨和储料机构；填料腔室与蒸镀腔室之间通过连通通道连接；填料机构包括基座和蒸镀材料取放装置，基座可沿第一滑轨的延伸方向和第二滑轨的延伸方向滑动以调节蒸镀材料取放装置的位置，蒸镀材料取放装置用于从储料机构中取得储存的蒸镀材料、且将从储料机构中取得的蒸镀材料填充到坩埚中。该金属蒸镀装置能够连续生产、节约生产时间、提高生产效率和蒸镀质量。

Description

一种金属蒸镀装置

技术领域

本实用新型涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种金属蒸镀装置。

背景技术

目前，在一般的金属蒸镀装置中，随着蒸镀过程的进行，坩埚中的蒸镀材料会逐渐减少，直至材料使用完成，此时必须将蒸镀过程停止，将蒸镀腔室打开，进行人为的蒸镀材料填充动作。众所周知，金属蒸镀装置由大气状态恢复至可以进行金属材料蒸镀的真空状态需要较长的时间，造成生产中断、浪费生产时间的问题。

同时，蒸镀腔室的多次开关会使得蒸镀腔室内部吸附的水分、氧气等影响金属蒸镀成膜品质的其他杂质气体增多，影响蒸镀质量，尤其是蒸镀镁、银等活性较高的金属材料时，要求水氧含量要尽可能的少。

因此，提供一种能够连续生产、节约生产时间、提高生产效率和蒸镀质量的金属蒸镀装置成为蒸镀行业急需解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型提供了一种金属蒸镀装置，该金属蒸镀装置能够连续生产、节约生产时间，进而提高生产效率和蒸镀质量。

为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案：

一种金属蒸镀装置，包括具有蒸镀腔室的蒸镀腔体和安装于所述蒸镀腔室的至少一个坩埚；还包括：

具有填料腔室的填料腔体，所述填料腔室与蒸镀腔室之间通过连通通道连接；

安装于所述蒸镀腔室内的第一滑轨；

安装于所述填料腔室内的第二滑轨和储料机构，所述储料机构用于储存蒸镀材料；

填料机构，所述填料机构包括基座和安装于所述基座的蒸镀材料取放装置，所述基座可沿所述第一滑轨的延伸方向和所述第二滑轨的延伸方向滑动以调节所述蒸镀材料取放装置的位置，所述蒸镀材料取放装置用于从所述储料机构中取得储存的蒸镀材料、且将从所述储料机构中取得的所述蒸镀材料填充到所述坩埚中。

上述金属蒸镀装置在蒸镀过程中，坩埚中的蒸镀材料减少到预定数量后，通过填料机构将储料机构中储存的蒸镀材料转移到坩埚中，并且在通过填料机构向坩埚中添加蒸镀材料的过程中，可使蒸镀持续进行，直至储料机构中储存的蒸镀材料以及坩埚中的蒸镀材料用尽，因此，该金属蒸镀装置能够进行连续蒸镀。

上述金属蒸镀装置在增设的填料腔室中设有储存蒸镀材料的储料机构，填料腔室和蒸镀腔室通过连通通道连接，通过第一滑轨和第二滑轨使填料机构在蒸镀腔室和填料腔室之间往复移动，以便通过填料机构的蒸镀材料取放装置将储料机构中储存的蒸镀材料转移到坩埚中；由于储料机构一次能够储存较多的蒸镀材料，因此，储料机构中储存的蒸镀材料可供坩埚在蒸镀过程多次使用，使金属蒸镀装置能够进行连续蒸镀，不会因为坩埚中蒸镀材料的用尽而中断生产，同时，由于能够连续蒸镀，减少了蒸镀腔室的开关次数，进而减少了对蒸镀腔室多次抽真空所浪费的时间，还可减少蒸镀腔室内部吸附的水分、氧气等影响金属蒸镀成膜品质的其他杂质气体，使蒸镀质量提高。

因此，上述金属蒸镀装置够连续生产、节约生产时间、提高生产效率和蒸镀质量。

优选地，所述连通通道为可开闭的连通通道，当所述连通通道处于开启状态时，所述填料腔室与蒸镀腔室之间连通，并且当所述连通通道处于闭合状态时，所述填料腔室与蒸镀腔室之间相互隔离。

由于上述金属蒸镀装置在填料腔室与蒸镀腔室之间连接有可开闭的连通通道，因此，在金属蒸镀装置进行蒸镀的过程中，可使填料腔室与蒸镀腔室之间的连通通道处于闭合状态，一方面可以将蒸镀腔室中的蒸镀金属保留在蒸镀腔室中，防止蒸镀金属进入填料腔室，另一方面还可以将填料腔室内的水分、氧气等影响金属蒸镀成膜品质的其他杂质气体隔离在蒸镀腔室外，因此，该金属蒸镀装置还能节约蒸镀金属、改善蒸镀腔室的蒸镀环境，进而降低生产成本、提高生产效率和蒸镀质量。

同时，由于在填料腔室与蒸镀腔室之间连接有可开闭的连通通道，可以在储料机构需要补充蒸镀材料的时候，关闭填料腔室与蒸镀腔室之间的连通通道，在不影响蒸镀生产的同时，还可以为储料机构补充蒸镀材料，此时，储料机构中的蒸镀材料可以随时得到补充，进而坩埚中的蒸镀材料也会得到源源不断地供给，因此，该金属蒸镀装置可以实现真正的连续生产，进一步减少蒸镀腔室的开关次数、减少对蒸镀腔室抽真空所浪费的时间，进而节约生产时间、提高生产效率和蒸镀质量。

优选地，所述蒸镀材料取放装置包括连接臂，所述连接臂的一端安装于所述基座，且另一端设有用于取放蒸镀材料的取放料斗。

优选地，所述连接臂为伸缩臂。

优选地，所述连接臂的一端通过第一转轴安装于所述基座，且所述连接臂可相对于所述基座绕所述第一转轴的轴心线旋转、以使所述连接臂的另一端在水平面内位置可调。

优选地，所述取放料斗具有可开闭的底板，当所述底板处于开启状态时，所述取放料斗中的蒸镀材料在重力的作用下自动卸载；当所述底板处于关闭状态时，所述取放料斗用作保存蒸镀材料的容器。

优选地，所述储料机构包括储料盘，所述储料盘形成有多个储料槽。

优选地，在所述填料腔室内安装有第二转轴，所述储料盘可相对于所述第二转轴的轴心线转动地安装于所述第二转轴，多个所述储料槽沿所述第二转轴的轴心线周向分布；所述填料腔室内形成所述填料机构的取料工位；当所述填料机构处于取料工位时，所述储料盘中的任意一个所述储料槽均可旋转至与所述取放料斗沿竖直方向对齐的位置，且当每一个所述储料槽旋转至与所述取放料斗沿竖直方向对齐时，所述储料槽位于所述取放料斗的上方、且将所述储料槽中的蒸镀材料转移到所述取放料斗中。

优选地，在每一个储料槽的底部设置有卸放蒸镀材料的卸料开口，且所述储料槽上设有用于开闭所述卸料开口的封闭机构。

优选地，在所述第二转轴上安装有与所述第二转轴相对固定的底盘；所述底盘上设置有卸料通孔，当所述填料机构处于取料工位时，所述卸料通孔与取放料斗的上部进料口沿竖直方向对齐，且当每一个所述储料槽旋转至与所述取放料斗沿竖直方向对齐时，所述储料槽位于所述取放料斗的上方、且所述储料槽中的蒸镀材料通过所述卸料通孔转移到所述取放料斗中。

优选地，多个所述储料槽为由动密封配合在所述底盘上的两个环形挡板以及固定连接在两个环形挡板之间的多个隔板构成的多个储料槽。

优选地，在所述填料腔体上设置有与所述储料机构位置相对应的手动填料开口和用于开闭所述手动填料开口的手动填料门。

优选地，还包括与所述蒸镀腔室连通的第一抽真空装置和与所述填料腔室连通的第二抽真空装置。

优选地，所述连通通道通过控制机构的控制进行开合状态的转换。

优选地，所述控制机构为大型阀门。

附图说明

图1为本实用新型一种实施例提供的金属蒸镀装置的结构示意图；

图2为本实用新型一种实施例提供的金属蒸镀装置的储料机构和填料机构的工作原理示意图；

图3为本实用新型一种实施例提供的金属蒸镀装置的填料机构将蒸镀材料添加到坩埚中的工作原理示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型实施例提供了一种金属蒸镀装置，该金属蒸镀装置增设了与蒸镀腔室连通的填料腔室，并在填料腔室内设置有储料机构，通过在第一滑轨和第二滑轨上往复移动的填料机构将储料机构中储存的蒸镀材料转移到坩埚中，使金属蒸镀装置能够连续生产、节约生产时间、提高生产效率和蒸镀质量。

为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案：

其中，请参考图1、图2以及图3，本实用新型一种实施例提供的金属蒸镀装置，包括具有蒸镀腔室的蒸镀腔体1和安装于蒸镀腔室的至少一个坩埚2，如图1中在蒸镀腔室内安装有三个坩埚2；还包括：

具有填料腔室的填料腔体3，填料腔室与蒸镀腔室之间通过连通通道4连接；

安装于蒸镀腔室内的第一滑轨5；

安装于填料腔室内的第二滑轨6和储料机构7，储料机构7用于储存蒸镀材料12；

填料机构8，填料机构8包括基座81和安装于基座81的蒸镀材料取放装置，基座81可沿第一滑轨5的延伸方向和第二滑轨6的延伸方向滑动以调节蒸镀材料取放装置的位置，蒸镀材料取放装置用于从储料机构7中取得储存的蒸镀材料12、且将从储料机构7中取得的蒸镀材料12填充到坩埚2中。

上述金属蒸镀装置在蒸镀过程中，坩埚2中的蒸镀材料12减少到预定数量后，通过填料机构8将储料机构7中储存的蒸镀材料12转移到坩埚2中，并且通过填料机构8向坩埚2中添加蒸镀材料12的过程中，可使蒸镀持续进行，直至储料机构7中储存的蒸镀材料12以及坩埚2中的蒸镀材料12用尽，因此，该金属蒸镀装置能够进行连续蒸镀。

上述金属蒸镀装置在增设的填料腔室中设有储存蒸镀材料12的储料机构7，填料腔室和蒸镀腔室通过连通通道4连接，通过第一滑轨5和第二滑轨6使填料机构8在蒸镀腔室和填料腔室之间往复移动，以便通过填料机构8的蒸镀材料取放装置将储料机构7中储存的蒸镀材料12转移到坩埚2中；由于储料机构7一次能够储存较多的蒸镀材料12，因此，储料机构7中储存的蒸镀材料12可供坩埚2在蒸镀过程多次使用，使金属蒸镀装置能够进行连续蒸镀，不会因为坩埚2中蒸镀材料12的用尽而中断生产，同时，由于能够连续蒸镀，减少了蒸镀腔室的开关次数，进而减少了对蒸镀腔室多次抽真空所浪费的时间，还可减少蒸镀腔室内部吸附的水分、氧气等影响金属蒸镀成膜品质的其他杂质气体，使蒸镀质量提高。

因此，上述金属蒸镀装置够连续生产、节约生产时间、提高生产效率和蒸镀质量。

一种具体的实施方式中，上述金属蒸镀装置的连通通道4为可开闭的连通通道4，当连通通道4处于开启状态时，填料腔室与蒸镀腔室之间连通，并且当连通通道4处于闭合状态时，填料腔室与蒸镀腔室之间相互隔离。

由于上述金属蒸镀装置在填料腔室与蒸镀腔室之间连接有可开闭的连通通道4，因此，在金属蒸镀装置进行蒸镀的过程中，可使填料腔室与蒸镀腔室之间的连通通道4处于闭合状态，一方面可以将蒸镀腔室中的蒸镀金属保留在蒸镀腔室中，防止蒸镀金属进入填料腔室，另一方面还可以将填料腔室内的水分、氧气等影响金属蒸镀成膜品质的其他杂质气体隔离在蒸镀腔室外，因此，该金属蒸镀装置还能节约蒸镀金属、改善蒸镀腔室的蒸镀环境，进而降低生产成本、提高生产效率和蒸镀质量。

同时，由于在填料腔室与蒸镀腔室之间连接有可开闭的连通通道4，可以在储料机构7需要补充蒸镀材料12的时候，关闭填料腔室与蒸镀腔室之间的连通通道4，在不影响蒸镀生产的同时，又可以为储料机构7补充蒸镀材料12，此时，储料机构7中的蒸镀材料12可以随时得到补充，进而坩埚2中的蒸镀材料12也会得到源源不断地供给，因此，该金属蒸镀装置可以实现真正的连续生产，进一步减少蒸镀腔室的开关次数、减少对蒸镀腔室抽真空所浪费的时间，进而节约生产时间、提高生产效率和蒸镀质量。

为了使连通通道4能够处于开启状态或闭合状态，连通通道4可以通过控制机构的控制进行开合状态的转换，控制机构可以为大型阀门，如：大型电动阀门、大型气动阀门等。

为了不影响后续蒸镀工艺的正常进行，在对填料腔室中的储料机构7补充蒸镀材料12以后，按照蒸镀工艺的要求，需要对填料腔室进行抽真空处理，以减少在补充蒸镀材料12的同时使填料腔室中进入的水分、氧气等影响金属蒸镀成膜品质的其他杂质气体影响蒸镀质量，上述金属蒸镀装置还可以包括与蒸镀腔室连通的第一抽真空装置10和与填料腔室连通的第二抽真空装置11，如图1结构所示，第一抽真空装置10通过管道101与蒸镀腔室连通，第二抽真空装置11通过管道111与填料腔室连通。

由于金属蒸镀装置还包括与蒸镀腔室连通的第一抽真空装置10和与填料腔室连通的第二抽真空装置11，因此，金属蒸镀装置可以对填料腔室和蒸镀腔室单独进行抽真空处理，使蒸镀生产和储料机构7的补料可以同时进行，并且互不影响。尤其在金属蒸镀装置开始启动工作时，由于第一抽真空装置10和第二抽真空装置11可以同时进行抽真空处理，因此可以使蒸镀腔室和填料腔室的真空状态迅速满足工艺要求，能够进一步节约生产时间、提高生产效率。

当然，为了降低金属蒸镀装置的成本，也可以使填料腔室和蒸镀腔室共用一个抽真空装置。但是，在储料机构7中的蒸镀材料12用尽时，由于需要向储料机构7补充蒸镀材料而需要使填料腔室与外界连通，再次开始蒸镀之前需要对填料腔室和蒸镀腔室进行抽真空处理，因此，只能使蒸镀生产中断，在向储料机构7补充足够的蒸镀材料和抽真空以后才能继续进行。

具体地，如图2以及图3所示，蒸镀材料取放装置包括连接臂82，连接臂82的一端安装于基座81，且另一端设有用于取放蒸镀材料12的取放料斗83。

更进一步地，连接臂82为伸缩臂。

当连接臂82为伸缩臂时，由于伸缩臂能够伸长和缩短，使伸缩臂可活动的距离范围变大，因此，金属蒸镀装置可以根据实际需要灵活地设置坩埚2的位置以及储料机构7的位置。

为了使蒸镀材料取放装置能够更加方便地取料和卸料，如图1结构所示，连接臂82的一端通过第一转轴84安装于基座81，且连接臂82可相对于基座81绕第一转轴84的轴心线旋转、以使连接臂82的另一端在水平面内位置可调。

由于上述金属蒸镀装置的连接臂82能够相对于基座81旋转，如图2和图3结构所示，因此，无论是取放料斗83在从储料机构7中取得蒸镀材料12，还是取放料斗83将取得的蒸镀材料添加到坩埚2中时，取放料斗83均可以通过连接臂82相对于基座81的旋转，而能够轻松、快速地使取放料斗83进行与坩埚2或储料机构7进行对位，进而节约生产时间、提高生产效率。

为了使取放料斗83能够快速、高效地将其中的蒸镀材料12添加到坩埚2中，取放料斗83具有可开闭的底板831，当底板831处于开启状态时，取放料斗83中的蒸镀材料12在重力的作用下自动卸载；当底板831处于关闭状态时，取放料斗83用作保存蒸镀材料12的容器。还可以在取放料斗83上设置对底板831进行开闭控制的控制机构，控制机构可为气缸、油缸或电动推杆等。

一种具体的实施方式中，如图1所示，储料机构7包括储料盘71，储料盘71形成有多个储料槽711。

上述储料机构7的储料盘71可以为方形、圆形等多种形状，如图1结构所示，储料槽711可以为周向均布在圆形储料盘71上的多个储料槽711，也可以为阵列分布在方形储料盘上的多个储料槽。

具体地，在填料腔室内安装有第二转轴72，储料盘71可相对于第二转轴72的轴心线转动地安装于第二转轴72，多个储料槽711沿第二转轴72的轴心线周向分布；填料腔室内形成填料机构8的取料工位；当填料机构8处于取料工位时，储料盘71中的任意一个储料槽711均可旋转至与取放料斗83沿竖直方向对齐的位置，且当每一个储料槽711旋转至与取放料斗83沿竖直方向对齐时，储料槽711位于取放料斗83的上方、且将储料槽711中的蒸镀材料12转移到取放料斗83中。

当金属蒸镀装置的坩埚2中需要补充蒸镀材料12时，填料机构8通过第一滑轨5和第二滑轨6从蒸镀腔室移动到填料腔室中并进入取料工位，其中一个装有蒸镀材料12的储料槽711随着储料盘71相对于第二转轴72转动的同时，该储料槽711旋转到沿竖直方向与取放料斗83对齐，并将储料槽711中的蒸镀材料12转移到取放料斗83中，装有蒸镀材料12的取放料斗83沿第二滑轨6和第一滑轨5移动到蒸镀腔室内，通过连接臂82相对于第一转轴84的旋转，使取放料斗83沿竖直方向与需要补充蒸镀材料12的坩埚2对齐，并将取放料斗83中的蒸镀材料添加到坩埚2中，完成一次蒸镀材料的添加。

在上述储料槽711中的蒸镀材料进入取放料斗83的过程中，储料槽711可通过以下两种方式将蒸镀材料12转移到取放料斗83中：

方式一：在每一个储料槽711的底部设置有卸放蒸镀材料12的卸料开口，且储料槽711上设有用于开闭卸料开口的封闭机构；在取放料斗83处于取料工位时，储料槽711旋转到沿竖直方向与取放料斗83对齐时，储料槽711上的封闭机构将卸料开口打开，使储料槽711中的蒸镀材料在重力作用下落入取放料斗83中。

方式二：如图2所示，在第二转轴72上安装有与第二转轴72相对固定的底盘73；底盘73上设置有卸料通孔731，当填料机构8处于取料工位时，卸料通孔731与取放料斗83的上部进料口沿竖直方向对齐，且当每一个储料槽711旋转至与取放料斗83沿竖直方向对齐时，储料槽711位于取放料斗83的上方、且储料槽711中的蒸镀材料12通过卸料通孔731转移到取放料斗83中。

在方式二的基础上，为了简化结构，多个储料槽711可以为由动密封配合在底盘73上的两个环形挡板以及固定连接在两个环形挡板之间的多个隔板714构成的多个储料槽711，如图1中结构所示的环形挡板712、环形挡板713以及多个隔板714，图2中结构所示的环形挡板712和环形挡板713。

在上述任何一种实施例提供的金属蒸镀装置的基础上，为了能够方便地向填料腔体3内的储料机构7中添加蒸镀材料12，均可在填料腔体3上设置有与储料机构7位置相对应的手动填料开口和用于开闭手动填料开口的手动填料门9。当然，为了能够方便、快速地对储料机构添加蒸镀材料，可以在打开手动填料门9的时候，对整个储料机构7进行更换；而且，在生产条件允许的情况下，还可以对整个填料腔体3进行更换，以满足生产的需要。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型实施例进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (15)

1.一种金属蒸镀装置，包括具有蒸镀腔室的蒸镀腔体和安装于所述蒸镀腔室的至少一个坩埚；其特征在于，还包括：

具有填料腔室的填料腔体，所述填料腔室与蒸镀腔室之间通过连通通道连接；

安装于所述蒸镀腔室内的第一滑轨；

安装于所述填料腔室内的第二滑轨和储料机构，所述储料机构用于储存蒸镀材料；

填料机构，所述填料机构包括基座和安装于所述基座的蒸镀材料取放装置，所述基座可沿所述第一滑轨的延伸方向和所述第二滑轨的延伸方向滑动以调节所述蒸镀材料取放装置的位置，所述蒸镀材料取放装置用于从所述储料机构中取得储存的蒸镀材料、且将从所述储料机构中取得的所述蒸镀材料填充到所述坩埚中。

2.根据权利要求1所述的金属蒸镀装置，其特征在于，所述连通通道为可开闭的连通通道，当所述连通通道处于开启状态时，所述填料腔室与蒸镀腔室之间连通，并且当所述连通通道处于闭合状态时，所述填料腔室与蒸镀腔室之间相互隔离。

3.根据权利要求1所述的金属蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀材料取放装置包括连接臂，所述连接臂的一端安装于所述基座，且另一端设有用于取放蒸镀材料的取放料斗。

4.根据权利要求3所述的金属蒸镀装置，其特征在于，所述连接臂为伸缩臂。

5.根据权利要求3所述的金属蒸镀装置，其特征在于，所述连接臂的一端通过第一转轴安装于所述基座，且所述连接臂可相对于所述基座绕所述第一转轴的轴心线旋转、以使所述连接臂的另一端在水平面内位置可调。

6.根据权利要求3所述的金属蒸镀装置，其特征在于，所述取放料斗具有可开闭的底板，当所述底板处于开启状态时，所述取放料斗中的蒸镀材料在重力的作用下自动卸载；当所述底板处于关闭状态时，所述取放料斗用作保存蒸镀材料的容器。

7.根据权利要求3所述的金属蒸镀装置，其特征在于，所述储料机构包括储料盘，所述储料盘形成有多个储料槽。

8.根据权利要求7所述的金属蒸镀装置，其特征在于，在所述填料腔室内安装有第二转轴，所述储料盘可相对于所述第二转轴的轴心线转动地安装于所述第二转轴，多个所述储料槽沿所述第二转轴的轴心线周向分布；所述填料腔室内形成所述填料机构的取料工位；当所述填料机构处于取料工位时，所述储料盘中的任意一个所述储料槽均可旋转至与所述取放料斗沿竖直方向对齐的位置，且当每一个所述储料槽旋转至与所述取放料斗沿竖直方向对齐时，所述储料槽位于所述取放料斗的上方、且将所述储料槽中的蒸镀材料转移到所述取放料斗中。

9.根据权利要求8所述的金属蒸镀装置，其特征在于，在每一个储料槽的底部设置有卸放蒸镀材料的卸料开口，且所述储料槽上设有用于开闭所述卸料开口的封闭机构。

10.根据权利要求8所述的金属蒸镀装置，其特征在于，在所述第二转轴上安装有与所述第二转轴相对固定的底盘；所述底盘上设置有卸料通孔，当所述填料机构处于取料工位时，所述卸料通孔与取放料斗的上部进料口沿竖直方向对齐，且当每一个所述储料槽旋转至与所述取放料斗沿竖直方向对齐时，所述储料槽位于所述取放料斗的上方、且所述储料槽中的蒸镀材料通过所述卸料通孔转移到所述取放料斗中。

11.根据权利要求10所述的金属蒸镀装置，其特征在于，多个所述储料槽为由动密封配合在所述底盘上的两个环形挡板以及固定连接在两个环形挡板之间的多个隔板构成的多个储料槽。

12.根据权利要求1-11任一项所述的金属蒸镀装置，其特征在于，在所述填料腔体上设置有与所述储料机构位置相对应的手动填料开口和用于开闭所述手动填料开口的手动填料门。

13.根据权利要求1-11任一项所述的金属蒸镀装置，其特征在于，还包括与所述蒸镀腔室连通的第一抽真空装置和与所述填料腔室连通的第二抽真空装置。

14.根据权利要求1-11任一项所述的金属蒸镀装置，其特征在于，所述连通通道通过控制机构的控制进行开合状态的转换。

15.根据权利要求14所述的金属蒸镀装置，其特征在于，所述控制机构为大型阀门。