CN214734182U - 基于手动液压堆高车的碳化硅晶体炉下沉出料装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及出料装置，具体是一种基于手动液压堆高车的碳化硅晶体炉下沉出料装置，包括手动液压堆高车，所述手动液压堆高车包括L型门架，所述L型门架包括布置在地面上的水平底架、与水平底架垂直布置的竖直架，所述竖直架上布置有可升降的货叉，其技术要点是：所述货叉上布置有升降工作单元，所述升降工作单元包括布置在货叉上方的下炉盖托架、与下炉盖托架可拆卸连接的下炉盖，所述下炉盖的上表面上固定有热场支座，所述热场支座上固定有热场。其结构简单，解决了因晶体生长设备上开盖而影响碳化硅晶体质量的问题，装炉、取晶操作都十分便捷。

Description

基于手动液压堆高车的碳化硅晶体炉下沉出料装置

技术领域

本实用新型涉及出料装置，具体是一种基于手动液压堆高车的碳化硅晶体炉下沉出料装置。

背景技术

半导体产业发展至今经历了三个阶段，以碳化硅为代表的第三代半导体材料，相较前两代产品，具有高击穿电场、高饱和电子速度、高热导率、高电子密度、高迁移率等特点，受到了业内的广泛好评，而且在电子、印刷、通讯、探测、环保等领域都具有巨大的应用潜力。

近年来，碳化硅衬底的直径做得越来越大，随之而来的晶体生长问题也愈发明显：

1.现有的碳化硅晶体生长设备通常采用上开盖的方式，所以只能采用下进气、上出气的气体布置方案，使气体流动方向与热场热量扰动方向、晶体生长方向一致，导致了晶体在生长过程中生长速度不可控，晶体应力较大，进而影响了碳化硅晶体产品的质量。

2.同时大尺寸碳化硅晶体的热场和坩埚等部件过大、重量过重，装炉、取晶等步骤操作都极其复杂困难。

而手动液压堆高车作为一种无污染，无动力的装卸产品，可以通过按压手柄或踏板，使手动液压堆高车的货叉轻松地做升降运动。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种基于手动液压堆高车的碳化硅晶体炉下沉出料装置，其结构简单，解决了因晶体生长设备上开盖而影响碳化硅晶体质量的问题，装炉、取晶操作都十分便捷。

本实用新型的技术方案是：

基于手动液压堆高车的碳化硅晶体炉下沉出料装置，包括手动液压堆高车，所述手动液压堆高车包括L型门架，所述L型门架包括布置在地面上的水平底架、与水平底架垂直布置的竖直架，所述竖直架上布置有可升降的货叉，其技术要点是：所述货叉上布置有升降工作单元，所述升降工作单元包括布置在货叉上方的下炉盖托架、与下炉盖托架可拆卸连接的下炉盖，所述下炉盖的上表面上固定有热场支座，所述热场支座上固定有热场。

上述的基于手动液压堆高车的碳化硅晶体炉下沉出料装置，所述水平底架上布置有导向板。

上述的基于手动液压堆高车的碳化硅晶体炉下沉出料装置，所述下炉盖托架包括与货叉栓接的托架下板、均匀对称固定在托架下板上表面上的四个弹簧座、底端分别固定在四个弹簧座上高度相等的压缩弹簧，四个压缩弹簧的顶端支撑布置有水平托架上板，水平托架上板上均匀对称开设有四个安装孔。

上述的基于手动液压堆高车的碳化硅晶体炉下沉出料装置，所述托架下板的上表面上还对称布置有四个直线轴承，直线轴承内部布置有与直线轴承配合的圆柱导向轴，圆柱导向轴的顶端与水平托架上板固定连接，圆柱导向轴的底端穿出托架下板。

上述的基于手动液压堆高车的碳化硅晶体炉下沉出料装置，所述下炉盖的下表面固定有与安装孔配合的定位锥杆。

上述的基于手动液压堆高车的碳化硅晶体炉下沉出料装置，所述热场、热场支座、下炉盖、下炉盖托架的轴线均在同一竖直方向上。

本实用新型的有益效果是：

1.通过在手动液压堆高车的货叉上通过螺栓固定下炉盖托架，将碳化硅晶体炉的下炉盖可拆卸地布置在下炉盖托架上，碳化硅晶体炉可以采用上进气的气体布置方案，使炉内气体流动方向与碳化硅晶体生长方向、热场内热量扰动方向相反，保证了晶体在生长过程中的条件需求。

2.热场通过热场支座固定在下炉盖上，可以通过通过按压手柄或踏板升降货叉，轻松地做实现装炉、下沉式出料取晶；热场及热场内部的坩埚等部件能够在炉外进行安装，将下炉盖安装锁紧后下降货叉，定位锥杆能够从在安装孔中脱出，随后可以将手动液压堆高车和下炉盖托架移动撤出工作区域，大大提升了操作的方便性和生产安全性。

3.下炉盖托架中压缩弹簧的布置，可以使下炉盖在开盖和合盖过程中缓解力的冲击，避免对炉体及装置造成损坏；下炉盖托架中直线轴承、圆柱导向轴的配合布置，保证了水平托架上板的水平布置，使下炉盖升降运动更加平稳，增加了整体装置的平稳可靠性。

4.水平底架上导向板的布置，可以对货叉进行左右定位，避免多次升降后偏移，进而影响下炉盖的开盖和合盖操作，提高了装置的使用稳定性。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型手动液压堆高车的结构示意图；

图3为本实用新型下炉盖托架的结构示意图；

图4为本实用新型下炉盖的结构示意图；

图中：1.手动液压堆高车、2.货叉、3.下炉盖托架、4.升降工作单元、5.下炉盖、6.热场支座、7.热场、8.L型门架、9.竖直架、10.水平底架、11.导向板、12.安装孔、13.水平托架上板、14.压缩弹簧、15.弹簧座、16.托架下板、17.直线轴承、18.圆柱导向轴、19.定位锥杆。

具体实施方式

下面通过具体实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案做进一步说明。

如图1-图4所示，该基于手动液压堆高车的碳化硅晶体炉下沉出料装置，包括手动液压堆高车1，所述手动液压堆高车1包括L型门架8，所述L型门架8包括布置在地面上的水平底架10、与水平底架10垂直布置的竖直架9，所述竖直架9上布置有可升降的货叉2。

其中，所述货叉2上布置有升降工作单元4，所述升降工作单元4包括布置在货叉2上方的下炉盖托架3、与下炉盖托架3可拆卸连接的下炉盖5，所述下炉盖5的上表面上固定有热场支座6，所述热场支座6上固定有热场7。

本实施例中，所述水平底架10上布置有导向板11。所述下炉盖托架3包括与货叉2栓接的托架下板16、均匀对称固定在托架下板16上表面上的四个弹簧座15、底端分别固定在四个弹簧座15上高度相等的压缩弹簧14，四个压缩弹簧14的顶端支撑布置有水平托架上板13，水平托架上板13上均匀对称开设有四个安装孔12。

所述托架下板16的上表面上还对称布置有四个直线轴承17，直线轴承17内部布置有与直线轴承17配合的圆柱导向轴18，圆柱导向轴18的顶端与水平托架上板13固定连接，圆柱导向轴18的底端穿出托架下板16。所述下炉盖5的下表面固定有与安装孔12配合的定位锥杆19。所述热场7、热场支座6、下炉盖5、下炉盖托架3的轴线均在同一竖直方向上。

工作原理：

将热场7通过热场支座6固定到下炉盖5上，下炉盖5布置在下炉盖托架3上，通过按压手柄或踏板提升液压，使货叉2带动下炉盖5和热场7上升，热场7及内部的坩埚等提升到炉室内后，完成热场7导入，此时气动锁紧下炉盖5，实现合盖装炉操作，随后下降货叉2高度，将下炉盖托架3与下炉盖5脱开，下炉盖托架3和手动液压堆高车1撤出工作区域；晶体生长完成后，将手动液压堆高车1推至工作区域，并提升货叉2高度，使下炉盖5的定位锥杆19插入水平托架上板13的安装孔12内，此时下炉盖托架3与下炉盖5贴合，打开下炉盖5的气动锁紧，实现开盖操作，之后下降货叉2高度至足够距离，完成热场7完全导出进行取晶。

Claims (6)

1.基于手动液压堆高车的碳化硅晶体炉下沉出料装置，包括手动液压堆高车，所述手动液压堆高车包括L型门架，所述L型门架包括布置在地面上的水平底架、与水平底架垂直布置的竖直架，所述竖直架上布置有可升降的货叉，其特征在于：所述货叉上布置有升降工作单元，所述升降工作单元包括布置在货叉上方的下炉盖托架、与下炉盖托架可拆卸连接的下炉盖，所述下炉盖的上表面上固定有热场支座，所述热场支座上固定有热场。

2.根据权利要求1所述的基于手动液压堆高车的碳化硅晶体炉下沉出料装置，其特征在于：所述水平底架上布置有导向板。

3.根据权利要求1所述的基于手动液压堆高车的碳化硅晶体炉下沉出料装置，其特征在于：所述下炉盖托架包括与货叉栓接的托架下板、均匀对称固定在托架下板上表面上的四个弹簧座、底端分别固定在四个弹簧座上高度相等的压缩弹簧，四个压缩弹簧的顶端支撑布置有水平托架上板，水平托架上板上均匀对称开设有四个安装孔。

4.根据权利要求3所述的基于手动液压堆高车的碳化硅晶体炉下沉出料装置，其特征在于：所述托架下板的上表面上还对称布置有四个直线轴承，直线轴承内部布置有与直线轴承配合的圆柱导向轴，圆柱导向轴的顶端与水平托架上板固定连接，圆柱导向轴的底端穿出托架下板。

5.根据权利要求3所述的基于手动液压堆高车的碳化硅晶体炉下沉出料装置，其特征在于：所述下炉盖的下表面固定有与安装孔配合的定位锥杆。

6.根据权利要求1所述的基于手动液压堆高车的碳化硅晶体炉下沉出料装置，其特征在于：所述热场、热场支座、下炉盖、下炉盖托架的轴线均在同一竖直方向上。

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