CN214732572U - 一种双向取放料装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种双向取放料装置，包括：升降滑动座；四根升降导向杆，其环绕且彼此间隔地布置于所述升降滑动座的外周；以及升降驱动器，其安装于所述升降滑动座之中并与所述缓存组件传动连接；其中，所述升降导向杆从所述升降滑动座的顶面出发竖直向上延伸，以形成由四根所述升降导向杆所围绕的升降通道；所述升降通道的前侧及后侧敞口以分别形成前取料口及后取料口；所述缓存组件设于所述升降通道中并与所述升降导向杆滑动连接；所述缓存组件在所述升降驱动器驱动下沿着所述升降通道往复升降。根据本实用新型，其能够进行双向取放料，结构紧凑，占地面积小，传动效率高，双向取放料也进一步提升了取放料的范围及取放料效率。

Description

一种双向取放料装置

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备领域，特别涉及一种双向取放料装置。

背景技术

在半导体加工设备领域中，采用不同结构形式的取放料装置来在物料的上下料过程中实现物料的取放是众所周知的。在研究和实现物料取放的过程中，研究人员发现现有技术中的取放料装置至少存在如下问题：

占地面积较大，结构复杂，传动效率低下，并且大多只能实现单向取放料，从而使得升降、取放料过程中容易出现取放料效率低下的问题。

有鉴于此，实有必要开发一种双向取放料装置，用以解决上述问题。

实用新型内容

为了克服上述取放料装置所存在的问题，本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能够进行双向取放料的双向取放料装置，其结构紧凑，占地面积小，传动效率高，双向取放料也进一步提升了取放料的范围及取放料效率。

就取放料装置而言，本实用新型为解决上述技术问题的双向取放料装置包括升降架与缓存组件，所述升降架包括：

升降滑动座；

四根升降导向杆，其环绕且彼此间隔地布置于所述升降滑动座的外周；以及

升降驱动器，其安装于所述升降滑动座之中并与所述缓存组件传动连接；

其中，所述升降导向杆从所述升降滑动座的顶面出发竖直向上延伸，以形成由四根所述升降导向杆所围绕的升降通道；所述升降通道的前侧及后侧敞口以分别形成前取料口及后取料口；所述缓存组件设于所述升降通道中并与所述升降导向杆滑动连接；所述缓存组件在所述升降驱动器驱动下沿着所述升降通道往复升降。

可选的，所述升降导向杆被布置为由两个导向子集构成，每个导向子集包括相邻的一对升降导向杆，至少一个导向子集中的升降导向杆设有沿竖直方向延伸的升降导轨，所述缓存组件通过所述升降导轨与所述升降导向杆滑动连接。

可选的，所述缓存组件包括：

与所述升降导向杆滑动连接的安装底座，所述安装底座的正上方形成有缓存空间；

第一传动臂，其一端转动连接于所述安装底座的上表面中心处；

第二传动臂，其一端与所述第一传动臂的另一端转动连接；

取放坞，其包括取放料板及安装于所述取放料板上的感应组件，所述取放料板的一端与所述第二传动臂的另一端转动连接；

第一驱动器，其设于所述安装底座中并与所述第一传动臂传动连接；

第二驱动器，其设于所述第一传动臂中并与所述第二传动臂传动连接；以及

取放驱动器，其设于所述第二传动臂中并与所述取放料板传动连接；

其中，假定所述安装底座在前后方向上的长度为H，所述取放料板在前后方向上的长度为h，则有h≤H。

可选的，所述取放料板能够在所述第一驱动器、第二驱动器、取放驱动器、第一传动臂及第二传动臂的联动传动下完全收进所述缓存空间或者所述取放料板的伸出端能够通过所述安装底座的前侧或后侧从所述缓存空间中向外伸出。

可选的，假定所述第一传动臂的长度为R，则有R≤0.5H。

可选的，所述第一传动臂与所述第一传动臂的长度相等。

可选的，所述取放料板上设有至少三个非共线设置的定位端子，其中，所述定位端子布置于所述取放料板的伸出端上。

可选的，所述感应组件包括：

转动轴，其一端与所述取放料板的转动端转动连接；

至少三个转角传感器，其环绕地布置在所述转动轴的外周；

感应片，其固接于所述转动轴上并与所述转角传感器相共面；以及

控制器，其与所述感应片、转角传感器、第一驱动器、第二驱动器及取放驱动器电信号连接；

其中，所述取放料板在所述取放驱动器的驱动下围绕所述转动轴往复转动，所述感应片在所述转角传感器间做相对往复平转运动。

可选的，所述取放料板的伸出端的宽度沿着从后往前的方向呈渐缩之势。

上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点或有益效果：由于其能够进行双向取放料，具有结构紧凑，占地面积小，传动效率高的优点，双向取放料也进一步提升了取放料的范围及取放料效率。

上述技术方案中的另一个技术方案具有如下优点或有益效果：由于其通过降低转动惯量来降低转动过程中的转动偏差，从而提高了转动精度，其能够至少满足物料的双侧取放料需求。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本实用新型的一些实施例，而非对本实用新型的限制，其中：

图1为根据本实用新型一个实施方式提出的双向取放料装置的立体图，图中示出了取放料板从升降架的前取料口伸出时的示意图；

图2为根据本实用新型一个实施方式提出的双向取放料装置的右视图，图中示出了取放料板从升降架的前取料口伸出时的示意图；

图3为根据本实用新型一个实施方式提出的双向取放料装置的右视图，图中示出了取放料板缩回至升降通道时的示意图；

图4为根据本实用新型一个实施方式提出的双向取放料装置中缓存组件的立体图，图中示出了取放料板向前伸出时的示意图；

图5为根据本实用新型一个实施方式提出的双向取放料装置中缓存组件的立体图，图中示出了取放料板回缩至缓存空间中的示意图；

图6为根据本实用新型一个实施方式提出的双向取放料装置中缓存组件的俯视图，图中示出了取放料板向前伸出时的示意图；

图7为根据本实用新型一个实施方式提出的双向取放料装置中缓存组件的立体图，图中示出了取放料板回缩至缓存空间中的示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在附图中，为清晰起见，可对形状和尺寸进行放大，并将在所有图中使用相同的附图标记来指示相同或相似的部件。

除非另作定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本实用新型专利申请说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现在“包括”或者“包含”前面的元件或者物件涵盖出现在“包括”或者“包含”后面列举的元件或者物件及其等同，并不排除其他元件或者物件。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

在下列描述中，诸如中心、厚度、高度、长度、前部、背部、后部、左边、右边、顶部、底部、上部、下部等用词是相对于各附图中所示的构造进行定义的，特别地，“高度”相当于从顶部到底部的尺寸，“宽度”相当于从左边到右边的尺寸，“深度”相当于从前到后的尺寸，它们是相对的概念，因此有可能会根据其所处不同位置、不同使用状态而进行相应地变化，所以，也不应当将这些或者其他的方位用于解释为限制性用语。

涉及附接、联接等的术语(例如，“连接”和“附接”)是指这些结构通过中间结构彼此直接或间接固定或附接的关系、以及可动或刚性附接或关系，除非以其他方式明确地说明。

根据本实用新型的一实施方式结合图1～图3的示出，可以看出，双向取放料装置包括：

包括升降架35与缓存组件，其特征在于，所述升降架35包括：

升降滑动座353；

四根升降导向杆352，其环绕且彼此间隔地布置于所述升降滑动座353的外周；以及

升降驱动器，其安装于所述升降滑动座353之中并与所述缓存组件传动连接；

其中，所述升降导向杆352从所述升降滑动座353的顶面出发竖直向上延伸，以形成由四根所述升降导向杆352所围绕的升降通道351；所述升降通道351的前侧及后侧敞口以分别形成前取料口及后取料口；所述缓存组件设于所述升降通道351中并与所述升降导向杆352滑动连接；所述缓存组件在所述升降驱动器驱动下沿着所述升降通道351往复升降。

具体的升降驱动方式可以是现有的转动升降驱动、齿条齿轮升降驱动、液压升降驱动、气缸升降驱动或轨道升降驱动等驱动方式中任意一种驱动方式或者是上述两种及两种以上驱动方式的组合，以实现升降驱动器驱动所述缓存组件沿着所述升降通道351往复升降。

进一步地，所述升降导向杆352被布置为由两个导向子集构成，每个导向子集包括相邻的一对升降导向杆352，至少一个导向子集中的升降导向杆352设有沿竖直方向延伸的升降导轨3521，所述缓存组件通过所述升降导轨3521与所述升降导向杆352滑动连接。

参照图4～图7，所述缓存组件包括：

与所述升降导向杆352滑动连接的安装底座31，所述安装底座31的正上方形成有缓存空间；

第一传动臂32，其一端转动连接于所述安装底座31的上表面中心处；

第二传动臂33，其一端与所述第一传动臂32的另一端转动连接；

取放坞34，其包括取放料板341及安装于所述取放料板341上的感应组件，所述取放料板341的一端与所述第二传动臂33的另一端转动连接；

第一驱动器，其设于所述安装底座31中并与所述第一传动臂32传动连接；

第二驱动器，其设于所述第一传动臂32中并与所述第二传动臂33传动连接；以及

取放驱动器，其设于所述第二传动臂33中并与所述取放料板341传动连接；

其中，假定所述安装底座31在前后方向上的长度为H，所述取放料板341在前后方向上的长度为h，则有h≤H。采用这种结构设计，能够使得当取放料板341缩回至升降通道中时，取放料板及第一传动臂32、第二传动臂33能够与升降导向杆352保持一定的距离，使得所述缓存组件在所述升降驱动器驱动下沿着所述升降通道351往复升降的过程中，取放料板及第一传动臂32、第二传动臂33不会与升降导向杆352产生碰撞干涉，保证了取放料过程的顺畅度。

进一步地，所述取放料板341能够在所述第一驱动器、第二驱动器、取放驱动器、第一传动臂32及第二传动臂33的联动传动下完全收进所述缓存空间或者所述取放料板341的伸出端3411能够通过所述安装底座31的前侧或后侧从所述缓存空间中向外伸出。

进一步地，假定所述第一传动臂32的长度为R，则有R≤0.5H。在优选的实施例中，R＝0.4H，由于第一传动臂32转动连接于所述安装底座31的上表面中心处，而第一传动臂32的长度不大于0.5H可以使得第一传动臂32在转动过程中始终不会从安装底座31的前侧或后侧伸出，从而防止在取放料过程中第一传动臂32与物料或者流水线的其他组件发生碰撞干涉，提高了取放料过程的流畅性。

进一步地，所述第一传动臂32与所述第一传动臂32的长度相等。

进一步地，所述取放料板341上设有至少三个非共线设置的定位端子342，其中，所述定位端子342布置于所述取放料板341的伸出端3411上。

参照图5，所述感应组件包括：

转动轴344，其一端与所述取放料板341的转动端转动连接；

至少三个转角传感器343，其环绕地布置在所述转动轴344的外周；

感应片345，其固接于所述转动轴344上并与所述转角传感器343相共面；以及

控制器，其与所述感应片345、转角传感器343、第一驱动器、第二驱动器及取放驱动器电信号连接；

其中，所述取放料板341在所述取放驱动器的驱动下围绕所述转动轴344往复转动，所述感应片345在所述转角传感器343间做相对往复平转运动。所述控制器用于接收各个转角传感器的反馈信号，并根据不同的反馈信号向驱动器发送不同的控制指令，以控制第一驱动器带动第一传动臂转动、控制第二驱动器带动第二传动臂转动、控制取放驱动器带动取放料板转动，最终实现取放料板341完全收进所述缓存空间或者所述取放料板341的伸出端3411能够通过所述安装底座31的前侧或后侧从所述缓存空间中向外伸出。

进一步地，所述取放料板341的伸出端3411的宽度沿着从后往前的方向呈渐缩之势。

这里说明的设备数量和处理规模是用来简化本实用新型的说明的。对本实用新型的应用、修改和变化对本领域的技术人员来说是显而易见的。

本文中所描述的不同实施方案的零部件可经组合以形成上文未具体陈述的其它实施例。零部件可不考虑在本文中所描述的结构内而不会不利地影响其操作。此外，各种单独零部件可被组合成一或多个个别零部件以执行本文中所描述的功能。

此外，尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。

Claims (9)

1.一种双向取放料装置，包括升降架（35）与缓存组件，其特征在于，所述升降架（35）包括：

升降滑动座（353）；

四根升降导向杆（352），其环绕且彼此间隔地布置于所述升降滑动座（353）的外周；以及

升降驱动器，其安装于所述升降滑动座（353）之中并与所述缓存组件传动连接；

其中，所述升降导向杆（352）从所述升降滑动座（353）的顶面出发竖直向上延伸，以形成由四根所述升降导向杆（352）所围绕的升降通道（351）；所述升降通道（351）的前侧及后侧敞口以分别形成前取料口及后取料口；所述缓存组件设于所述升降通道（351）中并与所述升降导向杆（352）滑动连接；所述缓存组件在所述升降驱动器驱动下沿着所述升降通道（351）往复升降。

2.如权利要求1所述的双向取放料装置，其特征在于，所述升降导向杆（352）被布置为由两个导向子集构成，每个导向子集包括相邻的一对升降导向杆（352），至少一个导向子集中的升降导向杆（352）设有沿竖直方向延伸的升降导轨（3521），所述缓存组件通过所述升降导轨（3521）与所述升降导向杆（352）滑动连接。

3.如权利要求1所述的双向取放料装置，其特征在于，所述缓存组件包括：

与所述升降导向杆（352）滑动连接的安装底座（31），所述安装底座（31）的正上方形成有缓存空间；

第一传动臂（32），其一端转动连接于所述安装底座（31）的上表面中心处；

第二传动臂（33），其一端与所述第一传动臂（32）的另一端转动连接；

取放坞（34），其包括取放料板（341）及安装于所述取放料板（341）上的感应组件，所述取放料板（341）的一端与所述第二传动臂（33）的另一端转动连接；

第一驱动器，其设于所述安装底座（31）中并与所述第一传动臂（32）传动连接；

第二驱动器，其设于所述第一传动臂（32）中并与所述第二传动臂（33）传动连接；以及

取放驱动器，其设于所述第二传动臂（33）中并与所述取放料板（341）传动连接；

其中，假定所述安装底座（31）在前后方向上的长度为H，所述取放料板（341）在前后方向上的长度为h，则有h≤H。

4.如权利要求3所述的双向取放料装置，其特征在于，所述取放料板（341）能够在所述第一驱动器、第二驱动器、取放驱动器、第一传动臂（32）及第二传动臂（33）的联动传动下完全收进所述缓存空间或者所述取放料板（341）的伸出端（3411）能够通过所述安装底座（31）的前侧或后侧从所述缓存空间中向外伸出。

5.如权利要求3~4任一项所述的双向取放料装置，其特征在于，假定所述第一传动臂（32）的长度为R，则有R≤0.5H。

6.如权利要求3~4任一项所述的双向取放料装置，其特征在于，所述第一传动臂（32）与所述第一传动臂（32）的长度相等。

7.如权利要求3~4任一项所述的双向取放料装置，其特征在于，所述取放料板（341）上设有至少三个非共线设置的定位端子（342），其中，所述定位端子（342）布置于所述取放料板（341）的伸出端（3411）上。

8.如权利要求3~4任一项所述的双向取放料装置，其特征在于，所述感应组件包括：

转动轴（344），其一端与所述取放料板（341）的转动端转动连接；

至少三个转角传感器（343），其环绕地布置在所述转动轴（344）的外周；

感应片（345），其固接于所述转动轴（344）上并与所述转角传感器（343）相共面；以及

控制器，其与所述感应片（345）、转角传感器（343）、第一驱动器、第二驱动器及取放驱动器电信号连接；

其中，所述取放料板（341）在所述取放驱动器的驱动下围绕所述转动轴（344）往复转动，所述感应片（345）在所述转角传感器（343）间做相对往复平转运动。

9.如权利要求3~4任一项所述的双向取放料装置，其特征在于，所述取放料板（341）的伸出端（3411）的宽度沿着从后往前的方向呈渐缩之势。

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