CN214650835U - Pfa供液压力储液罐 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开的PFA供液压力储液罐，包括由PFA材料制成的外壳，所述外壳包括罐体和盖体，且所述盖体可拧接固定在罐体上方，所述盖体的侧边设有进液口，所述盖体的顶部上方设有用于注入氮气的进气口和用于排气的排气口，所述罐体的底部设有排液口，所述罐体和盖体的侧部共同安装有液位检测组件，本实用新型能精准的控制液体的流量以及流场，且成本相对较低，实用性较强。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体/光电产业/化合物技术领域，尤其涉及PFA供液压力储液罐。
背景技术
传统化学供液模式通常采用化学气动隔膜泵或电动离心泵或重力等供液模式,该种模式存在的缺点为供液时候易产生脉冲造成液体波动不稳定状态,同时流量及流场也无法进行精准的控制，而在半导体先进工艺制程要求越来越严苛的条件下,对于设备的精准及精度要求也日趋严格,所以为突破传统供液的缺陷问题改进提升,特研发用氮气加压供液以供企业使用。
实用新型内容
实用新型目的：为了解决背景技术中存在的不足，所以本实用新型公开了PFA供液压力储液罐。
技术方案：PFA供液压力储液罐，包括由PFA材料制成的外壳，所述外壳包括罐体和盖体，且所述盖体可拧接固定在罐体上方，所述盖体的侧边设有进液口，所述盖体的顶部上方设有用于注入氮气的进气口和用于排气的排气口，所述罐体的底部设有排液口，所述罐体和盖体的侧部共同安装有液位检测组件。
进一步的是，所述罐体上方设置有拧接座，所述盖体可拧接固定在拧接座内。
进一步的是，所述进气口注入氮气的压力为2kg。
进一步的是，所述氮气采用纯度为99.999％的氮气。
进一步的是，所述排气口上设置有排气阀。
进一步的是，所述液位检测组件包括连接设置在罐体和盖体外部的检测管路、以及安装在检测管路上下两侧的两个液位传感器。
进一步的是，每个所述液位传感器均采用静电式液位传感。
本实用新型实现以下有益效果：
本实用新型通过使用2KG压力之99.9999高纯度氮气打进PFA罐体加压,从下方出液口出液至喷淋口或化学槽体,在不需要供液时候排液阀门开启排气,避免PFA罐体内部造成气塞引发供液不顺,另装有静电式液位传感器来监控药液使用情况及保护。
附图说明
此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。
图1为本实用新型公开的整体结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
实施例
参考图1，PFA供液压力储液罐，包括由PFA材料制成的外壳10，所述外壳包括罐体11和盖体12，且所述盖体可拧接固定在罐体上方，所述盖体的侧边设有进液口20，所述盖体的顶部上方设有用于注入氮气的进气口40和用于排气的排气口30，所述罐体的底部设有排液口50，所述罐体和盖体的侧部共同安装有液位检测组件60。
在本实施例中，所述罐体上方设置有拧接座70，所述盖体可拧接固定在拧接座内。
在本实施例中，所述进气口注入氮气的压力为2kg。
在本实施例中，所述氮气采用纯度为99.999％的氮气。
本实用新型在使用时，通过使用2KG压力之99.9999高纯度氮气打进PFA罐体加压,从下方出液口出液至喷淋口或化学槽体。
在本实施例中，所述排气口上设置有排气阀(本实施新型中未示出)，在不需要供液的时候排液阀门开启排气,避免PFA罐体内部造成气塞引发供液不顺。
在本实施例中，所述液位检测组件包括连接设置在罐体和盖体外部的检测管路61、以及安装在检测管路上下两侧的两个液位传感器62。
在本实施例中，每个所述液位传感器均采用静电式液位传感，以用于监控药液使用情况及保护。
上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的是让熟悉该技术领域的技术人员能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此来限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作出的等同变换或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.PFA供液压力储液罐，其特征在于，包括由PFA材料制成的外壳，所述外壳包括罐体和盖体，且所述盖体可拧接固定在罐体上方，所述盖体的侧边设有进液口，所述盖体的顶部上方设有用于注入氮气的进气口和用于排气的排气口，所述罐体的底部设有排液口，所述罐体和盖体的侧部共同安装有液位检测组件。
2.根据权利要求1所述的PFA供液压力储液罐，其特征在于，所述罐体上方设置有拧接座，所述盖体可拧接固定在拧接座内。
3.根据权利要求1所述的PFA供液压力储液罐，其特征在于，所述进气口注入氮气的压力为2kg。
4.根据权利要求1所述的PFA供液压力储液罐，其特征在于，所述氮气采用纯度为99.999％的氮气。
5.根据权利要求1所述的PFA供液压力储液罐，其特征在于，所述排气口上设置有排气阀。
6.根据权利要求1所述的PFA供液压力储液罐，其特征在于，所述液位检测组件包括连接设置在罐体和盖体外部的检测管路、以及安装在检测管路上下两侧的两个液位传感器。
7.根据权利要求6所述的PFA供液压力储液罐，其特征在于，每个所述液位传感器均采用静电式液位传感。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202120245769.5U CN214650835U (zh) | 2021-01-28 | 2021-01-28 | Pfa供液压力储液罐 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN202120245769.5U CN214650835U (zh) | 2021-01-28 | 2021-01-28 | Pfa供液压力储液罐 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN214650835U true CN214650835U (zh) | 2021-11-09 |
Family
ID=78520225
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN202120245769.5U Active CN214650835U (zh) | 2021-01-28 | 2021-01-28 | Pfa供液压力储液罐 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN214650835U (zh) |
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2021
- 2021-01-28 CN CN202120245769.5U patent/CN214650835U/zh active Active
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