CN109795817A - 一种液囊压力罐 - Google Patents

Abstract

本发明属于半导体化学药液供应领域，具体地说是一种液囊压力罐，包括压力罐本体、液囊组件及称重传感器，液囊组件容置于压力罐本体内，包括液囊、吸管、液囊连接盖、进液口及出液口，液囊位于压力罐本体内、与压力罐本体相对独立，顶端通过液囊连接盖与压力罐本体连接，液囊连接盖上分别密封连接有进液口及出液口，进液口的下端连接有插入液囊内的高压气管B，出液口的下端连接有插入液囊内的吸管；压力罐本体上密封连接有进气口，进气口的上端与大气相通，下端连接有插入压力罐本体内的高压气管A。本发明减少了化学药液与空气等气体的接触，降低了化学药液应用过程中气泡的析出及在空气中变质，提高了晶圆工艺质量。

Description

一种液囊压力罐

技术领域

本发明属于半导体化学药液供应领域，具体地说是一种液囊压力罐。

背景技术

随着半导体工艺技术的发展，工艺过程中对其质量的要求越来越高。而半导体工艺过程中多应用各种药液，由于每一种药液的性质与应用的差别，很容易在过程中产生气泡或者发生质变。

发明内容

为了减少药液与空气等气体的接触、减少液体对气体的溶解与液体的变质，提高药液质量以及工艺质量，本发明的目的在于提供一种液囊压力罐。

本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：

本发明包括压力罐本体、液囊组件及称重传感器，其中液囊组件容置于压力罐本体内，包括液囊、吸管、液囊连接盖、进液口及出液口，该液囊位于所述压力罐本体内、与压力罐本体相对独立，顶端通过所述液囊连接盖与压力罐本体连接，所述液囊连接盖上分别密封连接有进液口及出液口，该进液口的下端连接有插入所述液囊内的高压气管B，所述出液口的下端连接有插入液囊内的吸管；所述压力罐本体上密封连接有进气口，该进气口的上端与大气相通，下端连接有插入所述压力罐本体内的高压气管A；化学药液通过所述进液口注入液囊中，该液囊内的化学药液通过设置于所述压力罐本体内底部的称重传感器称重，所述液囊内的化学药液受到由进气口通入的气体压力而由所述出液口压出；

其中：所述吸管的上端与出液口相连，下端位于所述液囊底部的上方；所述高压气管B的上端与进液口相连，下端位于所述液囊内的顶部；

所述高压气管A的上端与进气口相连，下端位于所述压力罐本体内的顶部；所述液囊的顶部通过压板与液囊连接盖的下表面连接，该液囊位于所述称重传感器的正上方；

所述压力罐本体上设有泄压阀；所述压力罐本体上安装有便于拿放的提手；所述进气口的气体压力大于出液口处的压力。

本发明的优点与积极效果为：

本发明将注入化学药液的可变形耐腐蚀的液囊与进气的压力罐本体相对独立设置，使化学药液与气体分开，减少了化学药液与空气等气体的接触，降低了化学药液应用过程中气泡的析出，降低了化学药液在空气中变质，提高了晶圆工艺质量，可适用于晶圆工艺过程中药液供应。

附图说明

图1为本发明的结构主视图；

图2为本发明的结构俯视图；

图3为本发明液囊组件的结构主视图；

其中：1为压力罐本体，2为高压气管A，3为O型密封圈，4为进气口，5为卡箍，6为液囊组件，7为泄压阀，8为称重传感器，9为高压气管B，10为吸管，11为液囊，12为液罐连接盖，13为压板，14为进液口，15为出液口，16为提手。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步详述。

如图1～3所示，本发明包括压力罐本体1、液囊组件6及称重传感器8，其中液囊组件6容置于压力罐本体1内，包括液囊11、吸管10、液囊连接盖12、压板13、进液口14及出液口15，液囊11位于压力罐本体1的内部中央、与压力罐本体1相对独立，液囊11的顶部通过压板13固定于液囊连接盖12的下表面，液囊连接盖12通过卡箍5与压力罐本体1的顶部连接，方便拆卸。为保证气密性，在液囊连接盖12与压力罐本体1中间加装有O型密封圈3。本发明的液囊11为可变形耐腐蚀材料制成，如橡胶液囊。

液囊连接盖12上分别密封连接有进液口14及出液口15，该进液口14的下端连接有插入液囊11内的高压气管B9，出液口15的下端连接有插入液囊11内的吸管10。进液口14下端焊接高压气管B9，高压气管B9的上端与进液口14相连，下端位于液囊11内的顶部。进液口14与液囊连接盖12固定处中间夹有O型密封圈3。出液口15下端焊接吸管10，吸管10的上端与出液口15相连，下端位于液囊11底部的上方。出液口15与液囊连接盖12固定处中间夹有O型密封圈3。

压力罐本体1上密封连接有进气口4，该进气口4的上端与大气相通，下端焊接有插入压力罐本体1内的高压气管A2。高压气管A2的上端与进气口4相连，下端位于压力罐本体1内的顶部。进气口4与压力罐本体1固定处中间夹有O型密封圈3，用于保证其连接紧密不漏气。进气口4的气体压力大于出液口15处的压力。

为保证压力罐的安全，压力罐本体1的顶部安装有泄压阀7，当压力罐本体1中压力过大时，泄压阀7将自动泄压。压力罐本体1上还安装有便于拿放的提手16。

在压力罐本体1内的底部安装有称重传感器8，液囊11位于该称重传感器8的正上方。

本发明的工作原理为：

将液囊组件6与压力罐本体1通过卡箍5连接紧固。保证进气口4与大气相通，通过进液口14将所需要的化学药液注入液囊11之中；液囊11内的化学药液通过设置于压力罐本体1内底部的称重传感器8称重，当称重传感器8显示达到设定注入药液量(药液满)时，停止药液注入；在进气口4通入高压气体(小于1MPa)，此时化学药液受到由进气口4通入的气体压力作用、液囊11周围压力大于出液口15处的压力，液囊11中的化学药液便从出液口15排出，为设备(机台)提供化学药液，从而完成半导体工艺中化学药液的供应过程；当称重传感器8显示达到设定注入药液量(药液空)时，打开进气口4令其与大气相通，通过进液口14继续补液，周而复始。

在对化学药液中气泡需要严格控制以及化学药液在空气中容易变质等情况下，使用本发明的液囊压力罐，可以有效减少工艺中化学药液气泡的产生或者与空气接触导致的变质。同时，化学药液质量的提升有利于半导体工艺中工艺指标的提升。

Claims (8)

1.一种液囊压力罐，其特征在于：包括压力罐本体(1)、液囊组件(6)及称重传感器(8)，其中液囊组件(6)容置于压力罐本体(1)内，包括液囊(11)、吸管(10)、液囊连接盖(12)、进液口(14)及出液口(15)，该液囊(11)位于所述压力罐本体(1)内、与压力罐本体(1)相对独立，顶端通过所述液囊连接盖(12)与压力罐本体(1)连接，所述液囊连接盖(12)上分别密封连接有进液口(14)及出液口(15)，该进液口(14)的下端连接有插入所述液囊(11)内的高压气管B(9)，所述出液口(15)的下端连接有插入液囊(11)内的吸管(10)；所述压力罐本体(1)上密封连接有进气口(4)，该进气口(4)的上端与大气相通，下端连接有插入所述压力罐本体(1)内的高压气管A(2)；化学药液通过所述进液口(14)注入液囊(11)中，该液囊(11)内的化学药液通过设置于所述压力罐本体(1)内底部的称重传感器(8)称重，所述液囊(11)内的化学药液受到由进气口(4)通入的气体压力而由所述出液口(15)压出。

2.根据权利要求1所述的液囊压力罐，其特征在于：所述吸管(10)的上端与出液口(15)相连，下端位于所述液囊(11)底部的上方。

3.根据权利要求1所述的液囊压力罐，其特征在于：所述高压气管B(9)的上端与进液口(14)相连，下端位于所述液囊(11)内的顶部。

4.根据权利要求1所述的液囊压力罐，其特征在于：所述高压气管A(2)的上端与进气口(4)相连，下端位于所述压力罐本体(1)内的顶部。

5.根据权利要求1所述的液囊压力罐，其特征在于：所述液囊(11)的顶部通过压板(13)与液囊连接盖(12)的下表面连接，该液囊(11)位于所述称重传感器(8)的正上方。

6.根据权利要求1所述的液囊压力罐，其特征在于：所述压力罐本体(1)上设有泄压阀(7)。

7.根据权利要求1所述的液囊压力罐，其特征在于：所述压力罐本体(1)上安装有便于拿放的提手(16)。

8.根据权利要求1所述的液囊压力罐，其特征在于：所述进气口(4)的气体压力大于出液口(15)处的压力。