CN214644923U - 一种晶片夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种晶片夹具，应用于线切割设备上；夹具包括与所述切割设备相连的主基板；连接在主基板上的后基板；成对设置在主基板的底部上的垫块；其中，主基板底部设有一凹槽；后基板连接在主基板后部，垫块配合设在所述凹槽两侧并与后基板垂直，形成一用于盛放料板的盛料结构；凹槽的槽底靠近凹槽的侧壁处设有用于安装压条的安装槽；安装槽正对垫块的突出部设置；通过采用主基板、后基板和垫块配合形成的盛料结构来盛放料板，实现料板在水平和竖直两个平面上的位置，保证了各个方向上料板的切割精度，通过上述配合保证料板在切割时在三个维度内均可以得到精准的定位，提高切割的精确度，使得切割成型后的晶片质量更好。

Description

一种晶片夹具

【技术领域】

本实用新型涉及夹具领域，特别涉及一种夹具。

【背景技术】

在晶片的加工生产过程中，由于晶片本身易碎，易磨损的特点，往往需要采用夹具夹持晶片实现加工，保证晶片的质量；晶片一般运用于一些高精度高技术的行业，因此对晶片的加工也提出了很高的要求，从而对于用来加工晶片的夹具也进一步得到发展，从各个方向精确的对原料进行加工，以确保晶片的精度。

根据公开号为CN101973086B的中国发明文献公开了一种切割硅片用夹具，包括安装在工作台上的固定架、设置在所述固定架上的夹紧装置，所述夹紧装置包括固定块、夹紧块、第一夹紧构件、第二夹紧构件，夹紧块可活动的设置在所述固定块内，第一夹紧构件一端纵向穿过固定块一端，并与固定块螺纹连接成一体；第二夹紧构件一端的凸缘与所述夹紧块一端的凹槽相配合，且凸缘外周面与凹槽的内周面间隙配合。

随着现代技术的发展，采用线切割机床来加工晶片越来越常见，为保证料板切割的精确，往往采用夹具进行辅助切割，上述夹具在使用过程中直接夹持硅晶片外表面，往往容易对晶片表面造成磨损，并且在实际的加工过程中，晶片需要加工成不同的形状，需要调整夹具的位置以保证料板可以被精切的切割，并且由于料板本身脆，易受损的特点，采用夹具拉夹紧料板的时候，容易造成料板的表面磨损，因此，设计一种夹具非常有必要。

【实用新型内容】

针对上述现有技术中夹具在夹紧料板时容易出现的对料板表面造成损坏的问题，本实用新型的目的是通过设置一种夹具，通过采用三维定位的方式实现对料板的精准定位，在装夹料板时，采用了压条，保证了料板的受力稳定，避免了在装夹以及切割料板的过程中料板出现磨损、破碎的现象。

为了达到上述目的，本实用新型提供了以下技术方案：

一种晶片夹具，应用于线切割设备上；所述夹具包括主基板，所述主基板与所述切割设备相连；后基板，所述后基板连接在所述主基板上；垫块，所述垫块成对设置在所述主基板的底部上；其中，所述主基板底部设有一凹槽；所述后基板连接在所述主基板后部，所述垫块配合设在所述凹槽两侧并与所述后基板垂直，形成一用于盛放料板的盛料结构；所述凹槽的槽底靠近所述凹槽的侧壁处设有用于安装压条的安装槽；所述安装槽正对所述垫块的突出部设置；通过采用主基板、后基板和垫块配合形成的盛料结构来盛放料板，实现料板在水平和竖直两个平面上的位置，保证了各个方向上料板的切割精度，通过上述配合保证料板在切割时在三个维度内均可以得到精准的定位，提高切割的精确度，使得切割成型后的晶片质量更好。

进一步地，所述突出部设置在所述垫块向所述凹槽内部延伸处；设置突出部的目的是通过紧固垫块时，突出部与凹槽底部间距缩短从而将料板夹紧，保证料板在夹具中的稳定性。

进一步地，所述料板的两侧设有向外延伸的延伸部；所述延伸部嵌设在所述突出部与所述凹槽底部形成间隙中；设置延伸部是配合垫块的突出部，使得料板在夹具中的稳定性更好，不容易出现滑动的现象。

进一步地，所述压条插接在所述安装槽内，其一侧抵接所述安装槽的槽底，另一侧抵接所述延伸部的上表面；通过设置压条，防止垫块在紧紧固的过程中对料板的表面造成损伤，避免损坏料板表面。

进一步地，所述盛料结构内设有复数块呈间隔设置的料板；通过在盛料结构中设置多块料板，节省装料时间，更加方便。

优选的，所述后基板紧贴所述料板的一侧上设有成对设置的凸起；避免料板接触后基板对料板表面造成损伤。

优选的，每一个所述料板远离所述后基板的一侧设有成对设置的凸起；保证了相邻料板之间具有固定的间隙，从而保证切割的精确性。

上述技术方案带来的技术效果：

1、通过主基板、后基板以及垫块配合形成一盛放料板的盛料结构，保证了料板在切割时的水平和竖直方向上切割位置的精确度，以便于切割出高质量的晶片，同时在盛料结构中可以一次安装多块料板，提高了生产效能，减少拆装夹具的次数，减轻操作人员压力，提高生产效率。

2、由于晶片自身的特点，在凹槽内设置了用来安装压条的安装槽，其正对垫块的突出部，在紧固垫块的过程中，防止由于料板与基板接触，造成料板表面磨损。

3、在盛料结构中一次装设多块料板，并且在相邻两块料板中的其中一块料板的侧面上设置了成对的凸起，保证了相邻料板之间具有固定的间隙，从而保证切割的精确程度，更加高效。

【附图说明】

图1为本实用新型中的整体结构示意图，其中夹具内设有复数个料板；

图2为本实用新型中夹具的整体示意图；

图3为本实用新型中夹具的仰视图，其中夹具内装夹了料板；

图4为本实用新型中夹具的侧视图；

图5为本实用新型中料板的示意图；

其中，1、主基板；2、后基板；3、垫块；11、凹槽；4、料板；12、安装槽；5、压条；31、突出部；41、延伸部；42、凸起。

【具体实施方式】

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面通过附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。但是应该理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，对于方位词，如术语“上”、“下”、“左”、“右”、“轴向”、“径向”、“竖直”等指示方位和位置关系为基于附图所示的方位和位置关系，仅是为了便于叙述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定方位构造和操作，不能理解为限制本实用新型的具体保护范围。

此外，如有术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或隐含指明技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”特征可以明示或者隐含包括一个或者多个该特征，在本实用新型描述中，“数个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在实用新型中，除另有明确规定和限定，如有术语“组装”、“相连”、“连接”术语，就作广义去理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；也可以是机械连接；可以是直接相连，也可以是通过中间媒介相连，可以是两个元件内部相连通。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述的术语在本实用新型中的具体含义。

在晶片加工之前，往往要先将料板4切割成精确的晶片，在实际的切割过程中，往往采用线切割机床的方式，通过将料板4夹持在机床的夹具上，进而进行切割，但是由于切割的晶片往往具有不同的形状或者大小，因此，采用线切割机床上通用的夹具往往无法实现晶片的精确切割，容易出现次品，因此，根据晶片的形状来设计一种夹具，使得晶片在三维平面内精确定位，连接牢固紧密，并且料板4受力稳定，保证在切割过程中不会出现磨损或者破碎的现象，实现精确定位后的料板4在切割网的作用下实现切割成型，保证了切割的高效以及精确。

如图1所示，该夹具夹具包括主基板1、后基板2以及垫块3，主基板1与切割设备相连，其底部设有一凹槽11，该凹槽11的两端敞开，方便往夹具内安装料板4；后基板2连接在主基板1的后部，将凹槽11的其中一侧封闭；垫块3成对设置在主基板1的底部，并与后基板2垂直设置；通过将垫块3连接在凹槽11的两侧，配合后基板2以及主基板1上的凹槽11，形成一用于盛放料板4的盛料结构；通过后基板2和垫块3垂直连接保证了料板4在水平面上的位置，又通过主基板1与垫块3的上下夹紧，保证了料板4在竖直方向上的位置，上述两个配合使得料板4在被夹具夹紧时，其三维平面内的位置都得到了精确定位，从而保证了其切割进度，提高切割成型后的产品质量。

为方便快速更换和装夹料板4，该盛料结构装夹料板4的方式是通过紧固和松开垫块3来实现的，料板4与主基板1之间的连接方式采用螺纹连接，方便垫块3的紧固和松开，效率高并且操作简单；同时由于该盛料结构的长度较大，因此可以在盛料结构内设置多块料板4，避免重复装夹料板4，提高生产效率。

如图2所示，在凹槽11的槽底靠近两侧壁处设有2个安装槽12，该安装槽12用于安装压条5,为更加清楚的展示压条5的位置，在图2中，压条5的其中一部分伸出在安装槽12外，在实际的使用中，压条5一端抵接后基板2，并且其底部抵接料板4；并且，安装槽12的位置设置在正对垫块3的突出部31处，将安装槽12正对突出部31设置的目的是当紧固垫块3时，突出部31与凹槽11底部之间的间距减小，从而将料板4夹紧，保证料板4在夹具中的稳定性；同时，料板4上的力是通过突出部31施加的，因此在料板4背对突出部31的方向设置压条5，保证了料板4的受力方向是垂直料板4的表面的，从而料板4可以承受更大的压力，避免料板4出现磨损或者出现碎纹的现象。如图1所示，将压条5插接在安装槽12内，其一侧抵接安装槽12的槽底，另一侧抵接延伸部41的上表面；压条5的形状为长方体，其厚度大于安装槽12的深度，因此在紧固垫块3的时候，料板4受到向上的压力，传递到压条5上，压条5反作用于料板4上，采用软性材料作为压条5可以起到更好的保护作用，但是压条5收缩后的厚度必须大于凹槽11的深度，以避免料板4接触主基板1造成损坏，压条5也可以采用硬性材料，通过硬性材料保证压条5受力稳定，但是避免料板4与压条5之间磨损。

又如图1所示，料板4的两侧设有向外延伸的延伸部41；延伸部41嵌设在突出部31与凹槽11底部形成间隙中；设置延伸部41是方便将延伸部41嵌设在垫块3的突出部31与凹槽11底部形成的间隙中，由于料板4本身具有一定的厚度，料板4的两端向外延伸设置了延伸部41，在保证料板4被夹具夹紧的牢固的同时也可以最大程度的利用料板4的其他部分，减少料板4在切割过程中的浪费，并且，采用夹紧延伸部41的方式来夹紧料板4，避免了对料板4其他部分造成磨损，也使得料板4在夹具中的稳定性更好，不容易出现滑动的现象。

结合图1、图3和图5所示，相邻两块料板4之间设有成对设置的凸起42，其作用是使得相邻两料板4之间具有固定的间隙，从而不需要在切割过程中重新对夹具进行定位，更加方便高效地进行切割。由于在后基板2上也成对设有凸起42，使得料板4与后基板2之间也存在间隙，避免了切割过程中造成的抖动由于接触后基板2而造成料板4磨损的现象，并且，凸起42设置在每一块料板4的远离后基板2的一侧，与后基板2配合从而使得相邻料板4之间呈固定间隙分布，保证了切割的精确性。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换或改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种夹具，应用于线切割设备上；其特征在于，所述夹具包括主基板，所述主基板与所述切割设备相连；后基板，所述后基板连接在所述主基板上；垫块，所述垫块成对设置在所述主基板的底部上；

其中，所述主基板底部设有一凹槽；所述后基板连接在所述主基板后部，所述垫块配合设在所述凹槽两侧并与所述后基板垂直，形成一用于盛放料板的盛料结构；所述凹槽的槽底靠近所述凹槽的侧壁处设有用于安装压条的安装槽；所述安装槽正对所述垫块的突出部设置。

2.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述突出部设置在所述垫块向所述凹槽内部延伸处。

3.根据权利要求1或2所述的夹具，其特征在于，所述料板的两侧设有向外延伸的延伸部；所述延伸部嵌设在所述突出部与所述凹槽底部形成间隙中。

4.根据权利要求3所述的夹具，其特征在于，所述压条插接在所述安装槽内，其一侧抵接所述安装槽的槽底，另一侧抵接所述延伸部的上表面。

5.根据权利要求1或2所述的夹具，其特征在于，所述盛料结构内设有复数块呈间隔设置的料板。

6.根据权利要求3所述的夹具，其特征在于，所述盛料结构内设有复数块呈间隔设置的料板。

7.根据权利要求4所述的夹具，其特征在于，所述盛料结构内设有复数块呈间隔设置的料板。

8.根据权利要求5所述的夹具，其特征在于，所述后基板紧贴所述料板的一侧上设有成对设置的凸起。

9.根据权利要求6或7所述的夹具，其特征在于，所述后基板紧贴所述料板的一侧上设有成对设置的凸起。

10.根据权利要求8所述的夹具，其特征在于，每一个所述料板远离所述后基板的一侧设有成对设置的凸起。

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