CN214604361U - 一种半导体加工用智能机器人 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及机器人技术领域，具体为一种半导体加工用智能机器人，包括从上到下依次分布的摄像头、空盒、控制箱、支撑架和履带，空盒上端且位于摄像头左右两方均开有滑槽，摄像头后端下侧与空盒上端后侧铰接，伸缩杆四实现对摄像头的摆放角度进行调节，摄像头便于摄取影像有利于无线远程操作，抽屉便于放置和携带生产所需要的物料，电机一和电机三控制支撑臂和传动臂运动从而带动夹持爪运动，电磁铁二使得夹持爪合拢从而对工件进行稳固抓取，真空泵使得真空吸盘产生真空从而使得夹持爪抓取工件更加牢固，解决了现目前的半导体加工用智能机器人灵活性和便捷性较差、从而导致不便于进行携带各种物料和抓取工件、使得加工生产过于不便的问题。

Description

一种半导体加工用智能机器人

技术领域

本实用新型涉及机器人技术领域，具体为一种半导体加工用智能机器人。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，其导电性可受控制。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。如二极管和三极管就是采用半导体制作的器件，半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用，今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。随着现代工业的发展，出现越来越多的电子产品依赖于半导体元件，使得半导体材料的需求量日益激增，常规的人工生产半导体往往不能够满足于现代工业发展的脚步，于是就需要使用到模仿人工生产半导体的机器人，从而减轻人工生产的压力。

现目前的机器人在进行半导体产过程中，不便于进行携带各种物料、不便于进行抓取工件，从而不便于加工生产，不但加工效率有所下降，而且还降低了灵活性和便捷性，为此我们提出了一种半导体加工用智能机器人，以解决上述提出的技术问题。

实用新型内容

本实用新型提供了一种半导体加工用智能机器人，以解决现目前的半导体加工用智能机器人灵活性和便捷性较差、从而导致不便于进行携带各种物料和抓取工件、使得加工生产过于不便的问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种半导体加工用智能机器人，包括从上到下依次分布的摄像头、空盒、控制箱、支撑架和履带；

所述空盒上端且位于摄像头左右两方均开有滑槽，所述摄像头后端下侧与空盒上端后侧铰接，所述摄像头左右两端均安装有天线，所述摄像头左右两端且位于天线前方转动连接有伸缩杆四；

所述空盒前端开有若干个呈上下排列分布的空腔，每个所述空腔内部滑动连接有抽屉，所述抽屉后端与空腔内部后端之间安装有伸缩杆三；

所述空盒后端安装有集尘罐，所述空盒左右两端均固定有支撑块，两个所述支撑块前端设置有电机三，所述电机三后端与支撑块前端之间穿插设置有转轴一，所述支撑块远离空盒的一端安装有电机一；

所述电机三前端设置有支撑臂，所述支撑臂前端转动连接有传动臂，所述传动臂前端安装有真空泵，两个所述真空泵前端设置有一对呈上下分布的夹持爪，两个所述夹持爪之间交叉分布并穿插设置有支撑轴；

所述支撑臂与传动臂之间下方设置有伸缩杆二，两根所述伸缩杆二前端与传动臂中部滑动连接，两根所述伸缩杆二后端与支撑臂中部转动连接，所述传动臂与真空泵之间上方设置有伸缩杆一，两根所述伸缩杆一前端与真空泵上端转动连接，两根所述伸缩杆一后端与传动臂上端滑动连接；

同一侧的每个所述夹持爪内端且位于支撑轴后方固定有电磁铁二，同一侧的每个所述夹持爪内端且位于支撑轴前方固定有真空吸盘，同一侧的每个所述夹持爪内端且位于支撑轴与电磁铁二之间固定有弹簧，下端的所述夹持爪下端且位于支撑轴前侧下方固定有电磁铁一，上端的所述夹持爪后端与真空泵通过螺丝连接；

所述空盒下端与控制箱上端固定连接，所述控制箱前端安装有风机，所述控制箱下端固定连接有转轴二，所述转轴二下端贯穿至支撑架内侧并与其转动连接，所述支撑架内侧且位于转轴二下方安装有电机二，所述支撑架下端安装有履带。

进一步的，所述伸缩杆四位于滑槽上方，所述伸缩杆四下端与滑槽内部滑动连接。

进一步的，所述空腔内部延伸至空盒内部，每个所述抽屉内部滑动连接有隔层，每个所述抽屉前端延伸出空盒前端。

进一步的，所述真空吸盘通过导管与真空泵连接，所述风机与集尘罐之间通过法兰连接有风管。

进一步的，所述转轴二下端与电机二动力输出端连接。

进一步的，所述转轴一与电机三后端固定连接，所述转轴一与支撑块前端转动连接，所述转轴一远离空盒的一端与电机一的动力输出端连接。

所述控制箱内部安装有PLC控制电路，所述PLC控制电路分别与履带、天线、摄像头、电机一、电机二和电机三信号连接。

与现有技术相比，本实用新型实现的有益效果：通过履带带动机器人行走从而便于移动位置，天线能够实现对机器人进行无线远程控制，伸缩杆四能够实现对摄像头的摆放角度进行调节，摄像头能够便于摄取影像从而能够有利于无线远程操作，抽屉能够便于放置和携带生产所需要的物料，电机一和电机三可以控制支撑臂和传动臂运动从而带动夹持爪进行运动，电磁铁二能够使得夹持爪合拢从而对工件进行稳固抓取，真空泵使得真空吸盘产生真空从而可以使得夹持爪抓取工件更加牢固，针对于一些难以夹持的工件可以通过电磁铁一吸住而实现抓取，风机能够吸收生产过程中产生的烟尘吸收从而通过集尘罐进行收集，这样就在最大的程度上提高了机器人在进行生产过程中的灵活性和便捷性。

附图说明

图1为本实用新型的整体外部结构示意图；

图2为本实用新型的侧视图；

图3为本实用新型的空盒内部结构示意图；

图4为本实用新型的夹持爪外部结构示意图；

图5为本实用新型的结构A局部放大图；

图6为本实用新型的结构B局部放大图。

图中：1-摄像头、2-电机一、3-支撑臂、4-传动臂、5-伸缩杆一、6-真空泵、7-伸缩杆二、8-抽屉、9-空盒、10-控制箱、11-支撑架、12-电机二、13-履带、14-伸缩杆三、15-隔层、16-风机、17-风管、18-集尘罐、19-天线、20-伸缩杆四、21-滑槽、22-支撑块、23-转轴一、24-电磁铁一、25-真空吸盘、26-电磁铁二、27-弹簧、28-夹持爪、29-空腔、30-转轴二、31-电机三、32-支撑轴。

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。

请参阅图1至图6：

本实用新型提供一种半导体加工用智能机器人，包括从上到下依次分布的摄像头1、空盒9、控制箱10、支撑架11和履带13，下面对一种半导体加工用智能机器人的各个部件进行详细描述：

所述空盒9上端且位于摄像头1左右两方均开有滑槽21，所述摄像头1后端下侧与空盒9上端后侧铰接，所述摄像头1左右两端均安装有天线19，所述摄像头1左右两端且位于天线19前方转动连接有伸缩杆四20；

所述空盒9前端开有若干个呈上下排列分布的空腔29，每个所述空腔29内部滑动连接有抽屉8，所述抽屉8后端与空腔29内部后端之间安装有伸缩杆三14；

所述空盒9后端安装有集尘罐18，所述空盒9左右两端均固定有支撑块22，两个所述支撑块22前端设置有电机三31，所述电机三31后端与支撑块22前端之间穿插设置有转轴一23，所述支撑块22远离空盒9的一端安装有电机一2；

所述电机三31前端设置有支撑臂3，所述支撑臂3前端转动连接有传动臂4，所述传动臂4前端安装有真空泵6，两个所述真空泵6前端设置有一对呈上下分布的夹持爪28，两个所述夹持爪28之间交叉分布并穿插设置有支撑轴32；

所述支撑臂3与传动臂4之间下方设置有伸缩杆二7，两根所述伸缩杆二7前端与传动臂4中部滑动连接，两根所述伸缩杆二7后端与支撑臂3中部转动连接，所述传动臂4与真空泵6之间上方设置有伸缩杆一5，两根所述伸缩杆一5前端与真空泵6上端转动连接，两根所述伸缩杆一5后端与传动臂4上端滑动连接；

同一侧的每个所述夹持爪28内端且位于支撑轴32后方固定有电磁铁二26，同一侧的每个所述夹持爪28内端且位于支撑轴32前方固定有真空吸盘25，同一侧的每个所述夹持爪28内端且位于支撑轴32与电磁铁二26之间固定有弹簧27，下端的所述夹持爪28下端且位于支撑轴32前侧下方固定有电磁铁一24，上端的所述夹持爪28后端与真空泵6通过螺丝连接；

所述空盒9下端与控制箱10上端固定连接，所述控制箱10前端安装有风机16，所述控制箱10下端固定连接有转轴二30，所述转轴二30下端贯穿至支撑架11内侧并与其转动连接，所述支撑架11内侧且位于转轴二30下方安装有电机二12，所述支撑架11下端安装有履带13；

所述控制箱10内部安装有PLC控制电路，所述PLC控制电路分别与履带13、天线19、摄像头1、电机一2、电机二12和电机三31信号连接；

所述伸缩杆四20位于滑槽21上方，所述伸缩杆四20下端与滑槽21内部滑动连接；通过履带13带动机器人行走从而便于移动位置，天线19能够实现对机器人进行无线远程控制，通过摄像头1能够将机器人在操作过程中的的画面进行拍摄，能够便于摄取影像，从而能够有利于无线远程操作，伸缩杆四20进行伸缩的过程中，伸缩杆四20下端顺着滑槽21滑动，伸缩杆四20上端与摄像头1左右两端转动，使得伸缩杆四20能够实现对摄像头1的摆放角度进行调节；

所述真空吸盘25通过导管与真空泵6连接，所述转轴一23与电机三31后端固定连接，所述转轴一23与支撑块22前端转动连接，所述转轴一23远离空盒9的一端与电机一2的动力输出端连接，电机一2带动转轴一23转动从而使得电机三31进行偏摆，支撑臂3和传动臂4随着电机三31偏摆而偏摆，同时电机三31可以带动传动臂4转动，支撑臂3随着传动臂4转动而转动；

伸缩杆二7进行伸缩过程中会使得支撑臂3与传动臂4之间发生转动，伸缩杆二7前端与传动臂4中部滑动，伸缩杆二7后端与支撑臂3中部转动，于是伸缩杆二7伸缩就实现了支撑臂3与传动臂4之间的夹角发生改变，这样就带动夹持爪28进行运动；

伸缩杆一5进行伸缩，伸缩杆一5前端与真空泵6上端转动，伸缩杆一5后端与传动臂4上端滑动，从而使得传动臂4与真空泵6之间发生转动，于是就改变了传动臂4与真空泵6之间的夹角，这样就实现了夹持爪28能够随着真空泵6的偏摆而偏摆，改变了夹持爪28与传动臂4之间的夹角；

根据电机一2和电机三31的配合使用，实现了电机一2和电机三31可以控制支撑臂3和传动臂4运动从而带动夹持爪28进行运动，目的是要让夹持爪28的活动起来更加伸展自如，从而便于夹持爪28接下来能够更加灵活地抓取工件和拿取物料；

两个电磁铁二26通电从而互相吸引，电磁铁二26使得能够夹持爪28合拢从而对工件进行稳固抓取，夹持爪28合拢使得弹簧27压缩而具有弹力，电磁铁二26断电之后能够通过弹簧27拉伸回弹而使得夹持爪28进行复位，真空泵6使得真空吸盘25产生真空从而可以使得夹持爪28抓取工件更加牢固，针对于一些难以夹持的工件可以通过电磁铁一24吸住而实现抓取；

所述转轴二30下端与电机二12动力输出端连接，电机二12带动转轴二30转动，转轴二30带动控制箱10、空盒9和摄像头1同时随着转轴二30转动而转动，于是就可以进一步提高支撑臂3、传动臂4和夹持爪28的运动范围，从而能够提高机器人在进行半导体生产过程中的的灵活性和便捷性；

所述空腔29内部延伸至空盒9内部，每个所述抽屉8内部滑动连接有隔层15，每个所述抽屉8前端延伸出空盒9前端，抽屉8能够便于放置和携带生产所需要的物料，伸缩杆三14能够使得抽屉8在空腔29内部来回滑动从而实现抽屉8抽出空盒9和缩回至空腔29内部，从而提高了加工效率，隔层15能够便于将物料进行分类摆放，同时隔层15还能够避免物料摆放混乱，从而能够便于夹持爪28对物料进行抓取；

所述风机16与集尘罐18之间通过法兰连接有风管17，风机16能够吸收生产过程中产生的烟尘进行吸收，并且将这些烟尘通过风管17进入到集尘罐18内部，从而通过集尘罐18进行收集，避免了环境污染。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

Claims (7)

1.一种半导体加工用智能机器人，包括从上到下依次分布的摄像头(1)、空盒(9)、控制箱(10)、支撑架(11)和履带(13)，其特征在于：

所述空盒(9)上端且位于摄像头(1)左右两方均开有滑槽(21)，所述摄像头(1)后端下侧与空盒(9)上端后侧铰接，所述摄像头(1)左右两端均安装有天线(19)，所述摄像头(1)左右两端且位于天线(19)前方转动连接有伸缩杆四(20)；

所述空盒(9)前端开有若干个呈上下排列分布的空腔(29)，每个所述空腔(29)内部滑动连接有抽屉(8)，所述抽屉(8)后端与空腔(29)内部后端之间安装有伸缩杆三(14)；

所述空盒(9)后端安装有集尘罐(18)，所述空盒(9)左右两端均固定有支撑块(22)，两个所述支撑块(22)前端设置有电机三(31)，所述电机三(31)后端与支撑块(22)前端之间穿插设置有转轴一(23)，所述支撑块(22)远离空盒(9)的一端安装有电机一(2)；

所述电机三(31)前端设置有支撑臂(3)，所述支撑臂(3)前端转动连接有传动臂(4)，所述传动臂(4)前端安装有真空泵(6)，两个所述真空泵(6)前端设置有一对呈上下分布的夹持爪(28)，两个所述夹持爪(28)之间交叉分布并穿插设置有支撑轴(32)；

所述支撑臂(3)与传动臂(4)之间下方设置有伸缩杆二(7)，两根所述伸缩杆二(7)前端与传动臂(4)中部滑动连接，两根所述伸缩杆二(7)后端与支撑臂(3)中部转动连接，所述传动臂(4)与真空泵(6)之间上方设置有伸缩杆一(5)，两根所述伸缩杆一(5)前端与真空泵(6)上端转动连接，两根所述伸缩杆一(5)后端与传动臂(4)上端滑动连接；

同一侧的每个所述夹持爪(28)内端且位于支撑轴(32)后方固定有电磁铁二(26)，同一侧的每个所述夹持爪(28)内端且位于支撑轴(32)前方固定有真空吸盘(25)，同一侧的每个所述夹持爪(28)内端且位于支撑轴(32)与电磁铁二(26)之间固定有弹簧(27)，下端的所述夹持爪(28)下端且位于支撑轴(32)前侧下方固定有电磁铁一(24)，上端的所述夹持爪(28)后端与真空泵(6)通过螺丝连接；

所述空盒(9)下端与控制箱(10)上端固定连接，所述控制箱(10)前端安装有风机(16)，所述控制箱(10)下端固定连接有转轴二(30)，所述转轴二(30)下端贯穿至支撑架(11)内侧并与其转动连接，所述支撑架(11)内侧且位于转轴二(30)下方安装有电机二(12)，所述支撑架(11)下端安装有履带(13)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体加工用智能机器人，其特征在于：所述伸缩杆四(20)位于滑槽(21)上方，所述伸缩杆四(20)下端与滑槽(21)内部滑动连接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体加工用智能机器人，其特征在于：所述空腔(29)内部延伸至空盒(9)内部，每个所述抽屉(8)内部滑动连接有隔层(15)，每个所述抽屉(8)前端延伸出空盒(9)前端。

4.根据权利要求1所述的一种半导体加工用智能机器人，其特征在于：所述真空吸盘(25)通过导管与真空泵(6)连接，所述风机(16)与集尘罐(18)之间通过法兰连接有风管(17)。

5.根据权利要求1所述的一种半导体加工用智能机器人，其特征在于：所述转轴二(30)下端与电机二(12)动力输出端连接。

6.根据权利要求1所述的一种半导体加工用智能机器人，其特征在于：所述转轴一(23)与电机三(31)后端固定连接，所述转轴一(23)与支撑块(22)前端转动连接，所述转轴一(23)远离空盒(9)的一端与电机一(2)的动力输出端连接。

7.根据权利要求1所述的一种半导体加工用智能机器人，其特征在于：所述控制箱(10)内部安装有PLC控制电路，所述PLC控制电路分别与履带(13)、天线(19)、摄像头(1)、电机一(2)、电机二(12)和电机三(31)信号连接。

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